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过滤干燥搅拌工艺-SPECK水环真空机组

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晶圆吸附切割司倍克水环真空机组

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进口真空泵废气处理的两种有效方法

2019 - 08 - 07

工厂中的真空泵会使一部分废气挥发。实际上，真空泵本身不会产生废气。从真空泵排出的废气主要是工作系统中使用的气体组分。如何处理这部分废气简单直接，投资小。收集和净化放电是碳吸附。活性炭的吸附特性可用于吸附有害成分，从而达到良好的净化空气效果。让我们知道进口真空泵的两种废气处理方式。由真空泵产生的废气不是唯一的。这两种方法用于使有机废气在收集后通过设备净化，然后通过15米的烟囱排放到大气中。1.碳吸附法：主要由活性炭层和支撑层组成。活性炭具有空隙，比表面积大，吸附能力强。正是由于这种活性炭的特性，它被广泛用于水的深度处理，如生活用水，后期水的深度处理（清洁水）。使用活性炭一段时间后，吸附大量吸附物，逐渐变得饱和，失去工作能力，严重时会渗入过滤层。因此，应进行活性炭的再生或更换。2.离子净化方法：使用高温发生器形成低温等离子体，并在平均能量约为5eV的大量电子的作用下，有机废气分子如苯，甲苯，通过净化器的二甲苯转化成各种活性颗粒和空气。 O2组合在一起产生低分子无害物质，如H2O和CO2，以净化废气。在该过程中，当有机气体进入冷离子反应室时，气体均匀地分配到等离子体反应室（PRC）。将反应室分成149个六边形管，每个管在中心具有冠状线，与反应室分开。高压管线用于引导反应室以调节高压，并且高压被传导到管中的管状线。从导线到管壁发生放电现象。一旦放电，等离子体电子与气体分子碰撞产生化学活性核...

真空泵电机故障查找和解决办法

2019 - 08 - 12

真空泵电机故障也是真空泵的常见问题之一。以下是真空泵电机的常见故障和故障排除方法。请阅读完整的干货。交流电动机的故障是不同的，相同的故障可能表现不同，并且可能由于不同的原因引起相同的现象。这是通过现象把握本质，以达到准确判断，对症下药。真空泵电机故障故障可分为两大类：机械式和电磁式：前者如扫帚（转子外圈与定子内圈摩擦），轴承磨损等，后者主要发生在绕组。检查的原则是首先是外部然后是内部，先是机械然后是电磁。真空泵电机要确定故障，首先应了解故障的发生，尤其是故障发生前后的变化。观察电机的异常情况，如端盖，风扇，端盖，外壳，是否松动，破裂，损坏，气道是否堵塞，轴是否弯曲，是否有特殊现象气味，绝缘被烧毁。气味也是油脂或其他油脂熔化和蒸发的气味。用手转动转子，听听是否有异物摩擦或定子和转子铁芯摩擦。如果仍然可以启动电机，请注意启动和运行期间声音是否异常。并用手触摸电机部件，检查热量程度以及是否存在局部过热（例如轴承室附近的热量与其他部件相比）和振动。相位异步真空泵电动机的绕组损坏，并且相量损失操作引起大量的绕组。所谓的缺相运行意味着运行中的电机突然断电，电机仍在工作。由于电流太大，绕组必然会烧坏。当发生缺相操作时，电机声音极其异常。发现后，应立即切断电源停止检查。此外，真空泵电机绕组短路故障也较为常见，绕组短路可分为单相绕组对地短路，即接地，两相绕组，相间短路和一个相绕组本身在转...

螺杆真空泵维修质量要求

2019 - 08 - 15

螺杆真空泵应用一段时间后，会出现各种小问题。有必要修复难以解决的组件。有哪些维护规定？让我们了解一下！1.挤出螺杆（1）以挤出机的螺杆尖端为标准，检测电机轴和挤出机螺杆表面层的损坏。规定不应有疤痕，螺旋面光滑度高于▽6，齿顶表面光滑度高于▽7，电机轴椭圆度和无柱不超过直径的1/3000。（2）螺杆真空泵挤出机的螺杆尖端的一部分的直径与壳体之间的间隙为0.14-0.33mm。（3）当挤出机的螺杆齿轮啮合时，齿顶与齿根之间的间隙为0.14-0.33mm，正常切削面的间隙为0.12-0.25mm。2.泵壳（1）螺杆真空泵的表面真空度高于▽6。（2）泵壳轴承的配合面和突出面及化学原料药应无明显疤痕，平整度不低于5，安装不强。3.滚动轴承（1）选择D / gc用于滚子轴承和轴之间的配合，并且选择D / d用于滚动轴承壳体的E.（2）螺钉机械泵滚子轴承的拆卸和组装应使用维护工具。当使用热装时，滚动轴承温度可以加热到150-130°C（不允许火焰立即加热滚动轴承）。（3）滚子轴承的滚子轴承和内外燕尾轨道表面不应有蚀刻，坑洼和黑点的缺陷。4.径向密封（1）包装封条1.使用的螺杆真空泵填料应符合设计理念。2.安装时，确保将填充环导向液体密封孔（允许其略微脱开，不允许内侧）。（2）机器密封1.机盖螺帽和垫圈的平面图的轴线不均匀度不大于0.03mm。2.安装螺杆真空泵密封时，必须符合设计理念。

真空泵在锂电行业的应用

2019 - 08 - 27

真空泵在锂电行业的应用锂作为一种非常特别的金属,适用于要求比较高的环境,所以加工和使用有非常高的要求.现在的技术越来越好,让锂在锂电池这方面成为主流方向,锂电池的发展前景是非常好的.想要有高倍率循环寿命的锂电池就要用到真空泵.对于这方面深圳恒才机电已经有了很好的合作案例.记得下来小编就带大家介绍一下锂电的应用.在锂电池的生产中最常用的就是我们知道真空搬运和吸附.在实现生活中的自动化.这种的旋片真空泵就能实现.还有就是烤箱和注液封装的时候会用到旋片式真空泵,在烤箱的真空度要求比较高,-95KPa以上，越高越好，注液的要求比较低。部分厂做成一个中央真空系统供全厂用，也可以分开来。因为所抽气体的腐蚀性，选泵的时候要注意。真空泵行业锂电特点1.受益于锂电汽车和锂动力电池的飞速发展，锂电性价比有了大幅提高，提高了锂电在储能的竞争力2.锂电能量密度高，相对安全可靠，可以满足多种储能场景的应用3.锂电商业化程度成熟真空泵行业锂电储能趋势1.锂电是电化学储能中发展最快一种，也是电化学中占比最高的2.锂电龙头企业逐步关注储能，并在近年投入逐年提高3锂电储能在未来数年发展前景广阔通过真空泵在锂电行业的研究发现,影响锂电池高倍率长循环寿命的因素1.放电深度与可充电次数2.过充、过放、以及大的充电和放电电流3.过热或过冷环境4.长时间满电、无电状态

选择干式真空泵的优势

2019 - 09 - 02

干式真空泵最明显的性能是不以水为介质。与传统真空设备相比，它能有效节约水资源，降低企业能耗，真正使企业的生产更加环保，提高企业的生产和发展能力。同时，在持续发展的优势力量下，干式泵的性能充分体现了其自身的优势。提高产品应用和开发能力的重要性，满足企业生产的需要，不断提升技术优势能力，提高产品生产能力的有效发挥。随着干式真空泵整体水平的提高，加快了产品的生产能力，增强了其各方面的应用实力，根据国内行业情况，加大了产品开发投资，积极学习各方面的先进技术，提高了产品质量。他具有自我发展的能力，从而反映了干式泵的性能。干式真空泵是未来工业发展的趋势。虽然现在用得不多，但除了价格高，还有一些用户不了解真空泵的位置。他们看不到未来给企业带来的经济效益。本文着重介绍了如何优化干式真空泵的选型。对于这些不同类型的干式真空泵，我们渴望减小它们的物理尺寸。但这与真空泵的抽速相矛盾，因为真空泵的抽速与真空泵的体积成正比，小的物理尺寸意味着小的体积。当然，影响真空泵抽速的还有一个重要因素，即速度。为了使小型真空泵的抽速与大型真空泵的抽速相匹配，必须提高其转速。有两种方法可以改变真空泵的转速，一种是改变电源的频率，即使用变频器；另一种是改变齿轮箱的传动比。其中，使用变频器的优点是可以提供闭环控制，但在重载时容易造成转矩损失。而改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法，当然它只能提供不可控的单速。现在，我们可以...

真空泵选型:真空泵的抽气能力计算

2019 - 09 - 06

很多人在真空泵选型中都会去计算真空泵的抽气能力,那么这个真空泵的抽气能力怎么去计算呢?今天就给大家介绍一个我们常用的计算公式.S=2.303V/tLog(P1/P2)其中：S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积（L）t为达到要求真空度所需时间(s)P1为初始真空度(Torr)P2为要求真空度(Torr)例如：V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr则：S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s真空泵的抽气能力计算最后还是为了我们怎么选取真空泵的型号.那么（1）真空泵运行过程中产生的振动对过程和环境没有影响。如果过程不允许，请选择无振动泵或采取防振措施。（2）了解被泵送气体的成分，气体中不含可凝性蒸气，是否有颗粒粉尘，是否有腐蚀性。选择真空泵时，您需要知道气体成分并选择合适的泵送气体泵。如果气体中含有蒸汽，微粒和腐蚀性气体，请考虑在泵的入口管道上安装冷凝器，集尘器等辅助设备。（3）在工作压力下，真空泵应能清除真空设备过程中产生的所有气体。（4）正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送，有时泵不能满足泵送要求，并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢气具有高抽速，但不能泵送，并且三极溅射离子泵（或双极不对称阴极溅射离子泵）对氩气具有一定的抽速。组合时，真空装置将具有更...

电厂中常用的真空泵机组

2019 - 09 - 12

介绍一种使用发电厂真空泵机组的方法。对于蒸汽轮机，真空对其运行的经济性有直接影响。真空度高，排气蒸汽压力低，有效焓降低，循环水带走的热量少，机组效率高。当空气泄漏到冷凝器中时，真空度降低，有效焓降低，循环水带走的热量增加。因此，真空泵机组是汽轮机的重要组成部分，其密封性直接影响整个设备运行的经济性和安全性。为此，国家电力行业标准对真空泵机组的严格要求提出了严格的要求。然而，由于设计，安装，操作和维护，许多发电厂在运行期间具有低真空。真空泵机组的密封性降低，这也会引起排气缸的变形和振动。进入冷凝器的空气也将导致冷凝物的氧含量不合格并腐蚀锅炉和蒸汽轮机设备。为解决上述技术问题，在电厂中设置真空泵机组，增加发电量，有效降低机组煤耗，达到节能减排的效果，确保经济安全运行单位，并确保治疗后的泄漏点,严谨提高。真空泵机组配备三个50％容量的水环机械真空泵，在启动时为气缸和冷凝器建立一定的真空度，并连续排出蒸汽泵机组中的非冷凝气体涡轮机在正常运行期间保持冷凝水。设备的真空。为什么选择真空泵？有以下因素：1,真空泵系统节能，每小时节电110KW，每年可节省约40万电费。 2,与原有的真空泵叶轮，圆盘等零配件相比，其备件更换维修费用约为20万; 3，与原有真空泵相比，可有效提高机组真空度，同时可降低煤耗发电量。另外，真空泵机组的优点：1,当需要...

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水环真空泵负压站有哪配置

发布时间: 2025 - 11 - 28

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水环真空泵负压站通常由真空泵、真空罐、电器控制部分等核心组件构成，并可根据需求配置气水分离器、冷却系统、过滤器、传感器及控制阀等辅助设备，以下是详细介绍：核心组件真空泵：作为真空获得的主要设备，水环真空泵通过其工作原理在泵腔内形成水环，利用水环与转子叶片形成的容积变化实现气体的吸入、压缩和排出。根据需求，可配置单台或多台真空泵，双泵或多泵配置可增强系统的稳定性和保障性，实现一开一备用、定时自动循环...

SPECK磁力泵在液冷工艺中有哪些优势

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来源: 1299

在液冷工艺中，德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性，成为输送冷却介质的理想选择，具体优势如下：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况：适应高温高压液冷需求高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。例如，其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃，扬程200米，流量110m³/h，适用于高压高温场景。高压能力：部分型号（如CY-4282.0067）扬程可达120米，支持高压循环液冷系统（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计：高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统，进一步增强安全性。例如，碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力，适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计：SPECK磁力泵采用模块化结构，用户可根据需要轻松更换部件（如隔离套、轴承），降低维护成本和...

液冷工艺为什么要用德国speck品牌磁力泵

发布时间: 2025 - 08 - 06

来源: 1295

在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵，主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性，这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质（如导热油、水基冷却液等）的理想选择。以下是具体分析：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压：适应液冷工艺的严苛工况高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。高压能力：部分型号（如CY/TOE-6091-MK）扬程可达115-120米，适用于需要高压循环的液冷场景（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求：简化液冷系统运维维护工作量小：磁力泵无机械密封更换需求，维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程，降低运维成本。避免空运转风险：虽需避免无介质空运转（以防滑动轴承和隔离套损坏），但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题，确保安全运行。5. 广泛适配性：覆...

晶圆真空吸附为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 08 - 01

来源: 1293

晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析：一、无油设计，避免污染关键需求：晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高，任何油污或杂质都可能污染晶圆表面，影响产品质量。Speck优势：Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要，确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度，满足精细加工需求关键需求：晶圆加工过程中，如吸附、搬运、切割等环节，需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势：Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度，如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附，防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落，从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能，适应大规模生产关键需求：晶圆生产线通常需要连续运行，对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势：Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能，能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如，某些型号的总气量达到199m³/h，能够满足大规模生产线的需求，确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温，适应多种工况关键需求：晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境，对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势：Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造，能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时，其工作液温度范围广泛，最高可达80°C，进气温度（干）最高可达200°C，吸入气体（饱和）最高可达100°C，确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命，降低运营成...

真空泵如何改造成中央真空泵系统

发布时间: 2025 - 07 - 31

来源: 1299

将分散的真空泵改造成中央真空泵系统，可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现，能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析：一、设备选型与整合核心设备选择：根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如，罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景，如压机分散小泵的改造；变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低，常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合：将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统，减少设备数量，降低占地面积。例如，将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+，实现节能率80%的同时，减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局：合理设计真空管道布局，确保气体流动顺畅，减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置：配置适当容量的真空罐和储气罐，以稳定系统真空度，减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时，真空泵自动停止运行；当真空度下降至下限值时，备用真空泵组自动启动。排水系统改造：对于水环真空泵，需优化排水系统以减少水资源浪费。例如，在入口加装限流孔板，控制轴密封液用量；在后路管线上增设“U”型管，增加介质流动阻力并起到水封作用，减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成：采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面，可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略：引入变频驱动（VSD）技术，根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度，实现节能降耗。例如，Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理，提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

发布时间: 2025 - 07 - 25

来源: 1299

深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

电子晶圆附附如何选型真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 24

来源: 1262

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始压强（Pa），P2 为目标压强（Pa）。应用场景：高精度加工：如光刻、键合等工艺，需高抽速（如＞1000L/s）以快速建立真空环境。一般加工：如切割、研磨等工艺，70-90 kPa真空度下，抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型：需了解被抽气体成分（如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等），针对性选择泵型。含蒸气或颗粒：需在进气口安装冷凝器或除尘器，防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体：需选用耐...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

发布时间: 2025 - 07 - 22

来源: 1261

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统油封泵的油蒸汽污染，保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计：支持低负荷省电运行，同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断，提高管理效率。即插即用安装：集成化设计（如电气室、机壳）简化安装流程，占地面积小，适合空间有限的工厂。自动启停功能：根据生产需求自动启停，减少人工干预，降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用：覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域，满...

电子行业如何做到集中抽真空

发布时间: 2025 - 07 - 09

来源: 1277

在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电子束设备中，低温泵与扩散泵、罗茨泵配合，实现高真空冷却。二、系统设计：模块化与集成化结合，提升灵活性模块化设计功能分区：将抽真空系统划分为预抽模块（机械泵+罗茨泵）、高真空模块（分子泵/扩散泵）、低温模块（低温泵）等，根据工艺需求灵活组合。快速切换：通过阀门控制气体流向，实现不同工艺腔体的快速切换，减少设备闲置时间。案例：半导体制造中，L/L腔与工艺处理腔独立设计，通过管道连接至中央真空泵组，实现...

塑胶造粒产线干式螺杆真空泵替代水环式真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 03

来源: 561

在塑胶造粒产线中，干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵，其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面，具体分析如下：1. 环保性：无污染排放，降低合规风险水环泵痛点：水环泵以水为密封介质，运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染，尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时，废水处理成本高且环保压力大。例如，某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款，后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势：采用无油无水设计，彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放，避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题，提升产品纯度。同时，尾气中未冷凝的溶剂（如甲苯）可通过常压冷凝器高效回收（回收率超96%），减少VOCs排放，满足严格环保法规。2. 工艺适应性：满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性：水环泵极限真空度仅达2000Pa，需多级泵串联才能实现更高真空，且真空度受水温、水质影响大（如夏季水温升高导致真空度下降）。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa（绝压），且运行稳定，不受水温及抽出溶剂影响，满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理：水环泵不便进行防腐处理，难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀；同时内置高效滤芯或旋风分离装置，拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质，避免磨损或堵塞，延长设备寿命。3. 稳定性：减少非计划停机，提升生产效率水环泵缺陷：水环与转子接触易磨损，需定期更换水环和滤芯，维护成本高。长时间运行后，水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降，需冷冻盐水冷却水箱，增加能耗和故障率。干式泵优势：螺杆转子间无接触，无磨损，寿命长达10年以上，维护仅需定期更换滤芯（寿命可达数千小时，支持在线反吹或脉冲清灰，无需停机）。无油设计避免油品变质导致的真空度波动，确保工艺参数稳定，减少次品率。例如，某企业采用干式泵...

干式螺杆真空泵对比水环真空泵的优势

发布时间: 2025 - 07 - 01

来源: 142

干式螺杆真空泵相比水环真空泵具有以下核心优势：1. 极限真空度更高，系统简化干式螺杆真空泵：单泵可直接从大气压抽至 1Pa（绝压），极限真空度高，无需多级泵串联，系统结构简单，连接管道少，泄漏点少，故障率低。水环真空泵：极限真空度仅 2000-4000Pa，需与多级罗茨泵或蒸汽喷射泵串联才能实现更高真空，系统复杂，维护成本高。2. 长期运行稳定性强，不受水温影响干式螺杆真空泵：无水环设计，运转稳定，不受水温波动或抽出溶剂的影响，适合连续高负荷运行。水环真空泵：水温升高会导致真空度下降，需用冷冻盐水冷却水箱，增加能耗；溶剂混入水体还会进一步降低真空性能。3. 溶剂回收率高，环保经济干式螺杆真空泵：工作腔内无介质，排气端可设置常压冷凝器，对未冷凝溶剂（如甲苯）进行高效回收，回收率超96%，且无废水产生。水环真空泵：溶剂直接混入水体，无法常压冷凝回收，需定期换水，产生大量废水，处理成本高。4. 防腐蚀性能优异，适应恶劣工况干式螺杆真空泵：过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍或特氟龙涂层，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀，适用于化工、制药等腐蚀性气体环境。水环真空泵：防腐处理困难，一般不适用于酸性体系，且溶剂进入水箱可能腐蚀设备。5. 安全性高，无倒吸风险干式螺杆真空泵：无水无油设计，即使停泵倒吸也不会污染系统或引发危险，保障产品质量和生产安全。水环真空泵：停泵时水可能倒吸回真空系统，存在污染物料或引发分解爆炸的风险。6. 维护成本低，寿命长干式螺杆真空泵：无油设计，无需更换润滑油或滤芯；螺杆间无接触，磨损小，寿命长达 10年以上，维护简单。水环真空泵：需定期更换水、滤芯和机械密封件，维护成本高；叶轮与水体摩擦导致磨损，寿命较短。7. 节能效果显著干式螺杆真空泵：采用永磁变频技术，能耗比水环泵低 30%-50%，且无额外冷却系统能耗。水...

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