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2020 - 07 - 13
根据真空泵的性能.在各种应用的真空系统中,各类泵可承扣如下一些工作:  1)主泵。在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。  2)粗抽泵。从大气压开始,降低系统的压力,达到另一抽气系统开始工作的真空泵。  3)前级泵。用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。  4)维持泵。在真空水环真空泵系统中,当抽气量很小时,不能有效地利用主要前级泵。为此,在真空系统中配置一种容最较小的辅助前级泵,维持主泵正常工作,或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。  5)粗(低)真空泵。从大气压开始.降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。  6)高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。  7)超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵。  真空泵常旋片真空泵用的行业有手机行业、吸塑行业、真空热处理、化工、医药、电工、焊接、食品包装行业等。但是,无论哪个品牌的真空泵使用一段时间,都需要进行一些日常维护和清洗,这不仅可以延长真空泵的使用寿命,还可以改善真空泵的良好工作环境。那么,在使用真空泵的过程中,有时真空不足是有原因的,那么为什么会出现这些问题呢?  1.真空泵过载,电机烧毁。电机内轴承损坏*泵头卡住*罗茨真空泵电机线圈烧毁*泵头联轴器与电机联轴器配合过紧  2.真空泵抽油和喷油。排气过滤器故障  3.真空泵不足。叶片磨损或不能扔掉*密封件老化和泄漏*...
2020 - 07 - 16
新购买的旋片真空泵在使用前必须充分理解旋片真空泵的详细情况。不正确的操作方法,包括系统的连接、安装方法、启动、操作和其他注意事项,容易损坏真空泵。  1.旋片真空泵的极限压力测定,旋片真空泵的极限压力请使用压缩真空计直接在泵的吸入口测量。第一次使用泵后,长时间使用后,使用新的油后,关闭吸气口至少1小时后,旋片真空泵达到工作温度和泵,将油完全脱气,测量极限压力。  2.旋片真空泵的电气配线,水环真空泵旋片真空泵的电线必须由专业电工执行,使用适当的电机过载保护。单相220V50HZ真空泵必须确保电压在220V10%的范围内。电压低于220V时,必须安装交流电源调节器。请勿在低压和高压下长时间工作,以免电机损坏。  旋片真空泵的三相异步电动机接线结束后,必须检查电动机的旋转。电动机的正确旋转方向是电动机轴的旋转方向从电动机的风扇侧逆时针旋转的方向。  3.旋片真空泵的系统连接,旋片真空泵的吸气旋片真空泵管请切断为吸入口的尺寸以上尽可能短的尺寸,螺纹接头请采用真空密封。如果泵送的气体中含有灰尘,必须在泵的入口端安装灰尘过滤器。  旋片真空泵是容积泵,通过旋转式在泵室连续运转,吸入气体进行压缩,最后从排气口排出。泵主要由定子、转子、旋转板等构成,转子偏心地组装在定子室中。转子槽有两张转子,转子之间放有转子弹簧。定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。  转子在定子腔内旋转时,转子在弹簧张力和...
2020 - 07 - 21
在驱动力的作用下,真空泵的油雾分离器从一侧穿过油气混合物中的滤纸和真空泵的油雾分离器的棉油被截留,从而实现气体和真空油的分离过程。过滤后的真空泵油随回油管循环使用,无油废气排放,达到无污染、清洁的效果。如何更换真空泵油雾分离器?  1.真空泵运行时检查:检查真空泵油雾分离器压力表是否堵塞。当压力表读数在红色区域时,这意味着油雾分离器堵塞,必须更换。  2.如果油雾分离器没有压力表,油雾分离器的电阻通过水环真空泵驱动电机电流的变化来测量。真空泵的驱动电机或流量消耗的电流减少,表明油雾分离器堵塞,必须更换。  3.如果真空泵油雾分离器压力表指示的压力低于正常值,或者驱动电机消耗的电流低于正常值,则油雾分离器损坏,需要更换。  4.如果排出的气体含有油,必须更换,因为油雾分离器堵塞或损坏。真空泵的油雾分离器不能彻底清洗,堵塞的油雾分离器必须更换。  5.在更换真空泵的油雾分离器之前,请关闭真空泵并切断电源,以确保旋片真空泵真空泵达到大气压。从油箱上打开通风盖板,用专用内部六用途扳手拆下通风过滤器,并将带密封圈的新油雾分离器的开口端安装在油箱中的正确位置。  罗茨真空泵最大的优点是在较低的入口压力下具有较高的泵送速率,并且可以达到相对较高的真空泵极限。因此,罗茨真空泵的运行性能稳定,使用寿命长,维护成本低,受到大家的欢迎。然而,也发现罗茨真空泵必须停止每次在生产活动中添加润滑油,这影响生产...
2020 - 07 - 27
螺杆真空泵如果不与前段泵组合使用,在很大的压力范围内有很大的吸引速度,对被吸引的瓦斯气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感,广泛用于冶金、化学工业、食品、电镀等行业。 真空泵是一种以多种方法在封闭空间中生成、改善、维持真空的装置,可以定义为以机械、物理、化学或物理化学的方法对被吸引容器进行排气而得到真空的装置或设备。  1.仔细检查油位位置,如不符合规定要求进行调整。 真空泵运转时,请以油位成为油标的中心为标准。  2.油交换期限根据实际的使用条件和能否满足性能要求等情况,由用户适当决定。 一般情况下,新的真空泵在排出清洁干燥的瓦斯气体时,建议工作100小时左右来更换油。 等到油中看不到黑色金属粉末之后,可以适当延长油交换期间。  3.要仔细检查油质情况,发现油变质后立即更换新油,确保真空泵正常工作。  4.真空泵在工作的第一个月,用100小时更换润滑油,然后每500小时更换一次油。  5、一般情况下,真空泵工作2000小时后,进行检查,检查位置密封的劣化程度,检查排气阀座是否破裂,去除阀座及排气阀座上沉淀的污垢。 清洗真空泵腔内的整个零配件(转子、旋转片、弹簧等)。 一般用汽油清洗、干燥。 洗净橡胶类之后,请用干布擦拭。 清洗组装时,请轻轻取出,避免损伤。  6.在轴承体内加入轴承润滑油,观察油位在油标中心线,润滑油应及时更换或补充。  7.检查真空泵的管路及结合处是否松动。 用手转动真...
2020 - 08 - 03
螺杆真空泵结构简单、紧凑,不需要任何工作介质,因此不会产生油污染或污水排出,节能削减效果显着的螺杆真空泵的螺杆与泵体之间存在一定的间隙,其自身真空度高,噪音低,冷凝性气体(例如从能够吸引含有粉尘的气体的大气吸引到极限压力5Pa,用一台螺杆真空泵就能解决螺杆真空泵进行干式运转,溶解酶的回收比较容易的螺杆真空泵能够与罗茨泵构成真空系统,得到更高的极限真空度和排气速度因此,在日常生活中,螺杆真空泵被广泛应用于不同的行业领域。 在操作过程中,我们在使用螺杆真空泵时面临着不同的难题,其中螺杆真空泵的空蚀现象比较容易在我们的工作中出现。 对于螺杆真空泵的空蚀现象,大家还不清楚如何说气浊现象,螺杆真空泵汽蚀现象的表现是什么?螺杆真空泵的空蚀现象是如何引起的? 螺杆真空泵空蚀的原因是什么? 怀着种种疑问,我们一起探讨一下螺杆真空泵的汽蚀现象。  实际上,这种汽蚀现象是水力机械经常发生的高噪声和破坏性高的普遍现象。 之所以形成螺杆真空泵的空蚀现象,是因为利用液体自身的动力功能,当运动液体的部分压力低于该温度下的气化压力时,液体开始自动气化而产生气泡,在这些气泡中充满了液体的蒸汽和至少部分溶于液体的气体。 气泡随着运动液体达到静压,压力持续增加,在超过临界压力的区域,气泡中的蒸汽突然凝结,气泡被破坏。 气泡中的压力远低于临界压力或接近临界压力,但由于外部压力相对较大,气泡破裂时,周围液体以快速流向气泡...
2020 - 08 - 07
一.什么是乳化现象?  从物理学的角度来看,可以理解,由于表面活性剂的作用,两种不能混合在一起的液体可以混合在一起的现象称为乳化现象。  二、真空泵油乳化的原因  在真空泵运行期间,可能会吸入腐蚀性气体或空气以及含有水蒸气的冷气。然后腐蚀性气体会腐蚀泵中的金属部件,然后与真空泵油发生化学变化,而空气和含有水蒸气的冷气也会导致真空泵油乳化。  三、真空泵油的乳化效果  真空泵被广泛使用。从真空泵油乳化的原因来看,在医药、食品、陶瓷等行业使用真空泵的单调过程中,乳化现象会更短暂地发生。在真空脱水过程中,大量的水蒸气和冷凝气体会排放到泵油中,因此必然会出现油乳化现象。  四.真空泵油乳化损坏  真空泵油的乳化不仅影响泵油的使用寿命,还会降低极限压力,这是普通真空泵的缺点之一。严重影响真空泵的正常运行。  五、真空泵油防乳化措施  防止真空泵油乳化的最简单方法是选择抗乳化泵油。抗乳化性好的泵油油水分离能力强,水蒸气和冷凝气体可通过开气镇阀排除部分水蒸气。我们可以简单地记住,低粘度泵油的抗乳化能力优于高粘度泵油。添加添加剂的泵油效果比不添加添加剂的泵油效果更显著。  六.真空泵油的清洗方法  1.加油窗必须干净。禁止暴晒和露天存放。它应该藏在暗处。  2.加油器具必须是专用设备,不应是装有其他油或溶剂的容器;抽水。  3.取油或装油时,必须清除桶盖周围的小雨,以免杂物混入油中,造成泵磨损。 ...
2020 - 08 - 17
目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,传统的真空泵系统已经不能满足清洁、无油、耐腐蚀、抽凝性蒸汽和苛刻工况下运行的要求。因此,近年来,干式真空泵发展迅速,真空产品得到更新。  干式螺杆真空泵的特点  螺杆真空泵的工作原理:一对同步齿轮带动螺杆反向旋转,螺杆与泵腔之间有一定的间隙,没有任何金属对金属的接触。因此,当螺杆旋转时,泵送的气体从空气入口被吸入,并被排放到空气出口。  早期的螺杆真空泵具有相同的螺距。为了降低能耗和泵腔内的温度,后来开发了变螺距螺杆真空泵。其中一个螺丝是由两个不同螺距的螺丝拼接而成,另一个是一个螺距连续变化的螺杆真空泵。这些螺钉是由整体材料制成的。  干式螺杆真空泵的特点如下  变螺距结构,比等螺距螺杆节能30%,排气温度更低;  泵送气体在泵腔中的距离很短,并且被快速排出;  泵送的气体很少在泵室内搅拌;  小颗粒不易积聚;  它能夹带液体、可冷凝物和微小颗粒;  低振动和噪音;  泵腔中的残留物很容易清除。  干式螺杆真空泵使用中的注意事项  1.螺杆真空泵的背压  螺杆真空泵的正常排气压力为大气压力,在电机功率不变的情况下,最大允许背压为0.3巴。如果螺杆真空泵在高背压下运行,会导致泵速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。  2.进气温度  螺杆真空泵的进口温度为15~60,在此温度范围内,泵可以长时间连续工作。进气温度超出此范围,因此应采...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 589
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 119
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 149
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 103
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 130
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 306
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 112
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 222
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 174
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
发布时间: 2018 - 10 - 26
来源: 185
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。      2.罗茨真...
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