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阿特拉斯ATLAS推动式旋片真空机组-新能源真空吸附工艺

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过滤干燥搅拌工艺-SPECK水环真空机组

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晶圆吸附切割司倍克水环真空机组

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旋片式真空泵应用于微电子工业

2019 - 08 - 06

旋片式真空泵主要是中小型真空泵。旋片式真空泵有两种类型的单级旋片式真空泵和两级真空泵。所谓的两级旋片式真空泵是两个串联的单级泵结构。通常，将其制成两个阶段以获得更高的真空度。微电子学需要越来越小的电子元件和电路，以及更高的集成要求。这与真空技术的应用密不可分，特别是VLSI的微加工技术。几何结构，超薄层生长技术和粒子束注入技术的形成都需要高质量，清洁的真空环境。依赖真空技术和设备。目前，今天的VLSI工艺需要真空条件（旋片式真空泵可以提供）。因此，在微电子技术中，进口旋片式真空泵在这方面起着一定的作用。微电子技术是一种基于各种半导体器件的高科技电子技术，以集成电路为核心。它具有体积小，重量轻，可靠性高，工作速度快的特点。微电子技术对信息时代产生巨大影响。微电子技术是在传统电子技术的基础上发展起来的。它被称为“微电子学”，顾名思义，因为它是一种小型的先进技术，其特点是“四微”：1它的信号处理是固体中的微观电子。它是在运动中实现的; 2其工作范围是实心甚至是晶格级微区; 3信号交换只在很小的范围内进行; 4它的体积很大，可以放一个电子功能，甚至一个子系统集成在一个微芯片上。简而言之，微电子技术是一种独特而神奇的特殊技术，可在几乎看不见的范围内工作。微电子技术也对电子产品的消费市场产生了深远的影响。低成本，可靠，小巧轻便的微电子技术层出不穷。电子技术产品和微处理器不再是世界上专业科学仪器...

旋片式真空泵应用于茶叶储存

2019 - 08 - 09

茶叶制造商一直在寻找能够帮助储存大量茶叶的设备。旋片式真空泵在茶叶贮藏中的应用。因为茶喜欢闻，所以更怕水分，高温和光照，需要干燥，清洁，黑暗，低温，低氧;避免高含水量，接触异味，光线，高温环境，暴露空间。根据这些要求，茶叶必须在储存前提取。茶具有很强的吸湿性和吸收气味，易于吸收空气中的水分和气味。如果储存方法稍微不合适，风味会在短时间内消失，而高产茶的价格越高，保存起来就越困难。通常，茶叶保存一段时间后的香气，味道和颜色变化。原来的新茶会消失，味道会逐渐消失。因此，掌握茶叶的储存方法可确保茶叶的品质在生活中必不可少。茶可吸收水分并吸收异味。因此，应特别注意适当的储存和包装。除了美观，方便，卫生和产品保护要求外，还必须在储存期间防止水分和气味，以确保茶的质量。导致茶叶变质的主要因素是：清淡。二，温度。第三是茶的含水量。第四是大气湿度。五，氧气。六，微生物。七，气味污染。由微生物引起的变质受到诸如温度，湿度和氧气等因素的限制，并且气味污染与存储环境相关。因此，必须控制光，温度，湿度和氧气以防止茶叶变质。包装材料必须是阴影的，例如金属罐，铝箔层压袋等。可以使用旋片真空泵或氮气填充的包装去除氧气。可以使用脱氧剂。存储方法有两种类型：常温存储和低温存储，具体取决于存储空间的温度。由于茶叶的吸湿性非常强，无论储存方法如何，储存空间的相对湿度应控制在50％以下，并且储存期间茶叶的含水量应保持在5...

无油真空泵应用在粉末装袋工艺中

2019 - 08 - 14

无油真空泵在旋片真空泵在粉末和颗粒装袋过程中的应用过程。应注意几个重要问题和技术方向，并解释无油旋片式真空泵技术。产品质量，干燥速度和节能减排技术工艺。最简单和最基本的一个，让我们谈谈真空的应用，创造一个真空环境。食品需要真空包装，产品需要真空包装，工厂，家庭，医院，这些地方可以用来获得“真空”环境。这些地方也最需要一个真空泵，它专为您创造一个真空环境。真空泵的实际应用与我们的生活密切相关。例如，如果你只需要做一些食物并需要将它送到远处的人那里，你应该使用真空包装吗？但我想在家里传递目前的工具和设备，似乎无法创造真空环境。因此，从小家庭到大医院，需要准备一个或多个真空泵。根据真空泵的需要，可以继续选择无油，变频真空泵等。那你知道为什么选择无油旋片式真空泵吗？原因很简单，即无油旋片式真空泵与其他真空泵相比具有以下结构特点和优点：无油旋片式真空泵是一种无油真空泵。用于从密封容器中除去气体以获得真空的基本装置。该泵可用于各种真空操作，例如空调，制冷设备维修，医疗设备的抽吸设备，印刷机械，真空包装，真空吸收，物理和化学实验，以及需要真空环境的小型设备。它还可以用作小型油增压泵，油扩散泵，分子泵等的前级泵。该泵不适用于去除对黑色金属有腐蚀性，对泵油有化学反应性的气体，含有颗粒粉尘的气体，以及氧气和爆炸性过高的有毒气体。它不能用作输送泵（即从一个容器泵送到另一个容器）。用于粉末和颗粒装袋过程的...

光伏行业中的干式螺杆真空泵

2019 - 08 - 19

今天我们就来介绍一下,干式螺杆真空泵在光伏行业的应用,光伏行业可能我们接触的比较少,光伏是太阳能光伏发电系统的缩写。它是一种新型发电系统，利用太阳能电池半导体材料的光伏效应将太阳辐射能直接转换为电能。从上游到下游的光伏发电产业链主要包括多晶硅，硅晶片，电池和电池组件等产业链。为光伏行业提供专业的真空解决方案，干式螺杆真空泵在光伏行业的应用。随着太阳能电池板产量的增加，该生产区域变得越来越重要。为该市场提供高品质的干式螺杆真空泵产品和出色的真空解决方案。诸如晶体硅，CdTe，CIGS或硅薄膜技术的各种工艺，用于生产捕获太阳光并将其转换成能量的光伏电池，与真空技术的发展密不可分。从硅晶体的绘制到太阳能电池的生产，到太阳能模块的层压，在制造过程中不可能没有真空。无论是关注结晶还是薄膜涂层都无关紧要，提供量身定制的真空解决方案是光伏生产的关键因素。层压 - 太阳能电池层压工艺包括在连接前保护板和后保护板的同时封装太阳能电池。为获得最佳效果，干式螺杆真空泵提供真空抽吸速度，非常适合此应用。该膜是厚度范围从纳米到几微米的材料层。在过去的几十年中，薄膜技术得到了改进，需要可靠的产品才能达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺，高性能干式螺杆真空泵可用于提供同类最佳的真空设备，以满足该应用的要求。进口干式螺杆真空泵的性能特点1.工作室内没有介质，可以获得清洁的真空。2.工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适...

真空泵机组的选型方案

2019 - 08 - 29

真空泵机组通常由以下部件组成：各种真空泵;真空测量机组;真空阀;真空管和一些其他组件，如鼓风机，真空接头，储气罐，波纹管，集尘器和真空继电器。根据机组的工作压力，有粗真空泵机组（ 1330Pa）;低真空泵机组（1330~0.13Pa）;高真空泵机组（0.13~1.3×10-6 Pa）;超高真空泵机组（1.3×10-6）~1.3×10-11 Pa）;非常高的真空泵机组（用于高真空的罗茨真空泵（机械增压泵）不能直接排放到大气中。例如，直排气氛将导致罗茨真空泵的入口和排气口之间的压力差太大，从而使罗茨真空泵过载。增加罗茨真空泵电机的功率将导致罗茨真空泵过热，因此罗茨真空泵转子之间的小间隙会因热膨胀而迅速卡住。为了确保罗茨真空泵能够实现更高的真空度，必须确保罗茨真空泵转子之间的间隙。因此，罗茨真空泵必须配备前级泵，当系统中的压力通过前级泵泵送到一定范围时，罗茨真空泵启动，这样可以防止罗茨真空泵过载。前级泵可以是可以直接排放到大气中的真空泵，例如水（液体）环真空泵，旋片真空泵，滑阀真空泵或往复式真空泵。罗茨真空泵机组在正常情况下，使用水环泵作为前级泵比其他真空泵更有优势，主要是因为它可以去除大量的可冷凝蒸汽，特别是当气镇机械真空泵消除冷凝时。有性蒸汽容量不足，或者使用的溶剂会使泵油劣化并影响性能，或者当真空系统不允许油污染时更明显。低真空泵机组的主要特点是工作压...

水环真空泵常见的15种故障

2019 - 09 - 04

水环真空泵在目前广泛的真空应用中，在运行过程中不可避免地会出现故障。在维护过程中，水环真空泵故障的诊断是一个关键环节，如没有液体供应的水环真空泵，液体供应不足或在压力不足的情况下，应考虑以下15点：（1）无注水或适当排气：解决方案：检查真空泵外壳和进水管是否都充满了液体。（2）速度太低：解决方案：检查电机接线是否正确，电压是否正常或涡轮蒸汽压力是否正常。（3）系统头太高：解决方案：检查系统头部（特别是摩擦力）损失）。（4）吸风冲程太高：解决方案：检查现有的净头（进口管路太小或太长都会造成大的摩擦损失）。（5）叶轮或管道被堵塞：解决方案：检查障碍物。（6）轮换方向错误：解决方案：检查旋转方向。（7）空气或进气管路有泄漏：方法：检查进气管路是否有气孔和/或漏气。（8）填料函中的填料或密封件磨损会导致空气泄漏到真空泵外壳中：解决方案：检查填料或密封，并根据需要进行更换。检查润滑是否正常。（9）泵送热或挥发性液体时吸头不足：解决方案：增加吸头并咨询制造商。（10）底阀太小：解决方案：安装正确尺寸的底阀。（11）底阀或进水管不够深：解决方案：请向制造商咨询正确的浸入深度。（12）叶轮间隙过大：解决方案：检查间隙是否正确。（13）叶轮损坏：解决方案：检查叶轮并根据需要进行更换...

螺杆真空泵与爪式真空泵怎么区别

2019 - 09 - 11

螺杆真空泵和爪式真空泵都是干式真空泵，但由于它们的工作原理不同，它们也会产生不同的结构差异。为了获得尽可能低的压力，两个泵分为4级，但爪式泵级由级之间的隔板分开，螺杆真空泵由螺杆交叉形成，形成级间分离，所以两个阶段之间存在很大差异。一，使用不同的流程1，螺杆真空泵的气体通道短，各级之间的气体转移位置恒定，有利于气体从泵中快速排出，从固体颗粒物体中排出。由于存在阶梯式隔板，气体通道长且弯曲，并且气体容易冷凝并且容易阻塞通道。2，螺杆真空泵的泵体和转子为单体，易于进行防腐处理。爪形泵的台阶板几乎不可能进行表面处理，转子表面上的防腐蚀涂层在组装过程中也容易损坏。二，可靠性使用的差异1.爪式真空泵有级隔板，转子和泵轴不能一体化，转子安装在轴上。为了便于安装和拆卸，配合不能太紧，因此在操作后容易发生滚动键和松动的转子。现象。螺杆真空泵的轴和转子完全一体铸造成型，没有装配问题。2.爪式真空泵有许多间隙，每个间隙是独立的。只要在任何一个间隙中存在问题，泵就不能正常工作。螺杆真空泵仅通过排气端和转子之间的间隙来确定工作性能，并且转子和转子之间的间隙是相互关联的，并且操作可靠性非常高。三，可维护性的差异1.拆卸爪式泵拆卸困难：由于采用多级结构，所有拆卸都是多级分解，转子拆卸是一个真正的难点，每次拆卸时精度会有不同程度的降低。即使是简单的清洁也必须拆卸和重新组装。螺杆真空泵易于拆卸：拆卸螺杆泵只需要拆...

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PCB线路板分散小泵如何做集中起来抽真空

发布时间: 2025 - 12 - 13

来源: 895

在PCB线路板生产中，将分散的小泵集中起来抽真空可通过采用集中真空泵系统替代分散小泵实现，该方案在效率、能耗、稳定性、维护成本及环保性等方面均优于传统分散小泵串联方式，具体实施要点如下：一、集中真空泵系统的核心优势效率提升：多台真空泵组协同工作，通过优化管道设计，可在2-6分钟内将真空度稳定抽至10-30mbar的合格范围，远超单台旋片真空泵或串联泵组的工作效率。节能显著：集中控制与泵组优化运行使...

深圳恒才公司虹吸排水系统的优势

发布时间: 2025 - 08 - 16

来源: 905

深圳恒才公司的虹吸排水系统若具备高效虹吸能力、高流速流量、节能环保、适应性强、安装便捷及经济性等优势，可成为值得考虑的选择，但需结合具体项目需求、技术参数和售后服务综合评估。以下是对其优势的具体分析：高效的虹吸能力：深圳恒才的虹吸排水系统利用虹吸原理，通过负压作用实现快速排水。这种设计使得系统具有出色的虹吸能力，能够在短时间内迅速排除大量雨水或其他液体，有效防止积水和水患。高流速与流量：系统能够实现较高的流速和流量，确保排水过程迅速且高效。这一特点使得深圳恒才的虹吸排水系统特别适用于需要快速排水的场合，如大型建筑物的屋面排水、地下停车场排水等。节能环保：虹吸排水系统在运行过程中不需要外部能源，它凭借虹吸原理自主工作，从而节约了大量能源消耗和运维成本。同时，该系统在排水过程中不需要使用化学药剂或其他污染物质，减少了对环境的影响，符合可持续发展的理念。适应性强：深圳恒才的虹吸排水系统适用于各种不同场景和环境，可以广泛应用于城市道路、地下停车场、地铁隧道、居民小区等。其灵活多样的应用方式，为城市排水提供了定制化的解决方案。安装便捷：虹吸排水系统的管道直径小，总长度短，系统易于安装。这降低了管道成本和安装成本，同时对管道的安装没有特殊要求，使得施工更加简便快捷。经济性：由于虹吸排水系统具有高效的排水能力和节能环保的特点，它在长期运行中能够为用户节省大量的运维成本。此外，该系统的安装便捷性也进一步降低了施工成本，使得整体经济性更加突出。

#100真空泵油有什么优势

发布时间: 2025 - 08 - 14

来源: 903

00号真空泵油的优势主要体现在以下几个方面：高真空度与高效抽气能力100号真空泵油具有较低的饱和蒸汽压，即使在高温环境下仍能维持高极限真空度（如50微米汞柱至商用真空泵最高真空范围），并保持较快的抽气速率。这一特性使其成为高真空系统（如旋片式真空泵）的理想选择，可显著提升设备运行效率。优异的热稳定性与抗氧化性采用深度精炼矿物油或合成油基底，100号真空泵油具备出色的化学和热稳定性。它能有效抵抗高温氧化，防止油泥和沉积物生成，从而延长油品使用寿命，减少设备维护频率。例如，美孚真空泵油100通过特殊白油配方，在连续运行中仍能保持初始粘度和抗乳化性能。卓越的抗乳化与分水性能真空系统中水蒸气冷凝是常见问题，100号真空泵油通过良好的抗乳化性设计，可快速实现油水分离，防止乳液形成。这一特性不仅避免了水分对金属部件的腐蚀（如抗海水和酸性水保护），还能确保润滑效果持久稳定，特别适用于潮湿或多水蒸气环境。良好的粘温性能与低温启动性100号真空泵油具有适宜的粘度指数，在低温下仍能保持流动性，确保真空泵快速启动；高温时则形成稳定油膜，提供可靠密封和润滑。例如，斯卡兰100号油通过天然原油减压蒸馏工艺，实现了粘度与温度的平衡，适应宽温域工况。抗泡沫与耐磨保护在高速运转或溢流工况下，100号真空泵油通过优良的抗泡沫性减少空气混入，避免泵体磨损。同时，其抗磨损添加剂可在启动和临界状态下形成保护膜，延长设备寿命。这一特性在需要频繁启停的包装机、冻干机等设备中尤为重要。环保与兼容性100号真空泵油符合环保要求，废弃处理简便，且与黑色/有色金属（如钢、铝）及密封材料兼容性极佳，不会堵塞过滤器或腐蚀部件。例如，长城100号油通过精选添加剂调和，在腐蚀性环境中仍能保持稳定性能。高性价比与广泛适用性相比其他高粘度真空泵油，100号油在性能与成本间实现了良好平衡。其适用于各类机械真空泵（如往复式、旋片式、油封式）...

如何何选真空泵油

发布时间: 2025 - 08 - 12

来源: 867

选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益，以下为具体选择步骤及关键要点：一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵：需选择低蒸汽压、高粘度指数的油（如100号真空泵油），以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵：通常与前级泵（如旋片泵）配套使用，需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵：无需油润滑，但若为油封式干泵，需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵：需超高真空油（如硅油或聚菲油），蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空（10³-10⁻¹ Torr）：普通矿物油（如32号或46号）即可满足。中真空（10⁻¹-10⁻³ Torr）：需选择低蒸汽压油（如100号或150号）。高真空（：必须使用超低蒸汽压油（如硅油或合成油）。二、分析工况条件温度范围高温环境（80℃）：选择合成油（如PAO、酯类油）或高粘度指数矿物油，避免油品氧化分解。低温环境（：选择低倾点油（如-30℃以下），确保低温启动性。宽温域工况：优先选择粘度指数高的油（如100号真空泵油），适应温度波动。气体成分腐蚀性气体（如酸性、碱性气体）：选择抗化学腐蚀油（如含抗腐蚀添加剂的合成油）。含水蒸气：选择抗乳化性强、分水性能好的油（如100号油），避免乳液形成。含颗粒物：需定期更换滤芯，并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行：选择抗氧化性强、寿命长的油（如合成油或深度精炼矿物油）。间歇运行：可适当降低油品等级，但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高：增加启动扭矩，降低抽气效率。粘度过低：无法形成稳定油膜，导致密封性下降。参考标准：根据泵制造商推荐粘度（如ISO VG 32、46、100）选择。蒸汽压蒸汽压越低，极限真空度越高。高真空需求：选择蒸汽压中低真空需求：蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油（如100...

SPECK磁力泵在液冷工艺中有哪些优势

发布时间: 2025 - 08 - 08

来源: 1301

在液冷工艺中，德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性，成为输送冷却介质的理想选择，具体优势如下：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况：适应高温高压液冷需求高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。例如，其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃，扬程200米，流量110m³/h，适用于高压高温场景。高压能力：部分型号（如CY-4282.0067）扬程可达120米，支持高压循环液冷系统（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计：高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统，进一步增强安全性。例如，碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力，适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计：SPECK磁力泵采用模块化结构，用户可根据需要轻松更换部件（如隔离套、轴承），降低维护成本和...

液冷工艺为什么要用德国speck品牌磁力泵

发布时间: 2025 - 08 - 06

来源: 1297

在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵，主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性，这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质（如导热油、水基冷却液等）的理想选择。以下是具体分析：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压：适应液冷工艺的严苛工况高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。高压能力：部分型号（如CY/TOE-6091-MK）扬程可达115-120米，适用于需要高压循环的液冷场景（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求：简化液冷系统运维维护工作量小：磁力泵无机械密封更换需求，维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程，降低运维成本。避免空运转风险：虽需避免无介质空运转（以防滑动轴承和隔离套损坏），但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题，确保安全运行。5. 广泛适配性：覆...

晶圆真空吸附为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 08 - 01

来源: 1293

晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析：一、无油设计，避免污染关键需求：晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高，任何油污或杂质都可能污染晶圆表面，影响产品质量。Speck优势：Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要，确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度，满足精细加工需求关键需求：晶圆加工过程中，如吸附、搬运、切割等环节，需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势：Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度，如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附，防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落，从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能，适应大规模生产关键需求：晶圆生产线通常需要连续运行，对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势：Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能，能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如，某些型号的总气量达到199m³/h，能够满足大规模生产线的需求，确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温，适应多种工况关键需求：晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境，对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势：Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造，能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时，其工作液温度范围广泛，最高可达80°C，进气温度（干）最高可达200°C，吸入气体（饱和）最高可达100°C，确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命，降低运营成...

真空泵如何改造成中央真空泵系统

发布时间: 2025 - 07 - 31

来源: 1299

将分散的真空泵改造成中央真空泵系统，可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现，能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析：一、设备选型与整合核心设备选择：根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如，罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景，如压机分散小泵的改造；变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低，常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合：将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统，减少设备数量，降低占地面积。例如，将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+，实现节能率80%的同时，减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局：合理设计真空管道布局，确保气体流动顺畅，减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置：配置适当容量的真空罐和储气罐，以稳定系统真空度，减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时，真空泵自动停止运行；当真空度下降至下限值时，备用真空泵组自动启动。排水系统改造：对于水环真空泵，需优化排水系统以减少水资源浪费。例如，在入口加装限流孔板，控制轴密封液用量；在后路管线上增设“U”型管，增加介质流动阻力并起到水封作用，减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成：采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面，可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略：引入变频驱动（VSD）技术，根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度，实现节能降耗。例如，Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理，提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

发布时间: 2025 - 07 - 25

来源: 1299

深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

电子晶圆附附如何选型真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 24

来源: 1264

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始压强（Pa），P2 为目标压强（Pa）。应用场景：高精度加工：如光刻、键合等工艺，需高抽速（如＞1000L/s）以快速建立真空环境。一般加工：如切割、研磨等工艺，70-90 kPa真空度下，抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型：需了解被抽气体成分（如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等），针对性选择泵型。含蒸气或颗粒：需在进气口安装冷凝器或除尘器，防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体：需选用耐...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

发布时间: 2025 - 07 - 22

来源: 1263

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统油封泵的油蒸汽污染，保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计：支持低负荷省电运行，同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断，提高管理效率。即插即用安装：集成化设计（如电气室、机壳）简化安装流程，占地面积小，适合空间有限的工厂。自动启停功能：根据生产需求自动启停，减少人工干预，降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用：覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域，满...

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