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2020 - 07 - 22
真空泵对真空等离子清洗机的真空度、抽真空时间以及整个设备的处理效果有着重要的影响,因此选择合适的真空泵对真空等离子清洗机的质量至关重要。真空等离子清洗机中常用的真空泵有两种,即油式真空泵和干真空泵。今天,我们将介绍等离子清洗机用真空泵的类型和特点,以及选择真空泵时的注意事项。  油式真空泵  油式真空泵是用油密封、润滑和冷却的真空泵的总称。真空等离子清洗机中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵。  旋片真空泵  旋片真空泵是一种油封式机械真空泵,其主要部件包括泵体、转子,旋片、端盖、弹簧等。旋片真空泵有两种类型:单级和双级。双级旋叶真空泵是等离子清洗机中常用的设备。所谓的双级旋片真空泵在结构上串联两个单级泵。  旋片真空泵的泵腔内偏心安装有转子,转子的外圆与泵腔的内表面相切。同时,两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧力与泵腔内壁保持接触,转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。旋片真空泵使用两个旋片将泵腔分成三部分。由于转子是偏心安装的,三个部分的空间会随着转子,的旋转而变化,压差被用来达到抽气的目的。  旋片真空泵主要用于小腔体(80L以下)或真空等离子清洗机中真空泵机组的前级泵。  旋片真空泵具有以下优点:  一、旋片真空泵在抽出空腔内的干燥气体的同时,可以抽出一定量的可冷凝气体和气水混合物;  二、结构相对简单,维护方便;  三、是体积小,重量轻,...
2020 - 07 - 27
真空泵是通过机械、物理、化学或物理化学方法排气获得真空的容器装置或设备。  真空泵的价格从数千到数万、数十万不等。  经济的真空泵设备偶尔可以使用几次,但真空度不高,寿命短。  实用新型真空泵设备,其商/用均为中速。 根据不同的真空泵,真空泵设备可分为单室、双室、轧制式、拉出式、振动式等,产品多样化,可应用一类工厂,真空度高,稳定持久。  重机种的真空泵设备,是大型工厂使用的全自动无人生产线真空泵的针织面料,需要客制化。 不同产品的不同组合,投入成本高,稳定性中等,产量大。  真空泵应用例:真空包装机  将产品装入包装容器后,为了保持产品的密封,保持产品品质,避免产品的损失,必须密封包装容器。 是指容器装满产品后密封的机器。 包装容器由于纸、塑料、玻璃、陶瓷、金属、复合材料、包装容器的形状和物性不同,所以使用的密封形式和装置也不同。  一般来说,包装材料的力学性能可以分为以下2种。  (1)柔性容器的封口装置。 挠性容器是由纸、塑料薄膜、复合膜等挠性材料构成的袋装容器。 这个容器的密封装置是制袋和填充组合的机器,不太使用,根据材料的不同密封装置也不同。  纸袋封口装置。 对于纸材料,多在封口处使用刷子橡胶,然后机械加压封口。  塑料薄膜袋和复合膜袋的密封装置。 许多塑料具有良好的热封性能。 这种塑料制的塑料包装袋和复合袋,通常在密封处直接加热,施加机械压力使其熔化密封。  (2)刚...
2020 - 08 - 03
如果旋片真空泵运行期间噪音很大,泵中的备件可能会出现故障。  旋片真空泵的噪音可能是由这些原因引起的  1、弹簧断裂,影响转子运行。  2、装配不当,转子运转有摩擦声。  3.旋片和旋片真空泵腔之间的撞击声在被强制挤压经过端面的某个地方之后。  4.零件上的毛刺、异物落入旋片真空泵腔内或旋片真空泵腔变形造成运行障碍而产生噪音。  5.旋片真空泵腔内润滑不良引起的干磨噪音;有害空间过大,以及旋片真空泵本身产生的噪音。  6.轴承缺油引起的干磨噪音。所有这些都会使旋片真空泵产生有时无法忍受的噪音。  针对上述问题,应采取相应措施予以消除,处理方法如下:  由于装配不当,端盖板的平面与腔体的轴向不垂直。打开端盖后,可以看到半个圆弧被磨在端盖上,这说明旋片在经过这部分时受挤压严重,不能正常与旋片真空泵腔接触。当旋片被强力推动通过该部分时,它突然跳出并与旋片真空泵腔碰撞,产生周期性的撞击声。  为了解决这一问题,可以对腔体的端面进行修正,使其垂直于腔体的轴向,可以磨掉端盖板上的划痕,然后可以调整旋片真空泵的腔体、转子和转子之间的配合间隙,并可以调整旋片弹簧的伸缩性能来消除这一故障。旋片真空泵制造过程中产生的固有噪声是不可避免的。一些大师挖出一些释气的孔口,也就是说,稍微扩大孔,以减少噪音;一些大师将中间隔膜旋片真空泵的中间隔膜偏移几毫米,以减少有害空间,从而降低噪音。  总之,只要发现故障,...
2020 - 08 - 07
在安装和启动螺杆真空泵之前,需要做一些准备工作以确保安全运行。这一次,螺杆真空泵将讨论在螺杆真空泵启动之前准备。  启动螺杆真空泵前要做的第一件事是清理杂物。应先清除真空泵内的灰尘,再清除管道内的灰尘和杂物,尤其是焊渣,以确保彻底清洁,防止进入泵被堵塞和卡住。  检查进风口和出风口是否紧固,所有管道安装是否正确,冷却水管道是否正常。  确保齿轮箱润滑油处于标准油位。螺杆真空泵齿轮箱油量过少,容易导致齿轮和轴承润滑不充分和卡涩;过多的润滑油很容易导致温度过高,导致齿轮噪音或影响其他部件。因此,有必要将油位长时间保持在合理的范围内。  注意冷却水是否按要求配置。螺杆真空泵通过水冷套对泵体进行冷却,每种型号的冷却水量不同。在实际启动前,必须根据相应的型号要求和环境条件,确保冷却水的量是否满足配置要求。  恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-862553...
2020 - 08 - 18
旋片真空泵的叶片广泛应用于旋片真空泵的转子槽中。真空泵的转子和叶片密封在真空泵的缸体中。使用真空泵油作为润滑介质,可以增加真空泵叶片与缸体的接触面积,从而达到理想状态下的最终真空。如果真空泵的叶片太短太薄,将会导致真空度不够,甚至会导致真空泵的严重故障。  根据旋片真空泵的工作原理,真空泵的叶片分为两种类型:双级泵(也称双极性旋片真空泵)叶片和单级旋片真空泵叶片。不同型号和品牌的真空泵叶片有不同的尺寸和材料,旋转叶片真空泵一般用于腐蚀性条件。  真空泵叶片材料抗弯强度高,在启动油扰动和高入口压力下运行时不易变形和断裂;密度比铁小,所以离心力小,气缸壁磨损小,不会直接与金属咬合;能承受高温;长度方向的热膨胀系数很小,相当于铸铁,因此在设计中可以将该方向的公差视为铸铁。厚度方向热膨胀系数大,硬度高,油润滑摩擦系数小,在油润滑充分的前提下耐磨耐用。当转子不在泵体内运行时,会发生摩擦,如果没有真空泵油润滑,很容易导致真空泵叶片的磨损、断裂和膨胀。结果,真空度不够,真空不能上升。  原因1:泵油不足或真空油不干净。  排除方法:增加油量或更换油。  原因2:泵油品牌不匹配。  排除方法:更换指定品牌的真空泵油。  原因3:泵的进油口堵塞或供油不足。  排除方法:清洗进油孔或调整油量。  原因4:泵速不够。  排除方法:检查电机电源电压或电机本身是否有故障。  原因5:排气阀板损坏。  消除方...
2020 - 08 - 25
螺杆真空泵不仅可以抽空,还可以过滤气体,对含粉尘的气体可以过滤,过滤气体需要滤芯,所以时间一长就要更换滤芯。 除频繁更换外,还要注意滤芯的质量。 只有滤芯的质量好,才能过滤气体。 如何判断螺杆真空泵滤芯的质量?  一、看滤芯的芯骨厚度  通常,优质的螺杆真空泵滤芯的内外骨架厚度均在0.8mm-1.5mm之间,但有些厂家为了降低层本,将骨架降低到0.3mm-0.5mm,虽然外观没有差异,但严重影响滤芯的抗压能力。  二、看滤芯的材质  螺杆真空泵空气过滤器的主要过滤材质为滤纸,假装过滤器所采用的劣质滤纸,使得除尘进入发动机无法停止,影响发动机的正常工作。 通常,优良的真空泵滤芯的滤纸颜色是统一的,纸面比较平坦,不良的过滤器颜色是不统一的,纸面生毛,质量差。  三、看滤芯的胶质  目前螺杆真空泵过滤器的结构通常由滤纸和橡胶组成。 正品滤芯的橡胶质量好有弹性,不过,假滤芯的橡胶质量柔软坏。 比较容易识别方法是将空气过滤器对折,放松后立即打开优质过滤器,假冒真空泵过滤器因橡胶质问题不与滤纸粘接,中央对折的痕迹很明显。  滤芯经常更换,更换的话就更换。 螺杆真空泵的部件质量可以根据上述内容进行判断。 如果买的要素不满足上述条件的话,请不要更换。 不良滤芯会影响真空泵对气体的过滤。
2020 - 09 - 03
一、使用真空泵时,经常发生这些问题,导致马达过载运行,真空泵的安装形式和工作原理相结合,分析真空泵超负荷、效率低的原因:  (1)基础安装对设备本体的影响  设备基础安装的质量,对设备的运行质量有很大影响。 垫子的放置方法错误的话,设备各地的脚螺栓容易浮在空中,在对位和紧固的过程中垫子会浮在空中,所以如果紧固地脚螺栓,曲轴箱内十字头的滑道会变形,十字头在滑道内往返时会受到妨碍,负荷增加  往复真空泵在主体的一端,在汽缸上加上活塞、吸排气阀的重量很重,基础设置修改时,如果不考虑汽缸的下支承和上吊架,汽缸就会成为悬吊状态,汽缸的自重会导致曲轴箱的滑道变形和与滑道同心度变差,十字头的滑道  根据以上分析,真空泵的气缸端比曲轴箱端稍低,气缸端垫铁少,紧固地脚螺栓后十字头的滑槽变形,十字头在滑槽内和活塞在气缸内往复运转时被阻碍,负荷增大  (2)缸体及阀结焦  受工艺的影响,往复泵的缸体及阀体容易结合,如果缸体及活塞结合,则活塞在缸内往复运转时被阻碍,负荷增大,阀体的结合引起排气不良,阀座的关闭不严格,负荷增大如果结合到真空度低的气缸体的缝隙中,活塞冲击气缸的负荷也会增大,检查中发现气缸体、阀板都有结合现象,是真空度低的主要原因。  二、对照以上常见问题,相对应的解决办法依次如下:  1 .2bv真空泵的泵温过高,首先按照说明书的处理,还不能处理。 申请可以接受售后服务,或者委托专家修理  ...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 589
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 119
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 149
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 103
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 130
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 306
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 112
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 222
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 174
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
发布时间: 2018 - 10 - 26
来源: 185
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。      2.罗茨真...
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