新闻资讯_水环式真空泵_进口真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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PCB热压机中央真空泵系统集中抽真空

发布时间: 2025 - 04 - 11

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塑胶造粒产线干式无油真空泵系统集中抽真空

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干式无油螺杆真空泵

发布时间: 2025 - 02 - 28

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小型离心泵选择塑料泵还是不锈钢泵

2019 - 06 - 25

第一、泵的接口不同　　塑料泵进出口的接管的支承现阶段并未有有关的规范加以限定，通常由设计机关单位明确提出要求，并依据生产厂本身的生产制造具体情况而定。对于总体塑料泵壳，通常选用活套法兰方式与管路联接，活套法兰与两端盖板联接；还可选用把法兰与盖板制成整体的方法与管路连接。第二、泵的叶轮与轴的连接形式不一样　　① 叶轮内预埋金属件，利用金属件与轴用键连接，或叶轮与轴直接用键连接，叶轮端部用叶轮螺母防护。此构造来自金属材料泵，因为密封面多，系统可靠性较差。长期使用后，轴易被介质浸蚀。　　② 叶轮内预埋金属件，与泵轴用螺纹连接，取销叶轮螺母。此构造可让轴充分受到维护，防止轴被介质腐蚀的机会。缺陷是螺纹加工精密度要求较高，运行时禁止电机翻转。第三、泵的轴向平衡力不同　　塑料泵的叶轮内大多数埋有金属件，通常不适合用平衡孔的办法平衡轴向力。国内外广泛选用背叶片平衡轴向力。　第四、泵体衬里层厚度及其固定不同　　按泵产品标准，衬里层厚度通常为5-8mm，要是衬里层过薄(如1.5~2mm)，是压制步骤易出现局部衬里缺陷，造成泵的准许采用温度和使用期有所下降，衬里层从泵体和后盖基体金属脱落的概率也增大。衬里层固定方式可采用在基体金属上布局较密的环形燕尾槽的方法，使衬里层固定牢靠，同时机加工量较小。第五、泵的叶轮密封性处和背叶片与泵体的运行间隙不同　　小型离心泵因塑料和不锈...

真空泵使用过程中这几个点要注意

2019 - 07 - 05

真空泵使用过程中这几个点要注意　　1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。　　2.进气温度必须低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱，降温至低于50℃。　　3.抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限，将会缩短气镇阀寿命。　　4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆炸、火灾等危险。　　　　5.不要由一两个人移动此泵。此由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。　　6.不要继续使用已经损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。　　7.检查确定此泵安全接地。　　8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热，最高可能达到70℃)。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。　　9.必须安装电机保护开关。　　10.不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。　　11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空...

真空机组中泵抽速的配合

2019 - 07 - 10

一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系，可根据稳定流动下，流量恒定关系来确定。设S1为主泵的抽速，S2为前置泵的抽速，p1为工作时主泵的进口压强，P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1，前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时，两者相等，故有：p1S1=p2S2 则得：即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2，故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如，设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍，即p1/p2=10-3，此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍，以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.

旋片式真空泵工作原理及使用方法

2019 - 07 - 15

实验室常用的真空泵为旋片式真空泵。它主要由泵体和偏心转手组成。经过精密加工的偏心转子下面安装有带弹簧的济片，由电机带动，偏心转子紧贴泵腔壁旋转。滑片靠弹簧的压力也贤贴泵腔壁。滑片在泵腔中连续运转，使泵腔被滑片分咸的两个不同的客积呈周期性的扩大和缩小。气体从进气嘴进入，被压缩后经过排气阀排出泵体外。如此循环往复，将系统内的压力减小。旋片式机械泵的整个机件浸在真空泵油中，这种油的蒸气压很低，既可起润滑作用，又可起封闭微小的漏气和冷却机件的作用。在使用机械泵时应注意以下几点：①机械泵不能交接抽合可凝性气体的蒸气、挥发性液体等。因为这些气体进入泵后舍破坏真空泵油的品质，降低油在泵内的密封和润滑作用，甚至令手致泵的机件生锈。因而必须在可投气体进泵前允通过纯化装置。例如，用无水氯化钙、五氯化二磷、分于筛等吸收水分;用石蜡吸收存机蒸气;用活性炭或硅肢吸收其他蒸气等。②机械泵不能用来抽合腐蚀性成分的气体。如含氯化氢、氖气、二氧化氨等的气体。因这类气体能迅速侵蚀泵中精密加工的机件表面，使泵漏气，不能达到所要求的真空度。遇到这种情况时，应当使气体在进泵前先通过装有氢氛化钠固体的吸收瓶，以除去有害气体。③机械泵由电机带动。使用时应注意马达的电压。若是三相电动机带动的泵，第一次使用时特别会注意三柏马达旋传方向是否正确。正常运转时不应有摩擦、金属碰击等分声。运转时电动机温度不能超过50一60℃。④机械泵的进...

离心泵的工作原理和特点

2019 - 07 - 18

离心泵工作原理：当离心泵工作时，液体充满泵壳，叶轮高速旋转，液体在离心力的作用下产生高速，高速液体通过逐渐扩大的泵壳通道，动压头转换成静压头。性能特点：节能：离心泵泵具有高效的液压管路和高效率。安装维护方便：垂直管道结构，泵的进出口可以安装在任何位置和管道的任何方向，如阀门，安装和维护都非常方便。操作稳定，安全可靠：电机轴与泵轴同轴直接连接，同心度高，运行稳定，安全可靠。不锈钢衬套：轴的密封位置相对容易生锈。一旦直接耦合的泵轴生锈，很容易导致机械密封失效。采用不锈钢衬套镶嵌，避免生锈，提高轴寿命，降低运行和维护成本。轴承：配备离心泵泵的电机下轴端轴承采用闭式轴承。正常使用时，避免了电机轴承的维护。机器密封：机械密封基座一般由橡胶波纹管结构制成。传统机械密封轴上的密封从O形圈的线密封改为橡胶部分的双面密封，提高了清水介质的密封效果。多级离心泵工作原理：与单级离心泵相比，多级离心泵的不同之处在于多级泵有两个以上的叶轮，可以分阶段多级吸收水和压力水，从而将水提升到高位。升降机可根据需要增加或减少泵叶轮的级数。多级离心泵有两种类型：垂直和水平。多级离心泵的泵轴配有两个串联的叶轮，可以比单个单级离心泵实现更高的提升。性能特点：多级泵主要用于矿井排水，城市和工厂供水。与活塞泵和隔膜泵等往复泵相比，也可以泵送大流量。该多级离心泵效率高，可满足高扬程，高流量条件的需要，已广泛应用于石化，化工，电力...

水环式真空泵硬核干货!不容错过!

2019 - 07 - 23

01水环式真空泵分类根据结构，分为单级单作用水环泵，单级双作用水环式真空泵，双吸环泵和大气水环式真空泵。单级单作用水环泵：单级意味着只有一个叶轮。单动是指每次叶轮旋转时，吸气和排气都进行一次。该泵的极限真空度更高，但泵送速度和效率更高。单级双作用水环泵：单级意味着只有一个叶轮，双作用意味着每次叶轮旋转时，吸气和排气都进行两次。在相同的速度条件下，双作用水环泵的尺寸和重量比单作用水泵小得多。由于工作室对称地分布在泵壳的两侧，因此改善了作用在转子上的载荷。这种泵具有更高的抽速和更高的效率，但极限真空度更低。双吸环泵：大多数是串联连接的单作用泵。实质上，两个单级单作用水环泵的叶轮共用一个心轴。它的主要特点是它具有高真空。，抽速仍然很大，工作状态稳定。大气水环泵：它实际上是大气喷射器系列水环泵的单元。水环泵前面的空气泵用于增加极限真空并扩大泵的适用范围。根据吸入和排出的方法，它分为轴向吸入和径向吸入和排出。轴向吸入和排出：气体的吸入和排出通过壳体侧盖上的吸入口和排出口进行，结构简单，维护方便，缺点是气体流入气体进入和排出叶轮的方向。叶轮叶片在彼此垂直的方向上移动，气体不能在叶片的整个宽度上均匀地进出叶轮，这增加了气体进出叶轮时的水力损失，降低了泵的效率。。径向吸入和排出：气体通过位于叶轮内圆周（对应于轮辋）的气体分配器上的吸入口和排出口进入和离开叶轮。优点是气体可以在叶片中。叶轮进出全...

旋片式真空泵应用于真空过滤机

2019 - 07 - 27

本文主要介绍旋片式真空泵在真空过滤器中的应用内容。接下来是一个小型系列，以了解为什么真空过滤器选择旋片真空泵。浓缩器和大型水泵的真空过滤器（启动前）需要真空泵从中抽出空气。因为真空泵是一种压缩机，它从薄的空气空间吸入气体并将其排放到大气中。通常，它吸入的气体的压力低于大气压（最近制造的真空泵可以使容器中的残余压力1×10-15mm银柱大），并且排出的气体压力略高于大气压力。真空泵还具有往复式真空泵，旋片式真空泵等，其作用原理将在后面叙述。目前，浓缩器中使用的真空泵具有旋片真空泵。旋片真空泵仅从某个空间（例如过滤器中的空气）吸入空气，可以抽空98％。湿空气泵将液体与空气一起吸出，只能排空85％。为了使真空泵保持一定的体积并散热，水必须连续循环。为了向真空泵供水，设置连接到排放管的特殊水箱，并且在水箱上设置闸阀以调节循环水量。用过的水与空气一起放入盒子中。为避免叶片端面磨损，循环水中不应有夹杂物，否则叶片会磨损，泵送量随磨损量的增加而减少，一般磨损不应超过0.1毫米。旋片式真空泵的工作原理：旋片泵主要由定子，转子，旋片，固定盖和弹簧组成。结构是偏心地安装在定子腔中的转子（转子的外圆周和定子的内表面之间的间隙非常小）并且转子槽中的滑动紧密地附接到内壁上。定子受弹簧张力和离心力的影响。当转子旋转时，两个旋转件总是沿着定子的内壁滑动。两个旋片将由转子，定子内腔和固定盖包围的月牙形空...

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贴合机为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 09 - 06

来源: 896

贴合机采用德国Speck水环真空泵，主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析：无油设计保障清洁度：贴合工艺对真空环境清洁度要求极高，油污或杂质可能污染材料表面，影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除润滑油污染风险，确保真空环境纯净无...

如何何选真空泵油

发布时间: 2025 - 08 - 12

来源: 862

选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益，以下为具体选择步骤及关键要点：一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵：需选择低蒸汽压、高粘度指数的油（如100号真空泵油），以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵：通常与前级泵（如旋片泵）配套使用，需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵：无需油润滑，但若为油封式干泵，需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵：需超高真空油（如硅油或聚菲油），蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空（10³-10⁻¹ Torr）：普通矿物油（如32号或46号）即可满足。中真空（10⁻¹-10⁻³ Torr）：需选择低蒸汽压油（如100号或150号）。高真空（：必须使用超低蒸汽压油（如硅油或合成油）。二、分析工况条件温度范围高温环境（80℃）：选择合成油（如PAO、酯类油）或高粘度指数矿物油，避免油品氧化分解。低温环境（：选择低倾点油（如-30℃以下），确保低温启动性。宽温域工况：优先选择粘度指数高的油（如100号真空泵油），适应温度波动。气体成分腐蚀性气体（如酸性、碱性气体）：选择抗化学腐蚀油（如含抗腐蚀添加剂的合成油）。含水蒸气：选择抗乳化性强、分水性能好的油（如100号油），避免乳液形成。含颗粒物：需定期更换滤芯，并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行：选择抗氧化性强、寿命长的油（如合成油或深度精炼矿物油）。间歇运行：可适当降低油品等级，但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高：增加启动扭矩，降低抽气效率。粘度过低：无法形成稳定油膜，导致密封性下降。参考标准：根据泵制造商推荐粘度（如ISO VG 32、46、100）选择。蒸汽压蒸汽压越低，极限真空度越高。高真空需求：选择蒸汽压中低真空需求：蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油（如100...

SPECK磁力泵在液冷工艺中有哪些优势

发布时间: 2025 - 08 - 08

来源: 1295

在液冷工艺中，德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性，成为输送冷却介质的理想选择，具体优势如下：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况：适应高温高压液冷需求高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。例如，其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃，扬程200米，流量110m³/h，适用于高压高温场景。高压能力：部分型号（如CY-4282.0067）扬程可达120米，支持高压循环液冷系统（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计：高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统，进一步增强安全性。例如，碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力，适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计：SPECK磁力泵采用模块化结构，用户可根据需要轻松更换部件（如隔离套、轴承），降低维护成本和...

液冷工艺为什么要用德国speck品牌磁力泵

发布时间: 2025 - 08 - 06

来源: 1289

在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵，主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性，这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质（如导热油、水基冷却液等）的理想选择。以下是具体分析：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压：适应液冷工艺的严苛工况高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。高压能力：部分型号（如CY/TOE-6091-MK）扬程可达115-120米，适用于需要高压循环的液冷场景（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求：简化液冷系统运维维护工作量小：磁力泵无机械密封更换需求，维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程，降低运维成本。避免空运转风险：虽需避免无介质空运转（以防滑动轴承和隔离套损坏），但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题，确保安全运行。5. 广泛适配性：覆...

晶圆真空吸附为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 08 - 01

来源: 1293

晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析：一、无油设计，避免污染关键需求：晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高，任何油污或杂质都可能污染晶圆表面，影响产品质量。Speck优势：Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要，确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度，满足精细加工需求关键需求：晶圆加工过程中，如吸附、搬运、切割等环节，需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势：Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度，如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附，防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落，从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能，适应大规模生产关键需求：晶圆生产线通常需要连续运行，对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势：Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能，能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如，某些型号的总气量达到199m³/h，能够满足大规模生产线的需求，确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温，适应多种工况关键需求：晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境，对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势：Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造，能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时，其工作液温度范围广泛，最高可达80°C，进气温度（干）最高可达200°C，吸入气体（饱和）最高可达100°C，确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命，降低运营成...

真空泵如何改造成中央真空泵系统

发布时间: 2025 - 07 - 31

来源: 1293

将分散的真空泵改造成中央真空泵系统，可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现，能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析：一、设备选型与整合核心设备选择：根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如，罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景，如压机分散小泵的改造；变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低，常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合：将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统，减少设备数量，降低占地面积。例如，将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+，实现节能率80%的同时，减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局：合理设计真空管道布局，确保气体流动顺畅，减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置：配置适当容量的真空罐和储气罐，以稳定系统真空度，减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时，真空泵自动停止运行；当真空度下降至下限值时，备用真空泵组自动启动。排水系统改造：对于水环真空泵，需优化排水系统以减少水资源浪费。例如，在入口加装限流孔板，控制轴密封液用量；在后路管线上增设“U”型管，增加介质流动阻力并起到水封作用，减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成：采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面，可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略：引入变频驱动（VSD）技术，根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度，实现节能降耗。例如，Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理，提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

发布时间: 2025 - 07 - 25

来源: 1293

深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

电子晶圆附附如何选型真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 24

来源: 1256

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始压强（Pa），P2 为目标压强（Pa）。应用场景：高精度加工：如光刻、键合等工艺，需高抽速（如＞1000L/s）以快速建立真空环境。一般加工：如切割、研磨等工艺，70-90 kPa真空度下，抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型：需了解被抽气体成分（如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等），针对性选择泵型。含蒸气或颗粒：需在进气口安装冷凝器或除尘器，防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体：需选用耐...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

发布时间: 2025 - 07 - 22

来源: 1258

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统油封泵的油蒸汽污染，保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计：支持低负荷省电运行，同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断，提高管理效率。即插即用安装：集成化设计（如电气室、机壳）简化安装流程，占地面积小，适合空间有限的工厂。自动启停功能：根据生产需求自动启停，减少人工干预，降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用：覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域，满...

电子行业如何做到集中抽真空

发布时间: 2025 - 07 - 09

来源: 1272

在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电子束设备中，低温泵与扩散泵、罗茨泵配合，实现高真空冷却。二、系统设计：模块化与集成化结合，提升灵活性模块化设计功能分区：将抽真空系统划分为预抽模块（机械泵+罗茨泵）、高真空模块（分子泵/扩散泵）、低温模块（低温泵）等，根据工艺需求灵活组合。快速切换：通过阀门控制气体流向，实现不同工艺腔体的快速切换，减少设备闲置时间。案例：半导体制造中，L/L腔与工艺处理腔独立设计，通过管道连接至中央真空泵组，实现...

塑胶造粒产线干式螺杆真空泵替代水环式真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 03

来源: 557

在塑胶造粒产线中，干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵，其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面，具体分析如下：1. 环保性：无污染排放，降低合规风险水环泵痛点：水环泵以水为密封介质，运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染，尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时，废水处理成本高且环保压力大。例如，某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款，后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势：采用无油无水设计，彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放，避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题，提升产品纯度。同时，尾气中未冷凝的溶剂（如甲苯）可通过常压冷凝器高效回收（回收率超96%），减少VOCs排放，满足严格环保法规。2. 工艺适应性：满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性：水环泵极限真空度仅达2000Pa，需多级泵串联才能实现更高真空，且真空度受水温、水质影响大（如夏季水温升高导致真空度下降）。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa（绝压），且运行稳定，不受水温及抽出溶剂影响，满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理：水环泵不便进行防腐处理，难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀；同时内置高效滤芯或旋风分离装置，拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质，避免磨损或堵塞，延长设备寿命。3. 稳定性：减少非计划停机，提升生产效率水环泵缺陷：水环与转子接触易磨损，需定期更换水环和滤芯，维护成本高。长时间运行后，水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降，需冷冻盐水冷却水箱，增加能耗和故障率。干式泵优势：螺杆转子间无接触，无磨损，寿命长达10年以上，维护仅需定期更换滤芯（寿命可达数千小时，支持在线反吹或脉冲清灰，无需停机）。无油设计避免油品变质导致的真空度波动，确保工艺参数稳定，减少次品率。例如，某企业采用干式泵...

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