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2020 - 01 - 10
干式螺杆真空泵制造商介绍了水环真空泵的一些基本原理以及与干式螺杆真空泵的一些基本比较。在引言中,我们都提到水环真空泵的极限压力约为2千帕。什么导致水环真空泵的极限压力?  在原文章中,干式螺杆真空泵制造商还提到水环真空泵的极限压力受其工作流体的限制,最常见的是——水。它受工作流体限制的原因是它们的饱和蒸汽压。  我们知道液体会蒸发,也就是说,液体表面的分子会不断地从液体中逸出,进入液体的外层空间。温度越高,压力越低,蒸发越强烈。液体的蒸汽压是液体表面蒸发气体产生的压力。在封闭条件和特定温度下,当液体的蒸发和冷凝处于动态平衡时,液体所处的蒸汽压是其饱和蒸汽压。同时,液体蒸发的逆过程是冷凝。  当液体的表面压力小于饱和蒸汽压时,液体处于不饱和状态,蒸发量大于冷凝量,液体不断蒸发;当液体的表面压力大于饱和蒸汽压时,液体蒸汽处于过饱和状态并被压缩,此时发生大量冷凝,这比蒸发量大得多。  通过水的三相图,我们可以看到它在不同压力和温度下的状态变化。  在这种物理特性下,由于低压低于液体的饱和蒸汽压,真空中的液体压力将产生大量蒸发,从而成为真空中的气体源。然而,水环真空泵在工作过程中需要水作为工作介质。水的饱和蒸汽压在20℃时约为2338帕,在30℃时约为4245帕。也就是说,当水环真空泵处于20℃时,一旦其工作压力被泵送到接近2338帕,工作液体将开始大量蒸发,形成气源。然而,水环真空泵没有...
2020 - 01 - 15
半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道,以避免过压  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵,这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成,可能会堵塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力升高或过压,并带来更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当抽取这些介质时,有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵提取这些介质时,在压缩前的当前条件下,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓...
2020 - 02 - 19
如果您从事木工行业,那么您可能已经熟悉工业真空泵。从固定和提升到层压和木材干燥,这些机器对于推动木工过程中涉及的各种应用至关重要。但是您是否知道最适合该行业的真空泵技术类型?  木料用什么真空泵更好?  一般而言,旋转螺杆真空泵和干爪真空泵是木工应用的理想选择,因为它们是非接触式真空技术,不会遭受性能元件的磨损。  与叶片泵相比,GHS VSD +等旋转螺杆泵具有较高的性能水平,并减少了维护,噪音和热量散发-所有这些都归功于螺杆技术。它们通常配备VSD技术(使其非常经济),并且还具有压力设定点控制功能,可确保泵提供尽可能低的真空流量,从而可以维持所需的真空度。结果?降低了生命周期的运营成本,并且没有浪费过多的能源。  干式爪泵也是木工的理想技术。由于主泵腔中没有润滑,因此没有污染的威胁。其次,没有任何磨损-两个爪形转子彼此相反的方向运行;它们不会彼此接触,也不会与泵室接触!这意味着没有磨损,非常耐用,并且可以维修和清洁。干式爪泵也可以组合成多系统单元。  恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人...
2020 - 02 - 22
旋片真空泵主要用于获得低、中真空度,它可分为油封泵和干式泵,根据所要求的真空度,还可以分为单级泵和双级泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵体、转子、旋片、端盖和弹簧等部件构成。在旋片真空泵的腔内,有偏心地安装了一个转子,转子外边与腔内表面相切,转子槽内装有带弹簧的两个旋片。当转子在运转的过程中,旋片能沿其径向槽成往复式地滑动,并且与泵壳内表面始终相接触,此旋片随转子一起旋转,进而把真空泵腔体分为多个可变容积空间。  在使用旋片真空泵时,需要注意以下事项  1.在使用旋片式真空泵前,需要保持泵的清洁,以免杂物进入泵体里面。检查油量,加油至油标中心处,如果太低就会对排气阀起不到油封的作用,对真空泵的真空度产生影响;如果过高,会产生喷油反应。在真空泵运转的时候会有正常的油量上升反应。在加油时,要使用符合规定的真空泵品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入完毕之后,为防止其他杂物进入真空泵油仓内,要进行过滤且堵塞油孔。  2.在旋片真空泵工作环境温度过高时,旋片真空泵的油温度也会升高,这是热分子运动加快,油的粘度降低,导致饱和蒸气压变大,最终引起极限真空度变低,德耐尔真空泵厂家技术人员指出,想要使得真空泵真空度得到改善,可以加大风力,改善真空泵油的质量,从而降低温度加快散热。  3.在使用旋片真空泵的作业过程中,抽取的物质不应该是含氧量过高、含水蒸气量过高、易燃易爆以及对金属有腐蚀性的气体物质,...
2020 - 02 - 27
液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,可获得2000-4000帕的极限真空,液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。  水环泵最初用作自吸泵,然后逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展,水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体,都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。  最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用,根据泵室的形状,水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切,水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上,叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间,并且该...
2020 - 03 - 03
真空泵的功能是从真空室中去除气体分子,并降低真空室中的气压以达到所需的真空度。一般来说,从大气到极高真空有一个很大的范围,到目前为止没有一个真空系统能覆盖这个范围。因此,为了达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备使用寿命要求,需要为不同的真空段选择不同的真空系统配置。为了获得最佳配置,在选择真空机组系统时应考虑以下几点:  1.真空泵的极限压力应满足工艺的工作压力。通常,所选泵的极限压力比工艺要求低一个数量级。  2.每个泵都有一定的工作压力范围。因此,泵的工作点应选择在此范围内,不允许在超过允许工作压力的情况下长时间工作。  3.在其工作压力下,真空泵应该能够排出真空设备过程中产生的所有气体。  4.选择真空机组装置:  (1)当一台泵不能满足抽气和真空的要求时,需要将几台泵组合起来,相互补充,以满足工艺要求。  (2)有些真空泵不能在大气压下工作,需要预抽真空;一些真空泵的出口压力低于大气压,需要一个前置泵,所以所有的泵都需要组合使用。通过真空泵的组合,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统获得更好的真空度和排量。我们应该正确选择组合式真空泵,因为不同的真空泵对被抽出的气体有不同的要求,例如:罗茨-转子机组不适合在正常情况下含有较多可冷凝气体的系统。  5.当你选择一个油封泵时,你应该首先知道你的真空系统是否对油污染有要求。如果设备严格要求无油,应选用各种非油泵,如:水环泵、低温...
2020 - 03 - 06
根据水环真空泵的说法,它是一种利用机械能实现无内压缩的真空泵。因此,对真空度的要求相对较高。如果真空度不够高,真空泵的使用会受到影响。因此,应对产品进行检查,找出故障原因并予以纠正。  1.水环真空泵冷却水流量不足:应增加冷却水流量。  2.装配不当会导致转子轴向位移,导致单侧磨损:应将其拆卸下来进行检查并重新装配。  3.吸入硬物磨损真空泵本体:拆卸水环真空泵,去除硬物,修理或更换划伤的零件。  4.真空泵的温度太高:泵送气体的温度太高。让气体在进入真空泵之前冷却进入;应使用冷却水或电风扇来冷却温度。同时,检查相关零件的配合间隙,并根据规定的精度要求进行修理或更换。  5.水环真空泵本身会泄漏空气:泵本身密封不严,会在轴封处泄漏空气。应该更换空气阀件。如果密封圈泄漏,检查所有密封件的密封情况,并更换损坏的密封圈。如果气动阀垫圈损坏或未拧紧,更换垫圈并拧紧气动阀。当真空泵中的隔膜被压入时,干涉太大,导致真空泵腔变形并泄漏气体。应该修理或更换真空泵腔。漏气是由于真空泵端面油密封不良造成的。应拆卸端盖,检查是否有杂物或不平,然后清洗或修理。  6.真空泵油有一个问题:如果油位太低,在油痕中间的管路中加入足够的油;如果机油被污染和变质,请更换新的机油。如果油的品牌不匹配,应更换指定品牌的真空泵油。油道堵塞,水环真空泵室不能保持适当的油量。检查油路和油阀的进油量,保持油路畅通。  7.水环...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 07 - 20
来源: 1137
AI数据中心冷却系统磁力泵怎么选?认准德国SPECK,告别泄漏与低效焦虑随着AI大模型和智算中心的爆发式增长,单机柜功率密度正从传统的10kW向100kW甚至更高跃升。传统的风冷已逼近物理极限,液冷技术成为AI数据中心的“必选项”。然而,在液冷系统中,冷却液循环泵被称为“心脏”,其可靠性直接决定了千万级IT资产的安全。面对市场上琳琅满目的泵类产品,AI数据中心冷却系统的磁力泵究竟该怎么选?一、 选...
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 166
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 157
瓦斯事故是近几年煤矿行业中需要注意的重中之重,一次矿难就能搭上无辜的几十条人命。所以,煤矿行业的设备安全是断断不能忽视的,我国从20世纪50年代开始进行煤层气抽放,抽放量不断增加,基本达到煤矿安全的目的,控制了瓦斯事故的发生。采用水环式真空泵/压缩机抽放瓦斯有以下几种基本形式: 以采煤和抽放关系分:采前预抽,即对未开采煤层的煤层气抽放。因为矿区范围广,管线长,一般有几十公里。工作环境恶劣,所以要求水环式真空泵/压缩机抽气量大、真空度高、运行可靠。现在水环式真空泵/压缩机采用国际先进技术设计制造,气量可以达到500~70000m3/h,完全可以满足煤矿工业的需要。该抽放方法逐渐成为主流,该方法不但成为安全生产的保证,而且煤层气将成为新的清洁能源,对我国这样一个煤炭大国具有战略意义。边掘边抽、边采边抽,即正开采煤层过程的煤层气抽放。采后抽放,即报废矿井、采掘巷道煤层气抽放。 以抽放方式分:钻孔法抽放,对煤层钻孔、并且采用松动技术,增大煤层气的释放面积和通导,使煤层气快速释放。减少采掘过程中的释放量。这种方法效果好,而且煤层气的利用率高。一般采用水环式真空泵/压缩机来抽放。巷道法抽放,对采空巷道、采掘巷道进行瓦斯抽放,保证安全浓度。地面垂直井抽放;混合法抽放等。 以抽放目标层分:开采层抽放、邻近层抽放、采空区抽放等。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 240
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 191
冻干机中真空泵的真空排气量如何确定?下面小编带大家了解一下.(一)真空泵抽速的性能指标 冻干机真空系统从大气压抽到10Pa的时间不多于30min。 (二)真空泵选型原则 所选主真空泵的极限真空应比冻干箱要求的极限真空高1~2个数量级。医药冻干一般要求极限真空为1~5Pa,所选主真空泵极限真空应高于1X10-1~1X10-2Pa。旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、油增压泵均可。 冻干箱的工作真空度为4~4OPa,应在主真空泵最佳抽速压力范围内。 冻干机使用的真空泵还应可以抽除一些水蒸气,或者可适应被抽气体夹杂有水蒸气。 (三)抽气速率的计算 冻干机有预抽时间要求,对于冷阱和冻干箱共用一台制冷机时,这个时间要求很重要。满足不了时可能造成预冻制品融化。如果在真空冷凝器(冷阱)制冷的同时,冻干箱还能供冷保持低温,这一时间要求就不那么重要了。也就是说可以适当延长要求的时间,然这对冻干机的性能还是略有影响的。不同的行业需求的真空度不同,所以要选择合适的真空泵去满足生产中需要的真空度的要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 201
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 229
我公司生产销售的水环式真空泵在真空浓缩方面应用广泛,尤其是在制糖行业,以下针对制糖行业的具体应用,分析具体工艺流程:糖厂每加工1000公斤的甜菜,可得到约为125公斤的糖汁,含糖率一般为百分之十几。然后将糖汁放在蒸发罐内加热,浓缩成含有35%水分的糖浆。由于水分含量仍然很多,糖还不能结晶出来,这时要把糖浆放在真空罐中,再浓缩成含7~8%水分的精膏,于是糖从饱和溶液的糖膏中逐渐结晶析出。 因为糖浆的浓度很高,而使沸点提高了20,故糖浆的沸点为100+20=120。在这样高的温度下煮糖(浓缩的过程就是煮糖)将会引起糖分的焦化,而使损失增加。若在一定真空度下熬糖,就会使沸点大大降低。因此糖浆浓缩成搪膏,要在一定的真空度情况下进行。 开始由于水分大量存在,糖浆远没有达到饱和状态,故应在最大真空度下进行水分蒸发,所需真空度为-620~-640毫米汞柱,其沸点相应为68-70。溶液的浓度增加,沸点必然升高。随着糖浆的不断浓缩在同一真空度下糖浆的温度会逐渐升高至74~77。真空熬糖的第二阶段可在低的真空度下进行,所需真空度为-420~-460毫米汞柱,沸点约为93-94。选择正确的真空泵能够给企业提高生产效率,节约能源.合适的真空度能够让产品质量的得到保证.稳定的真空度能够减少下次产品的出现.在制糖行业来说,选择合适的水环式真空泵是十分必要的.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 201
对液态成品的精制过程,最后一步工艺往往是精馏。其目的主要为:保持产品的物理化学性质;产品的精制收率尽可能高;以产品为正馏份,除去作为溶剂的低沸部分和下脚料的高沸部分,从而达到产品质量指标。液态产品通常具有受热变质的热敏性,因此在较低温度下实现精制显得尤为重要。 同样地,从经济以及环境保护方面的考虑,对脱除的溶剂必须回收使用。液态产品的精制要求尽可能在高的真空度下进行,通常操作压力在10Pa以下(1个标准大气压为101325Pa)。满足此条件的配置有:滑阀真空泵、爪式泵两种单泵、罗茨真空机组。 (1)罗茨真空机组。 其运行功率相当高。对于前级泵达到相当于LH-70PH型爪式泵同样抽气量的机组,其机组配用功率为20Kw,对于日夜连续运行的真空产生装置来说,12.5Kw的差别,一年下来,意味着9万元的电费差距(以每年工作300个昼夜计。电费以1元/度计)。 (2)滑阀泵。 其必须有真空泵方能有效工作。当气体流经真空泵时,难免将真空泵油夹带出去。这就意味着不能直接套用所回收的溶剂,或者浪费掉并污染环境。此外,滑阀泵对操作维护要求较高,在寒冷季节,开关机稍有不慎,就非常容易损坏。 (3)爪式泵。 采用爪式泵,泵后的常压回收溶剂没有问题。另外,由于其本身结构较好、加工精良、附属装置齐全,一旦投入使用,其使用要求低、使用范围广、使用寿命长、清洗维护保养方便。当需要更高的真空时,其能作为前级泵方便地组成真空机组。 由此可见,在液态成品高真空精制的场合,爪式泵是一种相当合理的选配方案。
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 167
真空冷却对肉类保鲜的重要性不言而喻,下面我们就来了解一下吧.尤其在夏季,肉类产品的保鲜是一个非常困恼屠户的问题,本文着重讲真空冷却对肉类食品保鲜的具体方法,真空冷却是一种快速蒸发的冷却方法,它已经被广泛应用于去除花卉和果蔬内部的田间热,主要应用的真空泵是旋片式真空泵,真空度高会让肉类的保质期维持的更久!    以降低这些产品的温度和延长寿命。近几年来,食品安全问题,尤其是肉制品的安全问题已经越来越受到世界各国人们的重视。为了减少肉制品中的细菌繁殖和降低污染,必须使肉制品能够快速冷却。传统的冷却方法如风冷、水冷等方法的冷却时间比较长,需6~10小时左右,已经不能够满足产品的快速冷却。因此,真空冷却的应用就延伸食品工业中,并在熟肉以及肉制品的快速冷却中发挥了极大的作用。为了使熟肉能够快速冷却,国外许多学者从不同角度对熟肉的真空冷却进行了实验研究。目前,真空冷却在熟肉中的实验研究主要从影响真空冷却速率、质量损失的因素进行了研究,影响真空冷却速率和质徽损失的主要因素有:产品的密度、孔隙率、收缩率和水分含量。还有一些过程条件,如盐水注射量、是否翻转、样品粉碎和包装等也会对真空冷却速率和质量损失产生影响。今天我们了解了,旋片式真空泵用于真空冷却的应用,后面我们还会分享更多的应用,敬请关注.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 272
大家可能不知道真空应用中的前级真空泵是什么?小面小编就和大家一起了解一下.可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 前级真空泵概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以分为三种主要类型: (a)气体的输运是通过一级或多级压缩来实现。 (b)通过动量转移输运气体。 (c)气体吸附在低温表面上,而后再加热,再生出来。 机械真空泵是第一类泵的代表,而喷射泵和吸附泵是第二类泵和第三类泵的代表。工作压强区域 虽然各种类型的泵都能对大气排气,但它们的有效工作区城的变化取决于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高压缩比,机械间隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨胀或返流。没有密封液的泵很适于在大气压附近工作。由于压缩热难于散掉,一些干式机械泵,尤其罗茨泵和千式螺旋压缩机的低压强工作受到限制。这些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化铸铁以及高温下合成的材料,那么,由于这些材料的自润滑性能,可将干式旋片泵的工作区域延伸到150Torr,在同样的压强区域,也可以有效地利用液环泵、往复式活塞泵以及效率较低的喷射泵。若用双级液环泵、无阀多片泵、双级往复式活塞泵、液体喷射泵以及双级蒸汽喷射泵,甚至可将压强区域延伸至大约30Torr.当工作压强进一步降低时,比较简单的泵可能不再适用了,必须用多级旋转油封泵,并选择低蒸汽压的密封液。单级泵的有效工作压强区城主要是由于油污染影响,因而将其限制到0.lTorr。由于同样的影响,双级油封泵的低压工作限,稍低于10mTorr。约为1mTorr的油蒸气压弧使前级接双级油封泵(在有效抽速下)的罗茨泵不能在10-6Torr区域内工作。对低于1mTorr的抽气,用其他抽气设...
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 184
真空装置自动控制常用名词汇术语有很多,下面这些就是小编给大家总结的.希望能够给大家带来帮助.1、被控制对象要求实现控制的真空装置或生产过程,称之为被控制对象。例如真空阀、真空泵、真空镀膜机、真空热处理炉等。2、测量装置测量被控制量变化的装置。例如:真空计、温度计、膜厚测量仪等。3、调节装置(调节器)它把测量装置所测量的被控制童与真空工艺所需要保持的给定值相比较,得出偏差值,并按设计好的运算规律进行运算,发出信号,使控制执行机构动作,以消除被控制量与给定值的偏差。如模拟PID(比例、积分、微分)调节器、数字PID调节器(即单片机、计算机)等。在真空装置的真空度控制中,它通常与测量装置的真空规及执行机构的真空调节阀组合在一起,构成压力控制仪。4、执行机构它接受调节装置发出的信号,产生调节作用,以消除被控制量与给定值的偏差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。5、被控制量系指被控制对象内要求实现控制的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。6、测量值测量装置所测得的被控制量的实际值。7、给定值被控制量要求保持恒定或按预定规律变化的规定值。8、偏差测量值与给定值之差。9、扰动干扰它是使被控制量产生变化的因素。扰动分两种:一种为控制系统内各个环节产生的扰动,称为内扰;另一种为控制系统以外对系统产生的干扰,称为外扰。10、反馈把输出信号送回到输人端,以增强或减弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号增强者称为正反馈;反之,则称为负反馈。在自动控制系统中多采用负反馈。11、调节过程系指控制系统受到加外信号(给定值或扰动)作用后,原来的平衡状态遭到破坏,由于自动控制装置的调节作用,使被控制量回复到原来的平衡状态,或过渡到新的平衡状态的过程。12、位式调节系指被控制量偏离给定值时,调节器使执行机构全开或全关的调节。如具有上、下限压力给定的真空继电器的压力调节。13、比...
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