新闻资讯_水环式真空泵_进口真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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最新资讯了解公司的最新活动及打折促销

2020 - 04 - 26

了解了干式真空泵的抽真空界定后，应用起来会更加得心应手。接下来就对抽供气量以及测算方法来进行简单的详解。　　1、抽供气量：抽供气量是干式真空泵泵效的一个考虑因素。一般公司用L/S和m3/h来表述。是弥补漏汽率的基本参数。不难理解，基础知识下抽一个一样容量的容器，为什么抽供气量大的干式真空泵很容易抽中大家必须的真空值，而抽供气量小的则较慢甚至无法抽中大家要想的真空值?因为管路或者容器从始至终不大可能确保毫无疑问不漏水汽，而抽供气量大的弥补了漏汽所造成的真空值减少的因素，因而，空气量的很容易抽中理性化真空值值。这里建议，在预计出基础知识抽供气量的情况下，大家尽量选择高一级的抽供气量的机械泵。　　2、制作工艺要求的抽供气量(抽真空速率)　　机械泵要求抽真空速率(也就是要求机械泵在其工作压力下，排出去气体、液体，固体的专业能力)，一般公司：m3/h，L/S,m3/min。具体测算方法可以参考下面计算公式：　　S=(V/t)×ln(P1/P2)　　在这其中：S为机械泵抽真空速率(L/s)　　V为真空室容积(L)　　t为保证要求真空值所需时间(s)　　P1为初始气体压强(Pa)　　P2为要求气体压强(Pa)　　清楚了干式真空泵这类专业技能后，就了解怎样根据工作中情况进行适当型号规格挑选了，这类基本参数都是一些评价方法。

真空预冷中罗茨真空泵的使用

2020 - 04 - 28

目前，大多数真空预冷装置中使用的真空泵是旋片真空泵。尽管带有气镇装置的旋片泵可以去除含有少量水蒸气和大量永久气体的混合气体，但在真空预冷过程中，由于蔬菜内部水分的蒸发，大量水蒸气将被泵入旋片泵，水蒸气将在泵室中冷凝。这将导致真空泵润滑油乳化变质，严重影响真空泵所能达到的极限压力，降低润滑性能，增加磨损，不能正常工作，甚至造成泵体、转子等部件严重腐蚀，导致整机报废。因此，推荐罗茨真空泵在真空预冷装置中的应用。　　蔬菜收获后预冷是保持蔬菜新鲜、延缓蔬菜老化和变质的有效方法。对于不同的蔬菜，可以分别采用冷风预冷、差压预冷、真空预冷和水预冷。真空冷却在罗茨真空泵已经广泛应用于食品工业领域。与传统的冷却方式如吹风和浸泡相比，真空预冷可以大大缩短冷却时间，使食品内部的温度场更加均匀。显然，从保鲜的角度来看，真空预冷装置是目前最理想的蔬菜冷却和制冷设备。　　真空冷却系统包括真空室、支架和真空泵，其中真空泵为罗茨真空泵。罗茨泵：运行时应注意保证真空泵进水温度尽可能接近设计运行条件，水量充足。(2)确保真空泵的冷却水循环，否则机组将在运行1小时左右时因罗茨泵过热保护而停机。　　罗茨真空泵产品的特点：　　1.电机多样性　　每台罗茨真空泵电机可以风冷或水冷，以确保客户的正常使用　　该泵由铝合金或铸铁制成，具有散热快、耐腐蚀性强的优点。　　2.结构简单，维护方便　　转子型线通过精心设计和生产圆弧转子，使泵...

真空泵-真空的出现

2020 - 04 - 30

真空泵：真空泵为一种抽气装置，可将真空系统中的气体抽出，使返回真空系统中的气体数量比抽出真空系统中的气体数量少。　　一、真空泵的分类　　根据真空泵工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型，真空泵的分类和图2不同真空泵的真空度所示。　　气体输送泵分为：　　变容真空泵：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。　　动量传输泵：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。　　气体输送泵主要包括：　　1、液环真空泵;2、往复式真空泵;3、油封机械泵;4、罗茨真空泵;5、干式真空泵等。　　气体捕集泵主要包括：　　1、低温泵;2、离子溅射泵;3、分子筛吸附泵;4、钛升华泵;5、电离升华泵;6、锆铝合金吸气泵等。　　真空泵的类型按真空泵用途可分为如下8部分：　　(1)主泵(Main pump)：在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵;　　(2)粗抽泵(Roughing vacuum pump)：从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵;　　(3)前级泵(Backing vacuum pump)：用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵;　　(4)维持泵(Holding vacuum pump)：在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度;　　(5)粗/低真空泵(Rough/Low ...

常见旋片真空泵的问题分析

2020 - 05 - 08

与其他真空泵设备一样，旋片真空泵在使用过程中不可避免地会出现一些问题或故障，影响设备的中长期运行。只有了解了失败的原因，我们才能更好地提出解决方案。　　1、旋片真空泵泵不转动，情况不明时不先启动泵，以免加重问题，用手可以移动而不能移动。由于耦合问题、皮带打滑、电机接线错误、电机损坏和电源故障，大多数泵无法旋转。　　2、温度过高，一般旋片真空泵泵温度过高的原因是泵环境温度过高，进气温度过高，进气冷却装置无效。泵长期连续运行的入口压力过高，水冷泵的冷却水量缺乏循环水，设计效果不好，温控水量调节阀失效等。　　3、旋片真空泵的漏油可能是由于密封老化、装置不当、损坏和故障、外观不均匀、杂质、粗糙度和铸件松动造成的。如果停泵后回油，油将进入流向气镇阀，如果气镇阀没有关闭，油可能会泄漏。制作橡胶垫时，必须使用耐油橡胶。如果密封面太大，机油会泄漏。　　4、旋片真空泵的漏水可能发生在水管接头、水套盖平面、排水管孔螺塞，排水阀等处。水套钻穿、铸造缺陷、冻裂，也可能造成漏水。　　高温和漏油是旋片真空泵在使用过程中的常见故障。因此，为了避免故障对工业生产进度的影响，有必要定期做好设备的日常维护和检查工作，及时解决问题。　　恒才机电防爆旋片真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,...

旋片真空泵在有机黄花干燥及包装的应用

2020 - 05 - 14

黄花菜是市面上比较受欢迎的蔬菜之一，为了长期保存和运输。回采取晒干和真空干燥这两种方式。有机黄花菜加工后能够增加农民销售收入。　　黄花菜干燥主要使用的就是真空干燥机，这种设备可以让黄花菜快速干燥和杀菌。实现保质期的延长。今天我们就来介绍一下真空干燥机中的旋片真空泵。　　旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。　　旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。　　两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至...

speck真空泵常见故障和解决方法？

2020 - 05 - 18

speck真空泵是指使用机械，物理，化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的设备。一般而言，真空泵是使用各种方法来改善，产生和维持封闭空间中的真空的装置。根据speck真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两类，即集气泵和输气泵。广泛用于冶金，化工，食品，电子涂料等行业。 speck真空泵的结垢措施：　　1.分析循环冷却水的硬度。 speck真空泵中循环水的运行过程与低压热水锅炉中的锅炉水非常相似。因此，按照用于热水锅炉的水质标准来管理真空泵的水质，既可以防止真空泵结垢，又可以防止真空泵被腐蚀。 speck的真空泵循环水系统大多是开水率高的开放式循环系统。在由于资金和其他原因离子交换设备不用于水处理的情况下，通常使用软化池和高位池向真空泵供水。　　2.循环冷却水的温度控制从以上分析可以看出，speck真空泵中的水环温度与软化池中的水温之间的差异是导致结垢的重要因素。因此，增加循环水供应以提高冷却效果是大大降低结垢速度的重要保证。因此，在循环冷却水运行过程中，有必要监测每个泵的回水温度和回水量，以确保每个泵的正常供水量和回水温度不超过40°C。供水量可以通过阀门控制。如果回水温度超过规定，应通过补充低温冷水或使用其他冷却和降温方法来降低软化池中软化水的温度。　　3.定期冲洗泵体。 speck真空泵的泵体排放闸阀用于定期排放泵中积聚的水。它还可以利用泵体...

水环真空泵排气口冒烟原因

2020 - 05 - 26

水环真空泵在中国的日常生活中被广泛使用。最近，客户使用机器和设备在空气出口处产生浓烟。他们担心这种情况是否会对水环真空泵造成内部损坏。这种情况不仅危及所有机械设备的正常使用，而且如果处理不当还会对机械设备造成损坏。为了先找出问题的原因，我们必须分析以下几点：　　1.如果水环真空泵的泵油长时间不清除和更换，会造成积碳和污泥发黑。此时，必须取出并更换泵油。首先，必须将泵从系统软件中移除，然后在孔的底部添加一块整齐的方形板。拧下滴油塞，并添加一些油塞，以在使用后释放脏油。间歇启动电机，排出每个真空室中的油。然后反复清洗水环真空泵。当然，在供油时，你应该注意处理剩余的油。　　2.水环真空泵排气管过滤装置是消耗品的附件，在油气分离器中起着关键作用。可以防止真空泵油随废气排出真空泵体，过滤后的真空泵油可以沉淀后流入汽车油箱。但是，当排气管过滤装置失效时，不能过分考虑，这会造成真空泵油和废气的流动性。这就是为什么出风口有时会出现乳白色或深蓝色的芳香灰。立即拆除水环真空泵的排气管过滤器可以最大限度地减少这种情况。　　根据详细的介绍，我们知道水环真空泵的冒烟出口不是一个关键问题，只是我们发现正确处理机器和设备可以防止损坏。当然，为了防止这种情况，维护每个水环真空泵机械设备是必不可少的。

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Hot News / 热点新闻

贴合机为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 09 - 06

来源: 896

贴合机采用德国Speck水环真空泵，主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析：无油设计保障清洁度：贴合工艺对真空环境清洁度要求极高，油污或杂质可能污染材料表面，影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除润滑油污染风险，确保真空环境纯净无...

高温水泵表面保护材料及工艺要求有哪些

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 70

磨蚀和气蚀一直是高温水泵运行和维护中的关键问题。传统的表面保护材料和工艺远远不能满足水泵抗气蚀和磨损的要求。因此，为了有效地增强高温水泵，除了使用不锈钢或其他硬质合金制造叶片之外，流通部表面的抗气蚀和磨损的能力也是表面保护技术的连续实验研究。　　通常,高温水泵表面保护材料的技术要求必须具有：　　1、高强度和硬度，可抵抗气蚀和磨损; 2、具有吸收冲击的韧性能量;　　3、具有高粘结强度，在泵中每秒30-35米的高速水流的冲击下不会剥离;　　4、涂料的价格必须适中，以用于大中型泵站和大型农村中小型泵站;　　5、涂层材料应该是无毒，不可燃和易爆的，易于存储和运输，并且不会污染周围的环境。　　加工要求为了促进和应用表面保护技术，加工技术必须：　　1、该过程很简单，可以由不同级别的操作员掌握;　　2、加工中使用的工具(设备)应在市场或一般泵站维护工作中容易获得，并且价格适中，而无需特殊且昂贵的设备;　　3、该过程应不受季节和周围环境的影响，泵站可在冬季和春季维护期间进行;　　4、涂料不需要特殊的绝缘，涂料后可以快速固化或投入使用，以缩短维护周期。　　高温水泵运行平稳，水泵同轴度高，叶轮动静平衡好，确保运行稳定，振动小，节省空间，同轴电机和水泵，大大减少了水泵的占地面积和空间，节省了施工。投资，该泵除了机械密封摩擦副外没有任何金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

高温热水泵轴承损坏问题出在哪里

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 64

高温热水泵是轴向吸入式偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是不含颗粒或纤维的液体(水，传热油等)。该装置具有节省安装空间，外观精美，强度高，配合方便的优点。由于其精度高，耐高温，运行稳定等特点，被广泛应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉水回收系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　　最近，我收到了许多客户的报告，说我的高温热水泵轴承磨损很快。这里发生了什么，然后小编将向您介绍。　　1、高温热水泵在运行2000-3000小时后应在轴承体中添加或更换润滑油，以确保轴承具有良好的润滑性并延长轴承的使用寿命。　　2、建议用泵内部的密封件更换轴承，并清洁叶轮内部的碳，以确保足够的流量和压力。　　3、被用户更换的轴承大多在机电市场或轴承商店购买。用户购买轴承只是为了看模型，而忽略了高温热水泵的高温和高速特性。必须要求轴承具有高温和高速条件。否则，它不适用。在高温热水泵中。　　4、更换轴承时，还需要判断轴的磨损程度。如果碳纤维盘根严重磨损，建议将其更换为轴。碳纤维的磨损将导致传热油与机油室内的润滑油混合，从而失去润滑油。润滑性，除了管道中的导热油外，杂质还会滚动到轴承中，从而加速轴承损坏。　　5、轴承的组装过程存在问题：工厂的组装车间在组装轴承时会使用专用工具。第一轴承不同于第二轴承所使用的工具。目的是同时制造轴承内环和外环。为了确保轴承的原始性能，可以理解的是，许多用户在更换轴承时都忽略了轴承的安装过程，并且在安装过程中使用非专业的工具通常会由于不适当的力而损坏轴承。

你真的了解高温油泵吗?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 59

选择高温油泵与了解其主要参数密不可分，这些参数包括泵排量，额定流量，理论流量，额定转数等，其中：　　1.排量(mL/r)：泵每转一圈可排出的液体量;　　2.理论流量(L/min)：在额定转数下，通过计算方法获得的每单位时间泵可排放的最大流量;　　3.额定压力(Mpa)：可以保证泵在正常工作条件下可以长时间运行的最高压力;　　4.额定流量(L/min)：在正常工作条件下长期运行时可以输出的最大流量。　　5.额定转数(r/min)：可以保证在额定压力下长时间正常运行的最大转数;　　6.最大转数(r/min)：在额定压力下，允许泵在短时间内超过额定速度的最大速度;　　7.驱动功率(KW)：在正常工作条件下可以驱动液压泵的机械功率。　　通常，应根据系统的实际工作条件进行选择。为了提高系统的可靠性并延长高温油泵的使用寿命，可以在泵的额定压力的70%至80%之间选择固定设备中液压系统的正常工作压力。液压系统的工作压力可以在泵额定压力的50%至60%之间选择。　　选择高温油泵的第二个最重要的因素是泵的流量或排量。泵的流量与工作条件有关。所选泵的流量必须大于液压系统运行的最大流量。　　泵的效率值反映了泵的质量。一般来说，主机的常用运行参数应在泵效率曲线的高效率区域。　　此外，不应同时使用高温油泵的最大压力和最大速度，以延长泵的使用寿命。　　速度的选择应严格按照产品规格表中指定的数据进行，并且不得超过最大速度值。至于其最低速度，在正常使用条件下没有严格的限制。

肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 97

高温水泵和普通水泵在产品结构和产品性能方面有很大不同。肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异关键点包括以下三点：　　1、电动机：高温水泵电动机为全铜耐高温电动机。它可以承受高达100°C的温度。但是，不同的铜只能承受45°C的水温，因此据说该电机处于高温状态。在一个地方工作，甚至长时间工作都是非常困难的。　　2、高温机械密封，主要材料是碳化硅金属，它可以承受高达120°C的水温，但是普通机械密封只能承受50°C以下的水温，因此对泵送温度更高的水。很多人说水通常在100°C沸腾。怎么会在120°C?因此，因此，您不必担心产品变热。　　3、轴承也从德国进口，可以在最高120°C的高温下工作。在国内，它们只能在低于50°C的水温下工作，因此这已成为Flygt高温水泵的优势。　　以上是高温水泵与小编推出的普通水泵的区别。高温水泵是轴向吸入式出口偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是没有水的液体(纤维和导热油)。具有安装简单，耐高温，流量大，适用范围广的特点。主要应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉回水系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　高温水泵还具有以下优点：　　1、运转平稳，泵同轴度高，叶轮动静平衡好，运转稳定，振动小;　　2、节省空间，电机和泵同轴，Zui大大减少了泵的占地面积和空间，节省的建设投资;　　3、可靠的机械密封结构可确保减少介质输送泄漏;　　4、除了机械密封摩擦副外，泵中没有金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

干式螺杆真空泵优缺点总结

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 65

干式螺杆真空泵主要使用一对螺杆，其特征是两个螺杆通过动平衡进行精细平衡，并由轴承支撑，安装在泵壳中，并且螺钉与螺钉之间有一定的间隙，这样就制成了干式螺杆真空泵。在工作过程中，彼此之间没有摩擦，运转平稳，噪音低，在工作室中没有润滑，并且干式螺杆泵可以去除含有大量水蒸气和少量灰尘的气体，并具有最高的真空度更高。但是，中国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　干式螺杆真空泵，它使用一对螺钉将泵壳中的吸气和排气泵出，以便同时进行高速反向旋转。它的优势弥补了油封真空泵的不足，我们都称其为油封真空泵的升级版。但是，干式螺杆真空泵的成本也是其缺点。接下来，主要介绍其优点和缺点：　　干式螺杆真空泵的优点　　1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层，可适应恶劣条件　　2、气体未在泵中压缩，适合于抽取可凝性气体　　3、无油耗，无滴落　　4、结构简单，易于维护。　　5、所泵送的气体直接从泵体排出，不污染水，没有环境压力，更便于气体回收。　　干式螺杆真空泵的缺点　　1、由于螺杆泵加工困难，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　2、不适合泵送爆炸性气体。　　3、不适合除去氧气过多的气体。　　随着中国工业界的发展，在半导体工业的加工制造，液晶显示器等中，对清洁真空环境的要求越来越高，传统的油真空泵已经不能满足这种要求。螺杆式干式真空泵具有抽速范围广，结构简单紧凑，抽气腔部件无摩擦，寿命长，能耗低，无油污等优点，在制造和应用领域具有更多优势。真空泵市场起着重要作用。在诸如欧美和日本的发达国家，螺杆干式真空泵在许多领域已逐渐取代了传统的油泵。

[干货]真空泵使用与保养21注意点

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 62

1、始终检查油位。如果不符合要求，则必须进行调整以满足要求。使用真空泵运行时，油位在油标准的中心。　　2、经常检查机油质量，发现应及时更换新机油以确保真空泵正常工作。　　3、根据用户的使用情况，根据实际使用条件以及是否满足性能要求考虑换油周期。通常，当使用新的真空泵去除干净和干燥的气体时，建议每100小时更换一次真空泵油。在油中看不到黑色金属粉末后，将来可以延长换油周期。　　4、在正常情况下，应在运行2000小时后检查真空泵，检查橡胶密封圈的老化程度，检查排气阀件是否破裂，并清除沉积在阀件和排气阀上的污垢。座位。清洁整个真空泵腔室的零件，例如转子，旋转叶片，弹簧等。通常用汽油清洁并干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁和组装时应小心。　　5、有条件地清洁管道，以确保管道畅通。　　6、重新组装后，应进行测试。通常，它必须运行2小时，并且换油两次。由于在清洁过程中会在真空泵中留下一定数量的发物，因此在正常运行后将可以正常运行。　　7、检查真空泵管路和接头是否松动。用手转动真空泵，看其是否灵活。　　8、向轴承体中添加轴承润滑油。注意油位应在油标的中心线。应及时更换或补充润滑油。　　9、拧开真空泵的泵体的水塞螺丝，然后倒入水(或浆液)。　　10、关闭出口管道的闸阀和出口压力表以及入口真空表。　　11、点动电动机，检查电动机是否正确旋转。　　12、启动电动机。当真空泵正常运行时，打开出口压力表和入口真空泵。压力显示适当后，逐渐打开闸阀并检查电动机负载。　　13、尝试将循环水真空泵的流量和升程控制在标签上指示的范围内，以确保真空泵在最高效率点运行，从而获得最大的节能效果。　　14、在真空泵运行期间，轴承温度不得超过环境温度35°C，最高温度不得超过80°C。　　15、如果发现真空泵发出异常声音，请立即停止并检查原因。　　16、当要停止真空泵时，请先关闭闸阀，压力表，...

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 59

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?下面我们就来告诉大家这些注意点. 1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。　　例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2.正确选择真空泵的工作点。　　每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。　　3.真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4.正确组合真空泵。　　由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5.真空设备油污的要求。　　如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，您可以选择拥有一个油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，挡板，油阱等，也可以达到清洁真空的要求。　　6.了解所泵送气体的成分。　　该气体不包含可冷凝的蒸气，粉尘和腐蚀...

用了很久的罗茨真空泵,我竟然还不知道它的原理

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 166

罗茨真空泵(称为罗茨真空泵)是旋转变量真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵的工作范围，将其分为具有直排气环境的低真空罗茨真空泵，中真空罗茨真空泵(也称为机械增压泵)和高真空多级罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的功能特点　　1、在很宽的压力范围内具有很高的抽速;　　2、快速启动，可以立即工作;　　3、对泵送气体中包含的灰尘和水蒸气不敏感;　　4、转子泵室内无润滑，无油;　　5、低振动，转子良好的动平衡条件，无排气门;　　6、驱动力小，机械摩擦损失小;　　7、结构紧凑，占地面积小;　　8、较低的运营和维护成本。　　因此，罗茨真空泵广泛用于冶金，石化，造纸，食品和电子行业。　　罗茨真空泵的工作原理　　在泵室中，两个“ 8”形的转子s彼此垂直安装在一对平行轴上，一对传动比为1的齿轮带以相反的同步旋转运动运行。在转子和转子之间，转子和泵壳的内壁之间有一定的间隙，以实现高速运行。由于罗茨真空泵是没有内部压缩的真空泵，因此压缩率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前级泵。罗茨真空泵的极限真空度取决于泵本身的结构和制造精度以及前级泵的极限真空度。为了提高泵的极限真空度，可以串联使用罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的工作方式类似于罗茨鼓风机。由于转子的连续旋转，泵送的气体从进气口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过排气口排出。由于v0空间在吸入后完全封闭，因此气体不会在泵室内压缩和膨胀。但是，当转子的顶部翻过排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧较高的气压，一部分气体返回到空间v0，这样气压突然变成增高。当转子继续旋转时，气体离开泵。　　罗茨真空泵转子从0°到180°的抽吸过程。在0°位置，下部转子封闭了来自泵进口的v0体积的气体。当旋转至45°位置时，腔室与排气口连通。由于排气侧的高压，一部分气体返回。当转到90°位...

半导体工艺中干式真空泵的几种选择

发布时间: 2019 - 11 - 21

来源: 86

在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式，其中前三种被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类型的泵在物理特性上作一些探讨，希望能对大家有所帮助。　　干式真空泵类型　　双圆裂片式　　双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。　　三叶圆裂片式　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。　　组合式(罗茨+爪)　　组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流...

掌握这8点助你选择真空泵

发布时间: 2019 - 11 - 21

来源: 69

1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。　　3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5、真空设备油污的要求。如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，您可以选择拥有一个油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，挡板，油阱等，也可以达到清洁真空的要求。　　6、了解要泵送的气体的成分。该气体不包含可冷凝的蒸气，粉尘和腐蚀性。选择真空泵时，您需要了解气体成分并为泵送的气体选择合适的泵。如果气体中包含蒸气，颗粒和腐蚀性气体，请考虑在泵的入口管道上安装辅助...

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