2020
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真空系统是真空泵、真空计以及各种部件经由配管适当连接，以达到一定的真空度的装置。 真空系统的基本要求是什么? 1.在被吸引设备或工作室内得到必要的极限真空和工作真空度 极限真空度是指设备没有泄漏时到达的真空度，动作真空度是指设备进行真空处理时能够维持的真空度。 真空处理时多释放大量的气体，此时的工作真空度显着低于极限真空度。 极限真空度和工作真空度分别重要，从不同的方面影响器件的质量。 例如，在使用氧化物阴极器件的排气真空系统中，大量排气电10-2极脱气和阴极分解，如果工作的真空度差，则有可能导致电极被氧化，阴极不被活性化的结果。 但是，当器件最后被密封时，几乎没有气体泄漏，器件内的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。 2.为了得到某工作的真空度所需要的时间 这个时间由真空系统的吸引速度的大小决定。 加快速度就可以缩短这个时间。 大工作室显然需要很大的速度。 工作室可能不大，但是泄漏气体很严重，真空系统也需要很大的吸引速度。 否则，大量的泄漏气体会大大降低真空度，系统将无法工作。 3.提取的设备和工作室内有适当的残留气体成分 实践证明，单纯提高极限真空度和工作真空度是不够的，残留气体成分也有一定的要求。 例如，为了在一年的寿命中抑制灵敏度的降低，真空摄像装置要求在能够承受装置内的残留气体的氧量为10-2Pa以下的高压的真空开关管内不包含烃分子等。 真空系统的残气成分，...