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2020 - 07 - 21
使用中的各种旋片真空泵所需的流量扬程与其选型设计的参数相差太多。例如,使用低扬程和高扬程将导致功耗增加,或者在用水高峰时选择旋片真空泵流量,如果在用水高峰时不采取相应的变频措施,将会损失大量电能。  叶轮的切割,泵站规划设计中旋片真空泵的额定扬程值,由于情况的一些变化,往往与扬程供水厂的实际情况不一致。旋片真空泵的叶轮切割是解决旋片真空泵的类型和品种与供水对象要求多样性之间矛盾的一种选择方法。它扩大了水环真空泵旋片真空泵的应用范围,通过切割叶轮来调整旋片真空泵的工作特性,使其工作在合理的范围内。  旋片真空泵的调速,为了保证旋片真空泵在高效区的运行,保证旋片真空泵节能的措施之一。为了适应不同的工作条件,改变旋片真空泵的性能曲线,除了叶轮切割外,调速也是一种常用的方法。  减少旋片真空泵本身的机械损失,如轴封与轴承的摩擦损失,应采用注射式软密封垫片,并应注意减少旋片真空泵的传动损失。此外,科学和经济的管理将提旋片真空泵高前池的水位。注意高峰期产水与供水的平衡,及时对泵房机组进行综合分析,优化组合,使旋片真空泵机组在最佳运行点运行。  旋片真空泵大部分时间用作油封泵。在使用过程中,一些油和气体将与泵送的气体一起排出,导致喷油。因此,旋片真空泵通常在出口处装有油气分离装置。用户如何确定设备的喷油是否正常?  首先,我们需要确保旋片真空泵的油位符合规格要求,并在极限压力下运行真空泵,保持泵...
2020 - 07 - 24
干式真空泵在一个特殊的行业中应用广泛,为了配合行业的使用,方便用户的选择,厂家分为多种,主要有以下形式。  双圆裂片式真空泵  双圆裂片式真空泵的修订与目前最流行、应用最广泛的罗茨泵很相似。 实际上,一些最初的干泵设置修正思想是把罗茨泵重叠起来。 这样的多级修订使瓦斯气体通路变得相当复杂,各级需要大的流量氮瓦斯气体发挥稀释和隔离的作用。 此外,为了达到良好的真空度,对各级的间隙要求非常严格。 当然,该设置修订会增加内部压缩比,因此电功耗相对较低。  三叶圆裂片式真空泵  三叶裂片式真空泵设置修订和双圆裂片式设置修订的原理完全相同,只是在一周的时间里把瓦斯气体分成三个,而不是像双圆裂片式那样分成两个。 这两种设计有相同的优点和缺点。 为了进一步降低电功耗,根据传动部的制造商选择了2个直流马达,但这也会导致扭矩的减少,重启的能力下降。 与双圆裂片式设定订正同样,三叶圆裂片式设定订正的各段为了发挥稀释和隔离的作用,需要较大的流量氮瓦斯气体。  组合式(罗茨+爪)真空泵  组合式(罗茨+爪)的设定改正是罗茨提高低压下的抽气效率,爪提高高压下的抽气效率。 其基本原理和瓦斯气体通道与先前介绍的圆裂片式设置修订完全相同。 有些厂家将其最终段改为星形设置订正,一转即可将气体分为五个,如三圆裂片式设置订正可分为三个。 类似地,在许多处理中,在组合设置修订的每级中,大流量氮瓦斯气体需要用作稀释和隔离。...
2020 - 07 - 29
真空搬运是以真空泵为真空动力源来吸附玻璃、金属板材搬运的物流输送方式。  真空系统搬运采用合理化、人性化的生产方法、简单有效的工业行为工作搬运。 节约投资和工效学的集合体。 在吊起和搬运的过程中可以有效地避免对人造成损伤。 真空搬运系统节省时间,提高生产效率,真空搬运系统真的安全方便快捷。  现在制造企业的很多工件是大型设备,重量从数百斤达到吨,采用真空搬运设备可以减少人力,避免人造的伤害,同时为了保证产品品质,也可以降低损伤对象物的概率。 也就是说,人工自动化是必然的趋势。 真空搬运逐渐取代人力搬运。  真空搬运系统及真空夹具系统,重点应用于包装、金属板材、汽车、化工和木材等领域。  真空搬运的优点:  不损伤表面,减少损失。  搬运速度快效率好  使用保密工作  省力,降低人员搬运的强度  真空搬运吊具(电动葫芦起重机)设备对真空泵系统的要求:  作为动力源,要求真空具有稳定性  真空泵经久耐用,可靠性高,尤其是电子、替代能源等贵重物品搬运应用行业  维护成本低  在阿特拉斯螺杆真空泵对真空吸附搬运的应用中,如何知道真空吸盘会产生何种程度的吸附力?  真空吸附力的大小的估计主要依据XZM语料压力式,即F=PS。 在真空吸附应用中,修正计算方法调整得很小,如下所示  F≈(101-P绝对压力)×S吸盘面积×10-2  式中,f理论上为真空吸盘吸附力的大小,单位...
2020 - 08 - 05
干式真空泵是未来行业的发展趋势。虽然现在用得不多,但除了价格高之外,也有用户对干式真空泵不太了解,看不到未来给企业带来的经济效益。小编认为干式真空泵的维护重点在于如何优化干式真空泵的选择。  对于这些不同类型的干式真空泵,我们渴望减小它们的物理尺寸。但这与真空泵的抽吸速率相矛盾,因为真空泵的抽吸速率与真空泵的体积成正比,并且小的物理尺寸意味着小的体积。当然,还有另一个影响真空泵抽速的重要因素,即转速。为了使小型真空泵的抽速与大型真空泵的抽速相匹配,有必要提高其转速。改变真空泵的转速有两种方法,一种是改变电源的频率,即使用变频器;二是改变变速箱的传动比。其中,采用变频器的优点是可以提供闭环控制,但在重载下容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单速。  现在,我们可以看到有这么多不同设计的干式真空泵,每一个都有自己的特点,优点和缺点。长期以来,使用成本是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户意识到真空泵运行的稳定性也应该考虑在内。因为真空泵的意外错误会降低机器的效率,影响晶圆的生产和交付时间,甚至会造成加工后的晶圆报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆设计是单级设计,与多级泵如叶片泵、爪式泵和组合泵相比,使用的零件数量减少了60%。这使得它在未来的稳定性和维护成本方面具有很大的优势。  总之,如果用户认为功耗对他来说很重要,但氮气...
2020 - 08 - 13
对真空泵的功能有很大影响的主要是:内的泄漏、蒸汽、冷凝水的影响、真空泵的布局和环境等,详细看看吧。  1、内部泄漏  真空泵的喷嘴由两个部分组成,这两个部分由法兰连接,对于连接法兰的泵内的真空泵,如果连接部位由于密封等原因产生蒸汽泄漏,则会影响真空泵的功能。  2 .冷凝水  冷凝水在多级真空泵中有着不重要的位置,为了包管冷凝水可以凝结蒸汽,真空泵排放压力中的水蒸气分压必须高于其相应的蒸汽压,冷凝水的温度也低于该压力下的充实温度,泵体可以正常工作。 另外,冷凝器的冷凝功率也非常重要,冷凝器的冷凝作用差,蒸汽不能赶上冷凝,直接进入成为下一级泵,增大下一级泵的负荷,影响泵的抽气能力。 因此,冷凝水的入口温度、流量和冷凝器的运行状况对泵的功能有很大影响。  3、蒸汽  蒸汽喷出真空泵以过充实水蒸汽为工作介质,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。 湿蒸汽不仅影响泵的功能,还腐蚀蒸汽喷嘴,增加泵的蒸汽使用量,使泵的工作状况不稳定。  4 .泵体布局对于单级真空泵,磨损简单的地方是蒸汽喷嘴,喷嘴磨损后,不仅影响泵的功能,而且增加了系统的运行资本。  五、环境  环境的影响主要是抽出气体对系统的污染,在钢水处理中钢水释放出大量的气体,一部分微细的氧化粉皮等小粒子被真空泵吸入,这些小粒子堆积附着在泵体上,减少抽出管路的流导,延长抽出时机,抽出泵  在选择真空泵时,通知您应该考虑以下4点  第一,需...
2020 - 08 - 21
对水环真空泵的选择方法进行了详细说明,选择水环真空泵时应注意哪些问题。  一、水环真空泵的类型主要取决于工作所需的空气量、真空度或排气压力。 泵工作时,需要注意以下两点。  1 .要求尽可能在高效区内,即临界真空度或临界排气压力区内运行。  2 .请避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。 在这个区域内开车不仅效率非常低,而且动作不稳定,容易发生振动和噪音。 在真空度高的真空泵中,在该区域内运转时,多发生气蚀现象,发生该现象的明显标识是泵内有噪音和振动。 汽蚀会导致泵体、叶轮等部件损坏,使泵无法工作。  根据以上原则,当泵所需的真空度和气体压力不高时,可以从单级泵中优先选择。 如果真空度和排气压力高,则可以选择单级泵不能满足的情况较多,或者即使是高真空度也要求大气量,即要求在高真空度下性能曲线平坦的两级泵。 真空度需要-710mmHg以上时,抽真空装置可选择水环-大气泵或水环罗茨真空单元。  在仅用于真空泵的情况下,最好使用单动泵。 单作用泵结构简单,制造和维护方便,并且在高真空下的耐气蚀性好。 仅作为大气量较大的压缩机使用时,选择双作用的泵比较合适。 双作用泵空气量大,体积小,重量轻,径向力自动平衡,轴不易产生疲劳破坏,泵寿命长。  二、根据系统需要的空气量选择真空泵  预先选择泵的类型后,对于真空泵,根据系统所需的空气量选择泵的类型。 关于真空泵抽气速度的选择和抽气时间的修正,...
2020 - 08 - 28
旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325 ~ 1.33 10-2(帕),属于粗真空泵。它可以单独使用或作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药等生产和科研部门。  旋片泵可以泵出密封容器中的干燥气体,如果装有气体镇流装置,还可以泵出一定量的可冷凝气体。然而,它不适合抽出含有太多氧气、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应并含有颗粒灰尘的气体。  旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵大多是中小型泵。旋片泵有两种类型:单级和双级。所谓两级泵是将两个单级泵串联在一起的结构。一般来说,它分为两个阶段,以获得更高的真空度。旋片泵的泵送速度与入口压力的关系如下:在入口压力为1333帕、1.33帕和1.33 10-1(帕)时,泵送速度应分别不低于泵标称泵送速度的95%、50%和20%。  旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的空腔中。转子的外圆与泵腔的内表面相切(两者之间有一个小间隙),两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当旋转时,离心力和弹簧的张力保持旋片的顶端与泵室的内壁接触,并且转子旋转以驱动旋片沿着泵室的内壁滑动。  由转子、泵室和两个端盖围成的月牙形空间分为三个部分:A、B和C。当转子沿箭头方向转动时,与吸入口连通的空间A的容积逐渐增大,并处于吸入过程中。...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 05 - 09
来源: 8754
德国Speck品牌磁力泵在液冷服务器中应用具有无泄漏风险、耐高温高压、高效节能、耐腐蚀性强、低维护需求、运行稳定可靠、设计紧凑灵活等核心优势,具体分析如下:无泄漏风险,保障数据安全磁力驱动技术:Speck磁力泵采用磁力驱动技术,通过外部磁铁与内部转子的无接触传动实现液体输送,彻底消除了传统机械密封泵因轴封磨损或老化导致的泄漏风险。数据安全保障:在液冷服务器中,冷却液泄漏可能导致电路短路、设备损坏甚...
发布时间: 2018 - 11 - 30
来源: 141
德国SPECK品牌公司于2018年度年终大盘点于12月18日开始,因涉及公司年度审计等工作,于12月18日起停止发货,深圳恒才机电作为SPECK的华南代理商将与此同步,若有特别需求请各位新老客户尽早联络,谢谢!
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 157
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 195
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 144
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 157
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 382
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 152
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 248
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 235
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
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