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2019 - 12 - 22
水环真空泵在许多领域用于泵送液体。但是,有些人总是误解它的使用,并且总是以错误的方式使用它。为了方便您使用,以下将介绍对设备的误解:  1、需要配备前级泵,不能单独使用。  2、在使用之前,必须首先确定哪种类型的设备易于密封。如果选择套筒密封,将大大降低工作效率。  3、水环真空泵的流量将随着扬程的增加而减少,因此扬程越高,流量越小,功耗也越小。相反,扬程越低,流量越大,消耗的功率也越大。  4、在使用过程中,如果真空度降低,请立即检查真空泵转子之间的间隙是否已改变。如果间隙变大,请更换新的真空泵。  5、用于紧急情况:  ①在出水管上安装闸阀以调节出水量,以减少流量,避免电动机过载,注意电动机的温升。如果电机过热,请关闭插座水口 流量或关闭。  ②正极轨道上的大功率离心泵排水灌溉单元的出口管装有闸阀。为了减轻设备启动时的电动机负载,应首先关闭闸阀,并在电动机启动后逐渐打开闸阀。  6、如果将高扬程用于太低的扬程泵送,则电动机将简单地过载并加热。如果严重,电机将被烧毁。因此,为避免过载,泵送油量扬程的使用量应不低于校准的油泵扬程的60%。  水环真空泵具有较高的负压,较小的流量,适用于少量排放。新用户会误解是正常的。只要我们了解它,就可以在使用它时避免它。保持正常运行并延长使用寿命。
2019 - 12 - 24
以下是罗茨真空泵制造商对启动罗茨真空泵前准备工作的介绍。罗茨真空泵机组一般使用罗茨泵作为主泵,水环泵作为前级泵组成。该真空机组广泛应用于各种行业,如食品工业中的冷冻干燥过程、医药工业中的干燥过程、化学工业中的真空蒸馏和结晶过程等。为了帮助客户更好地准备我们的产品使用,我们想介绍启动罗茨真空机组前的准备工作。  1.检查前泵水箱水位是否达到水箱的3/4以上,并弥补不足。  2.检查水箱使用中的水是否是否干净,不允许使用含泥沙的污水,以免堵塞管道,造成叶轮磨损,增加电机负荷,造成故障,影响泵使用的使用寿命。  3.检查中间泵和主泵中润滑油的油位。油位必须达到油窗的3/4以上。同时,检查颜色润滑油。如果罗茨真空泵的出现有更多乳白色或黑色杂质,通知机修工更换润滑油。  4.检查中间泵和主泵循环冷却水路是否是否完好,打开循环冷却进水和出水阀,检查循环冷却进水和出水是否是否正常。  5.检查中间泵底部缓冲罐的排水阀是否是否关闭。  6.检查罗茨真空泵机组电路是否良好,控制柜指示是否正常是否。  7.检查真空泵单元的电极触点压力。中间泵和主泵压力是否启动正常(中间泵启动进口压力大于0.065Mpa,主泵启动进口压力大于0.085Mpa)。  每个人都经常忽略准备工作。事实上,这项工作也非常重要。只有在开工前仔细准备工作,能够确保工作才能安全,提高生产质量。综上所述,罗茨真空泵机组只有在以上所有事...
2019 - 12 - 28
水环真空泵是用于工厂加工生产的真空泵。它通常用于各种行业中。最重要的一个是设备的滚动轴承和联轴器的两个组件。两者具有互补作用,需要同时进行组装,下面介绍组装方法:  一、联轴器总成  1、联轴器是将驱动轴和从动轴连接在一起的装置。它分为电动机联轴器和泵联轴器。  2、在安装期间,这两个200-1必须同心,并且两端之间必须保持相等的轴向间隙。否则会严重影响机器的运行和寿命。因此,找到联轴器是组装工作的重要部分。环。  3、联轴器的轴向游隙要求:  两个联轴器之间应保持均匀的轴向间隙。这是为了防止两个联轴器在操作过程中发生碰撞,并且可以通过塞尺检查间隙大小,通常可以使用4-6 mm的塞尺。  4、不同轴向要求的联轴器:  ①泵轴和电机轴的轴心应在同一直线上。如果有一定的倾斜度,则机器将运行不均,产生振动和噪音,导致轴承磨损,并影响机器的使用寿命。  ②当安装两个半联轴器时,由于两个半联轴器的外圆尺寸相等,因此需要使用不同的轴向度,因此可以通过外圆检查不同的轴向度。  ③这样,检查上,下,左和右四个位置,直到它们都紧密合拢且没有间隙。联轴器的不同轴向度不超过0.05毫米。  ④检查方法是在两个半联轴器的外圆上放一个尺子,观察尺子是否靠近两个联轴器的外圆。  ⑤两个联轴器不是同心的,因为一个联轴器紧紧固定,而另一个联轴器有间隙,这表明需要进行调整。  二、滚动轴承的组装方法  1、 水环真...
2019 - 12 - 31
如果长时间使用某些物品,将不可避免地将其损坏。真空泵在许多工业领域中被大规模使用。如果排气中有油雾和油滴,原因是什么?现在,跟随真空泵维修厂家分析排气中油雾和油滴的原因。什么是油雾?油雾是指空气中油蒸气的浓度。通常有两种方法形成油雾。首先,在压力的作用下,输油管道中的油通过管道上的细微非密封点喷出,形成了肉眼难以识别并散布在周围空气中的油颗粒。其次,油滴洒在热态的表面(例如锅炉的表面)上,并蒸发到周围的空气中形成油蒸气。  为什么要研究油雾?       有两个原因。第一个原因是节油要求。空气中的油雾很浓,并且散射是无限的。毫无疑问,有漏油现象。从长远来看,油量的损失不能低估。当然,第二个原因是更重要的原因,即容易引起火灾。许多工程技术人员认为,将油喷在热态表面上时,会立即点燃。这实际上是一种误解。必须有三个充分的条件来引发火灾:一定浓度的油雾;一定量的氧气;以及点火装置能量。如果要使火源着火,则仍然需要形成连锁反应的条件,即,空气中会渗透足够浓度的油雾。因此,如果将油喷到热态表面着火,则必须满足这三个充分条件。在热表面上喷洒一小滴油不会在明火下燃烧,但由于油浓度不够,会散发出一小团烟雾。  真空泵维修厂家分析了废气中油雾和油滴的原因,处理方法如下:  一、排气中油雾和油滴的原因  1.泵太多油。  2.排气过滤器安装不正确或过滤材料破裂。 ...
2020 - 01 - 06
为了使最终组装成功,在对制冷系统进行气密性测试和泄漏检测之后,必须执行完全真空(抽真空)。维修空调和制冷设备时,维修人员经常使用GVD8|GVD12旋片式真空泵抽空系统。真空度应为-0.1MPa,持续24小时,并且真空度可以增加而不会显着增加。抽空是使用真空泵或压缩机抽空制冷剂循环系统,以便排出系统中的空气和残留水分。本文将介绍制冷设备中的GVD8|GVD12旋片式真空泵的结构和常见故障。  制冷设备是指主要用于在夏天制冷机组人员的食物,制冷各种货物和机舱空调的设备。它主要由压缩机,膨胀阀,蒸发器,冷凝器及其配件和管道组成。按照工作原理,可分为压缩式制冷设备,吸收式制冷设备,蒸汽喷射式制冷设备,热泵式制冷设备和电加热式制冷设备。  制冷设备中GVD8|GVD12旋片式真空泵的结构和工作原理  常用的真空泵是旋片真空泵,它是一种用泵油密封的机械泵。  旋片泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔体中,并且转子外圆和泵腔内的表面相切(它们之间的间隙很小)。在转子槽中安装了两个带弹簧的转子。在旋转过程中,旋片的顶部通过离心力和弹簧张力保持与泵腔的内壁接触。转子旋转以驱动旋片沿泵腔内壁滑动。  转子外圆的表面与泵腔内相切,旋转刀片安装在转子镐中。在弹簧的作用下,它始终与定子腔壁紧密接触。当偏心转子在电动机的牵引下旋转时,转子也随之旋转。顺时针旋转时,吸气口会持...
2020 - 01 - 09
气蚀现象是由液体汽化引起的。液体分子逃逸成气体分子,这被称为“汽化”。水环真空泵发生气蚀后,不仅会破坏过流部件,还会产生噪声和振动,导致泵的性能下降。在严重的情况下,它会停止泵中的液体,使其无法正常工作。2bv水环真空泵在空化状态下短时间运行,这将导致泵的噪声和振动变大,甚至对泵造成损坏。那么如何防止水环真空泵产生气蚀呢?今天小编为大家总结了以下几点,仅供参考!  提高水的热度  随着2bv水环真空泵冷冻水温的升高,水环真空泵的泵送能量将会严重增加。水环真空泵密封水的热量必须低于对应于排气压力的饱和热量,否则将导致水环真空泵叶轮的气蚀。因此,防止气蚀的目的是增加水的热量。  正确选择  在选择阶段,当选择2bv水环真空泵的吸入压力和水的热度时,应尽可能避免水环真空泵容易发生气蚀的压力范围,即应防止水环真空泵在临界真空度或临界排气压力区域内运行,以避免发生严重的蒸汽腐蚀。  装置的气蚀屏蔽管  装有气蚀屏蔽管的2bv水环真空泵,压缩时气蚀破裂产生的气泡,以及从内部引入压力较高的不凝气体,可以及时补充气泡破裂产生的空间,这可以大大增加蒸汽严重腐蚀对泵的危害,增加气蚀引起的噪音和振动。  空气喷射器  大气喷射器的功能是利用大气压力和水环真空泵之间的压差产生大气射流,使喷射器内的吸入压力比水环真空泵低,从而消除水环真空泵的极限压力,防止水环真空泵气蚀,起到屏蔽水环真空泵的作用。由于设置空...
2020 - 01 - 15
旋片真空泵长期使用后,会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡滞”、严重油污、真空泵腔生锈、旋片撞击声大、硬物落入真空泵腔划伤真空泵腔、真空泵过热等异常现象。  此时,真空泵必须拆卸和清洗。该方法包括以下步骤。  (1)切断电源,从真空系统中取出真空泵。  (2)用重力法或加压法排放和收集污油,避免环境污染。  (3)取下皮带和滑轮键(双级旋片真空泵包括皮带)。  (4)先拆下低真空端,拆下后端盖,然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。  (5)拆下前端盖,取出高真空转子、转盘、弹簧等。  (6)拆下视镜、排气阀、排气盖等。  (7)用汽油彻底清洗去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%氟化氢钠溶液煮沸除去油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨以去除锈斑和毛刺。清洁过的零件必须干燥。  (8)组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子中,然后将前端盖安装到真空泵室内,安装定位销,均匀对称地拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应紧紧地附在阀座上)和其他部件,如气体镇流器装置等。  旋片真空泵维护注意事项,真空泵维护知识总结:  (1)定期检查油位是否低以及干油标记线。如果有低干油标记,应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不应太多,否则会导致起动困难和喷油困难等问题。  (2)应注意真空泵的正常运行...
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2021 - 04 - 19
1.罗茨真空泵机组的特点  1.转子和泵腔之间有一定的间隙,转子和转子之间不接触,不需要用油润滑。  2.转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,因此可以制造结构紧凑的高速泵。  3.泵运行时,振动小,体积大,体积利用率约为0、5。  4.在泵腔中没有机械真空泵之类的压缩现象,因此不需要排气阀。因此,可以提取出可冷凝的蒸气。  5.可以在短时间内达到快速启动和最大真空度。能耗低,运行和维护成本低。  6.罗茨真空泵机组在很宽的压力范围(1000Pa-1Pa)内具有很高的抽速,并且可以迅速排出突然释放的气体,从而补偿了扩散泵和泵的抽速。 因此,它适合用作增压泵。  2.罗茨真空泵的操作方法  1.低风压和大电流:这种情况经常发生。主要原因是罗茨真空泵进口的滤网积聚了更多的灰尘,没有及时清理。仔细清洁过滤器,即可解决问题。这就要求我们在生产过程中经常清洁滤网,以确保罗茨真空泵的入口不被堵塞,这不仅有利于设备的运行,而且不影响煅烧。  2.罗茨真空泵的叶轮与叶轮之间发生碰撞:齿轮齿偏移,消除方法是调整间隙并拧紧。压力过高操作;故障排除方法是检查超压的原因,然后消除。齿面磨损,齿间距增加,从而导致叶轮之间的间距发生变化。消除的方法是调整空间。  3.根真空泵外壳的振动:  在使用过程中,维护工作做得不好。 根鼓式真空泵使用时间过长。拆卸机器时,应测量机器的相应尺寸。  3.罗茨真空泵间隙调...
2021 - 05 - 07
夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时,设备的温度会升高,容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。  如果热量难以散发出去,则螺杆真空泵的温度会升高,一旦达到极限温度,就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度,更换螺杆真空泵油,并保持通风位置或配备室内冷却设备。  为了提高螺杆真空泵的散热功能,需要及时更换消耗品,主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题,则应尽快更换。  起初,当油出现变色,沉淀和乳化增加的现象时,它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时,如果螺杆真空泵的温度过高,螺杆真空泵将显示异常噪音,注油甚至堵塞。因此,螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。  同样,在夏季,请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方,将其放置在室外时,请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。
2021 - 05 - 20
当物料从吸入口进入螺杆真空泵时,它需要经过管道摩擦和其他外部因素,导致管道效率波动。此时,可以通过泵的特性来调节油管,以避免额外的损失并节省能量。  1.缩短螺杆真空泵的管道长度  入口和出口管的长度应最小化。但是,当水源和出口池之间的地形平坦时,缩短管道将不可避免地增加旁路,入口池和泵房中的开挖量。将小型泵站从平地安装到倾斜位置,或者将水泵安装在井中或井中,并将管道设计更改为直线布置,可以缩短管道的长度在泵房里。节省了肘部并减少了头部损失。根据条件提高管子内壁的光滑度,可以减少管子强度的损失。  2.合理确定螺杆真空泵的管径。  管道直径的大小也会影响螺杆真空泵的效率。实践表明,管直径太大或太小都不经济。当管道和流星的长度固定时,如果选择大的管道直径,流量小,水头损失小,电功率小,但管道投资高;如果选择一个较小的,则情况与前一个相反。为了减少管道损失,应合理确定螺杆真空泵的进,出口管直径。如果已投入生产的管道的直径过小,则管道的压降会增加。为了提高管道的效率,请考虑根据经济直径更换管道。  3.减少管件  管件的局部电阻系数非常大,这会导致较大的压降,并且在运行期间必须消耗大量的能量。因此,应尽量减少内部管道不必要的附件。  管道需要严格密封,否则会影响真空度。在更改螺杆真空泵管道时,还必须考虑到这一点,以确保连接的施工质量。
2021 - 06 - 04
水环真空泵在工作过程和各种操作过程中必须冷却,因为泵在运行过程中会产生一定的热量,必须随时冷却,防止泵体过热,但泵体的冷却泵需要一定的条件,在一定条件下,可以加强其冷却条件。水环真空泵设备的冷却条件?  1、对于温度低于120的介质,一般没有专门的冷却系统,一般采用水环真空泵的介质进行温和冷却。可选择悬挂结构,使温度上限达到140-160。  值得一提的是,对于易结晶或富含颗粒的介质,必须设置密封面清洁管道,通常在设计中留有接口。  2. 120以上和300以内的介质,  一般情况下,冷却室应位于水环真空泵的盖内,密封室也应与冷却液相连。当不允许制冷剂进入介质时,必须对介质进行冷却和接通,这可以用一个简单的换热器来完成。  熟悉水环真空泵的冷却条件后,即可完成冷却。我们必须做好相应的工作。另外,在设计上,厂商必须从多个角度进行合理的设计。
2021 - 06 - 23
螺杆真空泵是工业生产中常用的一种机械设备。长期工作中容易出现一些故障,包括卡顿现象,会干扰设备的正常运行,给公司造成损失。  由于某种原因,螺杆真空泵电机过载甚至无法旋转。这种现象一般称为“卡住”。真空泵卡死的原因是:弹簧损坏,转子受力不均;装配不正确,强行某一部分;由于进气过滤网、外部污垢、金属屑、玻璃屑等丢失或损坏。它们落入泵腔。另外,泵转子与旋片端面与端盖的间隙过小,摩擦生热导致旋片伸长或过热过紧,旋片硬度过高,毛刺相互挤压,在端面造成较深的划痕。  轴套配合好,润滑油路不畅时,泵长期卡死,泵腔生锈;泵在潮湿环境中工作或去除水分。气体、泵油变成乳化液或泵油变脏甚至结垢。泵油粘度过高(冬季);转子在启动时破裂;有些泵的高低真空室气道有半圆形凹槽,顶部橡胶板太紧,堵塞中心气道等,容易造成泵卡死。这个问题通常是很危险的,因为在卡住的时候,电机会过载或者因为转子不能转动,很容易烧坏电机。即使电机没有烧坏,如果不及早停车修理,也会损坏泵腔,折断旋转叶片,扭曲转子,烧毁端面。后果永远是不好的。  螺杆真空泵卡死总是发生在转子、转叶与端面或中间隔板之间或转子与泵腔之间。这些部件是决定真空泵最终压力的关键部件。因此,出现卡死现象,必须紧急停泵,排除故障,妥善维修。切勿重试甚至鲁莽,否则整个泵很容易被扔掉,无法修复。  螺杆真空泵的堵转现象主要是内部设备损坏和润滑不足造成的。这与用户的定期维护...
2021 - 07 - 08
随着干式真空泵的使用率越来越广泛,其质量也在不断提高。由于其特点和优点,被大家广泛使用。为了让每个人都变得更好,我们将掌握干式真空泵水流量有什么问题?  干式真空泵的应用范围很广,取得了显着的效果。一些发电机组更常用于供水和排水。改进干式真空泵的设计具有环保节能的优点。一般情况下,设备故障率很低,但仍需定期维护保养,以确保泵的优良性能。电源选用干式真空泵。如果整个运行过程中没有电源或出水流量不大,则泵会出现常见故障。干式真空泵的所有正常常见故障都是由常见故障引起的,它们解决问题。建议客户先检查当前运行的泵流量的功率与正常运行的泵流量的全功率的差异.低于正常运行时间,将生产离心叶轮。泵叶轮止回阀损坏、堵塞等问题。如果电流量和以前一样大,那就是垫圈、管子和泵壳的泄漏。如果正常运行时流量的电量高于流量的电量,很明显是备件损坏。另外,如果电缆损坏,水流量会像往常一样大,但电流量会有所改善,客户可以一一查找原因。和故障检测。建议客户进行定期检查,按时保持真空泵干燥,并做好记录,方便下次定期检查和维护。如不能解决问题,可作为维修人员节省维修的参考。  以上就是干式真空泵流量的问题,大家可以了解一下,并在整个应用过程中按照正确的操作步骤来达到很好的实际效果。如果大家不能,请谅解,如果您可以拨打电话咨询,我们会根据您的具体规定给您有效的建议,避免盲目跟随实际操作造成不必要的不便。
2021 - 08 - 21
水环真空泵选型的2个要点在选择水环真空泵时应注意哪些问题,本文详细讲解了水环式真空泵的2个选择方法。一、根据所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用水环真空泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照:真空计算公式。二、水环真空泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。1、尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。这里补充一点真空泵工作时,还要注意以下两个方面,以便更好的维护水环真空泵的正常使用寿命。深圳市恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,给客户提供稳定的真空系统解决方案,专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务,更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
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真空泵机械密封泄漏维修方法

日期: 2019-08-27
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真空泵密封的泄漏问题一直是工程师和技术人员的主要问题。机器密封的泄漏会影响设备的正常运行。如果真空泵内是易燃或爆炸性气体,它可能会燃烧或爆炸,导致设备停止或人身伤害和其他事故。那么真空泵机械密封泄漏的原因是什么?

水环真空泵

1.真空泵机械密封装配不当

更换端部密封时,在拆卸过程中未安装移动环上的密封O形圈。 O形圈应安装在移动环座上的密封槽内,拆卸检查发现O形圈未安装,但弹簧定位件错位,导致弹簧变形而完全失效轴向密封。泄漏的作用。

2.真空泵机器密封冷却水压力过大

机械密封的密封圈的密封力由弹簧施加在移动环上。当冷却水压力过大时,水压会作用于静态和动态环。由于静环是固定的,水压将推动移动环并沿静环的相反方向压缩弹簧,从而削弱或消除静态和动态环面。密封力导致密封表面泄漏。

真空泵


3.真空泵静态和动态环密封表面破裂

动力端和非动力端机密封组装在同一根轴上,叶轮安装在轴的中间,轴承支撑固定在轴的两端。当单独更换动力端或非动力端密封件时,必须拆下相应端的轴承(轴承座),然后才能取出旧的机器密封件,并安装新的机器密封件。此时,由于轴和叶轮的重力,一端的轴承支撑件丢失。叶轮和轴必须向下塌陷,轴向无轴端倾斜。由于未分离端的静环由泵端盖上的螺栓固定,因此移动环固定在轴上并与轴一起旋转,并且由于静环内圈与轴间隙较小,轴坍塌倾斜时,会导致:

a.动静环的不可移动的一端相对位移,使静,动环密封面相互挤压,造成切屑;

b.轴直接压在未去除的静环的内圈上,导致静环密封面破裂或断裂。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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