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2019 - 07 - 22
罗茨真空泵是一种双转子容积式真空泵。泵室内有两个对称的转子,转子有两叶,三叶和四叶形状。两个转子沿彼此相反的方向旋转,并被轴端齿轮同步驱动。转子彼此不接触,并且转子和泵室壁也不接触,并且它们之间通常存在0.15至1.0mm的间隙,并且泵室由间隙密封。由于罗茨真空泵的泵腔内没有摩擦,转子可以高速运转,一般为1500~3000r / min,不需要使用润滑油,可以实现无油清洗过程。泵的润滑仅限于轴承和齿轮,以及动态密封。泵没有往复运动部件,因此可以实现良好的动态平衡。因此,罗茨真空泵运行平稳,转速高,尺寸小,以获得大的抽速。目前,国内外大多数罗茨真空泵都是水平结构。泵的进气口位于顶部,排气口位于底部。该水平结构具有低重心和高速操作时的良好稳定性。罗茨真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮相对同步旋转。泵主要是直接耦合的,而大型泵是皮带驱动的。电机和传动齿轮设置在转子轴的两侧,便于安装和拆卸。传动轴传递大扭矩,轴具有足够的强度和刚度,轴和转子牢固地固定。罗茨真空泵的密封至关重要。驱动轴的外轴,两个转子的轴承和泵室设有动态密封,泵室和每个端盖设有静密封。为了避免罗茨真空泵的误操作,通常提供旁路安全阀。根据罗茨真空泵的特殊需要,油压齿轮箱,轴承和其他部件与泵腔分离。罗茨真空泵压缩过程中产生的热量传递给转子和泵体。转子难以将热量传递到泵的外部,并且泵体的热量容易损失到周围的大气中。因此,在转子和泵...
2019 - 07 - 25
旋片式真空泵在果蔬真空预冷中的应用。真空预冷是指在正常大气压(101.325 kPa)下,水在100°C蒸发。如果大气压为610 Pa,水在0°C蒸发,水的沸点随环境大气压降低降低。沸腾是一种快速蒸发,可以快速吸收热量。将新鲜水果和蔬菜放入密闭容器中,快速提取空气和水蒸气。随着压力持续下降,水果和蔬菜将通过连续快速蒸发水来冷却。用于真空预冷水果和蔬菜的旋片式真空泵是冷却处理设备,而不是制冷设备。其目的是让水果和蔬菜快速冷却到设定温度,然后从设备中取出物品,或将它们放在空气中,或直接运输,或将它们放入冷藏室。由于水果和蔬菜处于休眠状态,其活力的恢复需要一个时间过程,这是保存期。为什么选择旋片式真空泵来真空预冷水果和蔬菜?旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集装置之一。这是一种油封式机械真空泵,抽速大,体积小,极限真空度高,工作噪音低。在这种真空泵中,油起着重要作用,它具有密封,润滑和冷却三种功能。通过使用旋片式真空泵可以完全实现水果和蔬菜预冷却(≤660Pa)所需的真空度。然而,如上所述,真空冷却的原理是在水蒸发期间使用吸热来引起自冷却。因此,在冷却过程中产生水蒸气。如果水蒸气直接进入旋片式泵,则会导致泵油乳化,这不仅会影响泵的性能,还会对泵体本身造成损坏。解决方案是在泵前添加一个集水器,将水蒸气冷凝成水并排出。为此,必须重新配置制冷系统,以便已经除去水分的空气...
2019 - 07 - 29
工业旋片真空泵在工业吸尘中的应用也是现代科学技术发展的产物之一,给我们的生活带来了极大的便利。在做家务或工作的过程中,以及用于工业吸尘的工业旋片真空泵更容易。它具有干湿两用的功能,可吸收液体和固体,更便于大规模清洗工作。下一个小编将向您介绍工业吸尘的结构原理和工作原理。首先,让我们首先了解什么是用于工业吸尘的工业旋片真空泵。真空吸尘器简介对于许多人来说,由于显而易见的原因,真空吸尘器已成为不可或缺的家用设备。电流控制电机运行。电机上有一个风扇,风扇叶片有一定的角度,就像飞机的螺旋桨一样。当风扇叶片旋转时,空气一直被推到排气口。随着空气颗粒向前推动,风扇前方的颗粒密度增加,空气压力相应地增加,并且风扇后面的颗粒密度降低。风扇后面的压降与饮用时吸管的压降相同。风扇后面的压力低于真空吸尘器外部的压力,即环境空气压力。这在真空吸尘器内产生吸力,即部分真空。真空吸尘器结构原理1,吸尘原理。在电动机的高速驱动下,真空吸尘器的风扇叶轮将叶轮中的空气高速驱动到风扇,同时,集尘部分中的空气连续地补充到风扇中。这可能与外界形成更高的压力差。喷嘴的灰尘和污垢随着空气被吸入集尘部分,并通过泄漏器泄漏,以将灰尘和污垢吸收到集尘筒中。2.真空吸尘器的原件。所有真空吸尘器都配有组装刷头,用于清洁地板和地毯。吸尘吸尘器还配备了一系列清洁刷和喷嘴,用于清洁角落,窗帘,沙发和接缝。3.喉管:所有吸尘吸尘器都配有软管,...
2019 - 08 - 02
如果水环式真空泵严重污染,可能会卡住而无法使用。如果是严重的话,会严重影响生产进度。鉴于水环式真空泵的结垢问题,我们应该了解结垢的原因并采取预防措施。一,水环式真空泵结垢的原因随着水环式真空泵结垢的开始,真空泵内部的传热环境逐渐被破坏,热交换频率将越来越低,结垢速度将越来越快。规模的原因大致如下:(1)热分解:含有硬度成分的循环水进入真空泵后,在泵体内形成水环式,随着泵的旋转产生热量,使溶解在水中的碳酸氢盐逐渐分解,并且沉淀出几乎不溶于水的沉淀物。缩水。(2)溶解度降低:CA-SO4,CASIO3,CACO3和其他具有负溶解温度系数的盐随着循环水温的升高而降低溶解度,因此沉淀析出形成水垢。(3)相互反应:在循环水中溶解度大的盐通过在真空泵运行期间与其它盐物理反应形成水垢,形成难溶性物质。(4)蒸发和浓缩。由于循环水连续进行工作加热,因此不可避免地产生蒸发和浓缩,因此水中溶解盐的浓度不断增加,当其达到饱和时,沉淀析出形成水垢。二,水环式真空泵的规模分析在操作真空泵的情况下,产生的水垢包括盐垢和污垢,并且其组成根据水源而变化。污垢最大的危害是使水分破碎,水流阻力增大,影响正常供水,降低换热效率,水温不断升高,加速盐形成速度。有时它甚至会在规模下引起腐蚀。当污垢严重沉积时,真空泵会出现异常,效率下降或叶轮停止。泥土的来源因地而异。在实际操作中,有必要仔细分析是否有废水流入。是否有沉积物,...
2019 - 08 - 07
旋片式真空泵在脱水蔬菜中的应用可以发挥其真空冷冻干燥技术。冷冻干燥食品的发展可以加深丰富农产品的附加值,通过出口赚取外汇。中国的脱水蔬菜产量占世界总产量的一半以上,并以每年20%以上的速度增长。但是,它的种类很少,而且范围很窄。整个行业的发展仍处于较低水平,需要进一步扩大。与此同时,国际市场上大多数高档脱水蔬菜都是采用真空制冷设备生产的。因此,借鉴国外经验,将旋片式真空泵应用于脱水蔬菜,取得了良好的效果。脱水蔬菜,也称为再水化蔬菜,是通过洗涤和干燥新鲜蔬菜并从蔬菜中除去大部分水而制成的干蔬菜。蔬菜原有的颜色和营养成分基本保持不变。它易于储存和运输,可以有效地调节蔬菜生产的季节。只需将其浸入清水中即可恢复,并保留蔬菜原有的颜色,营养和风味。与其他新鲜蔬菜相比,脱水蔬菜具有体积小,重量轻,入水后恢复,便于运输和消费的特点。吃的时候,它不仅美味,新鲜,而且还保持其原有的营养价值。真空冷冻干燥的脱水蔬菜是通过首先将蔬菜中的水冷冻成冰然后在高温下升华成气体而获得的。蔬菜脱水干燥,脱水蔬菜不能通过微生物和酶通过水。长期保存的目的。当你需要吃,只需再加水,蔬菜将恢复其原有的外观,颜色,香味,味道,形状。由于蔬菜在低温和缺氧条件下干燥,蔬菜的原始营养成分几乎没有任何损害,因此它与新鲜蔬菜一样营养。此外,高脱水率超过95%使这种食品的保质期大大延长。在包装良好的情况下,冷冻干燥的蔬菜可以在室温下储存...
2019 - 08 - 12
旋片式真空泵在气体循环中的应用。全球物质循环可分为三种类型:水循环,气体循环和沉积循环。属于气体类型及其分子或某些化合物的任何物质必须以气体形式参与循环过程。在科学研究和实验室中,真空泵通常用于气体循环,气体采样,抽滤,真空泵和间接泵送领域。那么哪个真空泵应该用于气体循环?接下来,按照旋片真空泵公司进行详细了解。首先,我们先来看一下气体循环。有两种气体循环,一种是天然气循环,另一种是工业气体循环。今天我们主要介绍工业气体循环。在化学和制药工业中经常遇到气 - 液分散和反应问题,例如硝基芳族化合物,脂肪腈,烯烃和炔烃的液相催化氢化,烷基化反应,羰基化反应,氧化反应等。共同特征是反应速率受气/液传质控制,气/液传质涉及气体分散,气体循环和固体催化剂悬浮等过程,问题变得复杂。由于气体和液体的不相容性,并且密度差异非常大,气液反应器中的未反应气体积聚在反应器的上部空间中,这严重影响反应速率和效率。同时,固体催化剂悬浮液的不均匀性也限制了反应速率。为了提高反应速度,工业上一般采用气体外循环,液体外循环和气体内循环三种模式。接下来,我们来看看真空泵在气体循环中的作用。气体循环泵是指用于气体循环的旋片真空泵,其具有一个入口和一个排气喷嘴和一个排气喷嘴,并且可以在入口处连续形成真空或负压;在排气喷嘴处形成微正压力。工作介质主要是气体,主要用于气体循环的小型仪器。气体循环泵的工作原理:电动机的圆周运...
2019 - 08 - 15
旋片真空泵是工业系统不可或缺的技术,因为它们用于航空航天和军事,光伏发电和其他领域。目前,真空技术受到世界各国的重视,真空设备,技术,材料和配件具有广阔的市场前景。那么,旋片真空泵如何在造纸工业中使用?今天,我将向您介绍造纸行业中旋片真空泵的应用和选择。在纸浆和造纸技术的过程中,真空脱水方法可以应用于脱水过程,并且使用旋片真空泵的抽真空是造纸脱水的常用方法。使用旋片真空泵应用有效地降低造纸成本并改善纸张质量是产品的优势。在以下造纸过程中需要真空脱水的工艺是什么?1,粗浆洗浆机洗浆机的鼓形内部能够产生真空,该真空允许材料粘附到鼓表面并允许在鼓在浆料浆料中操作时从材料中洗掉黑液。2,泥沙过滤器纸浆和造纸厂中的沉积物过滤器是水平鼓式过滤器,其中可以在滚筒内部产生真空条件以从绿液中收集颗粒。3,真空脱水机真空脱水机可用于原料制备阶段的脱水。它是一种水平鼓式过滤器,可实现纸浆的比例脱水,并提高原料浓度。4,纸浆箱压缩机或真空泵流浆箱压缩机或真空泵用于浆料罐中。通过一系列阀门,可以将压力或真空添加到流浆箱的原料罐中以控制材料排放速率。5,吸水箱抽吸箱应用于纸张的成形部分,并可直接从纸浆中脱水。旋片真空泵用于在吸水箱真空箱中产生真空状态。6,滚筒卧榻辊是纸张形成阶段中的重要脱水部分,并且具有可旋转的多孔壳体,该壳体可具有一个或两个真空区域。7,真空压制真空压力机机械地从纸张中提取水分。造纸机通常...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 596
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 121
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 155
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 106
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 132
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 310
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 117
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 225
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 180
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
发布时间: 2018 - 10 - 26
来源: 189
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。      2.罗茨真...
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