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2020 - 07 - 15
干式螺杆真空泵有三种特殊的转子型线方法,如下所示:  一、端面轮廓,螺杆真空泵转子用于螺杆真空泵转子生产线。端面生产线主要用于研究真空泵和螺杆转子的共轭性能,分析级间泄漏特性,计算容积效率。泵腔等。非常直观和方便。螺杆泵是一种变量泵,由与驱动器啮合的驱动从动螺杆驱动。螺杆端面的类型对泵的性能有很大影响。因此,端面线的设计要求是:良好的密封性能、优水环真空泵良的传动性能和良好的工艺性能。  二,轴面型线,螺杆真空泵螺旋线,轴面线易于在螺杆真空等螺距泵转子的设计、加工和检验中使用,因此被广泛使用。  三,法面型线,设计成形工具的刃口形状时必须使用法线,因此它主要用于成形工具的设计和加工。此外,轴向轮廓和法向轮廓仅用于表征变桨螺线管的转子结构。只要确定轮廓表示和螺旋展开模式中的一种,就可以通过相互变换得旋片真空泵到端面线,轴面线和法线的特征方程和转子齿面的螺旋面方程,还可以确定螺杆真空泵转子的其余轮廓表示。  罗茨泵能特点罗茨泵的工作原理与凸轮泵基本相同,但转子是罗茨型。它能输送粘度达数万厘泊的液体。罗茨真空泵泵体内主要有两个旋转方向相反的转子,由一对同步齿轮驱动。对于罗茨泵的转子,它们在泵体中相互啮合,但是存在间隙。  1.罗茨泵应定期检查油位,如不符罗茨真空泵合规定,应调整至符合要求。当罗茨泵运行时,油位达到油标准的中心。  2.罗茨泵换油周期由用户根据实际使用情况和是否满足性能要求...
2020 - 07 - 20
水环真空泵的工作原理  水环真空泵启动时,泵内的液体在叶片旋转产生的离心力的作用下在泵上形成旋转液环,水环真空泵的叶轮偏心安装在泵室内,因此叶轮的轮毂和水环内面在泵室上部形成切线,在泵室下部接触。  前半部分,随着叶片和水环之间的密封空间逐渐变大,形成了几个空洞,气体从分配板的吸入口被吸入。在后半段,密闭内腔的容积逐渐减少,空间内的气体被压缩,从分配水环真空泵板的排气口排出。加入的液体是冷凝水,不仅可以形成液体环,还可以减少气体压缩产生的热,密封分配板和叶轮端面的间隙。  在水环真空泵的运转中,一部分工作液与气体一起排出,因此有必要向真空泵内连续供水。泵内不产生金属摩擦,使用中不需要润滑,寿命长。此外,水环真空泵结构紧凑,转速高,操作简单,压缩温差变化小,能吸收易燃的爆炸性气体。但是,水环真空泵有能效低的缺陷,效旋片真空泵率为30%~50%,真空度低,工作介质被限制在饱和蒸气压。  原理不同  罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子,转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙,相互不接触的可变容量真空泵。  水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变罗茨真空泵容积真空泵。  适用范围不同  罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙空间仿真等装置...
2020 - 07 - 23
液环真空泵运行时,由于各种原因会产生噪声,那么如何解决噪声呢?  1.液环真空泵-安装弹簧隔离器:  (1)弹簧的选择  弹簧的直径不得小于其额定载荷高度的0.8倍;  弹簧必须有一定的额外行程,涡街流量表至少是额定静态挠度的一半;  弹簧的水平刚度至少与钢的直线度一样好,以保证阻尼器的稳定性。  (2)液环真空泵-弹簧隔离器的选型  液环真空泵一般采用自支撑弹簧减震器,结构简单,成本低廉;弹簧暴露在外面,因此可以随时观察弹簧的状态,并且要更换的弹簧是预先设定的,以避免由于弹簧生锈而造成的过度损坏,导致液环真空泵的突然沉降,导致液环泵设备的损坏和管道的撕裂。  (3)液环真空泵-弹簧阻尼器的挠度选择  一般来说,制造商弹簧阻尼器的额定挠度(弹簧的额定压缩量)一般为25MM(从大约3-4HZ的频率值开始),这可用于650转/分的液环真空泵的隔振。当速度低于650时,建议使用偏差为40或更小的弹簧隔离器。  2、液环真空泵-安装坚固的底座  液环真空泵是满足更严格振动标准的更好选择。当增加坚固的基座时,最好使用弹簧隔离器。  3.液环真空泵-安装橡胶隔振器  橡胶隔离器通常由氯丁橡胶或天然橡胶制成。通常,使用压缩橡胶阻尼器。对于轻型液环真空泵,可以选择剪切橡胶减震器。  常见的降噪方法包括安装隔振器和惰性基座。在降低液环真空泵噪声之前,首先要分析噪声产生的原因,然后根据具体原因采取相应...
2020 - 07 - 28
真空泵是指用机械、物理、化学或物理化学方法将泵送的容器抽成真空的装置或设备。一般来说,真空泵是一种通过各种方法改善、产生和保持封闭空间内真空的装置。  根据真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕获泵和气体输送泵。它广泛应用于冶金、化工、食品、电子涂料等行业。  结构  真空泵泵体的布置结构决定了泵的整体结构。立式结构的进风口和出风口水平布置,便于管道的组装和连接。然而,该泵重心高,高速时稳定性差,因此这种类型主要用于小型泵。  卧式泵的进气口向上,出气口向下。有时,为了便于真空系统管道的安装和连接,排气口可以从水平方向连接,即进气和排气方向彼此垂直。此时,排气口可以从左或右方向打开,并且除了排气管的一端之外,另一端被阻塞或与旁通阀连接。该泵重心低,高速时稳定性好。一般来说,大中型泵都采用这种结构。  泵的两个转子轴垂直于水平面安装。采用这种结构,装配间隙易于控制,转子装配方便,泵占地面积小。但是,泵的重心高,齿轮拆装不方便,润滑机构相对复杂。  传输方式  真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮相对同步地运行。驱动轴通过联轴器与电机连接。传动结构布置主要有两种:一种是电机和齿轮放置在转子的同一侧。从动转子由电机端齿轮直接驱动,因此主动转子轴的扭转变形很小,两个转子之间的间隙不会因为主动轴的大的扭转变形而改变,因此在运行过程中转子之间的间隙是均匀的。这种传动方式的最大缺...
2020 - 08 - 04
一般真空泵是机械真空泵,包括往复式真空泵、机械增压泵、油封机械泵、滑阀真空泵和滑动叶片真空泵。真空泵油是根据机械真空泵的性能要求专门配制的特殊润滑油,应根据低、中、高真空的工况选择相应的油。  让我们不要谈论真空泵的工作原理,让我们来谈谈油。当真空泵设备运行时,转子上的滑动叶片或滑动阀环靠着定子的内壁滑动。为了避免擦伤,需要润滑物质。它可以滑动,表明定子和转子之间有一个间隙。为了避免空气进入,有必要用物质密封它。当转子和定子高速摩擦时会产生大量的热量,因此物质带走热量冷却下来是必要的。以上三点是真空泵油的三个基本功能,如润滑、密封和散热。  每次你在罗茨真空泵,加机油,你都得停下来,这影响了生产。从结构上可以看出,同步转向齿轮箱和罗茨泵泵腔是由内部油封密封的。罗茨泵运转后,泵腔内形成一定的真空度,齿轮箱与泵腔之间会产生压差。在压差的作用下,润滑油将顺着油封进入泵腔流动。只有当齿轮箱和泵腔中的压力平衡时,润滑油才会停止进入。  随着罗茨真空泵,的长期运行,齿轮箱中的润滑油将逐渐被吸入泵腔,表明油位低于标准水平。此时,必须停止机器,从润滑油添加孔加注润滑油,否则,由于大气与泵腔之间的压力差,齿轮箱中的润滑油将被迅速吸入泵腔。  鉴于这种情况,考虑通过连接齿轮箱和罗茨真空泵,入口来平衡压差,以便泵腔和齿轮箱能够保持相同的真空度。在润滑油添加孔处安装一个特殊的大油杯。油杯由聚四氟乙烯转动。...
2020 - 08 - 12
GXS750干式螺杆真空泵采用独特的螺杆技术高效驱动,实现先进的温度控制功能和长维护间隔,确保未来几年的抽油速度和低运行成本。 阿特拉斯高级半导体真空泵已经在现场得到了应用证明,能够以最高的工作标准运行。 长寿命化、提高运行时间、提高生产效率的同时,通过减少占地面积、降低运行成本,实现了高可靠性和性能。  阿特拉斯GXS750干式螺杆真空泵可以单独提供,也可以与高速罗茨升压泵一起提供,提高容量和极限真空。 阿特拉斯还包括净化选项、过滤器、集水箱、入口隔离阀和消音器。 这些零件,以及我们特别提供的大流量清洗和溶剂清洗附件,可以保持泵的内部干净。  该独特系列应用广泛行业:太阳能、冷冻干燥、消毒、间谍层、冶金、泄漏检测、食品包装、真空室排气、高纯度气瓶充填。  螺杆真空泵作为一种新兴的泵,上市后很受消费者的欢迎,但转子是真空泵的核心部件,在泵内发挥着重要的作用。 泵内的转子故障会影响真空泵整体的使用,所以要解决故障,首先需要找出根本原因。  一、螺杆泵转子表面锈蚀原因分析  真空泵的供给介质含有二氧化硫、水,二氧化硫与水结合生成亚硫酸,亚硫酸对金属有腐蚀作用,为了防止转子、泵室的腐蚀,在转子和泵室的表面涂层聚四氟乙烯层。 转子及泵室腐蚀说明图层被破坏,亚硫酸腐蚀到泵室。  二、转子及泵房特氟隆图层破坏原因分析  转子及泵室表面的图层破坏的原因如下  1 .有固体粒子进入泵房,固体粒子破...
2020 - 08 - 19
螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员,出现于20世纪90年代前后,发展缓慢。  但是,作为理想的干式泵,出现了螺杆真空泵,并得到了迅速的发展。现在就理解小编和基本知识吧.  一、螺杆真空泵的特点  螺杆真空泵起源于螺杆压缩机和螺杆式液体输送泵,是容积式真空泵中理想的干式真空泵。由于能够清洁无油真空环境,对含有腐蚀性气体、凝结性蒸汽、粉尘粒子的气体有较强的适应性,清洁电子半导体、制药、石油化学等真空环境的要求严格,在气体成分复杂行业中,螺杆真空泵很受欢迎  螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动,使齿间容积周期性变化来输送气体,实现抽出。这些特征包括:  1.清洁无油,多相混输,适应性广。螺杆真空泵转子之间有严格的间隙,泵室内无油,可吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。  2、结构简单,动平衡好,可靠性高。螺杆真空泵零件少,芯零件无易损件,无不平衡惯性力,运行可靠,寿命长。  3、结构简单,零件少,操作、维护简单。  4.通过强制输送空气,可以在宽的压力范围内确保大的吸引速度,排气量几乎不受排气压力的影响。  二、螺杆真空泵的结构  螺杆真空泵一般为双轴结构。螺杆真空泵是经由一对非对称螺杆转子在泵室同步高速反转,使齿间容积周期性变化而产生进气和排气作用的排气设备。  其主要结构为螺杆转子、轴承、泵体、密封件等。螺杆转子经过精密的动平衡补偿由轴承支承,安装在泵室,螺杆与螺...
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发布时间: 2026 - 05 - 23
来源: 7890
AI算力爆发让数据中心液冷从可选变成必选,而液冷系统的心脏就是泵。冷板式液冷需要泵提供稳定压力克服微流道阻力,浸没式液冷需要泵驱动高粘度氟化液循环,任何泄漏都可能导致短路甚至整排服务器报废。在这个场景下,磁力泵凭借零泄漏、免维护、耐腐蚀的特性成为首选,而德国SPECK磁力泵更是行业公认的标杆。SPECK成立于1909年,至今超过115年历史,被美国宇航局、德国高速铁路等顶级机构指定选用,全球超过6...
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 162
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 215
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 154
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 163
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 391
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 172
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 261
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 247
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
发布时间: 2018 - 10 - 26
来源: 242
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。      2.罗茨真...
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