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2019 - 07 - 08
以下项目是直联旋片式真空泵在使用过程中需要注意的事项。如果其中一个被无意中使用,将影响旋片式真空泵和旋片真空泵的使用寿命。 不能泵送含有颗粒,灰尘或凝胶状,含水,液体和腐蚀性物质的气体。 不能泵送含有过多氧气的爆炸性气体或气体。 系统无法泄漏与真空泵配套的气体和容器太大而无法在长期泵送下工作。 不能用作加油泵,压缩泵等。仪器维护保持旋片式真空泵清洁,以防止杂质被吸入真空泵室。建议配置过滤器。但是,上部界面和过滤器下部界面之间的距离约为整个进料器高度的3/5。当水量过多时,可以通过排水塞排出,然后及时拧紧。过滤器用作缓冲,冷却,过滤等。 保持油位。不应混合不同类型或等级的真空泵油。如果被污染,应及时更换。 储存,水分或其他挥发性物质储存不当进入真空泵室。可以打开气镇阀门净化。如果真空受到影响,请考虑更换机油。更换真空泵油时,首先打开泵约30分钟,以换油。稀释,释放脏油,同时排油,从空气入口缓慢加入少量透明真空泵油,以冲洗泵腔内部。 如果旋片式真空泵的打鼾增加或突然咬死,应迅速切断电源并检查。
2019 - 07 - 12
真空泵操作要点水环真空泵运转时,要不断地充水以维持泵内液封,同时也起冷却的作用,但泵所能造成的真空度受泵体中水的温度所限制。 液环真空泵可使抽出的气体不与泵壳直接接触,因此.在抽吸腐蚀性气体时只要叶轮采用耐腐蚀材料制造即可。泵内所注人的液体必须不与气休起化学反应。例如,抽吸空气时可用水,抽吸氮气时可用浓硫酸。还应注意所用液体应不含固体颗粒,否则,将使叶轮与壳体常受 磨损,降低抽气能力。 单级蒸汽喷射泵仅可得到90%的真空,如果要得到95%以上的真空,则可采用几个蒸汽喷射泵串联起来使用,便可得到更大的真空度。真空泵操作注意事项真空系统启动时,要先用机械泵将系统抽至低真空,再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源,待油停止沸腾后再关冷凝水,再关闭扩散泵前后两个活塞,接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱,以免有机物、水汽等杂质进入机械泵,影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。 对玻璃真空系统的检漏,使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中,发生感应放电时所产生的不同颜色,来大致估计真空度量级,以判断系统是否漏气。实际检漏过程如下,启动机械泵数分钟后,系统的真空度可达1.333~13.33Pa。真空泵表面清洁的重要性在真空...
2019 - 07 - 17
在水环真空泵运行期间,轴可能会突然断裂。轴断裂立即发生在表面上,但实际上,定量变化的积累导致了质的变化。什么原因导致水环真空泵轴承断裂?1.气体或工作液的腐蚀也可能导致水环真空泵断轴2.水端真空泵轴端推力面位于第一主轴上,发动机轴上有空压机负载。当空气压缩机负荷增加时,发动机轴容易烧蚀或松动。径向跳动。3.水环真空泵的主轴承磨损过多,长时间松动。断裂发生在发动机轴的后半部分。这也是因为发动机轴具有大的径向跳动,这导致发动机轴断裂。4.水环真空泵轴弯曲过大或不同,主轴承间隙松动不均匀,使发动机轴在转动时受阻,加上发动机轴前后负荷不均匀,径向跳动很频繁。5.水环真空泵主轴承和连杆轴承多次烧蚀,消融部分支撑力减弱,轴径向跳动频繁,根部消融后应力发生变化,因此在根部和臂之间的轴上发生断裂。6.水环真空泵的相邻主轴承之间的间隙过大,尤其是最后两个主轴承与前两个主轴承之间的间隙过大。发动机轴后面有一个飞轮,前面有一个皮带轮,发动机轴两端都是过应力的。径向跳动很频繁。7.水环真空泵主轴承烧蚀或轴承滚动后,发动机轴的后轴将过大。8.水环真空泵发动机轴端间隙过大或烧蚀,运行前后会移动。由于水环真空泵轴承支撑力的变化和主轴同心度的变化,臂上的应力集中。另外,臂本身比轴颈更薄,并且轴易于破裂。因此,小编提醒大家在使用时要注意以上这些问题,可以有效避免。
2019 - 07 - 22
罗茨真空泵是一种双转子容积式真空泵。泵室内有两个对称的转子,转子有两叶,三叶和四叶形状。两个转子沿彼此相反的方向旋转,并被轴端齿轮同步驱动。转子彼此不接触,并且转子和泵室壁也不接触,并且它们之间通常存在0.15至1.0mm的间隙,并且泵室由间隙密封。由于罗茨真空泵的泵腔内没有摩擦,转子可以高速运转,一般为1500~3000r / min,不需要使用润滑油,可以实现无油清洗过程。泵的润滑仅限于轴承和齿轮,以及动态密封。泵没有往复运动部件,因此可以实现良好的动态平衡。因此,罗茨真空泵运行平稳,转速高,尺寸小,以获得大的抽速。目前,国内外大多数罗茨真空泵都是水平结构。泵的进气口位于顶部,排气口位于底部。该水平结构具有低重心和高速操作时的良好稳定性。罗茨真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮相对同步旋转。泵主要是直接耦合的,而大型泵是皮带驱动的。电机和传动齿轮设置在转子轴的两侧,便于安装和拆卸。传动轴传递大扭矩,轴具有足够的强度和刚度,轴和转子牢固地固定。罗茨真空泵的密封至关重要。驱动轴的外轴,两个转子的轴承和泵室设有动态密封,泵室和每个端盖设有静密封。为了避免罗茨真空泵的误操作,通常提供旁路安全阀。根据罗茨真空泵的特殊需要,油压齿轮箱,轴承和其他部件与泵腔分离。罗茨真空泵压缩过程中产生的热量传递给转子和泵体。转子难以将热量传递到泵的外部,并且泵体的热量容易损失到周围的大气中。因此,在转子和泵...
2019 - 07 - 25
旋片式真空泵在果蔬真空预冷中的应用。真空预冷是指在正常大气压(101.325 kPa)下,水在100°C蒸发。如果大气压为610 Pa,水在0°C蒸发,水的沸点随环境大气压降低降低。沸腾是一种快速蒸发,可以快速吸收热量。将新鲜水果和蔬菜放入密闭容器中,快速提取空气和水蒸气。随着压力持续下降,水果和蔬菜将通过连续快速蒸发水来冷却。用于真空预冷水果和蔬菜的旋片式真空泵是冷却处理设备,而不是制冷设备。其目的是让水果和蔬菜快速冷却到设定温度,然后从设备中取出物品,或将它们放在空气中,或直接运输,或将它们放入冷藏室。由于水果和蔬菜处于休眠状态,其活力的恢复需要一个时间过程,这是保存期。为什么选择旋片式真空泵来真空预冷水果和蔬菜?旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集装置之一。这是一种油封式机械真空泵,抽速大,体积小,极限真空度高,工作噪音低。在这种真空泵中,油起着重要作用,它具有密封,润滑和冷却三种功能。通过使用旋片式真空泵可以完全实现水果和蔬菜预冷却(≤660Pa)所需的真空度。然而,如上所述,真空冷却的原理是在水蒸发期间使用吸热来引起自冷却。因此,在冷却过程中产生水蒸气。如果水蒸气直接进入旋片式泵,则会导致泵油乳化,这不仅会影响泵的性能,还会对泵体本身造成损坏。解决方案是在泵前添加一个集水器,将水蒸气冷凝成水并排出。为此,必须重新配置制冷系统,以便已经除去水分的空气...
2019 - 07 - 29
工业旋片真空泵在工业吸尘中的应用也是现代科学技术发展的产物之一,给我们的生活带来了极大的便利。在做家务或工作的过程中,以及用于工业吸尘的工业旋片真空泵更容易。它具有干湿两用的功能,可吸收液体和固体,更便于大规模清洗工作。下一个小编将向您介绍工业吸尘的结构原理和工作原理。首先,让我们首先了解什么是用于工业吸尘的工业旋片真空泵。真空吸尘器简介对于许多人来说,由于显而易见的原因,真空吸尘器已成为不可或缺的家用设备。电流控制电机运行。电机上有一个风扇,风扇叶片有一定的角度,就像飞机的螺旋桨一样。当风扇叶片旋转时,空气一直被推到排气口。随着空气颗粒向前推动,风扇前方的颗粒密度增加,空气压力相应地增加,并且风扇后面的颗粒密度降低。风扇后面的压降与饮用时吸管的压降相同。风扇后面的压力低于真空吸尘器外部的压力,即环境空气压力。这在真空吸尘器内产生吸力,即部分真空。真空吸尘器结构原理1,吸尘原理。在电动机的高速驱动下,真空吸尘器的风扇叶轮将叶轮中的空气高速驱动到风扇,同时,集尘部分中的空气连续地补充到风扇中。这可能与外界形成更高的压力差。喷嘴的灰尘和污垢随着空气被吸入集尘部分,并通过泄漏器泄漏,以将灰尘和污垢吸收到集尘筒中。2.真空吸尘器的原件。所有真空吸尘器都配有组装刷头,用于清洁地板和地毯。吸尘吸尘器还配备了一系列清洁刷和喷嘴,用于清洁角落,窗帘,沙发和接缝。3.喉管:所有吸尘吸尘器都配有软管,...
2019 - 08 - 02
如果水环式真空泵严重污染,可能会卡住而无法使用。如果是严重的话,会严重影响生产进度。鉴于水环式真空泵的结垢问题,我们应该了解结垢的原因并采取预防措施。一,水环式真空泵结垢的原因随着水环式真空泵结垢的开始,真空泵内部的传热环境逐渐被破坏,热交换频率将越来越低,结垢速度将越来越快。规模的原因大致如下:(1)热分解:含有硬度成分的循环水进入真空泵后,在泵体内形成水环式,随着泵的旋转产生热量,使溶解在水中的碳酸氢盐逐渐分解,并且沉淀出几乎不溶于水的沉淀物。缩水。(2)溶解度降低:CA-SO4,CASIO3,CACO3和其他具有负溶解温度系数的盐随着循环水温的升高而降低溶解度,因此沉淀析出形成水垢。(3)相互反应:在循环水中溶解度大的盐通过在真空泵运行期间与其它盐物理反应形成水垢,形成难溶性物质。(4)蒸发和浓缩。由于循环水连续进行工作加热,因此不可避免地产生蒸发和浓缩,因此水中溶解盐的浓度不断增加,当其达到饱和时,沉淀析出形成水垢。二,水环式真空泵的规模分析在操作真空泵的情况下,产生的水垢包括盐垢和污垢,并且其组成根据水源而变化。污垢最大的危害是使水分破碎,水流阻力增大,影响正常供水,降低换热效率,水温不断升高,加速盐形成速度。有时它甚至会在规模下引起腐蚀。当污垢严重沉积时,真空泵会出现异常,效率下降或叶轮停止。泥土的来源因地而异。在实际操作中,有必要仔细分析是否有废水流入。是否有沉积物,...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 27
来源: 593
晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量,具体分析如下:一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质,无需润滑油,避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中,即使微小的油污也可能导致后续工艺(如光刻、镀膜)出现缺陷,影响芯...
发布时间: 2025 - 07 - 25
来源: 1306
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 24
来源: 1268
电子晶圆吸附过程中,真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素,以下是具体选型要点及分析:一、真空度与工作压强核心要求:真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如,若工艺要求真空度为100Pa(绝对压力),则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性:泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如,某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar,其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar,因此工作点应选在此区间内。应用场景:晶圆减薄:需-90kPa以上真空度(约90%真空度),以抑制振动和热变形。晶圆键合:需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar(约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa)超高真空度,避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活:需优于10 Pa真空度,防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义:抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力,单位通常为m³/h或L/s。计算方法:可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速,其中 S 为抽速(L/s),V 为真空室容积(L),t 为达到目标真空度所需时间(s),P1 为初始压强(Pa),P2 为目标压强(Pa)。应用场景:高精度加工:如光刻、键合等工艺,需高抽速(如>1000L/s)以快速建立真空环境。一般加工:如切割、研磨等工艺,70-90 kPa真空度下,抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型:需了解被抽气体成分(如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等),针对性选择泵型。含蒸气或颗粒:需在进气口安装冷凝器或除尘器,防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体:需选用耐...
发布时间: 2025 - 07 - 22
来源: 1268
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统油封泵的油蒸汽污染,保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计:支持低负荷省电运行,同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断,提高管理效率。即插即用安装:集成化设计(如电气室、机壳)简化安装流程,占地面积小,适合空间有限的工厂。自动启停功能:根据生产需求自动启停,减少人工干预,降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用:覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域,满...
发布时间: 2025 - 07 - 09
来源: 1282
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电子束设备中,低温泵与扩散泵、罗茨泵配合,实现高真空冷却。二、系统设计:模块化与集成化结合,提升灵活性模块化设计功能分区:将抽真空系统划分为预抽模块(机械泵+罗茨泵)、高真空模块(分子泵/扩散泵)、低温模块(低温泵)等,根据工艺需求灵活组合。快速切换:通过阀门控制气体流向,实现不同工艺腔体的快速切换,减少设备闲置时间。案例:半导体制造中,L/L腔与工艺处理腔独立设计,通过管道连接至中央真空泵组,实现...
发布时间: 2025 - 07 - 03
来源: 564
在塑胶造粒产线中,干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵,其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面,具体分析如下:1. 环保性:无污染排放,降低合规风险水环泵痛点:水环泵以水为密封介质,运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染,尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时,废水处理成本高且环保压力大。例如,某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款,后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势:采用无油无水设计,彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。同时,尾气中未冷凝的溶剂(如甲苯)可通过常压冷凝器高效回收(回收率超96%),减少VOCs排放,满足严格环保法规。2. 工艺适应性:满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性:水环泵极限真空度仅达2000Pa,需多级泵串联才能实现更高真空,且真空度受水温、水质影响大(如夏季水温升高导致真空度下降)。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa(绝压),且运行稳定,不受水温及抽出溶剂影响,满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理:水环泵不便进行防腐处理,难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件(如螺杆、泵腔)可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金,耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀;同时内置高效滤芯或旋风分离装置,拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免磨损或堵塞,延长设备寿命。3. 稳定性:减少非计划停机,提升生产效率水环泵缺陷:水环与转子接触易磨损,需定期更换水环和滤芯,维护成本高。长时间运行后,水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降,需冷冻盐水冷却水箱,增加能耗和故障率。干式泵优势:螺杆转子间无接触,无磨损,寿命长达10年以上,维护仅需定期更换滤芯(寿命可达数千小时,支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机)。无油设计避免油品变质导致的真空度波动,确保工艺参数稳定,减少次品率。例如,某企业采用干式泵...
发布时间: 2025 - 07 - 01
来源: 155
干式螺杆真空泵相比水环真空泵具有以下核心优势:1. 极限真空度更高,系统简化干式螺杆真空泵:单泵可直接从大气压抽至 1Pa(绝压),极限真空度高,无需多级泵串联,系统结构简单,连接管道少,泄漏点少,故障率低。水环真空泵:极限真空度仅 2000-4000Pa,需与多级罗茨泵或蒸汽喷射泵串联才能实现更高真空,系统复杂,维护成本高。2. 长期运行稳定性强,不受水温影响干式螺杆真空泵:无水环设计,运转稳定,不受水温波动或抽出溶剂的影响,适合连续高负荷运行。水环真空泵:水温升高会导致真空度下降,需用冷冻盐水冷却水箱,增加能耗;溶剂混入水体还会进一步降低真空性能。3. 溶剂回收率高,环保经济干式螺杆真空泵:工作腔内无介质,排气端可设置常压冷凝器,对未冷凝溶剂(如甲苯)进行高效回收,回收率 超96%,且无废水产生。水环真空泵:溶剂直接混入水体,无法常压冷凝回收,需定期换水,产生大量废水,处理成本高。4. 防腐蚀性能优异,适应恶劣工况干式螺杆真空泵:过流部件(如螺杆、泵腔)可采用镀镍或特氟龙涂层,耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀,适用于化工、制药等腐蚀性气体环境。水环真空泵:防腐处理困难,一般不适用于酸性体系,且溶剂进入水箱可能腐蚀设备。5. 安全性高,无倒吸风险干式螺杆真空泵:无水无油设计,即使停泵倒吸也不会污染系统或引发危险,保障产品质量和生产安全。水环真空泵:停泵时水可能倒吸回真空系统,存在污染物料或引发分解爆炸的风险。6. 维护成本低,寿命长干式螺杆真空泵:无油设计,无需更换润滑油或滤芯;螺杆间无接触,磨损小,寿命长达 10年以上,维护简单。水环真空泵:需定期更换水、滤芯和机械密封件,维护成本高;叶轮与水体摩擦导致磨损,寿命较短。7. 节能效果显著干式螺杆真空泵:采用永磁变频技术,能耗比水环泵低 30%-50%,且无额外冷却系统能耗。水...
发布时间: 2025 - 06 - 27
来源: 1257
温控行业中,高温磁力泵凭借其无泄漏、耐高温等特性,在高温液体输送领域发挥着重要作用,以下从工作原理、核心优势、应用场景及注意事项展开介绍:一、工作原理高温磁力泵通过磁力传动器(磁力联轴器)实现无接触力矩传递,以静密封取代动密封,使泵达到完全无泄漏。电机带动外磁转子旋转时,磁力线穿过隔离套带动内磁转子和叶轮同步旋转,介质封闭在静止的隔离套内,避免了传统泵的泄漏问题。二、核心优势无泄漏设计:泵轴由动密封变为封闭式静密封,彻底杜绝介质泄漏,适用于输送有毒、有害、易燃、易爆和贵重液体介质,是创建无泄漏、无污染文明车间、文明工厂的理想用泵。高温适应性:采用耐高温材料和特殊设计,能够在高温环境下稳定运行。例如,某些高温磁力泵的工作温度范围可达-45℃至400℃,甚至更高。节能高效:由联轴器传动变为同步拖动,不存在接触和摩擦,功耗小、效率高。同时,无需独立润滑和冷却水,降低了能耗。安全可靠:过载时,内、外磁转子相对滑脱,对电机、泵有保护作用。当磁力传动器的从动部件在过载情况下运行或转子卡死时,磁力传动器的主、从动部件会自动滑脱,保护机泵。维护简便:结构简单,运行稳定,维护成本低。例如,某些高温磁力泵采用直联后拉式设计,无需拆卸管道,维修方便。三、应用场景石油化工行业:用于输送高温油品、化学溶液等,确保生产过程的安全和高效。冶金行业:处理熔融金属和高温废液,防止泄漏,保护环境。电力行业:用于冷却系统和热交换设备,处理高温冷却液,保证设备正常运行。制药行业:输送高温药液和溶剂,确保药品生产的质量和安全。食品加工行业:提供稳定、卫生的输送服务,满足食品安全标准。四、注意事项介质纯净度:不允许有铁磁杂质、颗粒进入磁力传动器和轴承摩擦副。输送含有固体颗粒的介质时,应在泵流管入口处过滤。温度控制:应在规定温度条件下运行,严禁介质温度超标。可在磁力泵隔离套外表面装设铂电阻温度传感器,检测环隙区域的温升...
发布时间: 2025 - 06 - 26
来源: 1267
水环式真空泵在电子晶圆真空吸附中应用广泛,其特点与优势如下:工作原理水环式真空泵叶轮偏心安装在泵体内,启动前向泵内注入一定高度的工作介质(常为常温清水)。当叶轮旋转时,水在离心力作用下在泵体壁内形成旋转水环,叶片及两侧侧板形成密闭腔。在前半转(经过吸气孔)旋转过程中,密封容腔容积逐渐扩大,气体由吸气孔吸入;在后半转(经过排气孔)旋转过程中,密封容腔容积逐渐缩小,气体从排气孔排出,同时排出一部分水,排出的水气经气液分离器分离后,水可循环使用。优势特点结构与维护:结构简单,制造精度要求不高,容易加工,维护成本低,周期长,适合长期连续运行。工艺适配:能提供较大抽气量,在低真空度(2000~4000Pa)下表现良好,满足晶圆吸附大流量、低真空度需求。气体处理:等温压缩过程接近等温,可避免气体温度过高,适合处理含水蒸气等可凝性气体,防止气体在泵内凝结。抗污染:对粉尘和颗粒物不敏感,水环作为密封和冷却介质,减少磨损,延长设备寿命。安全性:使用水作为工作介质,无油污染风险,等温压缩特性使其在处理易燃易爆气体时安全性更高。经济性:初始投资和运行成本较低,使用寿命长,适合大规模生产环境。适应性:可通过调节供水量、转速等参数适应不同工艺需求,也可与其他真空设备组合使用。应用场景在电子半导体领域,水环式真空泵可用于灯泡排气,电容、集成晶体管电路、LCD显示器的生产,以及太阳能电池板的单晶硅、多晶硅生长炉,切割,真空层压等生产环节。在电子晶圆真空吸附中,它能快速建立真空环境,稳定吸附晶圆,满足半导体制造对洁净度和稳定性的要求。
发布时间: 2025 - 06 - 21
来源: 40
在光电产线中,用螺杆真空泵替代真空发生器串联抽真空主要基于螺杆真空泵在抽气效率、真空度稳定性、能耗、运行可靠性、维护成本及环保性等方面的显著优势,以下为具体分析:抽气效率与真空度稳定性螺杆真空泵:螺杆真空泵具有较高的抽气效率,能够在短时间内达到所需的真空度。其工作原理是通过螺杆的旋转来压缩和排出气体,从而形成真空。这种机械式的抽气方式使得螺杆真空泵在抽气过程中能够保持稳定的真空度,不易受到外界因素的干扰。真空发生器串联:真空发生器通常是通过压缩空气来产生真空,其抽气效率相对较低,且真空度的稳定性较差。在串联使用时,多个真空发生器之间的协同工作可能更加复杂,难以保证整体抽气系统的稳定性和效率。能耗与运行成本螺杆真空泵:虽然螺杆真空泵的初期投资可能较高,但其运行成本相对较低。螺杆真空泵在抽气过程中能耗较低,且能够长时间稳定运行,减少了因设备故障或停机而带来的生产损失。真空发生器串联:真空发生器在运行过程中需要消耗大量的压缩空气,且随着串联数量的增加,能耗也会相应增加。此外,真空发生器的使用寿命相对较短,需要频繁更换,进一步增加了运行成本。运行可靠性与维护成本螺杆真空泵:螺杆真空泵的结构相对简单,运行可靠,维护成本较低。其螺杆和泵体之间的间隙较小,能够减少气体的泄漏,提高抽气效率。同时,螺杆真空泵的润滑系统也相对简单,减少了因润滑不良而导致的设备故障。真空发生器串联:真空发生器在串联使用时,任何一个环节的故障都可能导致整个抽气系统的失效。此外,真空发生器的维护也相对复杂,需要定期清洗和更换滤芯等部件,增加了维护成本和时间。适应性与环保性螺杆真空泵:螺杆真空泵能够适应不同的工作环境和抽气需求,具有较强的适应性。同时,螺杆真空泵在抽气过程中不会产生有害物质,对环境友好。真空发生器串联:虽然真空发生器在某些特定场合下具有一定的适应性,但在光电产线等需要高精度、高稳定性的场合下,其性能可...
发布时间: 2025 - 06 - 20
来源: 1257
在CNC精雕机行业中,螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的方案具有显著优势,主要体现在效率提升、维护成本降低、环保性增强及稳定性提高等方面。以下是对该替代方案的具体分析:一、螺杆真空泵的优势清洁无油:螺杆真空泵为干式真空泵,泵腔内无润滑油,因此不会产生油雾或油蒸汽污染被抽气体,有利于获得清洁真空环境,特别适用于对真空度要求较高的CNC精雕机行业。高真空度与大抽速:螺杆真空泵通过优化转子型线设计和精密加工,能够实现高真空区的大抽气量,提高工作效率。同时,其强制输气特性使得在宽压力范围内都能保证较大的抽速,排气量几乎不受排气压力影响。耐腐蚀与适应性强:螺杆真空泵的泵腔及螺旋转子表面可进行防腐涂层处理,能够适应含有腐蚀性气体、可凝性蒸气及少量粉尘的气体环境,这在CNC精雕机加工过程中可能遇到的复杂气体环境中尤为重要。低噪音与低振动:螺杆真空泵的转子经过精细动平衡校正,运转平稳,噪音低,振动小,有利于改善工作环境。维护简便:螺杆真空泵结构简单,零部件少,且核心部件无易损件,因此维护简便,降低了维护成本。二、旋片真空泵串联抽真空的局限性油污染问题:旋片真空泵需要机油才能运行,长时间使用后机油会与被抽气体中的水汽、煤油等混合,导致油污染,需要定期更换机油,增加了维护成本和环境污染。维护复杂:旋片真空泵的旋片和排气阀等部件容易磨损,需要经常更换,维护复杂且成本较高。性能下降:随着使用时间的增长,旋片真空泵的性能会逐渐下降,特别是当被抽气体中含有腐蚀性介质或粉尘时,性能下降更为明显。三、螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的可行性效率提升:螺杆真空泵的高真空度和大抽速特性能够显著提高CNC精雕机的抽真空效率,缩短加工周期。维护成本降低:由于螺杆真空泵无需换油且维护简便,因此能够显著降低维护成本。环保性增强:螺杆真空泵无废油排放,对环境无污染,符合当前环保要求。稳定性提高:螺杆真空泵的运转平稳...
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