抽真空速度是决定真空等离子清洗机工作效率的重要因素之一。吸尘速度主要由真空泵决定。当要加工的产品的尺寸很大时，必须使用具有大腔（80L以上）的真空等离子清洁器。如果仅使用一个真空泵，则抽真空速度将变慢，并且抽真空所需的时间将很长。 因此，大腔真空等离子体清洁器通常配备有真空泵组以提高抽真空速度。今天我们将介绍等离子清洁器中使用的真空泵组的类型以及选择真空泵组时的注意事项。
真空泵组合两个或多个真空泵组成一系列结构，可大大加快真空泵送速度。在真空等离子体清洁器中通常使用三种类型的真空泵组，一种是旋转叶片真空泵和罗茨泵;另一种是干式真空泵+罗茨泵;最后一个是机械泵和分子泵。
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1.旋片式真空泵+罗茨泵
旋片式真空泵和由罗茨泵组成的泵组也可称为油泵组。该泵组是我们真空等离子清洗机中最常见的泵组。它由旋片式真空泵驱动。泵，加上罗茨泵作为二级泵的组合。这种类型的泵组通常用于真空等离子清洁器，其中清洁度要求不是很高并且腔体很大。
旋片式真空泵和罗茨泵是真空等离子清洗机中最常见的泵组。有许多优点：首先，它可以大大提高抽速和减少抽真空时间。二，结构相对简单，易于维护;第三，具有成本效益，具有价格优势。
2.干式螺杆真空泵+罗茨泵
干式螺杆真空泵和罗茨泵组合成干式泵组。泵组使用干式螺杆真空泵作为底部泵，使用罗茨泵作为辅助泵。因为它们都是由干式真空泵组成，所以没有油污染，清洁度高于油泵组。干泵组通常用于具有高清洁度要求的行业，例如生物医学，半导体和航空航天。
干泵组具有优越的性能，具有许多优点：一是清洁度高，避免油污;二，高真空速度，提高工作效率;三，工作性能稳定，声音低。第四，对工作环境的要求低，可以应对各种恶劣的工作环境。
3.机械泵+分子泵
机械泵加上分子泵形成一个特殊的泵组 - 分子泵组。分子泵组的使用可以形成清洁的超高真空环境，因此分子泵组通常用于需要高真空环境的涂布机和蚀刻机等设备中。
分子泵组是如此强大，它有什么优势？首先，分子泵组启动快，抽速非常快。其次，分子泵组不使用油，不会造成油污染。第三，维护简单。