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2026 - 04 - 03
在半导体封装吸附工艺中,水环式真空泵的选型需重点关注以下核心参数及要点:一、核心选型参数极限真空度需求:晶圆吸附通常需要较高的真空度(如-90kPa至-95kPa,约10050mbar绝压)。选型原则:选择极限真空度高于工艺要求半个到一个数量级的泵型。例如,若工艺要求100mbar绝压,泵的极限真空度应至少达到50mbar以下。典型值:水环式真空泵极限真空度通常在0.0930.098MPa(约9398mbar绝压),需根据工艺需求选择匹配型号。抽速(流量)根据真空室容积(V)和达到目标真空度所需时间(t),通过公式计算所需抽速:需求:抽速需满足快速建立真空环境的要求,通常要求≥50m³/h/工位。选型原则:S=tV×ln(P2P1) 其中,$S$为抽速(L/s),$P_1$为初始压强(Pa),$P_2$为目标压强(Pa)。 - 在计算结果基础上增加20%\30%安全余量,确保泵在负载下仍能满足需求。典型值:水环式真空泵抽速范围广泛,如SK系列覆盖1.5120m³/min,II FSK系列覆盖1.620.4m³/min,需根据工艺规模选择。材质与防护普通工况:选用铸铁材质泵体。腐蚀性工况:选用316L不锈钢或工程塑料泵体(如II FSK系列耐腐蚀型号)。防爆需求:选用防爆系列(如2BV2Ex系列)。需求:半导体制造对洁净度要求极高,泵体...
2019 - 08 - 29
当水环真空泵运行时,由于各种原因会产生噪音,那么如何解决噪音呢?1.水环真空泵 - 安装弹簧隔离器:(1)弹簧的选择弹簧直径应不小于其额定载荷高度的0.8倍;弹簧必须有一定的额外行程,涡街流量计至少是额定静态偏转的一半;弹簧的水平刚度至少与钢的直线度一样好,以确保阻尼器的稳定性。(2)水环真空泵 - 弹簧隔离器类型的选择水环真空泵一般采用自立式弹簧减震器,结构简单,成本低;弹簧暴露在外面,以便随时可以观察到弹簧状态,并且预先设置要更换的弹簧,以避免弹簧生锈的过度损坏,导致水环真空泵突然沉降,造成损坏水环泵设备和管道撕裂。(3)水环真空泵 - 弹簧减振器的挠度选择通常,制造商的弹簧阻尼器额定挠度(弹簧额定压缩)一般为25MM(从约3-4HZ的频率值),这种偏转可应用于650转/分的水环真空泵的振动隔离。当速度低于650时,建议使用偏差为40或更小的弹簧隔振器。2,水环真空泵 - 安装坚固的底座水环真空泵是满足更严格的振动标准的更好选择。添加坚固的底座时,最好使用弹簧隔离器。3,水环真空泵 - 安装橡胶隔振器橡胶隔离器通常由氯丁橡胶或天然橡胶制成。通常,使用压缩橡胶阻尼器。对于轻质水环真空泵,可以选择剪切橡胶减震器。常见的降噪方法包括安装隔振器和惰性基座。在降低水环真空泵的噪声之前,应分析噪声的原因,然后根据具体原因采取相应的解决方案,以达到合适的效果。
2019 - 10 - 24
水环真空泵在启动之前需要做一些必要的准备  1. 水环真空泵的存储期限过长(超过两年)。启动之前,应更换水环真空泵轴承中的油脂。等级为3#钙基润滑脂或3#锂基润滑脂。更换之前,请用汽油清洁轴承腔。  2.通过供水管线向真空泵供水,用手移动转子(叶轮),然后通过排水管线排放污水。  对于在试运行后投入运行的设备或已投入运行的设备,如果停放了超过2天,则应在重新启动时用水冲洗它们,以避免水环真空泵内生锈和结垢,这可能会导致启动困难甚至烧毁电动机。  3.检查水环真空泵的电气部分是否安全和正确。  4.检查水环真空泵马达的旋转方向,使其符合真空泵的要求。  5.检查水环真空泵联轴器防护罩是否牢固可靠。  耐腐蚀水环真空泵。它具有很强的耐腐蚀性和高真空度。  它具有排量大的特点,可用于抽送腐蚀性气体或腐蚀性液体作为真空泵的工作流体。它广泛用于石油,化工,制药,食品,锂电池和其他新能源行业。  使用水环真空泵时要注意的问题  水环真空泵主要由泵体,叶轮和端盖组成。  水环真空泵体:内腔的加工精度不高,但需要铸坯。  水环真空泵叶轮:整体铸造形式,材料包括墨球铸铁,(耐腐蚀)不锈钢等。  水环真空泵端盖:打开吸排气口,以连通泵室和泵侧端盖的吸排气通道。  水环真空泵在使用时可能有两个问题  1,过度压缩:  关闭的小腔没有到达排气口,它里面的气体已经达到排气压力。  2,压缩不足:  封闭的小...
2019 - 10 - 31
水环真空泵启动和停车怎么操作啊?水环真空泵维修找哪里?今天就给大家介绍一下简单的方法.当然如果在保修期之内请找售后人员.  水环真空泵启动与停车  1,水环真空泵启动    长期停车水环真空泵在开始之前,必须用手转动数周,以确认泵中没有卡字母或其他损坏。启动按照以下顺序进行(请参阅设备说明)。  1)关闭气管道路上的闸阀。  2)启动电动机(从驱动器的方向看,电动机沿顺时针方向旋转,右侧为吸气口,左侧为排气口)。水环真空泵型对于机械密封,在启动电动机之前,应先向机械密封中加水。否则,可能会产生水蚀。  3)打开供水管上的阀门6或直接用自来水向水环真空泵供水,逐渐增加供水量,直到供水达到指定要求为止。  4)当水环真空泵达到极限真空或最大压力时,打开气管道路上的阀门2,泵开始正常工作。  5)调整填料压盖,使水也滴落到外部滴中。  6)通过阀门将供水调节至水环真空泵,以在所需的技术条件下运行,以最大程度地减少功耗,达到性能指标并满足工作要求。  7)调节供水管向气水分离器供应的水量,以确保水环真空泵所要求的技术规格,并减少用水量。  8)水环真空泵在极端压力下工作时,泵可能会由于物理作用而爆炸,但功耗不会增加。可以打开气管道路上的阀门以产生少量气体。爆炸声响起并消失了。如果爆炸没有消失并且功耗增加,则表明水环真空泵发生故障,应停止维护。  2,水环真空泵停车  1...
2020 - 05 - 22
在使用新购买的真空泵之前,只需要将电缆引出,并且在安装时需要连接另一条电缆。但是,在连接电缆时必须注意正确的方法,否则会极大地影响真空泵的正常使用。因此,为了更好地为我们服务,下面让我们来解释一下真空泵的连线方法。  1.当用聚酯绝缘带包裹时,确保压下第一圈的一半,包裹8-12层,然后包裹它们。然后用胶带将两层包裹起来,以获得强度。  2.将真空泵电缆的铜芯从约30-35mm长的地方取出,用砂布将铜线擦拭干净,将三芯电缆的铜线从约30-35mm长的地方取出,用砂布擦拭干净,将三芯电缆和外部电缆的铜线部分插在一起。然后,用薄铜把它紧紧地粘在一起,切掉剩下的部分,用剪刀把它弄平,以防打结。  3.牢牢焊接真空泵的三个螺纹端。要求焊头表面光滑,无毛刺和假焊。如果焊接不牢固或不光滑,应重新焊接真空泵,直到满足要求。  4.用塑料带把三根电线包在一起。第一层在绝缘层末端大于50毫米。第二层在第一层的末端超过50毫米。  5.包装后,用一盆冷水将包装线安全浸泡在水中。12小时后,保温层的表压不得低于50 MW 500。否则,如有必要,应重新包装。  6.真空泵的接地线也应按照海底电缆线路的技术要求进行包装。  7.连接真空泵时,持续观察绝缘电阻的变化,防止电缆绝缘损坏。  8.真空泵连接后,在井内运行时持续测量绝缘电阻,以防止井壁悬挂破坏电缆的绝缘。如果绝缘程度迅速下降到0.5万亿欧,以下,则...
2018 - 04 - 11
真空泵泵油是真空泵配件,在选择真空泵油的时候要注意哪些事项,有哪些要求呢,我们刘工做了如下几点总结。   1、泵油的密封性真空泵泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下泵油能具有良好的密封性,在泵内泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。   2、泵油的饱和蒸汽压饱和蒸汽压是泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。泵油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 3、极限全压力和极限分压力极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。 极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa.极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。   4、真空泵泵油的光滑性表现佳的泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 04 - 24
来源: 8881
在印刷生产过程中,真空系统的稳定性和能耗水平直接影响着产品质量和企业成本。某印刷厂原有 10 台分散小泵,在运行过程中逐渐暴露出一系列问题,制约了企业的发展。这些分散小泵真空度不稳定,使得印刷过程中出现纸张吸附不牢、印刷图案模糊等现象,产品合格率仅为 85%。这不仅增加了原材料的浪费,还影响了企业的生产效率和客户满意度。而且,分散小泵每月电费支出高达 3.5 万元,能耗成本居高不下,给企业带来了较...
发布时间: 2018 - 11 - 30
来源: 134
德国SPECK品牌公司于2018年度年终大盘点于12月18日开始,因涉及公司年度审计等工作,于12月18日起停止发货,深圳恒才机电作为SPECK的华南代理商将与此同步,若有特别需求请各位新老客户尽早联络,谢谢!
发布时间: 2018 - 11 - 19
来源: 149
1、选用节能水环真空泵。目前恒才公司开发应该于造纸行业的真空泵有2BV系列水环真空泵和德国品牌SPECK以及国际品牌阿特拉斯三款,近年来2BV系列水环真空泵在实验站条件下,测得抽吸干空气能达到67%的最高效率,而螺杆真空泵用于造纸厂抽吸湿空气将会有更高的效率,直接替厂家节省电源费用惊人。很多水环真空泵相关资料介绍的液环真空泵的效率仅为35%~50%的效率,显然这些资料没能跟上新技术带来的新变化。2、选用低转速水环真空泵。在选用真空泵时,应尽可能选用低转速的水环真空泵。最好能选用叶轮叶片端部的线速度在18m/s以下时对应的转速,这时候泵的效率通常会比较高。当然相对选用较高转速的泵将会付出更多的购买成本,相对于日积月累更多的能耗,在日益强调节能降耗的大背景下,显然选用低转速的节能产品是值得的。3、各真空泵点合理组合。应将真空度和空间位置相近的真空点组合在一起,用一台较大型的真空泵来抽吸,组合应考虑有利于管路布置,组合应区别各功能区,在气量相近,真空度不同时可选用带隔板的泵,比如,在上下毛布的吸水箱之间、在不同真空吸移辊之间都可以选用带隔板的泵。4、真空泵组合气量应进行换算。因气体是可压缩的,高压气体减压为低压气体时气体体积会发生膨胀。如需将真空伏辊的高真空室和低真空室组合,高真空室的真空度和气量分别为-65kPa和80m3/min,低真空室的真空度和气量分别为-40kPa和50m3/min,那么应先将低真空室的气量换算到-65kPa时的气量,换算气量为84.4m3/min((101.3-40)/(101.3-65)x50=84.4),那么应选的泵的气量应为164.4m3/min,而不是选择气量为130m3/min气量的泵。5、真空泵选用应要考虑管路。从各真空元件抽吸过来的气体在管路中流动会有一定的管路损失,这部分管路损失将造成气体的压力降低,体积膨胀。在管路尺寸设计合理的情况下...
发布时间: 2018 - 11 - 16
来源: 179
真空机组的分类?真空机组一般根据主泵的类型来命名,然后可根据产品特点来进行分类,如含油真空机组与无油真空机组;更常见的,是按真空应用范围来,可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。1.低真空机组工作压力高、排气量大,多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵,容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任,但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件,需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。2.中真空机组适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起,罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多,适应性更广。3.高真空机组工作于分子流状态下,工作压力区间在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担,由于它们无法直接在大气下工作,因此必须配置前级泵、预抽泵等,特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。4.超高真空机组工作压力区间在10-6~10-10Pa,需要主泵的极限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速,如溅射离子泵、涡轮分子泵等,而且对系统组成的材料要求能经受200~450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等。真空系统可以抽哪些气体?1.真空系统工艺过程中产生的气体:它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。  ...
发布时间: 2018 - 11 - 14
来源: 131
碳氢行业集成式真空机组的特点:1、统一专业布局,对真空系统进行了集中优化,省却了工厂的加工和组装工作,免除不当安装带来的使用问题;2、各个单元可以方便拆卸,易于维护;3、多个保护监测点,能实时监测和发现并反馈问题,易于发现故障点,方便维护人员及时处理,简化操作,便于维护保养;4、本真空系统具有进气降温、除杂过滤、汽液分离、降噪、提高系统抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、综合回收处理器,具有高效的碳氢回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氢清洗行业空泵:
发布时间: 2018 - 11 - 12
来源: 152
高温泵可以无接触地透过非磁导体(隔离套)进行动力传输,这种传动装置称为磁性联轴器。电动机通过联轴器和外磁钢联在一起,叶轮和内磁钢联在一起。在外磁钢和内磁钢之间设有全密封的隔离套,将内、外磁钢完全隔开,使内磁钢处于介质之中,电动机的转轴通过磁钢间磁极的吸力直接带动叶轮同步转动,因此高温泵它的优缺点有,      1. 高温泵其主要优点:由于传动轴不需要穿入高温泵泵泵壳,而是利用磁场透过空气间隙和隔离套薄壁传动扭矩,带动内转子,因此从根本上消除了轴封的泄漏通道,实现了完全密封;传递动力时有过载保护作用;除磁性材料与磁路设计有较高要求外,其余部分技术要求不高;高温泵的维护和检修工作量小。  2.高温泵其主要缺点:磁力驱动泵的效率比普通离心泵低;对防单面泄漏的隔离套的材料及制造要求较高;磁力驱动泵由于受到材料及磁性传动的限制,因此国内一般只用于输送100℃以下、1.6MPa以下的介质;由于隔离套材料的耐磨性一般较差,因此磁力驱动泵一般用于输送不含固体颗粒的介质;联轴器对中要求高,对中不当时,会导致进口处轴承的损坏和防单面泄漏隔离套的磨损。  3.高温泵国外温度:一般国外,像SPECK品牌温度达350度最高,模温机常用高温磁力泵为220度-350度。 高温油泵作为一种优质的热油循环泵和作载热体输送泵,是热交换设备中的理想配套用泵,可输送不含固体颗粒的高温液体。高温油泵可从从管路布置以及操作运转条件、液体性质、液体输送量、装置扬程这几个参数来选型,1.高温泵液体装置系统的管路布置条件指的是送液高度送液距离送液走向,吸如侧最低液面,排出侧最高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系梳扬程计算和汽蚀余量的校核。2.高温泵操作条件操作条件的内容很多,如液体的操作T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排出侧容器压力...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 363
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 136
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 234
阿特拉斯螺杆真空泵应用于锂电池行业:                         阿特拉斯DZS真空泵用于输送行业:                 阿特拉斯螺杆真空泵用于包装行业:阿特拉斯螺杆真空泵用于真空夹持:     阿特拉斯双级旋片真空泵应用于抽空行业:
发布时间: 2018 - 11 - 03
来源: 218
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度:  空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品。  4、防止真空泵温度过高:  比较容易理解这点,半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。  当我们在使用真空...
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