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2025 - 07 - 24
电子晶圆吸附过程中,真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素,以下是具体选型要点及分析:一、真空度与工作压强核心要求:真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如,若工艺要求真空度为100Pa(绝对压力),则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性:泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如,某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar,其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar,因此工作点应选在此区间内。应用场景:晶圆减薄:需-90kPa以上真空度(约90%真空度),以抑制振动和热变形。晶圆键合:需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar(约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa)超高真空度,避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活:需优于10 Pa真空度,防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义:抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力,单位通常为m³/h或L/s。计算方法:可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速,其中 S 为抽速(L/s),V 为真空室容积(L),t 为达到目标真空度所需时间(s),P1 为初始...
2025 - 09 - 06
贴合机采用德国Speck水环真空泵,主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析:无油设计保障清洁度:贴合工艺对真空环境清洁度要求极高,油污或杂质可能污染材料表面,影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除润滑油污染风险,确保真空环境纯净无污染,特别适用于电子、医药等对清洁度要求严苛的行业。高极限真空度确保贴合精度:贴合过程中需稳定真空环境防止材料移位或气泡产生。Speck水环真空泵可实现高极限真空度(如部分型号达33mbar),能牢固吸附材料,避免因真空度不足导致的贴合偏差,保障产品良率。稳定抽气性能适应连续生产:贴合机通常需长时间连续运行,对真空泵抽气速率和稳定性要求高。Speck水环真空泵具备高抽气速率(如部分型号总气量达199m³/h)和稳定性能,可快速建立并维持真空环境,满足大规模生产需求。耐腐蚀耐高温适应复杂工况:贴合工艺可能涉及腐蚀性气体或高温环境,对设备材质和性能提出挑战。Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造,工作液温度范围广泛(最高达80°C),进气温度(干)最高可达200°C,吸入气体(饱和)最高可达100°C,确保在恶劣工况下稳定运行。低噪音与长寿命降低...
2019 - 10 - 28
离心泵,在化工,工业,电力,冶金,建材等行业中,主要输送含有固体颗粒的泥浆,也可以输送腐蚀性介质,起主要作用。在使用过程中,可能是由于操作不当或自然磨损造成的,如何处理?  1.离心泵无法启动或启动负载大  (1)原动机或电源异常  处理:检查动力和原动机条件。  (2)离心泵卡住了  处理:检查与手盘的联轴器,并在必要时拆卸以解决静态和动态零件的故障。  (3)填料压得太紧  处理:放松填料。  (4)排气阀未关闭  处理:关闭排放阀并重新启动。  (5)平衡管不光滑  处理:处理平衡管。  2.离心泵不排水  (1)离心泵不足(或离心泵中的气体没有排出)  处理:给离心泵加油。  (2)离心泵未向右转  处理:检查旋转方向。  (3)离心泵速太低  处理:检查速度并提高速度。  (4)过滤器堵塞,底阀不工作。  处理:检查过滤器以清除碎屑。  (5)吸水高度过高,或吸水箱被吸尘。  处理:降低吸力高度;检查吸油箱压力。  3.排水后离心泵中断  (1)吸油管泄漏  处置:检查吸入侧管道连接和填料函密封。  (2)离心泵送时,吸入侧气体未排出  处理:需要加注离心泵。  (3)吸入侧突然被异物堵塞  治疗:停止离心泵处处理异物。  (4)吸入大量气体  处理:检查吸气口是否有涡流,浸没高度是否过浅。  4.流量不足  (1)系统静压头增加  处理:检查液位和系统压力。  (2)电...
2019 - 11 - 04
家居装饰是人们生活中不可分割的一部分,装饰工艺品也是人们关注的一个非常重要的方面。近年来,手工艺品商人之间的竞争变得越来越重要,对于企业而言,最重要的是产品质量问题,那么我们如何才能确保所购买产品的质量?在这个问题上,树脂工艺品制造商正在寻找解决方案。本文将向您介绍在树脂工艺中进口真空泵的应用知识。  树脂工艺品以树脂为主要原料,并通过模具进行模制,以制作各种逼真的人物,动物,动物,风景等,并可制成各种模拟效果。  我们可能都知道,树脂是一种高分子聚合物,可以在外力作用下塑性流动。树脂通常存储在储罐中。然而,在长期存储过程中,树脂材料受外部环境和其他因素的影响,因此不能保证合成树脂本身的质量。在许多情况下,罐中的空气被预先抽空以确保真空,但是执行现有的泵送。大多数真空设备直接连接到储罐。抽真空时,树脂很容易被抽出,导致真空泵堵塞,不仅容易损坏设备,而且还会浪费原材料,不安全,并且需要单独连接。真空泵的利用效率较低,间接增加了生产成本。  为了解决上述问题,技术人员应用了我公司的进口真空泵,为树脂工艺品的生产提供了一种吸尘装置。  进口真空泵的特点:  1.压力范围广,抽速大;  2,转子几何对称性好,振动小,运行稳定。转子之间以及转子与壳体之间有间隙,无润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动力,从而达到较高的转速;  3.无需对泵室内的油进行密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;  ...
2020 - 07 - 02
螺杆真空泵跳闸的原因是什么?怎么做?螺杆真空泵跳闸非常严重,特别是在使用时,对设备危害很大,内部部件会有一定程度的磨损。在运行时,有必要找出维修的原因,以避免再次发生和设备的二次损坏。  1.螺杆真空泵停了很长时间  如果螺杆真空泵长时间不工作,负载将导致临时电流过高,真空泵的入口将关闭,泵体将被加热。  2.电源  真空泵电机连接到两相电源。三相电源未启用。你可以打开真空泵的三相电源。如果它运行大约十个小时,它仍然需要调整电流的上限。  3.杂质  异物或杂质被吸入真空泵的排气口,电机被加载,因此可以打开真空泵检查是否有任何内部故障。  4.电机负载  当螺杆真空泵在使用时,其真空泵电机被加载。当电流过高时,如果电气柜设定的电流超过电流,真空泵会自动跳闸。这是真空泵的正常现象,可以通过调整大电流保护的上限来解决跳闸现象。  定期检查37KW螺杆真空泵的清洁度和设备的维护。通过测试上述条件,更好地维护设备将提高设备的使用。否则,如果发生这种情况,不仅会影响企业的生产效率,还会增加成本。
2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2019 - 10 - 28
众所周知,干式真空泵是高科技产品,具有很高的技术含量。关键是应用于高纯度真空泵加工的全过程。真空值极高,可以集成到极端负载中,并且具有抽出冷凝水和包含颗粒物的功能。工作能力非常适合清洁自然环境,并且很容易解决生锈问题。那么新技术干式真空泵的特点是什么,我们一起来看看!  1.工作过程中腔体内没有任何物质,可以清洁真空泵。  2.工作腔和螺杆定子表面均具有防锈涂层,可以整合到极限载荷中。  3.在真空泵中蒸气体不会减少,适合于抽取可凝性气体。  4.每个真空泵可以从空气中抽到1Pa,超滤单元可以大大简化。  5.温度对真空泵的危害较小,最多可节水约0.9,使其不能消耗水。  6.无油耗,无滴落。  7.旋转部件之间没有摩擦,可以高速运行,并且整个设备重量轻。  8.结构简单,维修方便。  9.抽汽体立即排入真空泵机壳,无环境污染,无环保护工承压,蒸汽的采集更加方便快捷。  10.可与真空泵,分子泵组合,组成无脂发电机组。  我看到这里的每个人也都感受到了进口真空泵的技术含量。它具有高精度,高质量,稳定的性能,适用于电子设备,化工厂,生物技术,金属材料激光。切削加工,粮食加工等行业。其发展前景也将越来越好。
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2021 - 06 - 28
水环真空泵是电厂真空系统常用的真空设备。它在机组启动前建立真空和启动后保持真空方面起着重要作用。  真空泵的工作效率直接影响机组的真空度和电厂的经济性。说一下真空泵的启停步骤和正常运行,以及需要注意的问题。  1、开机前,确认系统连接完好,工单已结束,无关人员已撤离生产现场,系统相关阀门状态是否正确。现场计量表已正常投入使用。  2、检查气动进气门的控制压力是否正常,压缩空气压力保持在0.4-0.5Mpa,进气门的电源是否已经打开,开关的测试是正常的。  3、检查真空泵供水系统阀门是否已打开,冷凝泵是否运行正常,或淡化水系统压力是否正常。  4、检查冷水机进、回水闸门是否打开,供水压力是否正常,检查汽水分离器,供水管阀门是否处于正确状态,供水阀门底部排汽-水分离器关闭,泵体上的排水阀关闭。  5、打开分水器分水器旁通阀,将分水器水位补充到140-180mm,然后放上电磁阀,打开电磁阀前后手动门,放置自动调节。  6、测量机绝缘合格,然后送上电源,检查电机地线是否完好,确认满足启动条件。  7、确认排气装置真空破门已关闭,轴封加热器水封装置已启动。并且虚空毁灭之门被水填满,被封印起来。  8、启动真空泵运行,电流不大于额定电流,检查真空泵是否工作正常,水气分离器水位正常,泵电机及轴承振动正常并且温度变化是正常的。轴承温升不超过40,真空泵轴承温度不超过75,电机轴承温度不超过85。 ...
2021 - 07 - 14
纸机是造纸行业中用以纸幅成型的关键工业设备,真空系统是协助纸机脱水的合理驱动力、包括纸张真空吸附功能,真空系统装备对于造纸机应用是很重要的,可以保障造纸设备的平稳,减少耗能,从而产生更大的盈利。如何把真空系统在国内纸机中的运用开展提升?深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,根据客户造纸机真空需求,设计了中央真空集成系统应用于造纸机生产,及真空吸附搬运工艺。中央真空集成系统在造纸机的应用特点:⑴湿吸箱。出湿吸箱的浓度值操纵在3%之内,以确保浓清水所有用以冲浆,依据时速速度可设定3-4个湿吸箱。⑵低真空吸储水箱。在生产制造中根据提升上外网浓度值来缓解纤维管的脱水负载。⑶高真空吸储水箱。纤维管配备好多个抽供气量略大低真空吸储水箱,真空度15~30kPa为宜。⑷复合型区高真空箱。因为对真空度规定较高,最好用单独的真空泵。⑸真空泵伏辊。设定一个真空泵吸脂区,真空度一般在50~60kPa,吸宽一般为300mm。⑹真空吸移辊。抽供气量不适合过高,真空度保持在40~60kPa,应用一个吸脂区就可以,吸宽为150~200mm。深圳市务明系统集成有限公司专注于真空泵领域,拥有技术团队研发生产真空泵产品,主要有真空泵(螺杆、旋片、水环、罗茨)、真空系统、真空机组等产品,广泛应用于橡塑、食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,可为客户量身定制真空应用解决方案,改善真空工艺,节能环保,务明...
2021 - 08 - 27
旋片真空泵的工作原理非常简单,即利用旋片在泵腔内连续旋转,通过改变泵腔的容积来获得真空。旋片式真空泵中的气体压缩是等温的。由于没有排气阀和摩擦面,带有灰尘、可冷凝气体和气水混合物的气体可以被去除。旋片真空泵的工作流体主要是真空油,因此在操作和使用过程中应注意以下几点:如真空泵送的气体含有大量的水蒸气,可以选择旋片泵而不考虑选择水环泵或真空单元,但是需要将冷凝器连接到旋片式真空泵的空气入口,以便水蒸气可以被冷却成水,然后进入可以将水泵入泵中以达到抽真空的目的。然而,应该注意的是,由于冷凝器不能液化所有的水蒸气,所以在使用旋片泵时,必须注意真空泵油的变化。如果发现真空泵油有质变、浑浊或乳化现象,应及时更换真空泵油,以保证旋片泵在工作时达到要求的真空度,否则真空度会降低甚至损坏。2.如果泵送的气体中含有固体颗粒,要选择旋片泵,需要在旋片式真空泵的进口管上连接一个过滤器,这样可以有效防止旋片式真空泵的真空度因颗粒物质而下降。使用过程中应注意过滤器的合理选择和清洁。3.旋片式真空泵不能泵出各种含氧过多、有毒、对黑色金属有爆炸性腐蚀、对真空油有化学作用的气体,也不能用作压缩机和输送泵。如果有带气镇装置的泵,一定量的可冷凝蒸汽可以被除去。4.泵送气体的温度可能过高。解决方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。如果蒸汽不能有效地排出泵室,蒸汽将在泵室中冷凝。这将导致旋片泵润滑油乳化变质,严重...
2021 - 10 - 09
了解真空泵工作原理,才能更好的应用及发挥真空泵性能特点,水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵都是比较常见的真空泵产品,下述内容为各类真空泵原理,欢迎查阅。1)、水环真空泵原理水环真空泵叶子的离心叶轮轴力地装在圆柱型泵体内。泵内引入一定量的水。离心叶轮转动时,将水甩至泵体产生一个水环,环的内表层与离心叶轮轮圈圆的切线。因为泵体与离心叶轮不一样心,右半轮圈与水环间的进气口室内空间4慢慢扩张,进而产生真空,使汽体经进气口进到泵内进气口室内空间。接着汽体进到左下半,因为毂环中间容量被慢慢缩小而提高了气体压强,因此汽体经排气管室内空间及排汽管被排入泵外。2)、罗茨真空泵原理罗茨真空泵的原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的持续转动,被抽汽体从进风口吸进到转子与泵体中间的室内空间v0内,再经排气口排出来。因为呼吸后v0室内空间是全封闭情况,因此,在泵腔内汽体沒有缩小和澎涨。但当转子顶端掉转排气口边沿,v0室内空间与排气管侧互通时,因为排气管侧气体压强较高,则有一部分汽体返冲过室内空间v0中去,使气体压强忽然提高。当转子再次旋转时,汽体排出来泵外。3)、旋片真空泵原理旋片真空泵(通称旋片泵)是一种骨架密封机械设备真空泵。其工作中气体压强范畴为101325~1.33×10-2(pa)归属于低真空泵。它能够独立应用,还可以做为其他高真空泵或极高真空泵的前面泵。以上三种真空泵都是需要用到真空泵油,而...
2021 - 12 - 08
由于医院环境的特殊性,所以对医用真空系统的灭菌能力、自动控制、设备稳定性等都有严格的要求,尤其是医用真空系统的灭菌功能。目前常见的医用负压系统由集污罐、气液分离器、真空缓冲罐、细菌过滤器、真空泵组成,如图所示:常见的医用负压系统使用的现状分析:一、前段只配有一道细菌过滤器医用真空系统前段只配有一道细菌过滤器,仅考核0.2~0.5μm以上粒径的去除比例,对低于0.2~0.5μm粒径的没有参考意义,对细菌有一定过滤效果,但难以过滤病毒。二、缺少对病毒及细菌灭活的高温灭菌措施这种无高温灭菌措施的医疗负压系统,重点在“防”而非“灭”,很难从根本性解决二次污染问题。针对这些问题,恒才提出“灭活为主,灭而非防”的思路,采用具有广谱灭火特性的化学灭活为主,高温灭活为辅的系统设计,达到防腐灭菌的目的,可最大限度的保证排气的安全。高温灭活利用变频爪泵(爪型干式真空泵:无油无水,干式运行),在运行过程中产生的高温进行辅助灭活,可从根本上解决排气的二次污染。更多真空解决方案,真空设备设计及真空装置,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司,我们专注于泵业发展,致力于真空泵阀领域,从设计、选型、安装、调试,维保等一站式服务,为客户提供持续和稳定的泵阀解决方案。
2022 - 02 - 24
真空引水系统控制原理是什么?真空引水是指利用真空作用将水自低于水泵轴的水位,抽吸至超过泵壳顶部,以至灌满水泵和吸水管的水泵引水方式,而真空引水系统(真空引水机组)的应用也由此应运而生。真空引水机组真空引水系统是恒才优势真空系统,多应用于江河引水排水、环保水资源引水排水等行业中。了解下真空引水系统控制原理是什么:1.真空引水系统分两部分:一部分是供水泵及管路;一部分是真空泵及辅助管路。真空系统可实现真空抽吸和真空保持功能,解决水泵启动前的排气引水工作程序,实现了供水泵方便、随时、快速地启动。2.真引水机组、真空引水系统根据安装在前置罐上液位计的液位信号来判断引水是否成功,引水成功后,机组自动关闭进气管路上的电动阀门和切断引水装置电源,控制柜输出引水成功信号到用户DCS系统。3.真空引水系统具有一定的抗汽蚀能力,叶轮采用铜材质,真空引水装置均具有相应的防锈措施。4.真空引水系统设备的噪声水平遵守《工业企业噪声卫生标准》的规定,在距水泵外壳水平1.0m、高度1.2m处的噪音值不超过68分贝。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统、高品质真空泵产品。
2022 - 04 - 12
旋片真空泵常用的行业有手机行业、吸塑行业、真空热处理、化工、医药、电工、焊接、食品包装行业等。但是,无论哪个品牌的真空泵使用一段时间,都需要进行一些日常维护和清洗,这不仅可以延长真空泵的使用寿命,还可以改善真空泵的良好工作环境。那么,在使用真空泵的过程中,有时真空不足是有原因的,真空泵真空不足的几种常见问题? 1.真空泵过载,电机烧毁。电机内轴承损坏泵头卡住罗茨真空泵电机线圈烧毁泵头联轴器与电机联轴器配合过紧 2.真空泵抽油和喷油。排气过滤器故障3.真空泵不足。叶片磨损或不能扔掉密封件老化和泄漏真空泵油太小管道泄漏或进气口堵塞。4.真空泵有异常噪音。叶片损坏轴承损坏端盖和转子磨损电机轴承损坏5.真空泵温度高。机油积碳堵塞油路轴承损坏转子和端盖磨损冷却风扇断裂冷却油管堵塞深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。http://www.cnst-pumps.com/
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真空泵真空度不稳定影响PET片材发泡

日期: 2023-10-19
来源:
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PET片材发泡是什么原因?真空泵真空度不足怎么解决?

真空度不足会影响片材的加热和塑化过程,使得片材内部存在气泡和未完全塑化的团块,从而在发泡过程中产生气泡,降低片材的发泡质量和性能。


pet真空泵,片材真空泵机组


深圳恒才机电真空泵系统生产厂家 ,为了提高片材的生产质量和性能,需要确保真空度足够,使片材内的空气充分排除,并保证片材加热均匀,充分塑化。设计了pet片材真空机组,用于pet片材挤出行业。


真空泵系统,pet真空机组


真空度不足会导致片材内的空气不能完全被排除,从而在片材中形成气泡。这些气泡在片材中会成为薄弱点,降低片材的质量和耐用性。还会使加热不均匀,使得片材内的PVC树脂不能充分塑化。

这会导致片材内部存在未完全塑化的团块,这些团块在后续的发泡过程中容易形成气泡。





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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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