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2022 - 11 - 14
螺杆真空泵与爪形真空泵的相同点和不同点分别是哪些?螺杆真空泵与爪形真空泵共同点两者同为干式真空泵,具备干式真空泵的共同优点;对被抽系统无污染,可获得洁净真空泵腔内无油,非常容易实现对溶剂的回收;结构紧凑,占地面积小。单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力,工作范围较宽;因工作过程中无废油、废水的排放,对环境无污染;对冷却水的要求较低,对于泵的冷却,普通的循环水即可满足要求,且冷却水量较小,根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组,可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。螺杆真空泵与爪形真空泵不同点因爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;而螺杆真空泵仅需严格控制定位端的一个端面间隙,及转子间的先对间隙即可,对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定,检修更方便。爪型真空泵排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体;螺杆真空泵因其排气通道简单,进入泵内的液体可迅速排出,且轴功率无明显增加。因爪形真空泵为多级串联结构,上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道,该内部...
2022 - 12 - 29
深圳恒才机电设备有限公司专注于真空领域,为客户提供真空改造方案、真空系统、真空泵等服务,而这套用于水利行业的真空引水装置,是新的真空改造设备。用于水利行业的真空引水机组是由三台德国SPECK水环真空泵、水气分离器及PLC电控箱主要部件组成,其中水环真空泵为两用一备设计,引水真空机组的吸气量为 370m3/h,功率18KW。水利真空引水机组工作原理:(1)真空引水装置启动前关闭水泵出口电动阀,给气水分离器内供清水,打开分离器与真空系泵之间供水阀门,选择真空泵并启动;(2)需启动泵及吸入管路内的气体经过阀门、管路及真空泵排至大气;(3)当系统检测到水泵进水管内形成真空,充满水时,则停真空泵,给出启动水泵信号;(4)前置汽水分离器的作用是防止泵壳内水进入真空泵,前置汽水分离器内水位达到预先设定的水位时,系统自动开启排水系统,把水封罐内水放干净;(5)PLC控制,主要元器件进口品牌,提供真空机组运行、停 止、工作 完成及故障状态等远程干接点信号。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2023 - 04 - 12
化工、制药、食品工厂都在用的真空设备--引水真空装置,可用于引水、排水、污水处理工艺。本文的真空引水装置用于食品工厂污水处理环节,恒才机电会根据用户的行业产品应用、真空需求、实际引水要求进行设计真空解决方案,提供专业的真空装置设备,以更好的实现效果。根据应用场景及真空需求不同,深圳恒才机电可制定真空解决方案,为客户定制了引水排水真空泵系统,应用于食品工厂污水处理环节。真空引水装置是采用多台水环真空泵、变频控制柜、不锈钢大水箱等主要部件组成。下述为恒才机电的真空引水装置应用特点:司倍克上偏心水环真空泵,具有节能、省电、耐用、耐腐蚀的等特点;不锈钢大水箱起到降低温度的主要作用,从而更节能省电;日化、石化、涂料、制药、食品行业排水、污水处理等环节,均可使用恒才的真空解决方案、引水真空装置。 深圳恒才机电设备有限公司,为客户提供综合性真空解决方案,提供专业的真空装置,从真空方案设计到真空系统安装、维护、维修等一站式服务。
2024 - 03 - 07
客户的PCB厂原先采用的是一台压机搭配一台2.2kW旋片式真空泵的配置。然而,客户反映了一系列问题,包括真空度不足、漏油现象严重以及泵的噪音高达92分贝。这些问题不仅增加了每台压机每月高达1200元的维护成本,还对环境造成了严重的污染,进而影响了产品的品质。为了解决这些问题,我们提出了集中抽真空的解决方案。通过这一方案,真空度得到了显著的提升,使得生产过程中的稳定性和效率都得到了极大的改善。同时,噪音问题也得到了有效的控制,降低至50-64分贝,极大地改善了工作环境和员工的舒适度。更重要的是,集中抽真空方案彻底解决了漏油问题,实现了无油不堵塞的运行状态。这不仅大幅减少了真空泵的数量,还大大降低了维护成本。客户反馈,采用新方案后,每台压机的维护成本得到了显著的下降,为企业的持续发展和成本控制提供了有力的支持。总之,通过采用集中抽真空的解决方案,我们不仅解决了客户面临的真空度低、漏油严重、噪音大以及环境污染等问题,还实现了真空泵数量的减少和维护成本的降低。这一方案的实施,不仅提升了产品品质和生产效率,还为客户的PCB厂带来了更为清洁、高效和经济的运行环境。
2024 - 06 - 01
在CNC加工领域,真空发生器是一种不可或缺的重要设备,广泛应用于各种加工场景。本文将详细探讨CNC加工中真空发生器的应用情况,包括其原理、优势以及在CNC加工中的实际应用案例。首先,我们来了解真空发生器的工作原理。真空发生器是利用正压气源产生负压的一种高效、清洁、经济的真空元器件。它通过拉瓦尔喷管原理,利用一部分正压做功产生气压,从而满足在气动系统中同时需要正负压的场合。这种原理使得真空发生器在有压缩空气的地方容易获取负压,因此在工业自动化中得到了广泛应用。CNC加工中,真空发生器主要用于吸附工件和废料。在加工过程中,工件需要被稳定地固定在加工台上,以防止因振动或移动导致加工精度下降。真空发生器通过产生负压,将工件牢固地吸附在加工台上,保证了加工的稳定性和精度。同时,在加工过程中产生的废料也需要及时清理,以避免对加工工具和机床造成损坏。真空发生器能够将废料牢固地吸附在吸盘上,提高了清理的效率和安全性。真空发生器在CNC加工中的优势主要体现在以下几个方面:首先,真空发生器具有高效性。它能够快速产生稳定的负压,使工件牢固地固定在加工台上,提高了加工效率。同时,由于真空发生器采用电力驱动,相比传统的气动系统,具有更高的能量转换效率和更低的能源消耗。其次,真空发生器具有清洁性。它不会产生废气和噪声,对环境的影响非常小。在CNC加工中,保持加工环境的清洁对于提高加工质量和延长设备寿命至关重要...
2024 - 07 - 28
深圳恒才speck水环真空泵应用特点是什么?司倍克水环真空泵,作为全球知名的泵类产品制造企业SPECK的核心产品之一,自诞生以来就凭借其卓越的性能和广泛的应用领域,成为了工业界的佼佼者。这种水环真空泵不仅具有高效、稳定的性能,而且在实际应用中展现出了多种独特的特点,使其在多个行业领域中都受到了广泛的青睐。司倍克水环真空泵首先,深圳恒才机电司倍克水环真空泵的设计独特,采用了叶轮上偏心设计的创新技术。这种设计使得泵在运行过程中,水的循环利用和压缩更加高效,从而形成了更高的真空度。这种高真空度不仅使得泵在抽吸、输送、净化等方面具有更强的能力,而且能够处理干燥和潮湿的气体,甚至能够处理高达80°C的工作液体和高达120°C的吸收气体。这种广泛的适应性,使得司倍克水环真空泵在化工、制药、电子电池等多个行业中都能发挥重要作用。其次,深圳恒才机电司倍克水环真空泵在运行时具有低噪音、低水耗的特点。其低噪音的设计,使得泵在运行过程中噪音只有65分贝左右,极大地降低了对工作环境的影响,提高了工作人员的工作舒适度。而低水耗的特点,则使得泵在运行过程中只需非常低的水耗,仅为0.6升/分钟,这不仅降低了运行成本,而且符合了环保节能的要求。speck水环真空泵此外,司倍克水环真空泵还具有耐腐蚀、耐磨损的特点。其泵体和叶轮等主要部件采用了不锈钢、铸铁和有色金属等耐腐蚀材料制成,使得泵在长期使...
2024 - 09 - 23
司倍克水环真空机组采用SPECK V255水环泵,在医药领域的过滤、干燥、提纯等关键工艺中展现出了卓越的性能和广泛的应用价值。其高效、稳定、环保的特点不仅满足了现代制药对生产效率和产品质量的高要求,还符合绿色生产的发展趋势。医药制药真空泵应用的两大工艺:过滤工艺在制药行业,过滤、提纯是常见真空工艺,去除液体中杂质、分离固液混合物的重要步骤。司倍克水环真空机组在过滤工艺中的应用,能够有效提高过滤效率,减少滤饼残留,保证产品质量。在制药行业的原料药生产中,采用司倍克水环真空机组进行真空过滤,可以确保药品的纯度和安全性,满足严格的药品生产质量管理规范(GMP)要求。干燥工艺干燥是化工与医药生产中不可或缺的环节,对于提高产品质量、延长产品保质期具有重要意义。司倍克水环真空机组在干燥工艺中的应用,能够创造低温低压的干燥环境,有效防止物料在高温下发生氧化、变质等不良反应。在医药行业中,对于热敏性药物和生物制品的干燥处理,司倍克水环真空机组更是不可或缺的设备。通过精确的真空度控制和温度调节,可以实现物料的温和干燥,保证产品的活性和稳定性。随着技术的不断进步和应用领域的不断拓展,SPECK司倍克水环真空机组必将在更多领域展现出其独特的魅力与优势,为化工与医药行业的发展贡献更大的力量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维...
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发布时间: 2026 - 05 - 09
来源: 1293
PCB行业正经历从规模扩张向技术驱动的转型,压合工艺作为核心环节,其真空泵系统的效率直接决定产品竞争力。深圳恒才压合工艺中央真空泵系统,通过集中式架构与六大技术创新,为行业提供了一条降本增效的清晰路径。一、集中式架构:破解分散式系统的能耗困局传统分散式真空泵需为每台压机独立配置,设备数量多导致初始投资高,且各泵体独立运行难以协调,存在“大马拉小车”的能耗浪费。深圳恒才系统采用“中央主机+分布式管道...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 141
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 157
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 381
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 150
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 243
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 233
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
发布时间: 2018 - 10 - 26
来源: 235
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。      2.罗茨真...
发布时间: 2018 - 10 - 24
来源: 548
旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵,主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。旋片泵有单级和双级两种,双级就是在结构上将两个单级泵串联起来,一般多做成双级的,以获得较高的真空度。。旋片式真空泵工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵,旋片式真空泵可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵,它被广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等行业和科研部门。阿特拉斯双级旋片泵:使用旋片式真空泵的十个知识点:1、使用旋片式真空泵前,保证泵的清洁,防止杂物进入泵内。查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起封油作用,影响真空度。过高,会引起通大气启动时喷油。运转时,油位有所升高,属于正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油,从注油孔加入。加油完毕后,应旋上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔,加油按油标指示刻度加入真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸气管与大气相通,而与被抽空容器隔绝,打开排气口。2、环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。3、旋片真空泵不应用来抽除含氧量过高、有爆炸性以及对金属有腐蚀的气体。另外,也不宜吸入能与泵油起反应的气体和含有大量水蒸气的气体等4、旋片真空泵可在通大气或任何真空度下一次启动,泵口如装接电磁阀,应与泵同时操作。5、旋片真空泵运转正常后.缓慢旋转三通阀,使泵的吸气管与被抽空容器相通而与大气隔绝。6、用手转动皮带轮,检查运转情况,无异常情况后,再接通电源,注意转动方向。7、使用一段时间后,皮带变得松弛,要进行电机位置的调整。注意补充泵油,发现泵油内混有杂物或水时,要更换新油,清洗泵体,不准用乙酸乙酣、丙酮等挥发性的液体清洗泵体。8、检查大连真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽效验,泵温达到...
发布时间: 2018 - 10 - 23
来源: 222
印刷行业用GHS1600VSD+螺杆真空泵和ZS18正压鼓风机, 此行业要求真空度300-500mbar电子等行业,用GHS VSD+节能螺杆真空泵小部件夹持加工,要求真空度:300-500mbar  易拉罐生产线,使用GHS VSD+系列阿特拉斯螺杆真空泵,要求真空度300-400mbar电子、板式家具等行业,大部件夹持加工,使用螺杆真空泵达到要求真空度100-200mbar锂电池部分工艺使用螺杆真空泵,要求真空度20-100 mbar 食品包装,用螺杆真空泵进行真空包装,要求真空度5-20 mbar
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