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电子行业如何做到集中抽真空
电子行业如何做到集中抽真空
2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电...
开料机水环真空泵的使用注意事项
开料机水环真空泵的使用注意事项
2019 - 10 - 29
现在很多厂家生产的开料机将根据客户要求配备一个真空泵，为方便客户固定板，但使用注意事项真空泵，但没有明确告知消费者，导致很多客户在真空的时间泵故障不能确定是哪里出了问题，今天我们对水环真空泵的常见问题做一下简单的解释。　　水环真空泵主要组成部件有以下几种：　　1、吸气口：连接木工雕刻机吸附管道。　　2、除尘罩：防止木屑等杂物进入泵内。　　3、止回阀：停机时，防止泵内的水回流到设备内。　　4、进水管：向泵内注入工作液，设备产生真空。　　5、进水阀门：控制工作液的流量，开机之前必须完全打开阀门，并确保水已经进入泵内，才能启动真空泵。　　6、排水口：在设备使用10天左右，排空水箱内的工作液，更换干净的软化水。　　7、排气口：在吸附过程中产生的气体，通过排气口排入大气，排气口不可堵塞，不可接超过两米的管路，不可接直径低于5CM的管路，否则极易超负荷，损坏电动机。　　8、上水位口：向水箱内加水，直到上水位口向外淌水为止，并在每天启动真空泵前定时加水，保证水箱内有充足的工作液。　　9、水箱：盛放工作液。　　那么在水环使用之前我们应该注意哪些问题?　　特别提醒：每次开启真空泵的时候，必须确保真空泵里面有工作液!且工作液位需达到电机轮轴以上!　　一：吸气口与雕刻机吸附管道连接，严格进行密封，防止泄露。　　二：初次启动，用螺丝刀拨动电动机风扇，确保叶轮无卡滞现象。　　三：连接电动机电源，并调整运转方...
真空泵系统中选择真空泵的要点，要记住啦！
真空泵系统中选择真空泵的要点，要记住啦！
2019 - 11 - 05
真空泵的作用是从除了气体分子的真空室抽真空，以减少在所述真空室中的气体压力，以便达到所需的真空度。广义地从大气中高真空具有大的范围内，到目前为止还没有一个真空系统可以覆盖该范围。因此，为了实现不同的产品的过程指标，和工作的设备的工作寿命要求效率，不同的真空部分需要选择真空系统的不同的配置。为了获得最佳的结构中，真空泵系统被选择，有以下几点应予以考虑。　　1，确定在真空中工作范围　　它首先检查以确定真空的每个过程的要求的程度。由于每个进程具有其自身的真空范围的适应，必须仔细研究，以确定。　　2，确定最终的真空　　在真空排气系统由过程所需要的真空度的检查的基础上确定的限制的真空度，因为该系统确定真空系统的工作最好的真空度最终。　　一般地，该系统的极限真空比操作系统，真空度低20%，比真空前级泵的极限程度低50%。　　3，选择主真空泵计算　　S = 2.303v / TLOG(P1 / P2).　　其中：S是真空抽速，v是真空室的容积，t为达到所要求的真空度所需的时间，p1为初始压力，P2是真空的所需程度。　　4，真空容积　　检查时间以达到所需的真空水平时，泄漏的真空线的流动阻力。　　考虑的需求，以达到真空排气速度所需的真空度后，根据工艺要求一定的条件下维持。　　5，排气的类型和量泵送　　检查的排气用吸入工艺要求的类型和数量。因为反应发生，如果液体泵的气体种类和真空泵系统将被污染。同时，...
关于水环真空泵过压缩现象与压缩不足现象
关于水环真空泵过压缩现象与压缩不足现象
2019 - 11 - 07
水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时，液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心，形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水，所述水环泵。　　水环真空泵的工作原理       叶轮与泵体呈偏心配置，当叶轮旋转时，水在离心力的作用下沿泵体内壁形成近乎等厚的旋转水环，水环内表面与叶轮轮毂外表面构成月牙形的工作腔，并被叶轮叶片分割成大小不等的空腔。前半转空腔的容积逐渐扩大，气体从外界吸入;后半转空腔的容积逐渐缩小，气体被压缩后排出外界。从而完成吸气、压缩、排气三个工作阶段。　　过压缩现象与压缩不足现象　　1、过压缩现象：封闭小腔没有到达排气口，其内气体已经达到排气压力(一般常发生在大泵中，且吸气压力较高时容易发生);　　2、压缩不足现象：封闭小腔与排气口接通，但其内气体尚未达到排气压力(常发生在吸气压力较低时)。　　以上现象均与吸入气体压力变化，而泵的两口位置(压缩比)固定不变有关。　　解决问题的办法　　1、在排气口前设置橡皮球阀：当小腔内气体过早达到排气压力时，球阀打开。　　2、采用柔性排气阀设计(专利)，避免过压缩现象。柔性排气阀通过自动调节排气面积而降低泵的能量消耗。从而达到运行效率。　　3、设计时，以吸入压力(极限压力)来确定泵的压缩比(排气口位置)　　压缩比 ...
真空系统中被抽的有什么气体
真空系统中被抽的有什么气体
2019 - 11 - 08
在真空系统的应用中，提取的气体不仅包括应用过程中产生的各种气体，而且还包括系统中的原始大气。整体内容是什么?今天，小编会给你理一理。　　1.真空系统过程中产生气体　　它包括过程中从材料中逸出的气体以及过程中引入的气体，并且还包括真空系统中的液态或固态气化气体。对于不同的过程和要处理的不同材料，此气体量的计算是不同的。　　2.真空系统中最初存在气体　　在真空系统中，真空容器腔室，真空管道等最初包含一定量的大气气体成分。在泵送的初始阶段，它们是真空系统的主要气体负载，最早也被系统带走。　　3.真空系统中泄漏气体　　泄漏气体包括通过真空密封连接和各种泄漏路径泄漏到真空系统中的气体。对于给定的真空系统，泄漏的气体量是恒定的。不同的真空系统应用，不同的极限压力以及对气体泄漏量的严格限制。　　4.真空系统中各种材料表面上释放的气体的解吸　　在常压下，真空系统中材料的表面会吸附并溶解一些气体。在负压下，这部分气体将再次释放。它的渗出流与材料特性，加工和材料的表面状态有关。　　5.真空系统外部的气氛通过壁材料渗透系统中的气体　　气体也溶解并渗透到固体中。因此，大气通过容器壁结构的材料将一部分气体渗透到真空系统中。在普通的金属系统中，这种渗透可以忽略不计，但是在玻璃真空系统或薄壁金属系统中的某些应用将需要考虑渗透气体的影响。　　以上五个方面构成了真空系统的总泵送负荷。
爪型真空泵的结构分析
爪型真空泵的结构分析
2019 - 11 - 12
爪型真空泵，是一种转子为爪型的真空泵，泵的腔体内不使用任何油类和液体，所以称为真空泵。在结构上多采用多级爪式转子串联组合而成的，通过联轴器直接与电机相连。真空泵可分为容积式和动量传输式两种，爪型真空泵按工作原理划分属于变容积式真空泵。　　爪型真空泵由于具有腔体内干燥、对被抽容器没有污染、能直连大气、单泵抽吸力大等优点，被广泛地应用于航天、化工、制药等行业。但爪型真空泵的动平衡分析及密封特性一直是研究的热点问题。　　爪型真空泵的结构　　爪型真空泵的结构特点，各级转子串联、直径和形状相同，各级转子间相位为固定，由中间壁来隔离，形成各级的泵腔，两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上，由转子旋转过程中自动开关。转子无任何摩擦地悬浮于泵腔内做同步反方向运动。　　当电动机1开始工作时，电机主轴直接连到主动轴4上，主动轴4通过成对齿轮3的啮合实现与从动轴5的连续转动，4级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对做同步异向双回转运动规律的爪型转子8共轭啮合，实现吸气、压缩、排气、混合的连续过程。气体首先通过进气口，进入通道，在一级转子的作用下，一级泵腔内的气体进入2级泵腔，而后进入3级、4级泵腔，最后气体经过排气道进入冷凝区，气体液化后流向排液口，经收集处理可循环利用，同时残存气体通过消声器排入大气。　　多级爪型真空泵可以起到抽真空以及气液分离的作用。为了防止轴承和齿...
真空系统用于建筑排水可以吗
真空系统用于建筑排水可以吗
2019 - 11 - 14
近年来，中国城市生活用水量逐年增加，因此建设建筑物用水至关重要。因此，有必要选择一个良好的真空系统，建筑物排水中的应用值得关注。　　真空系统在建筑排水中中的应用，属于排水及污水处理环保设备领域。用于建筑物排水系统的当前控制系统中真空泵站系统和厕所控制系统不是两个独立的系统。这两个系统共享一个真空检测开关。该系统由相同的真空检测开关操作和停止。恒定值控制，一旦真空检测开关发生故障，两个系统都将被停用。　　真空泵站系统中真空泵和污水泵非常有用。备用泵仅在当前泵出现故障时才激活。频繁的启动往往会缩短有源泵的寿命。浴室控制系统中控制模块(如马桶座圈)的参数设置值是固定的，无法修改，因此不能在系统中的每种情况下灵活使用。　　本文的目的是解决现有建筑排水系统控制装置中真空泵和排污泵使用不正确，马桶座等控制模块无法设置修改参数，无法显示的问题用于确认诸如马桶座等控制模块故障的问题。为了达到上述目的，技术人员使用了一种真空系统技术方案来构造一种建筑物的真空排水装置，该建筑物包括抽水马桶控制系统，该抽水马桶控制系统通过排污管与抽真空系统相连。　　真空系统利用真空泵抽真空箱和管网中的空气，使管网中长期保持0.035〜0.045Mpa的相对真空，排污迅速。通过压力差将其吸入真空管，然后进入真空收集器(罐中;进入收集器(罐)的污水可以排入附近的重力排水网络或污水处理厂，或者可以输送到生态卫生中设备。　　启...
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防腐真空泵的应用及特点
防腐真空泵的应用及特点
2019 - 11 - 29
真空泵是一种旋转式可变容积气体输送泵，包括干式螺杆真空泵，水环泵，往复泵，滑阀泵，旋片泵，罗茨泵和扩散泵，压力范围广。抽速大等特点广泛应用于冶金，化工，食品，电子涂料等行业。在不同环境中使用真空泵时，不可避免地会腐蚀真空泵。但是，如何解决真空泵腐蚀的问题，一般采用高分子陶瓷聚合物来防止磨损和腐蚀。防腐蚀隔膜真空泵是与气体接触的所有部件，都是聚四氟乙烯(PTFE)材料。它们适用于处理化学，制药，石化和其他行业中的腐蚀性气体，例如抽滤，真空蒸馏和旋转。它用于蒸发，真空浓缩，离心浓缩和固相萃取。真空泵技术团队的工程师共享微型离心泵的类型和特征。希望对大家有帮助。　　工作原理：当耐腐蚀真空泵的叶轮按照市场政策旋转时，水就会被叶轮甩出。由于离心力，水形成了由泵腔形状决定的，厚度大致相等的封闭环。 水环下部的内表面与叶轮箱正好相切，而水环上部的内表面与叶片的尖端刚好接触(实际上，叶片在叶轮中具有一定的插入深度水环)。此时，在叶轮壳和水环的内部接口之间形成了一个月牙形的空间，并且该空间被耐腐蚀真空泵的叶轮叶片分成几个相等的小腔。　　如果耐腐蚀真空泵的叶轮底部为0°C，则在叶轮旋转之前，小腔的体积在180°C时会从小变为大，并与端面上的吸入口连通。此时，气体被吸入。在气体的末端，小腔与吸入口隔离。当叶轮继续旋转时，小腔从大变为小，因此气体被压缩。当小腔与排气口连通时，气体从耐腐...
旋片真空泵在熟食品加工和果蔬保鲜上的使用
旋片真空泵在熟食品加工和果蔬保鲜上的使用
2019 - 12 - 05
旋片真空泵这种泵产品并不是每个人都不熟悉，但是很少有人真正了解真空泵。真空泵有许多功能。使用真空泵保存水果，蔬菜和熟食也很方便。让我们与小编一起仔细看看。　　真空冷却是满足以下要求的理想快速冷却方法：　　1、收获后的水果和蔬菜仍然是活着的个体。通过呼吸获取必要的物质和能量。呼吸一方面维持了个体的生命，另一方面消耗了储存的物质。因此，水果和蔬菜始于衰老。保存的目的是延迟衰老，因此必须控制呼吸，并且与呼吸最相关的因素是温度。呼吸会释放能量，并导致产品温度升高。反过来，这会促进呼吸并加快衰老的水果和蔬菜的速度。显然，如果可以降低产品温度和水果和蔬菜的环境温度，则可以有效控制呼吸并延迟衰老。因此，采摘后必须预先冷却水果和蔬菜，以尽快消除田间热量并减少呼吸热。它为延长货架寿命创造了条件。如今，通常通过自然冷却来冷却，这需要大面积和长时间。不仅难以满足快速预冷的要求，而且不适合工业生产。还存在直接冷却到冷库中的方法，这既不合理也不经济，并且不能快速且均匀地冷却。　　2、处理完熟食后，必须先将其冷却后才能包装。传统的冷却方法包括室内自然冷却，强制通风冷却，空调冷却和冷藏冷却。这些冷却方法不仅具有较长的冷却时间(数十小时)，周转缓慢，占用大量土地，而且具有不均匀的冷却，较大的表面和中心温度差，并且更重要的是影响食品卫生和安全。在冷却过程中，空气中的细菌不可避免地会粘附在食物上，导致食物的“二次污染...
半导体工厂中用到的干式真空泵类型介绍
半导体工厂中用到的干式真空泵类型介绍
2019 - 12 - 10
自打干式真空泵被设计出来,机械机构就有明显的差异。当然这是由于厂家和品牌不同造成的.干式真空泵分为圆裂片式真空泵、爪式真空泵、组合式(罗茨+爪)真空泵、螺杆式真空泵。前面的3中我们称为多级泵,这种的工作方式差不多。都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。螺杆真空泵呢就是单级泵.只靠一个真空腔宋产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。下面就来详细的了解一下吧。　　圆裂片式真空泵　　双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。　　三叶圆裂片式真空泵　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。　...
为什么高温油泵不能空转
为什么高温油泵不能空转
2019 - 12 - 13
高温油泵可广泛应用于橡胶注射机，橡胶挤出设备，小型精密温控模温机，机床冷却液循环等行业。它是轴向抽吸，立式高温介质输送200-1泵，输送循环介质不含颗粒，纤维状液体(水，导热油，乙二醇)等。泵浦入口浸入循环液体，出口通过管螺钉连接。它具有永不泄漏，外观精美，扬程高，流速快，噪音低，性能稳定的特点。　　高温油泵主要由泵体，泵盖，内外转子，泵轴，轴端组合密封件等组成。主驱动器由一组相互啮合的转子组成。箱式冷却方法控制轴封的温度，泵和电动机使用三爪弹性联轴器形成油泵机组。　　1、应当小心使用高温油泵的工具。所有泵都应小心处理，以免受到影响。　　2、高温油泵，防止过载。使用时，当速度异常或降低时，应立即停止以检查是否有碎屑粘附在叶轮上或电动机是否出现故障。泵制动时，必须立即切断电源。　　3、高温油泵及时更换电刷。当电刷磨损且不再使用时，必须及时更换(同时更换两个电刷)，否则电刷和换向器之间的接触会损坏，从而导致换向器损坏。在严重的情况下，电枢会烧坏。　　4、高温油泵不适合空运行。使用泵时，请停止泵，否则会加速叶轮密封轴承的磨损。泵管也可能磨损，因为泵电动机的速度可以达到10000 rpm。　　5、在以下情况下，不应使用高温油泵。在使用过程中，如果发现绝缘损坏，电源线电缆护套破裂，插头或插座破裂或接触不良，并且会出现间歇性运行，火花和其他故障，则电动机外壳将运行。在这种情况下，应立即进行维修...
高品质高温油泵所带来的好处
高品质高温油泵所带来的好处
2019 - 12 - 16
有效地提高高温油泵的产品质量，对制造商和用户都大有裨益。我们应该从哪些方面提醒高温油泵的质量?　　1、高温油泵轴承的耐热性和稳定性：高速油泵高速旋转，一般速度为2900 rpm。因此，导热油泵的轴承必须选择高速轴承。为了防止导热油泵在高温下工作，导热的影响，一般的导热油泵轴承都是耐高温轴承。通常，小型流量泵将在轴的两端配备轴承，尤其是大型流量高扬程传热油泵必须在轴的两端均配备两个轴承。输送油泵主轴在流量大，离心力大的情况下为稳定型。　　2、高温油泵密封件的选择直接影响导热油泵的使用寿命：高温油泵的密封件一般分为机械密封件(包括单端机械密封，双端机械密封)机械密封和组合式波纹管密封)，填料密封(石墨密封，碳纤维填料)和骨架油泵(四氟骨架，四氟动力唇形密封。选择传热油泵密封时，必须根据客户的具体要求您不能仅仅考虑客户对传热油泵温度的需求，就必须从客户的角度出发，全面考虑管道的长度，高度，直径以及管道的阻力根据客户的实际管道，应考虑哪种密封更合适。　　3、高温油泵叶轮的平衡：高温油泵叶轮在组装前必须有足够的老化反应时间，并且在导热油泵叶轮的老化反应时间过去之后，才能完成叶轮的制造。只有通过静态和动态平衡测试后，才能组装油泵叶轮。如果静态或动态平衡不合格，则在传热油泵运行后，会引起诸如高噪音，高振动以及容易损坏轴承和密封件的问题。　　使用高温油泵应清洁干净。这项工作包括以下几个方面：　　1...
山东真空泵:浅析2bv5161水环真空泵材料
山东真空泵:浅析2bv5161水环真空泵材料
2019 - 12 - 19
当我们使用一般了解2bv5161水环真空泵时，我们主要关注关注其使用性能和问题可能出现会议使用的故障，这对我们以后的使用提供很方便。然而，人们很少注意水环真空泵具体使用的材料。以下山东真空泵制造商恒才机电告诉你2bv5161水环真空泵的材料。　　1.灰铸铁:灰铸铁是通过在第一阶段充分进行石墨化过程而获得的铸铁。所有或大部分碳以片状石墨的形式存在，断裂表面是灰色的，因此得名。它包括一般灰铸铁、孕育铸铁、稀土灰铸铁等。灰铸铁具有一定的强度，但其塑性和韧性很低。该特性特点与石墨本身的特性及其在铸铁结构中的现有形式有关。　　能量具有良好的减震性能，当灰铸铁用于制造机器和设备的底座、机架和其他部件时，可有效振动吸收机器。它具有良好的润滑性能、导热性能和铸造性能。流动性好，线收缩和体积收缩小，铸件不易开裂，适用于结构复杂的铸件和薄壁铸件。水环真空泵　　2.球墨铸铁:球墨铸铁是通过球化和孕育获得的球状石墨，它有效地改善了铸铁的机械性能，特别是塑性和韧性，从而获得比碳钢更高的强度。其综合性能接近钢。正是由于其优异的性能，它已成功地用于铸造一些具有复杂应力、高强度、韧性和耐磨性的零件要求。所谓“以铁代钢”主要指球墨铸铁。　　3.叶轮不锈钢:叶轮不锈钢为304不锈钢、316不锈钢和316升不锈钢。　　4.过流部件用不锈钢:泵体、阀瓣和叶轮用304不锈钢、316不锈钢和316升不锈钢。　　5.整体不锈钢...
如何防止水蒸气危害水环真空泵
如何防止水蒸气危害水环真空泵
2019 - 12 - 22
如果水环真空泵遇到水蒸气，则会使设备生锈，从而改变密封面，功能会迅速下降。为了避免这种情况，我们应该学会预防。让我向您介绍一下防止水蒸气污染设备的方法.　　一、污染原理　　水蒸气在拧紧过程中会凝结成水滴，并与真空泵混合形成悬浮液，这不仅会降低真空度，还会使真空泵腔和转子生锈，破坏密封面并降低极限真空度的泵。　　二、预防方法　　1、使用液氮冷阱不仅可以很好地吸收水蒸气，还可以防止机械泵油回流到高真空室中。　　2、 水环真空泵配备有油分离器，离心分离器或油水分离器。停止与水混合的机械泵油，处理后的油流入泵中使用。　　3、选择带有气镇装置的油封机械泵。　　4、使用吸水力强的单调剂。　　尽管水环真空泵的表面是由一些优质材料制成的，例如不锈钢，但有时会出现一些损坏设备的问题。水蒸气是非常普遍的。使用合理的方法来防止其污染设备。不影响设备的正常使用。　　恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验，一流的技术人员，完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作，更多真空泵知识请继续关注我们恒才机...
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中秋节放假通知

日期： 2019-09-12
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中秋节放假通知
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