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2025 - 07 - 24

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始...

贴合机为什么要用德国speck水环真空泵

2025 - 09 - 06

贴合机采用德国Speck水环真空泵，主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析：无油设计保障清洁度：贴合工艺对真空环境清洁度要求极高，油污或杂质可能污染材料表面，影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除润滑油污染风险，确保真空环境纯净无污染，特别适用于电子、医药等对清洁度要求严苛的行业。高极限真空度确保贴合精度：贴合过程中需稳定真空环境防止材料移位或气泡产生。Speck水环真空泵可实现高极限真空度（如部分型号达33mbar），能牢固吸附材料，避免因真空度不足导致的贴合偏差，保障产品良率。稳定抽气性能适应连续生产：贴合机通常需长时间连续运行，对真空泵抽气速率和稳定性要求高。Speck水环真空泵具备高抽气速率（如部分型号总气量达199m³/h）和稳定性能，可快速建立并维持真空环境，满足大规模生产需求。耐腐蚀耐高温适应复杂工况：贴合工艺可能涉及腐蚀性气体或高温环境，对设备材质和性能提出挑战。Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造，工作液温度范围广泛（最高达80°C），进气温度（干）最高可达200°C，吸入气体（饱和）最高可达100°C，确保在恶劣工况下稳定运行。低噪音与长寿命降低...

晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

2025 - 12 - 27

晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量，具体分析如下：一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质，无需润滑油，避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中，即使微小的油污也可能导致后续工艺（如光刻、镀膜）出现缺陷，影响芯片良率。水环泵的无油特性确保了真空环境的绝对洁净，满足半导体制造对污染控制的极高标准。二、高极限真空度适配精密加工晶圆减薄工艺需在真空环境下进行，以减少空气阻力对晶圆稳定性的影响。水环真空泵可提供稳定的极限真空度（通常可达-0.098MPa以上），确保晶圆在高速旋转（如200-3000rpm）和微米级磨削过程中保持平整，避免因真空不足导致的晶圆弯曲或破裂。三、稳定抽气性能应对工艺波动大抽气量与快速响应：水环泵通过叶轮旋转形成水环，实现连续抽气，可快速排除减薄过程中产生的微小颗粒、磨屑和气体，维持真空环境稳定。其抽气速率覆盖0.15-120m³/min，能适配不同尺寸晶圆（如4英寸至12英寸）的加工需求。抗负载波动能力强：在粗磨、精磨和抛光等阶段，磨削量变化可能导致真空度波动。水环泵通过调节供水量和转速，可动态平衡真空压力，确保工艺稳定性。四、耐腐蚀与耐高温特性延长设备寿命材质适应...

在造纸行业中水环真空泵的应用以及出现的问题？

2018 - 03 - 26

水环式真空泵在造纸行业中的应用大家都知道水环真空泵在造纸行业中有常应用到，今天来了解下水环真空泵在造纸行业中的应用以及出现的问题。在制浆造纸工艺过程中，有好多处工艺要用到真空脱水这一工艺方法，有网部的真空吸水箱、伏辊、真空吸移辊、真空压榨部以及上、下毛布真空吸水箱等，利用水环真空泵的抽真空能力是造纸制浆真空脱水的一种常用方法。衡量一个制浆造纸真空系统的水环真空泵的选型是否合理的指标有三个：即抽气量、工作点轴功率及电机配套功率。选型水环空泵时，在抽气功量满足生产线工艺要求的前提下，应尽可能地减少水环真空泵的工作点轴功率，因为水环真空泵消耗的轴功率越小，则制浆造纸的成本就越小。电机配套功率也较小，总装机容量也较小，电气配置成本也可以下降。一条年产量已定的造纸生产线，其要求的抽气量是一定的，对造纸厂来说，为减少能耗、节约能源，从而降低造纸生产成本，水环真空泵选型的正确性是非常关键重要的。为说明这一问题，我们首先来了解水环真空泵的工作特性。水环真空泵是一容积式的泵，当水环真空泵的型号确定后，其容积也就确定了。对水环真空泵来讲，影响其抽气能力的主要因素有两个：泵的容积大小以及泵运行的转速。水环式真空泵在造纸业结垢的原因及有效的解决措施 ...

螺杆真空泵怎么冷却的

2019 - 09 - 05

螺杆真空泵是运用两只挤出机螺杆，在泵体中作同歩髙速反方向转动而造成的呼吸和排气管功效的抽真空机器设备。机械泵由于运作构造上的差别，其制冷系统也是不一样，那么螺杆真空泵的水冷却方法有哪些？下边就来一块儿认识一下吧！一、汽体水冷却。自来水冷有时候不可以超过理想化的水冷却实际效果，因此一般在挨近排气管端电机转子周边通水冷却汽体（多见N2），如今海外的流行干井式螺杆真空泵都选用这类方式。这类方式有2个益处：1个是能水冷却电机转子及外壳，减少排气管溫度；另外是，当汽体内带有细颗粒物时，能避免细颗粒物堆积或是引起各种放热反应。二、罩壳水冷却。螺杆真空泵因为电机转子在工作中全过程中无润滑脂的参加，没法根据润滑脂带去工作中时造成的发热量。因为无内缩小全过程，排气管溫度十分高，如水冷却实际效果不太好，会导致电机转子和外壳形变，危害抽真空实际效果。因而螺杆真空泵罩壳选用两层壁厚空心构造，人们能够称作水冷却套，其内嵌冷冻液，是机械泵的关键热管散热安全通道。水冷散热是比较普遍的方式，水冷却套中通冷却循环水，能够超过水冷却罩壳从而水冷却电机转子的目地。总的来说，就是说螺杆真空泵水冷却方法的有关详细介绍了，除此之外，还可以在电机转子內部通冷却水，提升电机转子使用寿命，并超过非常好的水冷却实际效果。但该总体设计，必须必须的技术性及加工水平适用。

螺杆真空泵堵塞和水垢问题的解决办法

2019 - 10 - 25

螺杆真空泵堵塞怎么办?　　一,螺杆真空泵-定期清除油脂和损坏的零件　　螺杆真空泵的内部关键部件大致为涡流，蜗轮，导轨滑块和新的活塞杆。对这些组件的损坏将导致螺杆真空泵的总流量减少或微不足道。解决方案：定期清除油脂，损坏并清洁液压腔。　　二,螺杆真空泵-标准安全操作流程　　1.严格执行螺杆真空泵的启动和停车操作，以进行实际操作。在启动时，零输出打开，并且当螺杆真空泵的出口值达到工作压力时，增压室充满氮气。　　2.防止隔膜因充氮而变形，避免隔膜破裂，并缓慢增加泵螺杆真空的输出。当泵停止运转时，也应减慢螺杆真空泵的输出。　　三,螺杆真空泵-提升泵维护　　1.在螺杆真空泵运行期间进行定期安全检查，检查润滑脂的量，机器泵的声音，出口值工作压力，氢缓冲罐工作压力等。　　2.定期更换螺杆真空泵壳隔膜和氢缓冲罐隔膜，以避免损坏两个螺杆真空泵，从而导致金属催化剂停止安全事故。　　螺杆真空泵产生水垢　　由于螺杆真空泵的工作物质(即补充液)，关键是立即引用饮用水或造纸厂的水。由于自来水的高硬度，合金在净水中的电离成分也非常复杂。因此，螺杆真空泵的内部两相流组件在这种材料标准下工作。经过长时间的物理处理，将产生污垢并产生污垢。会损坏螺杆真空泵以使其正常工作。　　缩放后的螺杆真空泵真空度将降低。由于在风轮的中部以及入口和泄压阀对话框的中间有污垢，因此密封腔的容积变小，并且入口和出口蒸气体的体积状态也减小了。...

罗茨泵的工作特点及应用

2019 - 11 - 01

罗茨泵的工作特点　　1. 转子与泵室转子和转子之间有一定的间隙，彼此之间不接触，无需用油润滑。　　2. 转子具有良好的几何对称性，可以提高速度，以生产出具有大抽速的紧凑型泵。　　3，泵工作时振动小，体积大，体积利用率约0.5。　　4.在泵室中没有机械真空泵之类的压缩现象，因此不需要排气阀。因此，可以除去可冷凝的蒸汽。　　5.快速启动，并在短时间内达到极限真空。低功耗，低运行和维护成本。　　6. 罗茨泵在较宽的压力范围(1000Pa〜1Pa)中，抽速大，可以迅速排出突然释放的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵(1000Pa〜1Pa)的不足。小缺陷。因此，它最适合用作增压泵。　　罗茨泵广泛用于真空冶金行业中，用于真空脱气，真空熔化，钢水真空处理以及空间模拟，低密度风洞和其他去除腐蚀性气体的设备。它也可用于化学，食品，制药和电机制造等行业的蒸馏，蒸发和干燥生产过程中。　　在操作期间，泵送的气体的转子和通过空气入口泵体之间进入。此时，一个转子和泵主体从空气入口分离气体，并且该气体被分离(如图中所示的上半部分的转子连续旋转期间发送到所述排气口。的空间是处于关闭状态，所以没有压缩和膨胀。但是，当将转子的峰值转向排气口的边缘时，由于V部分的压力低于排气口的压力，为了使连接体积中的压力均匀，气体将扩散从到V的区域具有扩散的方向相反于的转子旋转方向的排气口。当转子再次旋转时，V处的气体被压缩到排气口以将...

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Hot News / 热点新闻

无油真空技术：PCB热压机压合质量的“守护神”

发布时间: 2026 - 03 - 16

来源: 1999

在PCB热压工艺中，真空度的稳定性直接影响层间结合强度。中央真空泵系统通过快速、稳定的真空抽取，显著提升了压合质量。质量提升：层间结合强度增加20%某企业改造前，因真空度不足导致层间结合强度仅1.2N/mm²。改用中央系统后，结合强度提升至1.44N/mm²，产品耐冲击性能显著增强。寿命延长：设备使用寿命增加50%传统单泵方案因真空度波动导致设备磨损加剧，使用寿命仅5年。中央系...

如何设计真空泵机组？

发布时间: 2019 - 06 - 27

来源: 176

一、设计真空泵机组的条件　　1、真空室的已知参数，　　如放气的表面积和真空室的体积，所需的最大吸气量和极限真空度，预抽时间和达到极限真空的抽气时间等.　　2、真空室内的气体源情况，　　真空室内的大气，真空室内表面放气，真空室的动密封处、静密封处的漏气，壳体渗透气体，被处理材料放出的气体，工艺过程需要而引入的气体，　　3、真空室内的特殊要求，　　工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等，真空室内是否要求无油、无振动等。　　　　二、真空机组设计计算的一般程序　　A.真空室内总放气量的计算;　　B.确定真空室的有效抽速;　　C.粗配主泵和粗配前级真空泵;　　D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;　　E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;　　F.梢确(复核)计算各真空泵的参数，如果粗选的真空泵达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;　　G.绘制真空系统装配图;　　H.绘制零件图，绘制施工图。　　这八条设计计算步骤是非标准设计不可缺少的。随着真空设备的不断发展，随着各种新型的真空机组的不断出现，真空系统设计过程会不断简化.现在已有定型真空机组，若可以直接选择定型真空机组来获得所需真空系统，便可省去麻烦的真空系统设计。

小型离心泵选择塑料泵还是不锈钢泵

发布时间: 2019 - 06 - 25

来源: 131

第一、泵的接口不同　　塑料泵进出口的接管的支承现阶段并未有有关的规范加以限定，通常由设计机关单位明确提出要求，并依据生产厂本身的生产制造具体情况而定。对于总体塑料泵壳，通常选用活套法兰方式与管路联接，活套法兰与两端盖板联接；还可选用把法兰与盖板制成整体的方法与管路连接。第二、泵的叶轮与轴的连接形式不一样　　① 叶轮内预埋金属件，利用金属件与轴用键连接，或叶轮与轴直接用键连接，叶轮端部用叶轮螺母防护。此构造来自金属材料泵，因为密封面多，系统可靠性较差。长期使用后，轴易被介质浸蚀。　　② 叶轮内预埋金属件，与泵轴用螺纹连接，取销叶轮螺母。此构造可让轴充分受到维护，防止轴被介质腐蚀的机会。缺陷是螺纹加工精密度要求较高，运行时禁止电机翻转。第三、泵的轴向平衡力不同　　塑料泵的叶轮内大多数埋有金属件，通常不适合用平衡孔的办法平衡轴向力。国内外广泛选用背叶片平衡轴向力。　第四、泵体衬里层厚度及其固定不同　　按泵产品标准，衬里层厚度通常为5-8mm，要是衬里层过薄(如1.5~2mm)，是压制步骤易出现局部衬里缺陷，造成泵的准许采用温度和使用期有所下降，衬里层从泵体和后盖基体金属脱落的概率也增大。衬里层固定方式可采用在基体金属上布局较密的环形燕尾槽的方法，使衬里层固定牢靠，同时机加工量较小。第五、泵的叶轮密封性处和背叶片与泵体的运行间隙不同　　小型离心泵因塑料和不锈钢的膨胀系数比钢大2~6倍，采用不锈钢泵的运行缝隙易造成咬合，使泵受损。缝隙过大又会使泵的效率下降，并导致泵轴向力的不平衡。因为径向缝隙不能调节，也可考虑选用轴向缝隙，这样不用拆泵，即可检查并调整运行间隙，为了避免温度发生变化造成的塑料泵壳上脱落或裂开，可考虑到在泵壳上焊接龟甲丝网，进而促使衬塑泵能够做到很大型号规格，進口管径达到DN600。

旋片式真空泵组装时8个注意要点？

发布时间: 2019 - 06 - 21

来源: 258

旋片式真空泵组装的时候需要注意些什么呢，下面是深圳恒才张工为大家捋的8个要求，一起来了解一下吧！1、旋片式真空泵的电机转子平衡现象是否符合规定，2、旋片式真空泵叶片与电机转子之间的协作空地，3、旋片式真空泵的泵轴即电机转子轴机器设备前，要判断它是否变型、弯折了，4、真空泵泵浦电机转子与轴承位的同轴度是否到达须要，5、真空泵轴承与轴承端盖之间的空地調整，6、几回额封密缓冲赔尝布置的缩紧量是否到达须要，7、真空泵封密部件空地的調整，8、连轴器的同轴度是否符合须要，真空泵油在应用中的改变真空泵油在应用中遭受了温度、空气、危害介质、机械设备剪切、金属材料催化、等的效果，其构成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响，功能逐渐变差。真空泵的组装也是非常重要的工程，可以在组装前先看明介绍或电话咨询真空泵厂家专业人员进行指导安装。

罗茨水环真空泵机组的特点？

发布时间: 2019 - 06 - 20

来源: 268

深圳恒才康斯顿品牌罗茨水环真空泵机组由两台以上真空泵设备组成，它的前级泵选用的是水环真空泵，多台泵组对于使用更有利，有效克服了单台水环泵使用时的极限压力差，提高了工作效率，另外它的使用还具有以下优势：一、罗茨水环真空泵机组抽气效率高，泵的启动快速消耗少，效率高，泵抽速大、操作维护成本低，对被抽气体中所包含的一些尘和水蒸汽不敏感，它在100～1Pa的极限压力规模以内有较大抽气效率。二、罗茨水环真空泵机组操作极限真空度高、平稳、振小、噪声低。因为真空泵的传送部件使用坚固的消隙构造，真空泵可在高压差下长期操作。泵起动快，能在短时间内到达极限真空。所以真空泵的腔内无相互转动的零件，不需要用油润滑，防止了油蒸汽对系统的污染。三、罗茨水环真空泵机组选水环用泵作为前级泵比其它真空泵更为有优势，它克制了独台水环真空泵使用时极限压力差，在一定的压力下抽气效率低的劣势，一起保留了罗茨泵能敏锐操作，有较大抽气效率的特点。　　罗茨水环真空泵机组的组合还可依据客户具体的现场使用情况，以及使用工艺来确定使用什么参数的泵组成，更好的满足生产需求，提高生产的工作效率。

真空泵选型的10个重要参数，你知道吗？

发布时间: 2019 - 06 - 18

来源: 7408

随着抽气真空泵的使用范围越来越宽广，客户需要选型这一块的知识也迫切需求工业上跟据不同情况下的压力规模和不同工业使用上的需求，运用的真空泵类型参数也不一样，那么，真空泵选型的参数到底有哪些呢？深圳恒才张工总结了10点重要参数，跟着一起来看一下吧！ 1、真空泵的蒸汽允许量，蒸汽的允许量单位是kg/h，它是指泵在畸型标淮标淮下，气镇泵在相继作业时能抽除的蒸汽品质流量。2、真空泵抽真空效率，泵的抽真空速率单位是m3/s或l/s,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，从实验罩流过的气体压力与在实验验罩上指定位置侧得的平衡工作压力之比，简称真空泵抽速，单位为m3/a或L/s.3、真空泵抽气量，流过泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s,4、真空泵极限工作压力，泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时，在不引入气体正常工作的情形下，趋向稳定的最低工作压力，在不引入气体畸型作业的情况下，趋势稳固的工业气压强，压强单位是Pa ，5、真空泵启动工作压力，真空泵无损坏启动并有抽真空作用时的工作压力，Pa，6、真空泵前级工作压力，排气工作压力低于一个大气压力的真空泵的出口工作压力.单位为Pa，7、真空泵最大前级工作压力，.超过此值泵将不能正常工作的工作压力称最大前级工作压力，单位为Pa，8、真空泵最大工作压力，对应最大抽真空且的入口工作压力.此工作压力下泵能连续工作而不恶化或损坏，9、真空泵压缩比，真空泵对给定气体的出口工作压力与入口工作压力之比，10、真空泵的返流率，泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程标淮作业时，经过泵出口单位面积的泵流品质流率，以上10点真空泵的选型参数你了解了吗，如果不明白之处可以联系深圳恒才张工为您详细解答，每一个行业工艺甚至地区不同的真空泵选型都是需要注意的，选型正确...

阿特拉斯螺杆真空泵在吸塑车间使用有哪些优势?

发布时间: 2019 - 06 - 10

来源: 323

昨天我们陈工改造了一个吸塑车间，用GHS VSD+螺杆真空泵替代原来的旋片真空泵,一个厂区一年节省电费就是6.7万元，螺杆真空泵在吸塑车间有哪些明显的优势呢,我们一起来看一下。（1）GHS730VSD+螺杆真空泵高效节能。沿用阿特拉斯GA37+油螺杆真空泵技术而开发的新一代节能产品，全世界11千瓦功率真空泵中抽速最大；（2）螺杆真空泵采用13公斤负荷空气压缩机机头，而在半真空状态下轻载运行，理论寿命超长达40万小时（相当于80年），20年内无需换机头；（3）GHS730VSD+螺杆真空泵出厂标配电脑控制系统，省去了旋片真空泵额外安装控制系统的麻烦和故障；（4）螺杆真空泵变频自动调节真空度和抽气量，真空压力稳定，减少生产故障；（5）阿特拉斯螺杆真空泵全变频设计，低负荷特别省电，慢速运行减轻磨损延长寿命；（6）螺杆真空泵整套电脑自控系统，可以集中联控各机器按需要自动启停；（7）螺杆真空泵与螺杆空压机类似，维护工作量极少，简单方便，减少了旋片泵经常需要维修的人力成本；（8）螺杆真空泵供电系统减少负荷，节省电缆变压器开关柜投资；以上8点就是吸塑行业中螺杆真空泵的优势，大家都知道了阿特拉斯品牌GHS VSD+系列的螺杆真空泵很高端并且节能吧，如果还没有改造的客户，可以联系恒才工程出节能环保的真空泵项目方案喔！

真空蒸发工艺中真空泵的作用？

发布时间: 2019 - 06 - 05

来源: 262

真空蒸发工艺中真空泵的作用是在哪里呢，今天深圳恒才刘工总结了几点，下面我们一起来了解一下。真空蒸发蒸馏应用地点：1、单、多效蒸发器出口冷凝器后（1）真空泵中药提取常见；（2）有球形蒸发器及普通闪蒸蒸发器等；（3）闪蒸设计进入蒸发器前真空泵已将母液加热到真空下的过热温度，对连续性生产更易实现；2、西药真空泵反应釜（1）多为批次操作过程；（2）最终分离效果取决于蒸发温度和终了真空泵真空；3、高沸产品及过程物料的分子真空泵蒸馏（1）高沸物的分离真空泵的真空度一般较高；（2）分离原理类似闪蒸设计；（3）常用于维生素类、保健品类等真空蒸发蒸馏的本质：1、本质是一个传热相变过程；2、蒸发过程为吸热汽化；3、冷凝过程为放热液化；4、用真空泵抽真空目的是抽除不凝及未凝饱和汽；5、决定真空泵真空度的只有介质组成及其蒸发温度下的饱和蒸汽压；6、决定真空泵抽速大小的只有泄漏空气量及过程补充不凝氮气量及冷凝分离温度；市场上真空蒸发中真空泵常用于中药的提浓、西药的合成和西药的洗涤,常用的真空泵类型为水环真空泵。

真空灭菌柜应该选用哪种真空泵好？

发布时间: 2019 - 06 - 03

来源: 202

现代消毒灭菌设备多种多样，从寻常百姓家的厨房消毒柜，到专业研究所的专门灭菌消毒设备。各种各样的灭菌设备采用了多样的灭菌方式和原理来配合不同的场合要求和对于消毒灭菌的要求。而在各种各样的灭菌设备中，常见的利用真空应用来帮助消毒灭菌的设备，如“脉动真空消毒柜”以及“等离子灭菌器”。这两种灭菌设备各有特点又各有其局限性，脉动真空消毒利用高压蒸汽与真空对细菌微生物进行有效的杀灭，然而对一些热敏的，不耐潮湿和高温的器材则就常常会采用过氧化氢等离子灭菌法，那么真空灭菌柜应该选用哪种真空泵好呢？纵观灭菌技术发展史我们不难发现，现代灭菌的两个重要元素：蒸汽和真空，高压蒸汽仍是目前最高效的灭菌方法，而真空则能利于蒸汽更好的穿透被消毒物品，使灭菌消毒的效果和速度大幅提升！真空泵应用：整个脉动灭菌柜在运作过程中的真空应用主要分为两部分：第一部分为脉动预真空过程，真空泵会在灭菌前多次抽取灭菌室内的空气再充入蒸汽再抽空多次重复该过程，一般需要在灭菌前抽气3-6次，使腔体内的真空度达到-0.08~-0.09Mpa第二部分为真空抽湿干燥过程，该过程是在高压蒸汽灭菌完成后将灭菌室内的高温蒸汽抽除保证灭菌后的物品干燥洁净。根据各种脉动真空灭菌柜的实际腔体尺寸不同，可以使用阿特拉斯的双级油润滑旋片泵GVD系列以及干式爪泵DZS系列，由于整个灭菌过程中腔体中充斥着大量的高压水蒸气，所以在灭菌腔体内的气体被抽出到达真空泵前需要装配一套冷热分离装置用于分离水蒸气，分离的水可以再回到蒸汽发生器中。过氧化氢等离子灭菌器的真空应用主要用于灭菌前的预真空阶段和灭菌过程中的帮助过氧化氢真空升华的反复抽空应用。所需的极限真空度一般为0.5mbar即可。可用Atlas Copco的GVD系列双级油润滑旋片泵进行配套。

真空泵系统如何选择主泵？

发布时间: 2019 - 05 - 31

来源: 166

工业中大多数会用到真空泵系统，我们知道真空机组的设计条件与步骤要真空室内总放气量的计算，有效的抽速，和配的主泵和前级泵，那么真空系统中的主泵应该如何选择呢?下面深圳恒才张工总结了七点，一起来了解一下吧。　　　　第一、通过真空室所需要建立的极限压力确定真空泵系统主泵的种类，　　通常主泵极限压力的选择要比真空泵室的极限压力低1半到1个数量级，　　第二、通过真空室进行工艺成产时所须要的工作压力来选真空泵系统主泵，　　应该正确地选择主泵的静态工作点，在它的工作压力界限，要能排除真空泵室内工艺过程间所造成的全部气体量。所以，真空泵室内的工作压力一定要在主泵的较佳抽速压力范围以内，　　第三、根据真空室的容积大小和要求的抽真空时间来选真空泵系统主泵，　　真空室容积的大小对真空系统所要抽到极限真空度的时间长度有所影响。当抽气的时间段要求必须时，假如真空室容积越大，那么主泵抽速也越大。　　第四、正确地组成真空泵系统，　　由于真空泵有选择性地抽真空，因此有时采用一种泵不能满足抽气要求，需要几类泵组成起来，相互之间补充才能符合抽气要求。　　　　第五、若真空系统严格要求无油时，则应当选各种无油泵作真空泵系统主泵，　　要是要求不严格，那么可以选择油泵，之后再加一些防油污染的策略，可以加挡油阱、障板、冷阱等，也可以达到清洁真空的标准。　　第六、选择真空泵时，应当知道被抽气体成份，针对被抽气体成份选择相对的真空系统主泵，　　如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应当考虑到选取干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安裝辅助设备。　　第七、根据全套真空泵系统的第一次投资和日常维护费等经济指标选取真空泵系统主泵。　　　　以上七点真空泵系统的选主泵要点了解了吗?主泵占真空系统的重要位置，一定要谨慎，如果不懂可以找专业的真空泵公司计算出方案和选型，深圳恒才张工很高兴为您服务，希望可以一起探讨更多关于真...

真空泵的选择步骤，你了解吗？

发布时间: 2019 - 04 - 26

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1. 选真空泵要确认环境条件　　包括环境温度、相对湿度、大气压力、空气腐蚀性、危险区域等级、防尘防水要求。2. 选真空泵要确认操作条件　　指液体吸入侧液面压力（绝对）、排出侧液面压力、间歇或连续工作、位置固定或移动、安装维修方便性。3. 选真空泵要确认介质性质　　包括介质名称、温度、密度、粘度、饱和蒸汽压力、固体颗粒直径和含量、气体的含量、腐蚀性、挥发性、燃爆性、毒性。4. 选定真空泵过流部件的材质　　根据泵送介质的物理化学性质主要考虑以下几个方面：　　（1）介质的腐蚀性，　　泵过流部件的耐腐蚀性能满足使用要求即可，不可追求过高的耐腐蚀性能，否则，将大幅度增加泵的购置成本。　　（2）介质是否含固体颗粒，　　因为固体颗粒的硬度和含量直接关系到泵过流部件的耐用性。　　（3）介质的温度（压力），　　介质的温度（压力）越高，泵过流部件的材质强度应越高。一般的，温度250℃时，应选用铸钢件或钢件。　　（4）有卫生级或禁止污染要求的介质，　　选择相应的过流部件材质。另外，泵的结构应是便于清洗的。5. 选定真空泵性能参数　　（1）计算法　　A. 流量：它直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。如工艺设计中能算出泵正常、最小、最大的三种流量。选择泵时，以最大流量为依据，兼顾正常流量，在没有最大流量，通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。　　B. 扬程：一般要用放大5%-10%余量后的扬程来选型。特别注意：离心泵流量、尤其是扬程的余量不宜过大，否则，泵工作时可能发生汽蚀，造成流量、扬程达不到要求。一旦出现这种情况，一般地，可采取切割叶轮外径或关小泵出口阀门的补救措施。　　C. 功率：一般地，泵配带功率形式及大小由生产厂选配，并在产品样本中标出。　　D. 汽蚀余量　　校核泵的装置汽蚀余量、必须汽蚀余量是否匹配。当不能满足时，应采取有效措施加以实现。　　（2）类比法、试验法当泵管路系统...

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