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2025 - 12 - 27
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯片良率。水环泵的无油特性确保了真空环境的绝对洁净,满足半导体制造对污染控制的极高标准。二、高极限真空度适配精密加工晶圆减薄工艺需在真空环境下进行,以减少空气阻力对晶圆稳定性的影响。水环真空泵可提供稳定的极限真空度(通常可达-0.098MPa以上),确保晶圆在高速旋转(如200-3000rpm)和微米级磨削过程中保持平整,避免因真空不足导致的晶圆弯曲或破裂。三、稳定抽气性能应对工艺波动大抽气量与快速响应:水环泵通过叶轮旋转形成水环,实现连续抽气,可快速排除减薄过程中产生的微小颗粒、磨屑和气体,维持真空环境稳定。其抽气速率覆盖0.15-120m³/min,能适配不同尺寸晶圆(如4英寸至12英寸)的加工需求。抗负载波动能力强:在粗磨、精磨和抛光等阶段,磨削量变化可能导致真空度波动。水环泵通过调节供水量和转速,可动态平衡真空压力,确保工艺稳定性。四、耐腐蚀与耐高温特性延长设备寿命材质适应...
2018 - 09 - 28
真空系统是真空干燥和真空冷冻干燥中的必备主要部件,为获得高质量的制品,必须知道对对真空干燥机的真空泵使用注意事项要有全面的了解,真空系统出现问题,就不能进行加工,因此,真空系统的日常维护保养是很重要的工作,下面我们就一起来学习一下真空系统的保养事项。一、真空泵油:1、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。3、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。 二、使用注意事项:1、尽量控制真空干燥机真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。2、真空干燥机真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。3、如发现真空干燥机真空泵有异常声音应立即停车检查原因。 三、真空泵清理:1、一般情况下,真空干燥机真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻...
2019 - 10 - 23
水环真空泵的特点  与其他类型的机械真空泵相比,水环真空泵具有以下优点:  1)结构简单,制造精度要求低,易于加工。  2)结构紧凑,泵转数高,一般可直接与电动机连接。不需要减速装置。  因此,在结构尺寸小的情况下,能够获得大的位移,并且占地面积小。  3)压缩气体基本上是等温的(通常压缩指数n=1.1〜1.15可变),即压缩气体过程中,温度变化小; 4)腔内无金属摩擦面,无需润滑泵,磨损很小,旋转件与固定件之间的间隙可用液体密封; 5)吸气均匀,工作稳定可靠,操作简单,维修方便。  水环真空泵是粗真空泵,极限压力:单级泵:2.66〜9.31 kPa;两级泵:0.133〜0.665 kPa;串联大气压喷油器:0.27〜0.67 kPa 液环型压缩机,工作压力范围:(1〜2)× 105Pa(表压)含浓硫酸的工作介质:压力最高为6× 105 Pa。  水环真空泵的启动和停止  首先,水环真空泵的启动步骤:  1.打开图中的闸门,向水环泵供水。特别提醒:水量不应超过泵高的1/4,然后关闭水闸。  2.启动电动机,使水环泵运行。  同时,打开门,使得真空压力计的指针接近0MPa(表压)。  随着水环泵的绝对压力下降,指针将移至负值(读数在0-0.003 MPa之间)。  3.启动水环之后,当泵正常运行时,可能会有噪音。这是因为水环泵的工作点更接近高真空,并且泵的运行噪音...
2019 - 10 - 29
真空泵故障现象  1.泵负载偏大  原因:起动时真空泵内水位过高。  处理方法:按规定水位起动(自动排水阀以下)。  原因:填料压盖上的太紧。  处理方法:放松填料压盖。  原因:内部机件生锈。  处理方法:用力扳动转子,并用水冲洗。  原因:排出压力增高。  处理方法:检查排气管路及阀门管径是否过小。  原因:配电屏电流保护调整不当。  处理方法:调整热继电器至电流额定值。  2.真空泵泵卡死  原因:管路有焊渣等异物被吸入至泵体内。  处理方法:清理。  原因:结垢严重。  处理方法:拆卸清洗。  3.真空泵真空度低  原因:供水量不足或水温偏高。  处理方法:调整供水量,检查供水管路是否堵塞。  原因:系统有泄漏。  处理方法:检查管路连接的密封性。  原因:介质有腐蚀或带入物料磨蚀,使内部机件间隙加大。  处理方法:净化介质。  原因:填料密封泄漏。  处理方法:拧紧填料压盖。  原因:内部结垢严重。  处理方法:清除水垢。  原因:机件腐蚀。  处理方法:更换零件。  原因:修配后,轴向间隙不符合要求。  处理方法:重新调整轴向间隙。  4.真空泵运转声音异常  原因:气体冲刷或喷射。  处理方法:加装喷射器。  原因:吸、排气管壁太薄。  处理方法:采用管壁较厚的气管。  原因:泵在高真空下运行发生气蚀。  处理方法:采用较低温度的工作水,或在吸入侧补充气体,也可配上喷...
2020 - 05 - 19
真空泵是一种真空获取设备,它可以利用物理、化学或机械方法从容器中抽取空气,以获得和改善真空环境。真空泵种类繁多,在我国许多工业领域都有应用。本文重点介绍了真空泵的分类以及几种常见真空泵的性能、优缺点,并分析了我国真空泵产品的发展趋势。  真空的意义  17世纪,意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指给定空间内气体压力低于一个大气压的气体状态。完全没有气体的状态叫做绝对真空。一般来说,我们指的是相对真空,也就是说,在可以达到的最低压力下,每立方米气体中仍有几个气体分子。  在真空技术中,“真空度”和“压力”通常用来表示真空度。某个空间的压力越低,真空度越高,压力越高,真空度越低。根据各压力范围内不同的物理特性,真空一般分为粗真空、低真空、高真空和超高真空。  真空泵的分类及发展趋势  真空泵的分类  自20世纪初以来,真空技术不断发展,真空设备种类越来越多,应用领域逐渐扩大。根据真空泵的工作原理,它可分为两种基本类型:输气泵和集气泵。输气泵主要是通过不断地吸入和排出气体来达到抽气的目的。气体捕获泵通过允许气体分子在泵的内表面上被吸附或冷凝来减少容器中气体分子的数量。  真空泵的分类及发展趋势  几种常见的工业真空泵及其发展趋势  水环真空泵是一种可变容积泵,它可以清除易燃、易爆和腐蚀性气体,以及含有灰尘和湿气的气体。该真空泵具有结构简单、易于维护、磨损小、安全性高、对输...
2020 - 11 - 16
机械真空泵全拆修叫做大修,对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵,其真空度仍低、仍有渗漏等现象;或者有些泵有下述现象之一者:如泵发生“卡死”现象,油很脏而且泵内已结了垢,生了锈或用了不适当的油使机械真空泵内部零部件上结了硬壳(硅油进入机械真空泵内,就可能产生这种情形),旋片有较大的撞击声,泵腔内落入异物(金属屑、玻璃屑、铜屑等)划伤泵腔,摩擦发热温升很厉害(超过70℃)等,均需将机械真空泵全拆开进行清洗修理。  拆卸机械真空泵的步骤及注意事项如下:  1、切断电源,拔下电源插头。该泵如在系统上,应当从设备上取下。  2、拧开放油螺栓放油,用手盘动皮带轮,使泵腔内余油全部放出。油应收集好,一般是在机械真空泵底板下放一铁制油盘或磁盘等(通称方盘)收集,以便于今后蒸馏回收和免于污染环境。  3、拆下皮带,卸下皮带轮、键,脱开底板,视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音,振动较大等)应予修理或送电工洗油修理。  4、先拆低真空端盖板(后端盖板,即远离泵轮的一端),拆卸时根据不同螺钉使用不同的工具。对于一般六角螺钉可用呆扳手,内六角螺钉要用内六角扳手,必要时要使用套筒扳手,这样不会损坏螺钉。拧开端盖板螺钉后,轻启端盖板。端盖板如密合得很紧,则应慢慢设法起开。例如,可用锉刀在泵腔与端盖板合缝处锉一小槽,然后用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手,亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板,切不...
2019 - 01 - 22
转瞬间2018年已迈着坚定的脚步离我们远去,而充满希望的2019正在缓缓走来,在这辞旧迎新的喜庆日子里,深圳恒才机电有限公司为了感谢全体员工一年来的辛劳和付出,于2019年01月18日在公司召开了“激情跨越共赢未来” 为主题的新春年会。公司总经理、各部门领导、全体同事及特邀嘉宾在喜庆、祥和、热烈的氛围中,齐聚一堂,共庆恒才公司辉煌, 同谋猪年大业!公司总经理陈总先生致词,他说,紧张忙碌的2018 年已经过去,公司在各级领导班子的带领和全体员工的不懈努力下,取得了今天优异销售成绩;2018年是恒才公司发展路上值得记忆的一年,我们一起在面对,在经历,在成长, 我们最大的变化就是变化,我们成立了业绩提升行动小组; 我们真正系统地梳理了组织架构、愿景、使命、核心价值观;坚定了企业文化的魂; 我们人员也在不断地成长、蜕变,敢于进行批评与自我批评,敢于不断地要求自我完善,能正面面对问题。这是有希望的一个团队,我们是一群平凡的人,我相信我们会干出一番不平凡的事业。  我们的愿景:成为受人尊敬的流体业服务型企业;我们的使命:让客户使用到最适合的流体系统;我们口号:为爱行动,为梦想拼搏; 我们的理念是:发展依靠员工,发展为了员工,发展成果员工共享; 我们核心价值观: 以客户为中心 解决客户需求,才能实现自我价值 满足客户要求,是我们工作的标准 超出客户预期,是我们奋斗的...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 596
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2019 - 07 - 08
来源: 112
以下项目是直联旋片式真空泵在使用过程中需要注意的事项。如果其中一个被无意中使用,将影响旋片式真空泵和旋片真空泵的使用寿命。 不能泵送含有颗粒,灰尘或凝胶状,含水,液体和腐蚀性物质的气体。 不能泵送含有过多氧气的爆炸性气体或气体。 系统无法泄漏与真空泵配套的气体和容器太大而无法在长期泵送下工作。 不能用作加油泵,压缩泵等。仪器维护保持旋片式真空泵清洁,以防止杂质被吸入真空泵室。建议配置过滤器。但是,上部界面和过滤器下部界面之间的距离约为整个进料器高度的3/5。当水量过多时,可以通过排水塞排出,然后及时拧紧。过滤器用作缓冲,冷却,过滤等。 保持油位。不应混合不同类型或等级的真空泵油。如果被污染,应及时更换。 储存,水分或其他挥发性物质储存不当进入真空泵室。可以打开气镇阀门净化。如果真空受到影响,请考虑更换机油。更换真空泵油时,首先打开泵约30分钟,以换油。稀释,释放脏油,同时排油,从空气入口缓慢加入少量透明真空泵油,以冲洗泵腔内部。 如果旋片式真空泵的打鼾增加或突然咬死,应迅速切断电源并检查。
发布时间: 2019 - 07 - 08
来源: 97
罗茨真空泵内部冷却,通过循环冷却空气将热量从热源带走。被抽气体。当它被压缩或排出时,它被冷却空气冷却。因此,泵可用于标准泵不能工作地点。 泵室可以自冷却,因为叶轮和工作室具有特殊的工作部件。当这个特殊部件工作时,工作室的一部分关闭,阻塞入口和出口,并穿过特殊通风口。冷却气体从压力侧流出或进入工作室,并从出口侧充满加压冷却气体,并且气体循环。 气体循环冷却罗茨真空泵,特殊叶轮头控制冷空气流量而无需额外的控制元件,因此这个内部循环冷却罗茨真空泵与普通的罗茨真空泵相同,结构简单干净。它将冷却器连接到排气口,冷却器安装在泵壳的外部,便于维护和更换。 如果冷却器设计正确并且输送冷却气体的管道尺寸足够大,则冷却效果良好,因此罗茨真空泵可以在各种压差条件下工作。 泵加热不仅取决于转速,循环冷却剂量,还取决于压差,压差是成比例的(与转速成比例)。此外,泵叶片和泵壳之间的间隙必须保持最小。这有利于提高容积效率,以实现更高的真空度。 气体循环冷却罗茨真空泵最适合排放和压缩气体或蒸汽的过程。这些排出或压缩的气体在进入泵之前不应与油或有害液体接触。低温恒温器就是这种情况。如果进气和排气之间的压力差很大并且所需的极限真空度很高,请考虑串联使用三个罗茨真空泵。除此之外,还有水冷或多级泵。
发布时间: 2019 - 07 - 08
来源: 78
1.与离心风机匹配一般情况下,真空范围小于-15kPa,可以考虑选用单级离心风机代替真空泵。与水环真空泵相比,排气机体积小,价格低,效率高。排气机的材料和结构的选择应考虑潮湿的环境条件和苏打混合物和特性。不要在进入排气机的气体中夹带太多水分。否则会影响排气机的正常运行并导致风扇振动。因此,在排气机之前也安装有分离器。分离器还分离细纤维并减少风扇叶片的结垢。 2.真空点的分布和泵的数量的确定根据真空点的分布来确定真空泵的数量是一项非常重要的工作,直接影响造纸机的造纸,纸张质量,工作效率和水电消耗等。在正常情况下,造纸机的供应商将提供成熟的解决方案,设计院也将全面考虑。需要注意以下几点: (1)每个毯子在使用期间的不同时间具有不同的透气性和不同的使用寿命。工作时,应根据每个橡皮布的状况调整真空度,以达到所需的使用寿命。因此,每个毯子都配备独立的专用真空泵是最佳选择。 (2)带分区的水环真空泵可以在两个真空区域工作,也就是说,一个泵可以作为两个泵使用而不会相互干扰。 (3)最好不要在一个泵的两个真空点网部和压榨部上工作。网部和压榨部的真空点应尽可能分开。在启动造纸机的过程中,首先打开网部,然后在浆料稳定后打开压榨部和压榨部真空。如果先打开压榨部真空吸尘器,会对毛毡造成很大的伤害。因此,真空泵分为网部真空泵和压力真空泵。 3.真空泵的材料在造纸车间,泵上的真空白水很小,但由于含有细纤维,比例非常严重,严重影响纸张的质量,如使用全不锈钢泵投资将以指数方式增加,因此考虑使用普通材料和防污处理。例如,Nash泵使用泵体衬里聚二烯橡胶,Kenfu泵体防腐涂层处理,有些衬有不锈钢板,使泵内壁光滑,不易结垢。无论制造商使用哪种防腐剂,都必须是制造商的成熟技术。投入使用后,喷涂防腐层或不锈钢板不应脱落,这将产生更严重的后果。 4.辅助设...
发布时间: 2019 - 07 - 08
来源: 130
在修理空调和制冷设备时,维修人员通常使用真空泵疏散系统。真空应为-0.1MPa,持续24小时,并且真空度不会显着增加。  1.真空泵的结构和工作原理常用的真空泵是旋片式真空泵,是一种用泵油密封的机械泵。转子外圆与泵腔内表面相切,旋转叶片安装在转子选择中。在弹簧的作用下,它总是与定子腔壁紧密接触。当偏心率转子在电机的阻力下旋转时,旋转叶片也旋转。顺时针旋转时,吸入口连续吸入气体。进气腔不断膨胀。同时,排气腔变得越来越小,并且首先被吸入的气体被完全压缩。气压上升,在达到一定压力后,排气阀可以通过泵油冲洗并从排气管排出。这个循环不停止,它可以起到真空抽吸的作用。   2.常见故障按下并测试系统时,确认没有漏气,如果真空泵和系统管道连接正确,如果发现真空度低于规定要求,那么真空泵必须是检查是否有损坏或质量问题。  1)首先检查泵中的油是否低于标准管路,油质是否被涂抹,皂化或溢流过低,以致气体不能顺利排出。  2)检查进气阀处的金属网是否被灰尘或异物堵塞,导致吸气回路失效或效率下降。  3)检查电机驱动皮带是否过松和滑动,导致偏心率为转子。 4)检查真空泵的抽速是否适合泵系统。如果是“小马拉大车”,电量不够。  5)在上述原因消除后,应拆卸真空泵,如果损坏,应检查并修理或更换密封件,转子弹簧,排气阀和其他部件泵腔内。  3.更换真空泵油首先打开真空泵约0.5h,使油更薄,然后停止真空泵,从排油孔排出油,然后打开吸油口1~2min。在此期间,可以从吸入口缓慢添加少量清洁油,以替换泵腔内油。
发布时间: 2019 - 07 - 08
来源: 258
在空调器抽真空操作中,分离器的抽真空操作比整体式空调器(窗式机器)的抽真空操作简单。由于分体式空调器的室外机上有两个截止阀,因此有一个维护端口专用于真空,测量低压或高压截止阀上的压力和充注制冷剂,可直接与复合压力表。空调没有特殊的维修口,因此需要一个真空阀来焊接工艺管上的阀门,以便与复合压力表连接。以下主要介绍分体式空调的抽真空操作。 (1)整个系统抽真空,室外机使用两个或三个截止阀(冷却能力小于7100W,即低于3的空调仅用于低压,三通截止阀,所以只能单泵)操作步骤如下: 复合压力表的中间软管连接到真空泵,低压软管与三通截止阀(直流阀)连接。 打开复合压力表的低压LO;阀门使室内和室外机器完全连接。 打开真空泵,检查连接点是否足以密封,并运行真空泵使系统真空度低于133Pa。 关闭复合压力表的中间软管阀并关闭真空泵。 将中间软管从真空泵中取出并连接到小氟瓶上。中间软管和复合压力表处于半连接状态,小氟瓶的阀门略微打开,排出中间软管的空气,中间软管与复合压力表牢固连接。打开复合压力表的高低压阀门,完全打开小氟瓶的阀门,使氟利昂气体自动进入制冷系统。(2)整个系统真空吸尘,室外机采用三通截止阀(制冷量大于7100W,即3以上,室外机低压侧和高压侧)使用三通截止阀)。 复合压力表的高压软管与高压三通截止阀(液管截止阀)连接,复合压力表的低压软管与低压三通连接截止阀(燃气管截止阀),中间软管和真空泵连接。 打开复合压力表的高压和低压阀门和三通截止阀,使室内和室外机器完全连接。 打开真空泵。同时,检查连接点是否足以密封,并运行真空泵使系统真空度低于133Pa。 关闭复合压力表的高压和低压阀门,关闭真空泵。 将中间软管从真空泵中取出并连接到小氟瓶上。中间软管和复合压力表处于半连...
发布时间: 2019 - 07 - 07
来源: 137
之前的新闻资讯介绍了砖瓦厂所用真空泵的类型及真空挤出机的主要应用,但未涉及到真空挤出机的能耗方面,在现在节约型社会的条件下,如何节约能源成为每个砖瓦企业的一项十分重要的工作,同时也是为砖瓦厂节约了成本。 由于很多砖瓦企业长期都是粗放型经营,造成能源的严重浪费。挤出机(包括非真空挤出机和真空挤出机)是砖瓦生产线上的主要设备,对于砖瓦厂的节能至关重要,而很多砖瓦厂的挤出机配置和使用不当造成相当大的浪费。 由于一些砖机厂长期采取粗放型的经营,过去真空挤出机一直是选用大功率的真空泵造成严重的能源浪费。由于密封太差,一般450mm的真空挤出机都要采用22KW的真空泵,真空度往往还达不到要求。近几年来有些砖机厂家对真空系统的密封部位作了一些改进,真空泵的性能也有了很大的提高,现在5.5KW的机械真空泵完全可以满足500mm甚至更大的真空挤出机的需要,还能长期保持很高的真空度。 两者相比之下电耗降低了4倍之多,这是一个值得肯定的成就。然而这项成效显著的节能措施,并未为人们所重视,不少砖机厂甚至是一些生产“节能砖机”的砖机厂,不管是生产450型、还是400型的真空挤出机一般都要配15kW甚至22kw的真空泵,无形之中给真空砖机增加了近3~4倍的电耗,造成了不必要的浪费。为了让所有真空挤出机都实现节能,对600型以下的真空挤出机都必须配5.5kw的真空泵,使真空系统的电耗达到较低的水平。在安装时要注意,采用MH-2型机械滑阀式油密封真空泵,必须装置相应的空气滤清器,以免损坏泵体,同时,在安装时要防止密封油的泄漏和流失。  综上所述,节能已经成为每个企业必不可少的重要措施,只有观念上的改变才能彻底改变企业的命运,同时技术上的改革也是必不缺少的一步,砖瓦企业在现阶段节能问题虽然有众多难题,但随着社会的逐渐进步,相信这一难题会逐步解决。
发布时间: 2019 - 07 - 05
来源: 109
新的旋片式真空泵是一种强制无油的真空泵设备,解决了以前出现的回油和注油现象。该旋片式真空泵具有以下特点:1.全密封结构C型直接耦合泵是世界上唯一一种密封燃油箱中电机的旋转叶片泵。这种结构将完全消除轴端泄漏的可能性,而且目前中国几乎所有的旋片式真空泵都存在漏油问题。 2.气镇阀门带气垫调节气垫是消除真空泵噪声的有效手段,而泵的结构设计为气镇气门调节气垫的功能,一套独立系统上的气镇气门可以调节气垫的风量。在实际调试中,我们清楚地感受到这种结构对于降噪的重要性。 3.旋片式真空泵保护功能完成旋片式真空泵本身有一个通气截止阀,用于泵停止时,阀门是由电磁阀控制的差压阀,电磁阀所需的电能是发电机由电机提供,因此电动机的运动确定发电机是否发电,从而确定电磁阀是否工作。此外,泵还具有过载保护开关。一旦泵卡住或过载,电机电流将异常上升。这时,保护开关会自动切断电源。从使用角度来看,此功能非常有用。 4.该旋片式真空泵具有广泛的应用范围该泵适用于50HZ,60HZ和三相220V,380V供电系统。该泵具有强大的排水蒸汽容量。其中一个原因是它可以在气镇保持高真空。第二是高油温。正常运行时油温高于80°C。如此高的油温加上有效的气镇泵的排水蒸汽量大大提高。特别值得一提的是,泵可以是使用合成油的耐卤素真空泵。
发布时间: 2019 - 07 - 05
来源: 79
旋片式真空泵(简称旋片式真空泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325~1.33× 10-2(Pa)是低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵使用。广泛应用于冶金,机械,军工,电子,化工,轻工,石油,医药等生产和科研部门。旋片式真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,并且如果安装气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适合去除氧气过高,对金属有腐蚀性,对泵油有化学反应性,并含有微粒粉尘的气体。 旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片式真空泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓的两级是将两个串联的单级泵连接起来。通常,将其制成两个阶段以获得更高的真空度。 旋片式真空泵的抽速与入口压力之间的关系如下:在入口压力为1333P.a,1.33Pa和1.33× 10-1(Pa)时,抽速值不应为低于泵的标称抽速的95%,50%和20%。 旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖和弹簧组成。转子偏心地安装在旋片式真空泵的空腔中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间存在小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。当旋转时,旋转叶片的顶端通过离心力和弹簧的张力保持与泵室的内壁接触,并且转子的旋转驱动旋转叶片沿着内壁滑动。两个旋转叶片将由转子,泵腔和两个端盖包围的月牙形空间分成三个部分A,B和C,如图所示。当转子沿箭头方向旋转时,与吸入口连通的空间A的容积逐渐增大,并且处于抽吸过程中。与排气口连通的空间C的容积逐渐减小,并且处于排气过程中。中心空间B的体积也逐渐减小并且处于压缩过程中。由于空间A的容积逐渐增加(即,膨胀),气体压力降低,并且泵入口处的外部气体压力强于空间A中的压力,从而吸入气体。当空间A与吸入口隔离时,即与空间B的位置隔开时,气体开始被压缩,体积逐渐减...
发布时间: 2019 - 07 - 05
来源: 77
真空泵已经越来越常用,今天小编就一些简单故障及其排除方法做以下介绍,希望对大家有所帮助!1.真空泵盘车不顺利这种状况产生的原因一般是久未使用造成盘端面处生锈或者是因为水温过高导致的泵腔结垢。排除方法是将泵腔内充入10%的草酸侵泡三十分钟左右,然后松动泵盖后再盘车,或者是降低下工作液污垢系数。2.真空泵的电机运转不正常如果因为电机缺相,就检查电源接头是否脱落;如果因为电压不正常,就检查电源电压;如果因为交流接触器损坏,就换下交流接触器。3.真空泵的走动声音异常一般是由启动时工作液充满泵腔造成的,这时候打开排污口放出部分工作液是泵内工作液减少一部分就可以了。4.真空泵不能形成真空这种情况由两种原因造成,一是无工作液,这时候检查下工作液供应情况;二是转向错误,这时候只要纠正转向就可以了。5.真空泵真空度低如果因为泵选型较小以致抽气速率低,就要更换下更大抽速的泵;如果因为工作液供应不足,就要加大供应;如果因为工作液温度过高,就要降低温度;如果因为系统漏气,就要检查并堵漏;如果因为圆盘或者叶轮被腐蚀,就要检查并更换圆轮或者叶轮。6.水环式真空泵电流偏大看下是不是由于排水管向上的管路过高引起,如果是就降低排水管高度就可以了;如果是因为工作液供应量过大,就要减少工作液供应就可以了。7.真空泵机械密封泄漏一般是由于未注入工作液及冷却液的情况下干运行泵引起的,这时候就需要更换机械密封,更改操作规程
发布时间: 2019 - 07 - 05
来源: 58
真空泵使用过程中这几个点要注意  1.真空泵用于抽洁净气体,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。  2.进气温度必须低于50℃,否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱,降温至低于50℃。  3.抽含有水蒸汽的气体时,要打开气镇阀抽气,被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限,将会缩短气镇阀寿命。  4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作,否则会有爆炸、火灾等危险。    5.不要由一两个人移动此泵。此由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查,否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。  6.不要继续使用已经损坏的泵,否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。  7.检查确定此泵安全接地。  8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,最高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施防止受伤。  9.必须安装电机保护开关。  10.不要刮碰进气口与排气口法兰,以免损坏法兰口,导致真空度上不去。  11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空室与泵之间安装截止阀。  12.排气口处要接排气管,以防灰尘进入泵内。  最后要提醒大家的是,在使用过程中出现问题还是要找专业的真空泵售后维修.
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