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2022 - 03 - 04

随着我国工业行业的迅速发展，在某些加工制造领域对真空度和清洁级的要求越来越高，无油真空泵以无需油或水做工作介质运行而在真空泵行业取胜，无油真空泵也称之为干式真空泵，而干式螺杆真空泵也是典型真空泵设备之一。干式螺杆真空泵的存在以性能高、结构精密、能源消费低、无污染、质量好等优点，解决了真空泵选用困难的问题。　　干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中同步高速反转，产生吸引排气作用的抽气设备系统。在平时的工作中，称为油封式真空泵的强化版。关于干式螺杆真空泵的原理和选择，在以前的文章中进行了介绍，以下就干式螺杆真空泵的使用特点和常见问题进行说明。一、干式螺杆真空泵性能参数的特点　　干式螺杆真空泵优点：　　1、无油设计、燃油消耗率差、无缺点。　　2.除真空泵本体外，在内部增加防腐蚀涂层，比油封式更能适应环境。　　3.泵内无气体压缩，可有效提取凝结性气体。　　4.结构不复杂，维护工作简单。　　5.环保　　干式螺杆真空泵缺点：　　1.螺杆真空泵的价格很高　　2.不适合提取易爆炸的瓦斯气体和氧含量高的瓦斯气体深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、干式真空泵、真空引水装置、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用，恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。

罗茨真空泵出现效率下降原因是什么？

2022 - 04 - 22

任何用户都希望自己购买的罗茨真空泵机组具有非常好且稳定的工作效率，要达到这一效果，就必须选择和使用质量好的机组，以在很大程度上保证设备令人满意的工作效率。但此外，还有一些因素会影响罗茨真空泵机组的工作效率，因此我们需要对此方面采取预防措施。那么目前哪些因素会影响其工作效率呢?哪些因素会影响罗茨真空泵工作效率，导致罗茨真空泵效率下降呢?1.蒸汽压力由于低蒸汽压力和压力波动对罗茨真空泵机组的容量有很大影响，蒸汽压力不应低于所需的工作压力，但所用真空泵的结构设计已经确定，水环真空泵即使蒸汽压力过高，吸入容量和真空度也不会增加。此外，为了保证锅炉提供的蒸汽压力的稳定性，建议使用专用锅炉向蒸汽喷射泵提供工作蒸汽。确保真空泵机组性能稳定，防止蒸汽压力变化。2.循环冷却水供应不足，冷凝器会发热，气流声会变大，真空度会迅速下降，甚至蒸汽会返回抽气管。冷凝液在多级罗茨真空泵机组中起着重要的作用，可以大量冷凝蒸汽。真空泵机组排放压力中的蒸汽分压必须高于其对应的全蒸汽压力，因此冷凝液温度应低于该压力下的旋片真空泵全温度，以保证泵体的正常运行。3.喷嘴是影响罗茨真空泵机组性能的重要部件。存在喷嘴误差、安装变形、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏等问题。深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离心泵，高温油泵。公司通过与阿特...

双水环真空泵故障出现轴向力问题原因

2022 - 05 - 19

配管的积水　　由于水环真空泵与蒸汽冷凝器连通，另一方面，水环真空泵在运转中水蒸气分离设备上有工作的漏洞，因此配管内容易积存水蒸气。另一方面，如果停止水泵的运转，水蒸气凝结形成积水，因此随着积水的次数增加，水向真空泵内逆流，在短时间内形成大的电压，电动机容易烧损。　　为了避免管道积水对马达造成的危害，应定期检查水环真空泵的使用情况，重点检查气管道是否有积水，如水环真空泵果发现的话，应立即进行清扫。为了防患于未然，为了改造水环真空泵的水分分离器，采用了具有更高耐磨损性和耐腐蚀性的钢材，或者加粗水分分离器的管筒的直径，能够在充分的空间内进行水分分离，从而大幅度减少水蒸气的堆积流，避免了积水故障。　　运转动力不足，水环真空泵的实际运转动力不足，一般仅达到30%左右，最大不超过50%。工作效率低，影响生产效率。此类问题的原因主要是电机供电旋片真空泵不足，不能满足水泵正常工作的转速需要。另外，由于配管的积水、水环真空泵的供水量不足，叶轮和分配板之间的间隙无法良好地密封，动力下降。　　产生轴向力的原因，因为吸排液口的压力不同，所以在不完全对称的叶轮两侧液体的压力不同，从而产生了轴向力。如果叶轮两侧的液体压力无视轴的截面积，也不考虑叶轮的旋转对压力分布的影响，则作用于叶轮的力是轮盘受到的力和轮盖受到的力的差，转化计罗茨真空泵算式是出口压力和入口压力的...

水环真空泵的使用方法和注意事项

2022 - 06 - 21

真空泵的使用方法和注意事项1.在空泵使用的基本方法用一根加氟管将真空泵的进气口与电冰箱制冷系统的工艺管上的三通检修阀连好.并将三通检修阀开至最大.然后起动真空泵运行即可。待达到抽真空目的后.先将三通检修阀的阀门关闭.然后梢微松开三通检修阔的加氟管与真空泵进气口的接口.听到真空泵运行声有变化时，立即切断真空泵电源，拆下加氟管与真空泵接口.抽空工作结束。 2.真空泵的使用注意事项放置水环真空泵真空泵的场地周围要干操、通风、清洁。真空泵与制冷系统连接的加氟管要尽量短一点，以避免出现打折等问题.影响使用;使用中要观察加氟管与真空泵进气口的接口处是否有漏气现象;真空泵停止使用时，要将其进气口和出气口用塑胶塞塞好.以免空气与灰尘进入泵中影响使用.每次使用真空泵前要检查泵中的润滑油位是否符合要求.以保证其安全使用。深圳恒才机电设备有限公司拥有经验丰富的技术团队专注于真空泵、真空系统，研发生产产品（水环真空泵系统、2BV水环真空泵、2be水环真空泵、螺杆真空泵系统、旋片真空泵系统、真空泵机组、真空系统等），是深圳集成监控系统公司行业的之一。恒才机电位于深圳宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋，如果您对我公司的真空泵系统产品服务有兴趣，期待您在线留言或者来电咨询。

罗茨旋片真空机组 JRP罗茨泵+GVS旋片泵

2022 - 07 - 22

JRP150-2000罗茨真空泵具有大抽速及中真空度，但罗茨真空泵泵体无内压缩，所以压缩比很低，故高、中真空泵需要搭配前级泵使用，此罗茨旋片真空机组采用了JSP罗茨泵+阿特拉斯GVS旋片泵，以达到所需真空度要求，提高产品生产效率和质量。JRP罗茨真空泵特点：1.罗茨真空泵大抽气速率，153-2050每立方每小时2.罗茨真空度可达0.05pa3.冷却方式为风冷4.结构紧凑，易于安装，搭配各类真空机组及真空系统GVS油润滑旋片真空泵特点：1.极限真空度高，0.1-1mbar2.旋片真空泵抽速高，16-840立方米每小时3.寿命长，旋片泵温度低于其他设备，润滑油寿命更长4.环保，泵内装有油雾消除器，且具有优化保油能力5.水蒸汽抽除能力强，适合含水量大的应用6.旋片真空泵轻便，易于安装在工业系统中，运行稳定罗茨旋片真空机组应用范围食品、金属件电子元件真空或惰性气体包装玻璃板的吊运、木板/塑料板吸持造纸和印刷行业，纸板装卸输送罗茨旋片真空机组可粉状材料的输送电子元器件的干燥、浸渍铸模、涂料、真空炉的除气医药真空，适应不同排气任务深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域，提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统，提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务，更多真空泵信息，欢迎致电了解。

锂电池真空烤箱真空方案改造前后对比

2022 - 09 - 01

锂电池生产过程中的真空泵应用，比较常见的是真空处理和吸附，实际上真空泵还用于烤箱和填充液体包装，配套的设备是烤箱和抽酸机。锂电池真空烤箱的真空要求相对较高，通常要求高于-95KPa，越高越好。文中所讲述的罗茨水环真空机组，是由水环真空泵及罗茨真空泵组成的锂电池真空机组，是用于锂电池真空烤箱的辅助真空设备，锂电池真空应用解决方案、抽真空、干燥、除氧等工艺。经过方案设计调整，罗茨水环真空机组参数如下：锂电池真空机组抽气量：1080立方米每小时；功率：15kw+4kw；极限压力：-98KPa至-100KPa罗茨水环真空机组，锂电池真空机组真空烤箱的解决方案改造后，带来哪些改变？相比于原先的锂电池真空设备，新的锂电池真空机组抽气量比以往更大、真空度更高、真空泵系统也更加稳定，真空方案的设计调整使锂电池生产效率、锂电池生产质量好的前提，好的锂电池真空机组温度均匀性好、锂电池烘烤周期短。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用，恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。

片材挤出的罗茨水环真空机组为什么好用

2022 - 10 - 24

片材挤出的罗茨水环真空机组为什么好用？片材挤出对真空度及稳定性要求严格，使用油旋片真空泵需要换油，油旋片泵运行到一定周期后速率及真空度会衰减，后期维修比较频繁，且成本高。片材挤出真空机组，罗茨水环真空机组是恒才机电根据行业特性设计的一款真空设备。恒才的PET真空机组--罗茨水环真空机组最大卖点：1、进口品牌speck水环泵，不锈钢，防腐蚀，比普材水环泵使用寿命更长2、罗茨泵在线清洗（可以不停机清洗）罗茨泵清洗的作用：运行时间久了，罗茨泵会有粉尘、杂质堆积，容易造成罗茨泵卡死3、结构设计：片材挤出真空机组,罗茨水环真空机组运行中水箱水温高，我们的水箱设计机构合理，水温低，气蚀影响小，真空度影响；独特闭环循环水设计，节约水资源，环保节能；选配水浴式过滤器，可以很好的过滤油脂、粉尘4、真实的真空度数据：片材挤出真空机组,罗茨水环真空机组实打实的真空度数据，可达-98至-101千帕深圳恒才机电设备有限公司专注真空领域，创新的一站式真空解决方案，服务于半导体、橡塑、环保工程、医疗器械、制药、化工、铸造的通用工业应用领域。提供真空改造方案，致力于节能减排，与客户一同实现可持续发展实业。

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Hot News / 热点新闻

塑胶造粒产线干式螺杆真空泵替代水环式真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 03

来源: 542

在塑胶造粒产线中，干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵，其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面，具体分析如下：1. 环保性：无污染排放，降低合规风险水环泵痛点：水环泵以水为密封介质，运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染，尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时，废水处理成本高且环保压力大。例如，某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款，后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势：采...

高温热水泵和冷水泵有什么区别?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 96

高温热水泵和冷水泵有什么区别?　　泵阀行业是大型工业集团。它在国民经济建设中发挥着重要作用，与人民生活息息相关。在行业激烈的竞争中，改变思维方式并从互联网开始也是一个不错的改变。　　随着社会经济的飞速发展，传统的销售已不能适应社会发展的趋势，网络营销已成为新的宠儿，引领着销售发展的新趋势。　　中国泵阀企业目前处于快速发展的趋势。许多泵和阀门公司正在扩大其业务规模，并希望吸引该行业的更多人才。同时，许多集团公司都想进入泵阀。工业在产业链中创造更多价值。由此产生的人才缺口越来越严重，许多泵阀企业迫切需要中高级职位。　　使用最广泛的泵和阀是高温热水泵和冷水泵。所谓的冷水泵是指可以在80°C以下的温度下输送液体的泵。它被称为冷水泵。温度在80°至120°C之间的泵称为高温热水泵。　　1、高温热水泵的特点：　　高温热泵是在离心泵的基础上优化的高温热泵产品。由于泵的上部使用垂直安装的电机，因此在泵和电机之间有一个短支架，该支架不会因机械密封而泄漏。电机内部的水烧坏电机的现象，也可以设计成基于高温热泵和由外部自来水冷却的高温热泵产品的机械密封温度至240°C。　　2、冷水泵的特点　　冷水泵的普通密封是带有填料密封的机械密封。带填料密封的泵通常是单级单吸离心泵。该泵也是最早的冷水泵产品。由于填料本身需要液体冷却润滑，因此泵耐高温。仅在80度左右，密封冷水泵中的滴水现象对泵底座和泵周围环境有一定的污染。此类产品已逐渐被离心泵产品所替代，并且冷水泵是机械密封的。存在漏水现象，直连式叶轮位于电机轴上。在噪音和振动方面，它明显优于旧式冷冻水泵。这种类型的泵产品通常用于空调，因此也称为空调制冷水循环泵。

高温水泵表面保护材料及工艺要求有哪些

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 69

磨蚀和气蚀一直是高温水泵运行和维护中的关键问题。传统的表面保护材料和工艺远远不能满足水泵抗气蚀和磨损的要求。因此，为了有效地增强高温水泵，除了使用不锈钢或其他硬质合金制造叶片之外，流通部表面的抗气蚀和磨损的能力也是表面保护技术的连续实验研究。　　通常,高温水泵表面保护材料的技术要求必须具有：　　1、高强度和硬度，可抵抗气蚀和磨损; 2、具有吸收冲击的韧性能量;　　3、具有高粘结强度，在泵中每秒30-35米的高速水流的冲击下不会剥离;　　4、涂料的价格必须适中，以用于大中型泵站和大型农村中小型泵站;　　5、涂层材料应该是无毒，不可燃和易爆的，易于存储和运输，并且不会污染周围的环境。　　加工要求为了促进和应用表面保护技术，加工技术必须：　　1、该过程很简单，可以由不同级别的操作员掌握;　　2、加工中使用的工具(设备)应在市场或一般泵站维护工作中容易获得，并且价格适中，而无需特殊且昂贵的设备;　　3、该过程应不受季节和周围环境的影响，泵站可在冬季和春季维护期间进行;　　4、涂料不需要特殊的绝缘，涂料后可以快速固化或投入使用，以缩短维护周期。　　高温水泵运行平稳，水泵同轴度高，叶轮动静平衡好，确保运行稳定，振动小，节省空间，同轴电机和水泵，大大减少了水泵的占地面积和空间，节省了施工。投资，该泵除了机械密封摩擦副外没有任何金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

高温热水泵轴承损坏问题出在哪里

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 64

高温热水泵是轴向吸入式偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是不含颗粒或纤维的液体(水，传热油等)。该装置具有节省安装空间，外观精美，强度高，配合方便的优点。由于其精度高，耐高温，运行稳定等特点，被广泛应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉水回收系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　　最近，我收到了许多客户的报告，说我的高温热水泵轴承磨损很快。这里发生了什么，然后小编将向您介绍。　　1、高温热水泵在运行2000-3000小时后应在轴承体中添加或更换润滑油，以确保轴承具有良好的润滑性并延长轴承的使用寿命。　　2、建议用泵内部的密封件更换轴承，并清洁叶轮内部的碳，以确保足够的流量和压力。　　3、被用户更换的轴承大多在机电市场或轴承商店购买。用户购买轴承只是为了看模型，而忽略了高温热水泵的高温和高速特性。必须要求轴承具有高温和高速条件。否则，它不适用。在高温热水泵中。　　4、更换轴承时，还需要判断轴的磨损程度。如果碳纤维盘根严重磨损，建议将其更换为轴。碳纤维的磨损将导致传热油与机油室内的润滑油混合，从而失去润滑油。润滑性，除了管道中的导热油外，杂质还会滚动到轴承中，从而加速轴承损坏。　　5、轴承的组装过程存在问题：工厂的组装车间在组装轴承时会使用专用工具。第一轴承不同于第二轴承所使用的工具。目的是同时制造轴承内环和外环。为了确保轴承的原始性能，可以理解的是，许多用户在更换轴承时都忽略了轴承的安装过程，并且在安装过程中使用非专业的工具通常会由于不适当的力而损坏轴承。

你真的了解高温油泵吗?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 59

选择高温油泵与了解其主要参数密不可分，这些参数包括泵排量，额定流量，理论流量，额定转数等，其中：　　1.排量(mL/r)：泵每转一圈可排出的液体量;　　2.理论流量(L/min)：在额定转数下，通过计算方法获得的每单位时间泵可排放的最大流量;　　3.额定压力(Mpa)：可以保证泵在正常工作条件下可以长时间运行的最高压力;　　4.额定流量(L/min)：在正常工作条件下长期运行时可以输出的最大流量。　　5.额定转数(r/min)：可以保证在额定压力下长时间正常运行的最大转数;　　6.最大转数(r/min)：在额定压力下，允许泵在短时间内超过额定速度的最大速度;　　7.驱动功率(KW)：在正常工作条件下可以驱动液压泵的机械功率。　　通常，应根据系统的实际工作条件进行选择。为了提高系统的可靠性并延长高温油泵的使用寿命，可以在泵的额定压力的70%至80%之间选择固定设备中液压系统的正常工作压力。液压系统的工作压力可以在泵额定压力的50%至60%之间选择。　　选择高温油泵的第二个最重要的因素是泵的流量或排量。泵的流量与工作条件有关。所选泵的流量必须大于液压系统运行的最大流量。　　泵的效率值反映了泵的质量。一般来说，主机的常用运行参数应在泵效率曲线的高效率区域。　　此外，不应同时使用高温油泵的最大压力和最大速度，以延长泵的使用寿命。　　速度的选择应严格按照产品规格表中指定的数据进行，并且不得超过最大速度值。至于其最低速度，在正常使用条件下没有严格的限制。

肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 97

高温水泵和普通水泵在产品结构和产品性能方面有很大不同。肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异关键点包括以下三点：　　1、电动机：高温水泵电动机为全铜耐高温电动机。它可以承受高达100°C的温度。但是，不同的铜只能承受45°C的水温，因此据说该电机处于高温状态。在一个地方工作，甚至长时间工作都是非常困难的。　　2、高温机械密封，主要材料是碳化硅金属，它可以承受高达120°C的水温，但是普通机械密封只能承受50°C以下的水温，因此对泵送温度更高的水。很多人说水通常在100°C沸腾。怎么会在120°C?因此，因此，您不必担心产品变热。　　3、轴承也从德国进口，可以在最高120°C的高温下工作。在国内，它们只能在低于50°C的水温下工作，因此这已成为Flygt高温水泵的优势。　　以上是高温水泵与小编推出的普通水泵的区别。高温水泵是轴向吸入式出口偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是没有水的液体(纤维和导热油)。具有安装简单，耐高温，流量大，适用范围广的特点。主要应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉回水系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　高温水泵还具有以下优点：　　1、运转平稳，泵同轴度高，叶轮动静平衡好，运转稳定，振动小;　　2、节省空间，电机和泵同轴，Zui大大减少了泵的占地面积和空间，节省的建设投资;　　3、可靠的机械密封结构可确保减少介质输送泄漏;　　4、除了机械密封摩擦副外，泵中没有金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

干式螺杆真空泵优缺点总结

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 65

干式螺杆真空泵主要使用一对螺杆，其特征是两个螺杆通过动平衡进行精细平衡，并由轴承支撑，安装在泵壳中，并且螺钉与螺钉之间有一定的间隙，这样就制成了干式螺杆真空泵。在工作过程中，彼此之间没有摩擦，运转平稳，噪音低，在工作室中没有润滑，并且干式螺杆泵可以去除含有大量水蒸气和少量灰尘的气体，并具有最高的真空度更高。但是，中国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　干式螺杆真空泵，它使用一对螺钉将泵壳中的吸气和排气泵出，以便同时进行高速反向旋转。它的优势弥补了油封真空泵的不足，我们都称其为油封真空泵的升级版。但是，干式螺杆真空泵的成本也是其缺点。接下来，主要介绍其优点和缺点：　　干式螺杆真空泵的优点　　1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层，可适应恶劣条件　　2、气体未在泵中压缩，适合于抽取可凝性气体　　3、无油耗，无滴落　　4、结构简单，易于维护。　　5、所泵送的气体直接从泵体排出，不污染水，没有环境压力，更便于气体回收。　　干式螺杆真空泵的缺点　　1、由于螺杆泵加工困难，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　2、不适合泵送爆炸性气体。　　3、不适合除去氧气过多的气体。　　随着中国工业界的发展，在半导体工业的加工制造，液晶显示器等中，对清洁真空环境的要求越来越高，传统的油真空泵已经不能满足这种要求。螺杆式干式真空泵具有抽速范围广，结构简单紧凑，抽气腔部件无摩擦，寿命长，能耗低，无油污等优点，在制造和应用领域具有更多优势。真空泵市场起着重要作用。在诸如欧美和日本的发达国家，螺杆干式真空泵在许多领域已逐渐取代了传统的油泵。

[干货]真空泵使用与保养21注意点

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 62

1、始终检查油位。如果不符合要求，则必须进行调整以满足要求。使用真空泵运行时，油位在油标准的中心。　　2、经常检查机油质量，发现应及时更换新机油以确保真空泵正常工作。　　3、根据用户的使用情况，根据实际使用条件以及是否满足性能要求考虑换油周期。通常，当使用新的真空泵去除干净和干燥的气体时，建议每100小时更换一次真空泵油。在油中看不到黑色金属粉末后，将来可以延长换油周期。　　4、在正常情况下，应在运行2000小时后检查真空泵，检查橡胶密封圈的老化程度，检查排气阀件是否破裂，并清除沉积在阀件和排气阀上的污垢。座位。清洁整个真空泵腔室的零件，例如转子，旋转叶片，弹簧等。通常用汽油清洁并干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁和组装时应小心。　　5、有条件地清洁管道，以确保管道畅通。　　6、重新组装后，应进行测试。通常，它必须运行2小时，并且换油两次。由于在清洁过程中会在真空泵中留下一定数量的发物，因此在正常运行后将可以正常运行。　　7、检查真空泵管路和接头是否松动。用手转动真空泵，看其是否灵活。　　8、向轴承体中添加轴承润滑油。注意油位应在油标的中心线。应及时更换或补充润滑油。　　9、拧开真空泵的泵体的水塞螺丝，然后倒入水(或浆液)。　　10、关闭出口管道的闸阀和出口压力表以及入口真空表。　　11、点动电动机，检查电动机是否正确旋转。　　12、启动电动机。当真空泵正常运行时，打开出口压力表和入口真空泵。压力显示适当后，逐渐打开闸阀并检查电动机负载。　　13、尝试将循环水真空泵的流量和升程控制在标签上指示的范围内，以确保真空泵在最高效率点运行，从而获得最大的节能效果。　　14、在真空泵运行期间，轴承温度不得超过环境温度35°C，最高温度不得超过80°C。　　15、如果发现真空泵发出异常声音，请立即停止并检查原因。　　16、当要停止真空泵时，请先关闭闸阀，压力表，...

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 47

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?下面我们就来告诉大家这些注意点. 1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。　　例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2.正确选择真空泵的工作点。　　每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。　　3.真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4.正确组合真空泵。　　由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5.真空设备油污的要求。　　如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，您可以选择拥有一个油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，挡板，油阱等，也可以达到清洁真空的要求。　　6.了解所泵送气体的成分。　　该气体不包含可冷凝的蒸气，粉尘和腐蚀...

用了很久的罗茨真空泵,我竟然还不知道它的原理

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 161

罗茨真空泵(称为罗茨真空泵)是旋转变量真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵的工作范围，将其分为具有直排气环境的低真空罗茨真空泵，中真空罗茨真空泵(也称为机械增压泵)和高真空多级罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的功能特点　　1、在很宽的压力范围内具有很高的抽速;　　2、快速启动，可以立即工作;　　3、对泵送气体中包含的灰尘和水蒸气不敏感;　　4、转子泵室内无润滑，无油;　　5、低振动，转子良好的动平衡条件，无排气门;　　6、驱动力小，机械摩擦损失小;　　7、结构紧凑，占地面积小;　　8、较低的运营和维护成本。　　因此，罗茨真空泵广泛用于冶金，石化，造纸，食品和电子行业。　　罗茨真空泵的工作原理　　在泵室中，两个“ 8”形的转子s彼此垂直安装在一对平行轴上，一对传动比为1的齿轮带以相反的同步旋转运动运行。在转子和转子之间，转子和泵壳的内壁之间有一定的间隙，以实现高速运行。由于罗茨真空泵是没有内部压缩的真空泵，因此压缩率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前级泵。罗茨真空泵的极限真空度取决于泵本身的结构和制造精度以及前级泵的极限真空度。为了提高泵的极限真空度，可以串联使用罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的工作方式类似于罗茨鼓风机。由于转子的连续旋转，泵送的气体从进气口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过排气口排出。由于v0空间在吸入后完全封闭，因此气体不会在泵室内压缩和膨胀。但是，当转子的顶部翻过排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧较高的气压，一部分气体返回到空间v0，这样气压突然变成增高。当转子继续旋转时，气体离开泵。　　罗茨真空泵转子从0°到180°的抽吸过程。在0°位置，下部转子封闭了来自泵进口的v0体积的气体。当旋转至45°位置时，腔室与排气口连通。由于排气侧的高压，一部分气体返回。当转到90°位...

半导体工艺中干式真空泵的几种选择

发布时间: 2019 - 11 - 21

来源: 85

在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式，其中前三种被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类型的泵在物理特性上作一些探讨，希望能对大家有所帮助。　　干式真空泵类型　　双圆裂片式　　双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。　　三叶圆裂片式　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。　　组合式(罗茨+爪)　　组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流...

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