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2020 - 05 - 07
安装干式真空泵时,需要将电缆拉出,连接电缆时必须注意正确的方法,否则会极大地影响真空泵的正常使用。  1.当用聚酯绝缘带包裹时,确保压下第一圈的一半,包裹8-12层,然后再包裹它们。然后用胶带将两层包裹起来,以获得强度。  2.将干式真空泵电缆的铜芯从约30-35毫米长的地方取出,用砂布将铜线擦拭干净,将三芯电缆的铜线从30-35毫米长的地方取出,用砂布擦拭干净,将三芯电缆与外部电缆的铜线部分插在一起。然后,用薄铜将其紧密粘合,切掉剩余的部分,用剪刀压平,以防打结。  3.三根焊丝应分别用锡焊接。焊头表面应光滑,无毛刺和假焊。如果没有焊炬或焊炬不光滑,应重新焊接真空泵。直到请求达成。  4.用塑料带把三根电线包在一起。第一层在绝缘层末端大于50毫米。第二层在第一层的末端超过50毫米。  5.包装后,用一壶冷水将包装线安全浸泡在水中。12小时后,保温层不得小于50 MW 500表压。否则,应该在必要时重新包装。  6.干式真空泵的接地线也应按照海底电缆线路的技术要求进行包装。  7.真空泵连接时,不断观察绝缘电阻的变化,以防止电缆绝缘损坏。  干式真空泵的连接方式需要注意本文中提到的几点。连接必须安全有效。必须按照标准操作,以保持设备稳定运行,避免故障、烧坏电机和造成经济损失。
2020 - 05 - 11
大多数真空泵常见问题包括粘住和漏油。应该在发生之前采取预防措施。如果设备在使用过程中可以每天进行检查和维护,就可以避免泵中大部件的磨损和损坏。以下是老师傅对真空泵常规检查“四检”的介绍。  一,当真空泵正常运行和使用时,每三天检查以下内容:  1.泵油在光标范围内。  2.泵油是否变黄.变黑.浑浊。  3.是否有异常声音。  4.真空泵运行时是否漏油。  二,如果真空泵过滤金属网,应该每周打开一次,以清洁和过滤杂质。  1.过滤网不能过滤碎屑时,要更换过滤器.密封垫。  三.定期维护设备的维护说明:  泵运转不良时,必须通过油窗了解脏污程度和粘度,并及时更换泵油。泵油更换周期:每六个月更换一次油并清洗一次。泵油更换步骤如下:  1.打开泵的吸入管,5秒钟后开始运行。泵中剩余的泵油可以轻松清除。  2.首先拆下排气管,打开油阀,然后倒出泵油。  3.关闭放油阀,从加油口注入新的真空泵油。  4.如果泵油的污染很严重,必须添加一些新的泵油,通过几分钟的操作来清洗它,如果一次清洗不到位,必须反复清洗几次。  5.更换新泵油后,让泵启动并运行,然后在温度升高后确认真空极限压力。  6.维护期间应清洁滤网。  四.操作说明:  1.真空泵在长期运行过程中会产生高温(40 -80度)。因此,在运行或停止运行后,在电机和泵体冷却到正常温度之前,不能接触表面。  2.在工作紧急情况下,总电源关闭后...
2020 - 05 - 15
进口真空泵,凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。  (1)按真空泵的工作原理分类  ①抽除式,真空泵抽吸系统中的气体,并将气体分子排至系统之外。  ②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。  (2)按真空泵结构分类  ①机械式。这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵,它们都属于抽除式真空泵。  ②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式,还有将二者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。  ③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,属于捕集式真空泵。  (3)按真空泵在系统中的工作职能分类  ①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。  ②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时,需要预抽泵先抽至某一压力,主抽气泵方能进入工作。  ③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时,需串接前级泵排送。  ④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后,由于系统泄漏或表面蒸发等原因,压力可能升高,因此用维持泵继续抽吸。
2020 - 05 - 20
真空干燥箱适用于企业、大专院校、科研机构和其他实验室在真空条件下对物品进行浓缩、干燥和加热。该制品在真空干燥箱中真空加热。真空干燥箱具有以下优点:可以降低干燥温度,缩短干燥时间。(2)避免在正常条件下加热和氧化某些物品,避免通过加热空气来破坏灰尘颗粒和杀死生物细胞。  真空干燥箱中99%的问题是由真空泵引起的,因此有必要选择合适的真空泵。  样品分为低沸点和高沸点:  1.如果选择低沸点样品,可以选择耐腐蚀隔膜泵。它的干燥操作和耐化学腐蚀是很大的优势。因此,特别适用于一些化学物质的浓缩和干燥,尾气处理相对简单。  2.对于高沸点样品,可以选择旋转叶片式油封真空泵。如果更多的有机溶剂挥发,可以在真空干燥箱和泵之间加入冷肼,以冷凝和回收有机溶剂。  冷阱:  冷阱真空泵被连接并用于从潮湿空气或溶剂中捕获可冷凝蒸汽。真空冷阱可用于各种操作。常用的冷却剂是液氮和干冰。  超低温冷阱冷却系统:  用于真空干燥和真空蒸馏时保护真空泵,用于低温水浴或快速抑制酶反应,尤其用于需要低温的实验。它可以代替干冰用于实验室冷阱冷却,避免了使用干冰操作的麻烦。  有关注意事项  1.每次使用后,关闭电源,打开天平端口,打开真空度回零后的门。  2.在使用过程中,真空泵应遵循“先开后关”的原则,即真空泵应在工作时先打开。之后,真空阀打开,在工作完成之前,真空阀关闭,真空泵关闭,以防止真空泵油回吸。  3.取出...
2020 - 05 - 28
在钢铁厂的改造中,有许多设备是与开泵一起使用的。如何安装它们来配合开泵?现在我想谈谈水环真空泵在钢铁厂的配套安装。因为当水平开泵在抽吸模式下运行时,泵在运行之前需要填充介质,并且介质的填充通过真空泵的运行来完成。真空泵的质量由真空泵厂家决定。然而,对于已经购买的真空泵,我们只能保证其在安装和维护方面的良好运行。  因此,我们需要根据以下几点来维护真空泵。  1.在防锈保证期内安装泵时,无需拆卸和清洗。出现异常或超过防锈保证期时,应进行拆卸和清洗,并应符合以下要求:零部件的拆卸顺序应符合厂家的要求;零部件应无锈蚀。定期清洗合格后,其配合面应涂一薄层润滑油。应严格按照设备技术文件中规定的厚度和数量更换叶轮两端的垫片。  2.应根据厂家提供的安装说明进行泵的调平和对准。  3.汽水分离器的安装应符合下列要求:安装水平偏差不大于1/1000;与泵连接的管道不宜过长,法与兰的结合面应严密。汽水分离器的进水口应与外部供水管连接,其管道应保持畅通。  4.调试前,泵应满足以下要求:盘车灵活,无堵塞;真空调节阀应调节到适当的开度;泵填料箱处的冷却水管道应畅通;清水应注入泵体内,只有冲洗干净盘车装置后才能启动泵。  5.水环真空泵泵试运行时,应满足以下要求:泵应在规定的转速和工作范围内运行,连续试运行时间不少于30分钟;泵的供水应正常,水温和水压应符合厂家的要求。轴承温升不应高于30,其温度不应高于...
2020 - 06 - 03
真空泵保养的正确方法有哪些?很多人掌握不了正确的方法。今天我们就来介绍一下。       1.经常检查油位位置,不符合规定必须调整到符合要求。真空泵运行时,油位应以油标中心为准。  2.换油周期应由用户根据实际使用情况和是否满足性能要求自行决定。对于一般的新型真空泵,建议在清除干净和干燥的气体时,每100小时左右更换一次油。在油中看不到黑色金属粉末后,可以适当延长换油期。  3.经常检查油情况,发现油变质应及时更换新油,以保证真空泵的正常工作。  4.正常情况下,真空泵应在运行2000小时后进行大修,以检查橡胶密封的老化程度,检查排气阀片是否破裂,并清除沉积在阀片和排气阀座上的污垢。清洁真空泵室内的所有零件,如转子.转子.弹簧等。通常,它用汽油清洗并干燥。清洁橡胶部件后,用干布擦干。清洁和组装时,小心轻放,小心轻放,避免碰撞。  5.向轴承体添加轴承润滑油,观察油位应在油标中心线,润滑油应及时更换或补充。  6.检查真空泵管道和接头有无松动现象。用手转动真空泵,看看它是否灵活。  7.重新组装后,应进行试运行。一般情况下,应在无空气的情况下运行2小时,并应更换两次机油。因为在清洗过程中,真空泵中会残留一定量的挥发性物质,正常运行后应投入正常运行。  8.启动电机,当真空泵运行正常时,打开出口压力表和入口真空泵,根据显示的适当压力,逐渐打开闸阀...
2020 - 06 - 10
了解真空泵需要学习很多的知识,如何才能直接的看懂真空泵的原理呢?最简单的就是看真空泵动态原理图了。今天我们就来看一下水环式真空泵的动态原理图。  带有固定叶片的偏心转子安装在水环真空泵中。这是一个旋转可变容积真空泵,它将水(液体)抛向定子的墙壁。水(液体)形成与定子液环同心的液环,转子叶片一起形成可变容积。  水环真空泵(简称水环泵)是一种粗糙的真空泵。它能获得的极限真空度为2000 ~ 4000帕,由真空泵组成的机组真空度可达1 ~ 600帕。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2 105帕表压。  水环泵最初是作为自吸泵使用的,后来逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的快速发展,人们一直重视通过水环泵获取原始真空。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体可以去除,粉尘和含水气体也可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。
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发布时间: 2026 - 09 - 10
来源: 2213
在半导体封装与晶圆制造领域,日本KASHIYAMA(樫山/坚山)的干式真空泵(如螺杆泵、爪式泵)因极限真空度高、无油洁净,长期被用于CVD/PVD、刻蚀等核心高真空工艺。然而,针对晶圆搬运、抓取、切割、塑封等粗真空吸附工况,采用国产或优质合资的“水环式真空泵机组”进行替代,具有极其显著的技术与经济优势。以下是水环式真空泵机组替代日本坚山干式真空泵的核心优势解析:1. 采购与运维成本的大幅降低(极致...
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 266
1、罗茨真空泵使用必须配备前级泵,罗茨真空泵不可以单独使用。2、罗茨真空泵多用在罗茨真空机组中,它的作用是提高抽速和前级泵的真空度。罗茨真空泵在与前级泵连接的中配需配备旁通阀,这样可以有效的保护罗茨真空泵,如果前级泵的抽气不稳定或者其他因素导致整个机组的工作不正常带有旁通阀的罗茨真空泵此时会起到保护罗茨真空泵的作用,从而延长整个真空机组的寿命。深圳恒才生产的罗茨真空泵都配备有旁通阀,用户可以放心使用。3、在选择罗茨真空泵的时候需要注意的是罗茨真空泵的易损件密封方式是哪一种,深圳恒才生产的罗茨真空泵采用的都是机械密封的方式,这样可以有效的提高罗茨真空泵的工作效率,如果罗茨真空泵的密封方式选择轴套密封的话工作效率则会大大降低,在选择罗茨真空泵的时候需要特别注意。4、罗茨真空泵在使用过程中如果导致真空度降低,此时需要检查不可缺少的一点是罗茨真空泵转子之间的间隙是否有所变化,如果罗茨真空泵的转子间隙变大,则需要更换罗茨真空泵,因为此类罗茨真空泵在生产加工过程中没有对罗茨真空泵转子做静动平衡,或者是采用轴套密封的。
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 250
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 246
瓦斯事故是近几年煤矿行业中需要注意的重中之重,一次矿难就能搭上无辜的几十条人命。所以,煤矿行业的设备安全是断断不能忽视的,我国从20世纪50年代开始进行煤层气抽放,抽放量不断增加,基本达到煤矿安全的目的,控制了瓦斯事故的发生。采用水环式真空泵/压缩机抽放瓦斯有以下几种基本形式: 以采煤和抽放关系分:采前预抽,即对未开采煤层的煤层气抽放。因为矿区范围广,管线长,一般有几十公里。工作环境恶劣,所以要求水环式真空泵/压缩机抽气量大、真空度高、运行可靠。现在水环式真空泵/压缩机采用国际先进技术设计制造,气量可以达到500~70000m3/h,完全可以满足煤矿工业的需要。该抽放方法逐渐成为主流,该方法不但成为安全生产的保证,而且煤层气将成为新的清洁能源,对我国这样一个煤炭大国具有战略意义。边掘边抽、边采边抽,即正开采煤层过程的煤层气抽放。采后抽放,即报废矿井、采掘巷道煤层气抽放。 以抽放方式分:钻孔法抽放,对煤层钻孔、并且采用松动技术,增大煤层气的释放面积和通导,使煤层气快速释放。减少采掘过程中的释放量。这种方法效果好,而且煤层气的利用率高。一般采用水环式真空泵/压缩机来抽放。巷道法抽放,对采空巷道、采掘巷道进行瓦斯抽放,保证安全浓度。地面垂直井抽放;混合法抽放等。 以抽放目标层分:开采层抽放、邻近层抽放、采空区抽放等。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 348
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 282
冻干机中真空泵的真空排气量如何确定?下面小编带大家了解一下.(一)真空泵抽速的性能指标 冻干机真空系统从大气压抽到10Pa的时间不多于30min。 (二)真空泵选型原则 所选主真空泵的极限真空应比冻干箱要求的极限真空高1~2个数量级。医药冻干一般要求极限真空为1~5Pa,所选主真空泵极限真空应高于1X10-1~1X10-2Pa。旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、油增压泵均可。 冻干箱的工作真空度为4~4OPa,应在主真空泵最佳抽速压力范围内。 冻干机使用的真空泵还应可以抽除一些水蒸气,或者可适应被抽气体夹杂有水蒸气。 (三)抽气速率的计算 冻干机有预抽时间要求,对于冷阱和冻干箱共用一台制冷机时,这个时间要求很重要。满足不了时可能造成预冻制品融化。如果在真空冷凝器(冷阱)制冷的同时,冻干箱还能供冷保持低温,这一时间要求就不那么重要了。也就是说可以适当延长要求的时间,然这对冻干机的性能还是略有影响的。不同的行业需求的真空度不同,所以要选择合适的真空泵去满足生产中需要的真空度的要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 356
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 354
我公司生产销售的水环式真空泵在真空浓缩方面应用广泛,尤其是在制糖行业,以下针对制糖行业的具体应用,分析具体工艺流程:糖厂每加工1000公斤的甜菜,可得到约为125公斤的糖汁,含糖率一般为百分之十几。然后将糖汁放在蒸发罐内加热,浓缩成含有35%水分的糖浆。由于水分含量仍然很多,糖还不能结晶出来,这时要把糖浆放在真空罐中,再浓缩成含7~8%水分的精膏,于是糖从饱和溶液的糖膏中逐渐结晶析出。 因为糖浆的浓度很高,而使沸点提高了20,故糖浆的沸点为100+20=120。在这样高的温度下煮糖(浓缩的过程就是煮糖)将会引起糖分的焦化,而使损失增加。若在一定真空度下熬糖,就会使沸点大大降低。因此糖浆浓缩成搪膏,要在一定的真空度情况下进行。 开始由于水分大量存在,糖浆远没有达到饱和状态,故应在最大真空度下进行水分蒸发,所需真空度为-620~-640毫米汞柱,其沸点相应为68-70。溶液的浓度增加,沸点必然升高。随着糖浆的不断浓缩在同一真空度下糖浆的温度会逐渐升高至74~77。真空熬糖的第二阶段可在低的真空度下进行,所需真空度为-420~-460毫米汞柱,沸点约为93-94。选择正确的真空泵能够给企业提高生产效率,节约能源.合适的真空度能够让产品质量的得到保证.稳定的真空度能够减少下次产品的出现.在制糖行业来说,选择合适的水环式真空泵是十分必要的.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 338
对液态成品的精制过程,最后一步工艺往往是精馏。其目的主要为:保持产品的物理化学性质;产品的精制收率尽可能高;以产品为正馏份,除去作为溶剂的低沸部分和下脚料的高沸部分,从而达到产品质量指标。液态产品通常具有受热变质的热敏性,因此在较低温度下实现精制显得尤为重要。 同样地,从经济以及环境保护方面的考虑,对脱除的溶剂必须回收使用。液态产品的精制要求尽可能在高的真空度下进行,通常操作压力在10Pa以下(1个标准大气压为101325Pa)。满足此条件的配置有:滑阀真空泵、爪式泵两种单泵、罗茨真空机组。 (1)罗茨真空机组。 其运行功率相当高。对于前级泵达到相当于LH-70PH型爪式泵同样抽气量的机组,其机组配用功率为20Kw,对于日夜连续运行的真空产生装置来说,12.5Kw的差别,一年下来,意味着9万元的电费差距(以每年工作300个昼夜计。电费以1元/度计)。 (2)滑阀泵。 其必须有真空泵方能有效工作。当气体流经真空泵时,难免将真空泵油夹带出去。这就意味着不能直接套用所回收的溶剂,或者浪费掉并污染环境。此外,滑阀泵对操作维护要求较高,在寒冷季节,开关机稍有不慎,就非常容易损坏。 (3)爪式泵。 采用爪式泵,泵后的常压回收溶剂没有问题。另外,由于其本身结构较好、加工精良、附属装置齐全,一旦投入使用,其使用要求低、使用范围广、使用寿命长、清洗维护保养方便。当需要更高的真空时,其能作为前级泵方便地组成真空机组。 由此可见,在液态成品高真空精制的场合,爪式泵是一种相当合理的选配方案。
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 265
真空冷却对肉类保鲜的重要性不言而喻,下面我们就来了解一下吧.尤其在夏季,肉类产品的保鲜是一个非常困恼屠户的问题,本文着重讲真空冷却对肉类食品保鲜的具体方法,真空冷却是一种快速蒸发的冷却方法,它已经被广泛应用于去除花卉和果蔬内部的田间热,主要应用的真空泵是旋片式真空泵,真空度高会让肉类的保质期维持的更久!    以降低这些产品的温度和延长寿命。近几年来,食品安全问题,尤其是肉制品的安全问题已经越来越受到世界各国人们的重视。为了减少肉制品中的细菌繁殖和降低污染,必须使肉制品能够快速冷却。传统的冷却方法如风冷、水冷等方法的冷却时间比较长,需6~10小时左右,已经不能够满足产品的快速冷却。因此,真空冷却的应用就延伸食品工业中,并在熟肉以及肉制品的快速冷却中发挥了极大的作用。为了使熟肉能够快速冷却,国外许多学者从不同角度对熟肉的真空冷却进行了实验研究。目前,真空冷却在熟肉中的实验研究主要从影响真空冷却速率、质量损失的因素进行了研究,影响真空冷却速率和质徽损失的主要因素有:产品的密度、孔隙率、收缩率和水分含量。还有一些过程条件,如盐水注射量、是否翻转、样品粉碎和包装等也会对真空冷却速率和质量损失产生影响。今天我们了解了,旋片式真空泵用于真空冷却的应用,后面我们还会分享更多的应用,敬请关注.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 370
大家可能不知道真空应用中的前级真空泵是什么?小面小编就和大家一起了解一下.可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 前级真空泵概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以分为三种主要类型: (a)气体的输运是通过一级或多级压缩来实现。 (b)通过动量转移输运气体。 (c)气体吸附在低温表面上,而后再加热,再生出来。 机械真空泵是第一类泵的代表,而喷射泵和吸附泵是第二类泵和第三类泵的代表。工作压强区域 虽然各种类型的泵都能对大气排气,但它们的有效工作区城的变化取决于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高压缩比,机械间隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨胀或返流。没有密封液的泵很适于在大气压附近工作。由于压缩热难于散掉,一些干式机械泵,尤其罗茨泵和千式螺旋压缩机的低压强工作受到限制。这些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化铸铁以及高温下合成的材料,那么,由于这些材料的自润滑性能,可将干式旋片泵的工作区域延伸到150Torr,在同样的压强区域,也可以有效地利用液环泵、往复式活塞泵以及效率较低的喷射泵。若用双级液环泵、无阀多片泵、双级往复式活塞泵、液体喷射泵以及双级蒸汽喷射泵,甚至可将压强区域延伸至大约30Torr.当工作压强进一步降低时,比较简单的泵可能不再适用了,必须用多级旋转油封泵,并选择低蒸汽压的密封液。单级泵的有效工作压强区城主要是由于油污染影响,因而将其限制到0.lTorr。由于同样的影响,双级油封泵的低压工作限,稍低于10mTorr。约为1mTorr的油蒸气压弧使前级接双级油封泵(在有效抽速下)的罗茨泵不能在10-6Torr区域内工作。对低于1mTorr的抽气,用其他抽气设...
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