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2020 - 12 - 02
现在厂区最多的的真空泵应该就是水环真空泵了,虽然其他的真空泵增长趋势比较快。但是水环真空泵的地位短期内不容易动摇。今天我们就来介绍水环真空泵的结构原理与适用场合。  水环真空泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的,这是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。  水环真空泵工作原理:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。  水环真空泵工作优点:①结构简单,制造精度要求不高,容易加工。②结构紧凑,泵的转数较高,一般可与...
2020 - 12 - 14
真空泵的技术术语  真空泵除主要特性,极限压力,流量和抽气速率之外,尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。  1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。  2、前级压力。排气压力低于101325Pa的真空泵的出口压力。  3、最大前级压力。超过它能使泵损坏的前级压力。  4、最大工作压力。对应最大流量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏。  5、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。  6、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。  7、抽气系数。泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比。  8、返流率。泵在规定条件下工作时,与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率。  9、水蒸气允许量(单位:kg/h) 在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的质量流率。  10、最大允许水蒸气入口压力。在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压力。  真空泵的应用  根据真空泵的性能,在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作。  1、主泵。在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。  2、粗抽泵。从大气压开始,降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵,  3、前级泵用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。前级泵也可以...
2020 - 12 - 24
水环真空泵在使用的过程中,是通过管道对要抽取的物质进行连接的,这样一来,水环真空泵需要配备什么样的管道,有没有选择趋向,就成为了一个很重要的问题,那今天小编就来讲一下管道的配置问题,一起来看看吧。  为了提高水环真空泵的吸入性能,管道泵吸入管路应尽可能缩短,尽量少拐弯(弯头要用大曲率半径),以减少管道阻力损失。  为防止水环真空泵产生汽蚀,泵吸入管路应尽可能避免积聚气体的囊形部位,不能避免时,应在囊形部位设DN15或DN20的排气阀。当泵的吸入管为垂直方向时,吸入管上若配置异径管,则应配置偏心异径管,以免形成气囊。  为了避免水环真空泵管道、阀门的重量及管道热应力所产生的力和力矩超过泵进出口的max允许外载荷,在真空泵的吸入和排出管道上须设置管架。泵管口允许max载荷应由水泵制造厂提供。垂直进口或垂直出口的泵,为了减少对泵管口的作用力,管口上方管线须设管架,其平面位置要尽量靠近管口,可以利用管廊纵梁支吊管线,所以常把泵布置在管廊下。  输送密度小于650Kg的液体,如液化石油气、液氨等,泵的吸入管道应有1/10到1/100的坡度坡向泵,使气化产生的气体返回吸入罐内,以免泵产生汽蚀。  以上就是今天关于水环真空泵的配管问题的一些说明,我们在操作的时候之所以要注意这些问题,是为了保证运作的正常和工序的合理运作。
2021 - 01 - 06
真空理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。  真空度 表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)  绝对真空&相对真空  极限相对压强 相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。  极限绝对压强 绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。  例如,设备的真空度标为0.098MPa,实际上是-0.098MPa  抽气量 抽气量...
2021 - 01 - 18
真空泵选型过程中,不仅需要了解真空度、抽气时间、工作温度、容积等参数,同时还需要考虑被抽气体成分、是否回收等其他一些因素。今天螺杆真空泵厂家和大家一起聊聊过程中对气体成分要考虑的一些因素。  一、要考虑被抽介质是气体还是含有液体、颗粒性物质、可凝气体等。如被抽介质中含有颗粒性粉尘介质、水汽等,旋片、滑阀这类油封式机械泵就要慎选,需要考虑气镇、加装过滤装置等,大量的话或者考虑除尘、冷凝等装置。  二、要考虑被抽介质是否易燃易爆,是否需要回收。如一些溶剂回收类应用,油封泵或者液环泵因为被抽介质可能与工作介质混合相溶而对回收造成不便,而像一些涉及瓦斯气体的应用就需要水环这类等温压缩的真空泵。  三、要了解被抽介质是否有腐蚀性,是酸性还是碱性,PH值是多少。如果含有酸碱腐蚀性气体或者有机腐蚀等因素的气体,就需要考虑防腐涂层、中和,介质是否会和油封泵、液环泵等的工作液发生化反等。  四、被抽介质是否会对橡胶、油品等有污染。真空泵的密封件中可能涉及橡胶材料,被抽介质如果过橡胶材料会产生污染或者腐蚀,就需要考虑针对替换。对油类等工作液等可能造成污染的话,同前面一样需要在前端考虑冷凝、过滤,或者采用干式类型的真空泵。  上面几点就是螺杆真空泵厂家在真空泵选型了解被抽介质过程中会关注的几个主要因素,不同的介质对真空泵的类型以及周边的功能配套等都有不同的要求,不可忽视。
2021 - 02 - 24
人们的日常生活离不开真空泵,也是生产、制造中必不可少的设备之一, 为了让真空泵正常工作,除了按操作规程正常使用、运行过程中注意正常监视和维护外,还应该进行定期检查,做好真空泵维护保养工作。  真空泵的维护保养方法及注意事项:  1、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。  2、点动电机,试看电机转向是否正确,切勿堵塞泵出口。  3、开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,检查电流,电压各项是否正常,出现异常情况,请停机检查。  4、真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。  5、真空泵维修保养需要拧下真空泵泵体的引水螺塞,灌注引水(或引浆)。  6、真空泵维修保养应该关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。  7、真空泵维修保养应该经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。  8、真空泵维修保养要经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。  9、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑决定,一般真空泵维修保养中新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。  10、一般情况下真空泵维修保养,真空泵工作2000小...
2021 - 03 - 19
随着螺杆真空泵的使用时间增加,其效力可能不如首次使用时高。通常,一段时间使用后会消耗一些能量。我们要做的就是尽力减少使用过程中的能耗,从而提高泵的效率。有没有办法减少泵的功率消耗?  1.检查螺杆真空泵叶轮是否在螺杆真空泵和其他零件之间磨损或磨损,如果有,请立即修理。  2.检查液体的密度,并尽可能降低液体的密度。  3.检查轴承,一旦损坏,请立即修理或更换轴承。  4.正确对准联轴器并调整轴向间隙。  5.如果螺杆真空泵的轴弯曲,则可以对其进行校正。  6.检查平衡孔并疏通回油管。  7.检查控制器和电源,并控制速度。  8.松开垫圈,检查水封管。不要让包装太紧或擦干。  当长时间不使用螺杆真空泵时,建议采取上述措施降低功耗,以便在降低功耗的同时延长其使用寿命。同时,它可以使泵更有效地工作。
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 10 - 16
来源: 1256
半导体晶圆减薄真空吸附方案:深圳恒才集中抽真空系统在半导体晶圆减薄、研磨、抛光等工艺中,真空吸附的稳定性直接影响晶圆平整度、吸附均匀性和生产良率。深圳恒才机电设备有限公司针对半导体晶圆减薄工况,提供集中抽真空真空泵系统方案,可满足多工位稳定吸附、粉尘杂质过滤、低噪音运行及灵活移动安装等需求。方案特点集中抽真空:一套系统为多个减薄工位提供稳定真空,减少分散配置,降低设备占地和管理难度;稳定真空吸附:...
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 292
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 281
瓦斯事故是近几年煤矿行业中需要注意的重中之重,一次矿难就能搭上无辜的几十条人命。所以,煤矿行业的设备安全是断断不能忽视的,我国从20世纪50年代开始进行煤层气抽放,抽放量不断增加,基本达到煤矿安全的目的,控制了瓦斯事故的发生。采用水环式真空泵/压缩机抽放瓦斯有以下几种基本形式: 以采煤和抽放关系分:采前预抽,即对未开采煤层的煤层气抽放。因为矿区范围广,管线长,一般有几十公里。工作环境恶劣,所以要求水环式真空泵/压缩机抽气量大、真空度高、运行可靠。现在水环式真空泵/压缩机采用国际先进技术设计制造,气量可以达到500~70000m3/h,完全可以满足煤矿工业的需要。该抽放方法逐渐成为主流,该方法不但成为安全生产的保证,而且煤层气将成为新的清洁能源,对我国这样一个煤炭大国具有战略意义。边掘边抽、边采边抽,即正开采煤层过程的煤层气抽放。采后抽放,即报废矿井、采掘巷道煤层气抽放。 以抽放方式分:钻孔法抽放,对煤层钻孔、并且采用松动技术,增大煤层气的释放面积和通导,使煤层气快速释放。减少采掘过程中的释放量。这种方法效果好,而且煤层气的利用率高。一般采用水环式真空泵/压缩机来抽放。巷道法抽放,对采空巷道、采掘巷道进行瓦斯抽放,保证安全浓度。地面垂直井抽放;混合法抽放等。 以抽放目标层分:开采层抽放、邻近层抽放、采空区抽放等。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 393
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 343
冻干机中真空泵的真空排气量如何确定?下面小编带大家了解一下.(一)真空泵抽速的性能指标 冻干机真空系统从大气压抽到10Pa的时间不多于30min。 (二)真空泵选型原则 所选主真空泵的极限真空应比冻干箱要求的极限真空高1~2个数量级。医药冻干一般要求极限真空为1~5Pa,所选主真空泵极限真空应高于1X10-1~1X10-2Pa。旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、油增压泵均可。 冻干箱的工作真空度为4~4OPa,应在主真空泵最佳抽速压力范围内。 冻干机使用的真空泵还应可以抽除一些水蒸气,或者可适应被抽气体夹杂有水蒸气。 (三)抽气速率的计算 冻干机有预抽时间要求,对于冷阱和冻干箱共用一台制冷机时,这个时间要求很重要。满足不了时可能造成预冻制品融化。如果在真空冷凝器(冷阱)制冷的同时,冻干箱还能供冷保持低温,这一时间要求就不那么重要了。也就是说可以适当延长要求的时间,然这对冻干机的性能还是略有影响的。不同的行业需求的真空度不同,所以要选择合适的真空泵去满足生产中需要的真空度的要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 410
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 403
我公司生产销售的水环式真空泵在真空浓缩方面应用广泛,尤其是在制糖行业,以下针对制糖行业的具体应用,分析具体工艺流程:糖厂每加工1000公斤的甜菜,可得到约为125公斤的糖汁,含糖率一般为百分之十几。然后将糖汁放在蒸发罐内加热,浓缩成含有35%水分的糖浆。由于水分含量仍然很多,糖还不能结晶出来,这时要把糖浆放在真空罐中,再浓缩成含7~8%水分的精膏,于是糖从饱和溶液的糖膏中逐渐结晶析出。 因为糖浆的浓度很高,而使沸点提高了20,故糖浆的沸点为100+20=120。在这样高的温度下煮糖(浓缩的过程就是煮糖)将会引起糖分的焦化,而使损失增加。若在一定真空度下熬糖,就会使沸点大大降低。因此糖浆浓缩成搪膏,要在一定的真空度情况下进行。 开始由于水分大量存在,糖浆远没有达到饱和状态,故应在最大真空度下进行水分蒸发,所需真空度为-620~-640毫米汞柱,其沸点相应为68-70。溶液的浓度增加,沸点必然升高。随着糖浆的不断浓缩在同一真空度下糖浆的温度会逐渐升高至74~77。真空熬糖的第二阶段可在低的真空度下进行,所需真空度为-420~-460毫米汞柱,沸点约为93-94。选择正确的真空泵能够给企业提高生产效率,节约能源.合适的真空度能够让产品质量的得到保证.稳定的真空度能够减少下次产品的出现.在制糖行业来说,选择合适的水环式真空泵是十分必要的.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 395
对液态成品的精制过程,最后一步工艺往往是精馏。其目的主要为:保持产品的物理化学性质;产品的精制收率尽可能高;以产品为正馏份,除去作为溶剂的低沸部分和下脚料的高沸部分,从而达到产品质量指标。液态产品通常具有受热变质的热敏性,因此在较低温度下实现精制显得尤为重要。 同样地,从经济以及环境保护方面的考虑,对脱除的溶剂必须回收使用。液态产品的精制要求尽可能在高的真空度下进行,通常操作压力在10Pa以下(1个标准大气压为101325Pa)。满足此条件的配置有:滑阀真空泵、爪式泵两种单泵、罗茨真空机组。 (1)罗茨真空机组。 其运行功率相当高。对于前级泵达到相当于LH-70PH型爪式泵同样抽气量的机组,其机组配用功率为20Kw,对于日夜连续运行的真空产生装置来说,12.5Kw的差别,一年下来,意味着9万元的电费差距(以每年工作300个昼夜计。电费以1元/度计)。 (2)滑阀泵。 其必须有真空泵方能有效工作。当气体流经真空泵时,难免将真空泵油夹带出去。这就意味着不能直接套用所回收的溶剂,或者浪费掉并污染环境。此外,滑阀泵对操作维护要求较高,在寒冷季节,开关机稍有不慎,就非常容易损坏。 (3)爪式泵。 采用爪式泵,泵后的常压回收溶剂没有问题。另外,由于其本身结构较好、加工精良、附属装置齐全,一旦投入使用,其使用要求低、使用范围广、使用寿命长、清洗维护保养方便。当需要更高的真空时,其能作为前级泵方便地组成真空机组。 由此可见,在液态成品高真空精制的场合,爪式泵是一种相当合理的选配方案。
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 310
真空冷却对肉类保鲜的重要性不言而喻,下面我们就来了解一下吧.尤其在夏季,肉类产品的保鲜是一个非常困恼屠户的问题,本文着重讲真空冷却对肉类食品保鲜的具体方法,真空冷却是一种快速蒸发的冷却方法,它已经被广泛应用于去除花卉和果蔬内部的田间热,主要应用的真空泵是旋片式真空泵,真空度高会让肉类的保质期维持的更久!    以降低这些产品的温度和延长寿命。近几年来,食品安全问题,尤其是肉制品的安全问题已经越来越受到世界各国人们的重视。为了减少肉制品中的细菌繁殖和降低污染,必须使肉制品能够快速冷却。传统的冷却方法如风冷、水冷等方法的冷却时间比较长,需6~10小时左右,已经不能够满足产品的快速冷却。因此,真空冷却的应用就延伸食品工业中,并在熟肉以及肉制品的快速冷却中发挥了极大的作用。为了使熟肉能够快速冷却,国外许多学者从不同角度对熟肉的真空冷却进行了实验研究。目前,真空冷却在熟肉中的实验研究主要从影响真空冷却速率、质量损失的因素进行了研究,影响真空冷却速率和质徽损失的主要因素有:产品的密度、孔隙率、收缩率和水分含量。还有一些过程条件,如盐水注射量、是否翻转、样品粉碎和包装等也会对真空冷却速率和质量损失产生影响。今天我们了解了,旋片式真空泵用于真空冷却的应用,后面我们还会分享更多的应用,敬请关注.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 421
大家可能不知道真空应用中的前级真空泵是什么?小面小编就和大家一起了解一下.可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 前级真空泵概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以分为三种主要类型: (a)气体的输运是通过一级或多级压缩来实现。 (b)通过动量转移输运气体。 (c)气体吸附在低温表面上,而后再加热,再生出来。 机械真空泵是第一类泵的代表,而喷射泵和吸附泵是第二类泵和第三类泵的代表。工作压强区域 虽然各种类型的泵都能对大气排气,但它们的有效工作区城的变化取决于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高压缩比,机械间隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨胀或返流。没有密封液的泵很适于在大气压附近工作。由于压缩热难于散掉,一些干式机械泵,尤其罗茨泵和千式螺旋压缩机的低压强工作受到限制。这些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化铸铁以及高温下合成的材料,那么,由于这些材料的自润滑性能,可将干式旋片泵的工作区域延伸到150Torr,在同样的压强区域,也可以有效地利用液环泵、往复式活塞泵以及效率较低的喷射泵。若用双级液环泵、无阀多片泵、双级往复式活塞泵、液体喷射泵以及双级蒸汽喷射泵,甚至可将压强区域延伸至大约30Torr.当工作压强进一步降低时,比较简单的泵可能不再适用了,必须用多级旋转油封泵,并选择低蒸汽压的密封液。单级泵的有效工作压强区城主要是由于油污染影响,因而将其限制到0.lTorr。由于同样的影响,双级油封泵的低压工作限,稍低于10mTorr。约为1mTorr的油蒸气压弧使前级接双级油封泵(在有效抽速下)的罗茨泵不能在10-6Torr区域内工作。对低于1mTorr的抽气,用其他抽气设...
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 323
真空装置自动控制常用名词汇术语有很多,下面这些就是小编给大家总结的.希望能够给大家带来帮助.1、被控制对象要求实现控制的真空装置或生产过程,称之为被控制对象。例如真空阀、真空泵、真空镀膜机、真空热处理炉等。2、测量装置测量被控制量变化的装置。例如:真空计、温度计、膜厚测量仪等。3、调节装置(调节器)它把测量装置所测量的被控制童与真空工艺所需要保持的给定值相比较,得出偏差值,并按设计好的运算规律进行运算,发出信号,使控制执行机构动作,以消除被控制量与给定值的偏差。如模拟PID(比例、积分、微分)调节器、数字PID调节器(即单片机、计算机)等。在真空装置的真空度控制中,它通常与测量装置的真空规及执行机构的真空调节阀组合在一起,构成压力控制仪。4、执行机构它接受调节装置发出的信号,产生调节作用,以消除被控制量与给定值的偏差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。5、被控制量系指被控制对象内要求实现控制的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。6、测量值测量装置所测得的被控制量的实际值。7、给定值被控制量要求保持恒定或按预定规律变化的规定值。8、偏差测量值与给定值之差。9、扰动干扰它是使被控制量产生变化的因素。扰动分两种:一种为控制系统内各个环节产生的扰动,称为内扰;另一种为控制系统以外对系统产生的干扰,称为外扰。10、反馈把输出信号送回到输人端,以增强或减弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号增强者称为正反馈;反之,则称为负反馈。在自动控制系统中多采用负反馈。11、调节过程系指控制系统受到加外信号(给定值或扰动)作用后,原来的平衡状态遭到破坏,由于自动控制装置的调节作用,使被控制量回复到原来的平衡状态,或过渡到新的平衡状态的过程。12、位式调节系指被控制量偏离给定值时,调节器使执行机构全开或全关的调节。如具有上、下限压力给定的真空继电器的压力调节。13、比...
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