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2020 - 12 - 24
当真空泵工作时,常常会呈现冒烟、喷油等毛病;那么你知道为什么真空泵会呈现冒烟、喷油的景象吗?很多客户不清楚原因。今天告诉大家最常见的导致真空泵冒烟、喷油几种毛病及毛病的解决办法。  一、真空泵冒烟,以下三种情况  1、做完保养后开机就一直冒烟  当刚做完保养,真空泵过滤器刚刚安装上去开机的那一时刻,排气口出现少量的烟雾,那是正常现象,那只是在保养前油箱内未排完的气体而已,一分钟就可以消失了。如果在真空泵在做完保养后开机就一直冒烟,则就要考虑是否是过滤器没有安装到位,或是过滤器密封圈与泵体接触位置是否有异物存在影响密封度,导致气体未经过滤而排出 。如果安装检查无问题,则就考虑是否真空泵本身的密封组件是否有问题或新安装的过滤器质量有无异常了。  2、保养完毕两个月内出现冒烟  保养完毕后使用了几天到两个月内开始出现冒烟现象,则考虑是过滤器出问题了,正常情况下过滤器使用寿命应该是2000小时或三个月以上。如果不到这个时间就出现冒烟现象,要么是过滤器质量有问题,要么是真空泵油有问题,到底是哪个有问题呢?辨别方法是:将过滤器拿出来看看,如果外表面的棉已呈黑色,或已经很脏了,则是真空泵油的问题了,如果棉表面还很净,而滤芯堵死了无法排气则是过滤器的问题。  3、使用2000小时或三个月后出现冒烟 使用2000小时或三个月后出现冒烟现象,基本是正常现象了,该做保养了。同时也表明使用环境不是很好,或...
2021 - 01 - 05
循环冷却水的水质和运行温度超过一定指标是造成真空泵结垢的主要原因。水质指标中,尤以水的硬度影响最大。为此,必须尽可能降低水的硬度,控制循环冷却水的工作温度,才能解决真空泵结垢的问题。  1、循环冷却水的硬度  循环冷却水在真空泵中的运行过程,与低压热水锅炉中锅水运行过程极其相似。因此,按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质,既可防止真空泵结垢又可防止真空泵腐蚀。  真空泵循环冷却水系统大都是敞开式循环系统,回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下,一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。  2、循环冷却水的温度控制  从上述分析可以看出,真空泵内水环温度与软化水池水温之差是导致结垢的重要因素。因此,增大循环供水量提高冷却效果是最大限度减小结垢速度的重要保证。  因此在循环冷却水运行过程中,还有必要对各台泵的回水温度和回水量进行监测,以保证各台泵的正常供水量以及回水温度不超过40℃的规定。供水量可以用阀门来控制,如果回水温度超过规定,要采取补充低温冷水或用其他散热降温的办法来降低软化水池内软化水的温度。  3、定期冲洗泵体  水环式真空泵的泵体排水闸阀,除了用于正常排出泵内积水外,还可在运行过程中利用泵体运转的水压定期冲洗泵内污垢和水渣,一方面可以防止污垢积存,另一方而还可以防止水渣转化为水垢。  真空泵的结垢问题有其较为复杂的生成机理,正确分析水质...
2021 - 01 - 15
在真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管道和内部管道的总长度可达几公里,焊缝、密封圈的总长度可达数十公里,必须投人很大力量对设备严格进行检漏,所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给检漏工作带来很大困难。以下对设计、加工、安装调试以及运行中的检漏工作做以说明。  一、在设计阶段应考虑的问题  1、合理规定真空设备的最大允许漏率,由此再规定各零、部件的最大允许漏率。  2、要考虑加工、安装、运转过程中,对不同零、部件(或整个设备)采用哪种检漏仪器和哪种检漏方法。  如采用压力检漏法时,要考虑:  a.容器充气后的耐压性能;  b.容器中有无会被示漏气体腐蚀的材料;  c.检漏时焊缝的位置是否暴露在外面;  d.如何通进示漏气体。  如采用真空检漏法时,要考虑:  a.容器是否允许处于负压状态;  b.检漏仪的连接方法。  3、在设计中要避免“寄生空间”,这种“寄生空间”会使检漏的反应时间增长。  4、工艺设计要合理。例如,通常只允许容器的一侧有焊缝,如需加强焊缝的强度,在真空一侧应采用连续焊,在非真空一侧则采用断续焊。  二、加工过程中应考虑的...
2021 - 02 - 05
水环式真空泵长时间工作后,泵的外部或内部将有一些污垢。在这种情况下,我们必须清洁它。外部清洁相对简单,但是清洁却很困难。泵内。泵的内部通常是由于工作不足而造成的,会产生大量的水垢和残留杂质,如果未彻底清洁或未清洁内部,则会影响泵的运行。那么我们如何清洁水环真空泵?  1.第一次清洁真空泵时,为了省钱,可以先使用再生汽油,然后再使用洗涤汽油,最后使用喷射汽油对其进行清洁。然后仔细检查是否有损坏和划痕。  2.水环式真空泵每月应清洁泵腔内积聚的异物。例如,您可以在短时间内打开排放管上的阀门或打开排放塞。  3.稀释硝酸或其他可溶性物质,但不应使用高纯度物质,否则将直接损坏水环真空泵的内部组件。将其放入容器中,等待约一个小时,然后用清水直接洗涤。  4.小心地从真空泵上卸下喷嘴和导管,然后将其卸下。使用干净的棉线,薄纱布或用过的纸清洁泵内以及喷嘴和导管上的油脂。使用浓度为50-100g/L的苛性钠溶液,加热至60-70℃,浸泡,或直接使用有机溶剂,如四氯化碳,用三氯化乙烯,丙酮等浸泡并洗涤,然后用冷水冲洗几次。用热空气干燥零件或在烤箱中干燥(最好不要清洁没有纯棉线的零件表面,以防止棉线进入泵体)。切记擦干干净的零件(用丝布吹干或擦拭,然后干燥)并盖上它们,以防止灰尘落下。如果有待修理和加工的零件,则可以用干净的真空泵油适当地涂其他零件,以防生锈。  5.可以用油石或金相砂纸轻轻擦拭有锈或...
2021 - 03 - 17
上一篇我们讲了,水环泵的结构和原理接下我们就来总结一下水环真空泵的优缺点。  一.水环真空泵的优点  1)结构简单,制造精度不高,易于加工。  2)结构紧凑,泵转数高,一般无需减速装置即可直接与电动机连接。因此,在框架尺寸小的情况下,可以获得大的排气量,并且占地面积也小。  3)压缩气体基本上是等温的,也就是说,压缩气体的温度变化很小。  4)由于在泵腔中没有金属摩擦表面,因此无需润滑泵,并且磨损很小。旋转部分和固定部分之间的密封可以直接通过水封完成。  5)吸力均匀,运行稳定可靠,操作简单,维修方便。  二.水环式真空泵的缺点  1)低效率,通常为30左右,最好达到50。  2)真空度低,这不仅是由于结构上的限制,而且更重要的是,它受到工作流体的饱和蒸气压的限制。  由于水环泵中的气体压缩是等温的,因此可以泵送易燃易爆气体。因为没有排气门,也没有摩擦表面,所以它可以抽出含尘气体,可冷凝气体和气水混合物。具有这些突出的特性,尽管效率低下,但仍被广泛使用。
2021 - 03 - 30
螺杆真空泵其独特的型线设计直接决定泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪声等优秀的技术性能指标,正因为如此,其在各种环境工艺中表现出极高的稳定性。  螺杆真空泵特征特点:  1. 结构简单紧凑:对旋向相反的螺杆、泵体、端盖、密封件等部件组成。  2. 干式运行,无需任何工作介质,因此无油污染,无污水排放,节能减排效果显著。  3. 抽气腔原件无摩擦:螺杆和泵体之间均有一定间隙。  4. 真空度高:单台螺杆真空泵可替代三级罗茨泵水环真空机组。  5. 噪音低:一般情况下为80分贝左右。  6. 适宜抽可凝性气体。  7. 从大气抽至极限压力5Pa,只要一台泵就能解决。  8. 干式运行,溶酶回收更容易。  9. 可与罗茨泵组成真空系统,获得更高的极限真空度和增大抽速。  10. 进气口标配单向截止阀,防止气体回流。  11. 出气口标配消音器,无需客户另外购买。  12. 独特的纳米渗透合金技术解决了传统特氟龙涂层容易脱落的情况,提高了泵的耐腐蚀性和运转的可靠性。  13、进气口配有在线吹扫装置,停机时可以对泵腔进行吹扫清洁。
2021 - 04 - 12
随着罗茨真空泵的使用变得越来越普遍。其独特的优势导致被广泛使用。为了让每个人都更好地使用它,让我们了解罗茨真空泵的转速过低有哪些问题?  罗茨真空泵在使用时通常运行速度过低。首先,这可能是由于人为因素造成的。最初的真空泵电机损坏了相当多的用户,并随机配备了另一台电机来驱动它。结果,后果是更少,几乎没有海拔或什至没有积水。机械故障本身,叶轮与泵轴之间的锁紧螺母松动或泵轴的变形和弯曲,导致叶轮过度位移,与泵体直接摩擦或轴承损坏,可能会降低罗茨真空的速度泵。  有许多大型的皮带传动偏心真空泵。由于长时间使用,传动皮带会磨损并变松,并且会打滑,从而降低了真空泵的速度。电动机由于绕组烧毁而失去磁化。接线方法的改变或维护中未能完全消除因素的失败也将导致罗茨真空泵的速度发生变化。两个皮带轮之间的中心距离太小或两个轴不太平行。传动带的紧侧安装在其上,从而导致缠绕角度太小。这将导致罗茨真空泵的速度发生变化。  以上是关于使罗茨真空泵的转速过低的问题。您可以理解,正确的操作方法可以在使用过程中取得良好的效果。如果您听不懂,可以致电咨询。将遵循您的建议真正的要求是为您提供合理的建议,以免在操作时遇到不必要的麻烦。
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 09 - 10
来源: 2214
在半导体封装与晶圆制造领域,日本KASHIYAMA(樫山/坚山)的干式真空泵(如螺杆泵、爪式泵)因极限真空度高、无油洁净,长期被用于CVD/PVD、刻蚀等核心高真空工艺。然而,针对晶圆搬运、抓取、切割、塑封等粗真空吸附工况,采用国产或优质合资的“水环式真空泵机组”进行替代,具有极其显著的技术与经济优势。以下是水环式真空泵机组替代日本坚山干式真空泵的核心优势解析:1. 采购与运维成本的大幅降低(极致...
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 267
1、罗茨真空泵使用必须配备前级泵,罗茨真空泵不可以单独使用。2、罗茨真空泵多用在罗茨真空机组中,它的作用是提高抽速和前级泵的真空度。罗茨真空泵在与前级泵连接的中配需配备旁通阀,这样可以有效的保护罗茨真空泵,如果前级泵的抽气不稳定或者其他因素导致整个机组的工作不正常带有旁通阀的罗茨真空泵此时会起到保护罗茨真空泵的作用,从而延长整个真空机组的寿命。深圳恒才生产的罗茨真空泵都配备有旁通阀,用户可以放心使用。3、在选择罗茨真空泵的时候需要注意的是罗茨真空泵的易损件密封方式是哪一种,深圳恒才生产的罗茨真空泵采用的都是机械密封的方式,这样可以有效的提高罗茨真空泵的工作效率,如果罗茨真空泵的密封方式选择轴套密封的话工作效率则会大大降低,在选择罗茨真空泵的时候需要特别注意。4、罗茨真空泵在使用过程中如果导致真空度降低,此时需要检查不可缺少的一点是罗茨真空泵转子之间的间隙是否有所变化,如果罗茨真空泵的转子间隙变大,则需要更换罗茨真空泵,因为此类罗茨真空泵在生产加工过程中没有对罗茨真空泵转子做静动平衡,或者是采用轴套密封的。
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 250
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 246
瓦斯事故是近几年煤矿行业中需要注意的重中之重,一次矿难就能搭上无辜的几十条人命。所以,煤矿行业的设备安全是断断不能忽视的,我国从20世纪50年代开始进行煤层气抽放,抽放量不断增加,基本达到煤矿安全的目的,控制了瓦斯事故的发生。采用水环式真空泵/压缩机抽放瓦斯有以下几种基本形式: 以采煤和抽放关系分:采前预抽,即对未开采煤层的煤层气抽放。因为矿区范围广,管线长,一般有几十公里。工作环境恶劣,所以要求水环式真空泵/压缩机抽气量大、真空度高、运行可靠。现在水环式真空泵/压缩机采用国际先进技术设计制造,气量可以达到500~70000m3/h,完全可以满足煤矿工业的需要。该抽放方法逐渐成为主流,该方法不但成为安全生产的保证,而且煤层气将成为新的清洁能源,对我国这样一个煤炭大国具有战略意义。边掘边抽、边采边抽,即正开采煤层过程的煤层气抽放。采后抽放,即报废矿井、采掘巷道煤层气抽放。 以抽放方式分:钻孔法抽放,对煤层钻孔、并且采用松动技术,增大煤层气的释放面积和通导,使煤层气快速释放。减少采掘过程中的释放量。这种方法效果好,而且煤层气的利用率高。一般采用水环式真空泵/压缩机来抽放。巷道法抽放,对采空巷道、采掘巷道进行瓦斯抽放,保证安全浓度。地面垂直井抽放;混合法抽放等。 以抽放目标层分:开采层抽放、邻近层抽放、采空区抽放等。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 351
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 282
冻干机中真空泵的真空排气量如何确定?下面小编带大家了解一下.(一)真空泵抽速的性能指标 冻干机真空系统从大气压抽到10Pa的时间不多于30min。 (二)真空泵选型原则 所选主真空泵的极限真空应比冻干箱要求的极限真空高1~2个数量级。医药冻干一般要求极限真空为1~5Pa,所选主真空泵极限真空应高于1X10-1~1X10-2Pa。旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、油增压泵均可。 冻干箱的工作真空度为4~4OPa,应在主真空泵最佳抽速压力范围内。 冻干机使用的真空泵还应可以抽除一些水蒸气,或者可适应被抽气体夹杂有水蒸气。 (三)抽气速率的计算 冻干机有预抽时间要求,对于冷阱和冻干箱共用一台制冷机时,这个时间要求很重要。满足不了时可能造成预冻制品融化。如果在真空冷凝器(冷阱)制冷的同时,冻干箱还能供冷保持低温,这一时间要求就不那么重要了。也就是说可以适当延长要求的时间,然这对冻干机的性能还是略有影响的。不同的行业需求的真空度不同,所以要选择合适的真空泵去满足生产中需要的真空度的要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 356
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 355
我公司生产销售的水环式真空泵在真空浓缩方面应用广泛,尤其是在制糖行业,以下针对制糖行业的具体应用,分析具体工艺流程:糖厂每加工1000公斤的甜菜,可得到约为125公斤的糖汁,含糖率一般为百分之十几。然后将糖汁放在蒸发罐内加热,浓缩成含有35%水分的糖浆。由于水分含量仍然很多,糖还不能结晶出来,这时要把糖浆放在真空罐中,再浓缩成含7~8%水分的精膏,于是糖从饱和溶液的糖膏中逐渐结晶析出。 因为糖浆的浓度很高,而使沸点提高了20,故糖浆的沸点为100+20=120。在这样高的温度下煮糖(浓缩的过程就是煮糖)将会引起糖分的焦化,而使损失增加。若在一定真空度下熬糖,就会使沸点大大降低。因此糖浆浓缩成搪膏,要在一定的真空度情况下进行。 开始由于水分大量存在,糖浆远没有达到饱和状态,故应在最大真空度下进行水分蒸发,所需真空度为-620~-640毫米汞柱,其沸点相应为68-70。溶液的浓度增加,沸点必然升高。随着糖浆的不断浓缩在同一真空度下糖浆的温度会逐渐升高至74~77。真空熬糖的第二阶段可在低的真空度下进行,所需真空度为-420~-460毫米汞柱,沸点约为93-94。选择正确的真空泵能够给企业提高生产效率,节约能源.合适的真空度能够让产品质量的得到保证.稳定的真空度能够减少下次产品的出现.在制糖行业来说,选择合适的水环式真空泵是十分必要的.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 338
对液态成品的精制过程,最后一步工艺往往是精馏。其目的主要为:保持产品的物理化学性质;产品的精制收率尽可能高;以产品为正馏份,除去作为溶剂的低沸部分和下脚料的高沸部分,从而达到产品质量指标。液态产品通常具有受热变质的热敏性,因此在较低温度下实现精制显得尤为重要。 同样地,从经济以及环境保护方面的考虑,对脱除的溶剂必须回收使用。液态产品的精制要求尽可能在高的真空度下进行,通常操作压力在10Pa以下(1个标准大气压为101325Pa)。满足此条件的配置有:滑阀真空泵、爪式泵两种单泵、罗茨真空机组。 (1)罗茨真空机组。 其运行功率相当高。对于前级泵达到相当于LH-70PH型爪式泵同样抽气量的机组,其机组配用功率为20Kw,对于日夜连续运行的真空产生装置来说,12.5Kw的差别,一年下来,意味着9万元的电费差距(以每年工作300个昼夜计。电费以1元/度计)。 (2)滑阀泵。 其必须有真空泵方能有效工作。当气体流经真空泵时,难免将真空泵油夹带出去。这就意味着不能直接套用所回收的溶剂,或者浪费掉并污染环境。此外,滑阀泵对操作维护要求较高,在寒冷季节,开关机稍有不慎,就非常容易损坏。 (3)爪式泵。 采用爪式泵,泵后的常压回收溶剂没有问题。另外,由于其本身结构较好、加工精良、附属装置齐全,一旦投入使用,其使用要求低、使用范围广、使用寿命长、清洗维护保养方便。当需要更高的真空时,其能作为前级泵方便地组成真空机组。 由此可见,在液态成品高真空精制的场合,爪式泵是一种相当合理的选配方案。
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 266
真空冷却对肉类保鲜的重要性不言而喻,下面我们就来了解一下吧.尤其在夏季,肉类产品的保鲜是一个非常困恼屠户的问题,本文着重讲真空冷却对肉类食品保鲜的具体方法,真空冷却是一种快速蒸发的冷却方法,它已经被广泛应用于去除花卉和果蔬内部的田间热,主要应用的真空泵是旋片式真空泵,真空度高会让肉类的保质期维持的更久!    以降低这些产品的温度和延长寿命。近几年来,食品安全问题,尤其是肉制品的安全问题已经越来越受到世界各国人们的重视。为了减少肉制品中的细菌繁殖和降低污染,必须使肉制品能够快速冷却。传统的冷却方法如风冷、水冷等方法的冷却时间比较长,需6~10小时左右,已经不能够满足产品的快速冷却。因此,真空冷却的应用就延伸食品工业中,并在熟肉以及肉制品的快速冷却中发挥了极大的作用。为了使熟肉能够快速冷却,国外许多学者从不同角度对熟肉的真空冷却进行了实验研究。目前,真空冷却在熟肉中的实验研究主要从影响真空冷却速率、质量损失的因素进行了研究,影响真空冷却速率和质徽损失的主要因素有:产品的密度、孔隙率、收缩率和水分含量。还有一些过程条件,如盐水注射量、是否翻转、样品粉碎和包装等也会对真空冷却速率和质量损失产生影响。今天我们了解了,旋片式真空泵用于真空冷却的应用,后面我们还会分享更多的应用,敬请关注.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 371
大家可能不知道真空应用中的前级真空泵是什么?小面小编就和大家一起了解一下.可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 前级真空泵概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以分为三种主要类型: (a)气体的输运是通过一级或多级压缩来实现。 (b)通过动量转移输运气体。 (c)气体吸附在低温表面上,而后再加热,再生出来。 机械真空泵是第一类泵的代表,而喷射泵和吸附泵是第二类泵和第三类泵的代表。工作压强区域 虽然各种类型的泵都能对大气排气,但它们的有效工作区城的变化取决于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高压缩比,机械间隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨胀或返流。没有密封液的泵很适于在大气压附近工作。由于压缩热难于散掉,一些干式机械泵,尤其罗茨泵和千式螺旋压缩机的低压强工作受到限制。这些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化铸铁以及高温下合成的材料,那么,由于这些材料的自润滑性能,可将干式旋片泵的工作区域延伸到150Torr,在同样的压强区域,也可以有效地利用液环泵、往复式活塞泵以及效率较低的喷射泵。若用双级液环泵、无阀多片泵、双级往复式活塞泵、液体喷射泵以及双级蒸汽喷射泵,甚至可将压强区域延伸至大约30Torr.当工作压强进一步降低时,比较简单的泵可能不再适用了,必须用多级旋转油封泵,并选择低蒸汽压的密封液。单级泵的有效工作压强区城主要是由于油污染影响,因而将其限制到0.lTorr。由于同样的影响,双级油封泵的低压工作限,稍低于10mTorr。约为1mTorr的油蒸气压弧使前级接双级油封泵(在有效抽速下)的罗茨泵不能在10-6Torr区域内工作。对低于1mTorr的抽气,用其他抽气设...
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