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2018 - 06 - 21

由于罗茨真空泵是一种技术含量比较高设计比较精巧的设备，因此它具有非常多的优点，但是想要让这些优点真正的发挥出来就需要学会正确的使用它。因此相关的工作人员在正式投入操作罗茨真空泵之前应该要接受一定的培训懂得操作的技巧和方法，这样才能够使得设备更好的运转，具体来说，罗茨真空泵得正确的使用方法包括以下几个方面。一、经常调整罗茨真空泵叶轮转子间隙在操作罗茨真空泵到时候，必须在相应的位置留一条连续的接触线，通过这种方式来阻止气体流回到真空当中，并且在运行时还应该要经常性的检查两转子的啮合情况。并且使用了一段时间之后，里面比较关键的元器件可能会因此而磨损，所以罗茨真空泵厂家提醒需要及时的进行检查和修理。如果叶轮转子间隙比较小的情况下，如果任其发展的话那么很可能会使电机过度发热而导致损伤，因此需要进行一定的调整，特别是平时要经常的对相应的位置进行清理。二、经常检查罗茨真空泵泵轴的密封状态由于罗茨真空泵随时要保证里面是处在真空的状态，所以密封效果一定要做到位，因此随时要检查密封配件的效果，避免漏气的情况发生。专业提供罗茨真空泵厂家介绍一般来说，要选用质量好一些的蜜蜂园事件，比如机械密封等等，最近新研发出来的瓷粉密封效果也不错，值得一试。三、合理选用罗茨真空泵的转数罗茨真空泵的转数应该要根据实际的情况进行调整，理论上来说，增加圈数就会使排泄量也增加，并且是容积率上升但同时可能会因此而增加噪音。所以高...

使用真空泵的五点安全注意事项，你必须知道！

2018 - 08 - 29

一、真空泵使用中要注意人身安全在现场安装真空泵是，除了操作真空泵时要注意安全，还应当采取一些普遍的预防措施来确保自己在工作环境的健康和人身安全问题。无论机器在不在运行，都务必穿戴合适的服装。对电动泵进行维修时，也要确保穿戴上绝缘手套和保护头盔。如果你工作或者百分的泵站和污水处理有关，确保用防水胶布包扎你的伤口，再小也要包扎，否则由直接同污水接触引起、通过伤口或者眼睛、口腔膜感染，可能感染严重病毒，如果在现场受伤，应当立即用防水、杀菌、棉质的绷带包扎，下面请看几点重点注意事项：1. 实验操作人员进行操作过程中，切勿携带电子产品。2. 实验操作人员需佩戴真空设备专用操作手套进行操作，不能直接触碰真空设备。3. 真空泵设备配件应在干燥箱内保存，并远离具有腐蚀性的化学气体或液体。4. 真空泵设备需定期进行擦拭，应选用无尘纸或无尘布配套酒精或丙酮进行清洁。5. 实验室应保持一定干燥度，实验操作人员应每日检查实验室的湿度及温度情况。6. 实验室应保持良好通风，以避免机械真空泵油气所造成的影响。7. 操作人员应关注真空设备所使用泵的温度，以免过热导致仪器寿命缩短。8. 操作人员应在分子泵转速降至安全线以下后，放入氮气或液氮。9. 操作人员应密切关注高压泵电源接口损耗程度，以防止操作人员触电，确保安全。10. 实验人员进行操作时，应严格按照各真空设备操作步骤进行阀门开关...

半导体行业应用的真空泵及注意事项

2018 - 11 - 03

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。　　2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度：　　半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆炸；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.　　3、真空泵注意氧气的浓度...

真空系统选用哪种真空泵？

2019 - 03 - 08

真空系统用何种真空泵，首先应根据系统的要求,其次应对该泵性能特点有详细了解,比较了各种泵的优缺点后,再决定之, 这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵,现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,看来是必要的。一、油封机械泵现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。抽速:H型为8 ~ 600升/秒;2H型为8~ 70升/秒。亦有成系列生产的产品。余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空i。但极限真空比抽干燥空气(不用镇时)低-个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。二、机械增压泵(罗茨泵) 工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~ 2000升/秒,我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1 ~ 2托)&...

真空泵的选择步骤，你了解吗？

2019 - 04 - 26

1. 选真空泵要确认环境条件　　包括环境温度、相对湿度、大气压力、空气腐蚀性、危险区域等级、防尘防水要求。2. 选真空泵要确认操作条件　　指液体吸入侧液面压力（绝对）、排出侧液面压力、间歇或连续工作、位置固定或移动、安装维修方便性。3. 选真空泵要确认介质性质　　包括介质名称、温度、密度、粘度、饱和蒸汽压力、固体颗粒直径和含量、气体的含量、腐蚀性、挥发性、燃爆性、毒性。4. 选定真空泵过流部件的材质　　根据泵送介质的物理化学性质主要考虑以下几个方面：　　（1）介质的腐蚀性，　　泵过流部件的耐腐蚀性能满足使用要求即可，不可追求过高的耐腐蚀性能，否则，将大幅度增加泵的购置成本。　　（2）介质是否含固体颗粒，　　因为固体颗粒的硬度和含量直接关系到泵过流部件的耐用性。　　（3）介质的温度（压力），　　介质的温度（压力）越高，泵过流部件的材质强度应越高。一般的，温度250℃时，应选用铸钢件或钢件。　　（4）有卫生级或禁止污染要求的介质，　　选择相应的过流部件材质。另外，泵的结构应是便于清洗的。5. 选定真空泵性能参数　　（1）计算法　　A. 流量：它直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。如工艺设计中能算出泵正常、最小、最大的三种流量。选择泵时，以最大流量为依据，兼顾正常流量，在没有最大流量，通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。　　B. 扬程：一般要用放大5%-10%余量后的扬程...

真空泵的保养方法

2019 - 07 - 02

必须由经过适当培训的技术人员维护真空泵，以确认技术人员熟悉泵油和系统的产品。必须在维护之前停止泵，降低到安全温度，断开泵和其他组件和电路。为了避免事故。维护完成后，在连接电源之前重新检查泵的旋转方向。如果损坏，O形圈和垫圈不可回收。在操作过程中，真空泵和油被化学品污染。因此，应确认泵是否清洁并采取适当措施防止这些有害物质对人员造成伤害。维护完成后，应检查是否有泄漏，如果有，则应重新密封。请勿接触或吸入高温（260°C）泵的热降解产品，这些产品很危险，包括油，油脂和真空润滑脂。检查前真空泵油位：如有必要，您可以在泵运行时检查油位，但如果您想加油，则需要断开前置真空泵和相关组件与电源的连接。 1.通过前置真空泵的可见窗口检查油位是否高于最小极限并低于最大极限。 2.如果油位等于或低于最低限制，打开油孔并加油至最大限度。如果加太满，则可以从出口释放该点。 3.如果油污严重，请排出受污染的油并清洁泵并加入清洁的油。更换前置真空泵油： 1.打开泵10分钟，加热泵油，然后加热关泵（加热后油可以降低其粘度，更容易倒出）。 2.断开泵与回路和真空系统的连接。 3.从填充孔中拔掉塞子。 4.将泵放在合适的支架（如凳...

直排大气罗茨真空泵基本原理

2019 - 07 - 08

罗茨真空泵内部冷却,通过循环冷却空气将热量从热源带走。被抽气体。当它被压缩或排出时，它被冷却空气冷却。因此，泵可用于标准泵不能工作地点。泵室可以自冷却，因为叶轮和工作室具有特殊的工作部件。当这个特殊部件工作时，工作室的一部分关闭，阻塞入口和出口，并穿过特殊通风口。冷却气体从压力侧流出或进入工作室，并从出口侧充满加压冷却气体，并且气体循环。气体循环冷却罗茨真空泵，特殊叶轮头控制冷空气流量而无需额外的控制元件，因此这个内部循环冷却罗茨真空泵与普通的罗茨真空泵相同，结构简单干净。它将冷却器连接到排气口，冷却器安装在泵壳的外部，便于维护和更换。如果冷却器设计正确并且输送冷却气体的管道尺寸足够大，则冷却效果良好，因此罗茨真空泵可以在各种压差条件下工作。泵加热不仅取决于转速，循环冷却剂量，还取决于压差，压差是成比例的（与转速成比例）。此外，泵叶片和泵壳之间的间隙必须保持最小。这有利于提高容积效率，以实现更高的真空度。气体循环冷却罗茨真空泵最适合排放和压缩气体或蒸汽的过程。这些排出或压缩的气体在进入泵之前不应与油或有害液体接触。低温恒温器就是这种情况。如果进气和排气之间的压力差很大并且所需的极限真空度很高，请考虑串联使用三个罗茨真空泵。除此之外，还有水冷或多级泵。

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Hot News / 热点新闻

罗茨水环机组：塑胶厂“全年无休”的硬核生产力引擎

发布时间: 2025 - 04 - 29

来源: 231

罗茨水环机组：塑胶厂“全年无休”的硬核生产力引擎在塑胶加工行业，设备宕机是悬在生产线上方的“达摩克利斯之剑”。传统真空泵因故障频发、能耗失控，常让企业陷入“停机抢修—订单积压—利润缩水”的恶性循环。而罗茨水环真空机组的出现，正以“全年无休”的稳定性、“三防一体”的硬核性能，重塑塑胶厂的生产逻辑。工人从“救火队员”变身“巡检员”，老板直呼“省下的钱够换辆特斯拉”——这场由真空系统引发的效率革命，正在...

物料的真空吸送系统

发布时间: 2019 - 07 - 12

来源: 105

1.真空吸送概述真空泵或风机用作动力源，在系统内部产生真空，物料在管道中以悬浮状态运动，工作气体和物料被分离器分离，真空抽吸。与其他物料输送方式相比，真空吸附的优点是设备简单，占地面积小，吸料输送可靠，操作简单。它可以从几个地方集中到一个地方，或从一个地方集中到另一个地方。几次分散输送，连续卸料和间歇卸料;整个系统在工作中处于负压状态，无灰尘，工作环境良好。相反，缺点是能量消耗高并且肘部的磨损更严重。但是，国外的一些设备已经通过在弯管内壁插入软橡胶来解决。根据真空度和真空泵的不同，真空吸力可分为高真空吸力和低真空吸力。高真空吸力通常使用喷射泵和水环泵作为动力源。系统真空度高，一般为5 * 104Pa-3 * 104Pa，气流也小。国产sz-4水环真空泵的真空度为60.在％时，理论空气流量仅为660m3/h。低真空吸力通常使用离心式风扇和通风机作为动力源。系统真空度低，一般为9 * 104Pa-8 * 104Pa，所以输送距离近，不超过50m，但风量大，常常是7-17-17 1/2风扇。使用，风量可达1800m3/h。真空吸尘器已广泛应用于国内外，从大型船舶的装卸到冶金和铸造的散装物料，以及粉尘厂，啤酒厂的运输，除尘，清洗，灰化处理，这种方法可用于运输和处理散装物料的地方。据报道，真空吸尘装置是由国外的特殊制造商生产的，整个系统的定型零件是标准化和系列化的。 2.真空吸气系统的主要类型和组成以下是以高真空抽吸系统为例介绍系统中的主要设备。 1.喷嘴装置比较简单，但却非常关键。通常，喷嘴插入散装材料中。主要有两种类型，一种是单缸，另一种是双缸。当系统被抽空时，大气通过材料的一次空气，二次空气通过喷嘴主体的开口进入，使材料进入进料管。无论是单缸还是双缸，都必须调节喷嘴的二次风量。它可以通过实际探索和调整到最佳位置。 ...

冷冻干燥过程中用真空系统

发布时间: 2019 - 07 - 12

来源: 143

真空系统由真空容器，真空泵，真空阀，真空计，真空密封，冷凝器和管道组成。一.真空系统的基本要求 (1)根据冻干材料的需要，应能达到一定的真空度和工作真空度。极限真空是在不泄漏系统的情况下可以实现的最低压力;工作真空是在某个过程中可以保持的真空。（2）在尽可能多的条件下提高有效抽速，缩短抽水时间，降低冻干产品的成本。（3）系统结构简单，牢固，易于操作，易于维护。二.真空系统密封有两种真空密封，一种是金属或陶瓷永久密封或玻璃和金属焊接;另一种是可拆卸的静密封和动态密封。静密封通过部件连接并在密封后保持静止;动态密封必须确保运动和密封。可拆卸的真空密封，在组件接头法兰的中间必须有密封材料，通过压制，紧固来实现密封。可以根据真空度选择不同的密封材料。常用的密封材料有:橡胶，聚四氛乙烯，软金属铝，无氧铜等。真空润滑脂用于在两个光滑表面之间进行真空密封和润滑。真空密封蜡用于填充真空系统中的小泄漏。真空密封分为真空泥和真空蜡。三.干燥箱干燥箱是真空系统的重要组成部分之一，其真空性能会影响整个冷冻机的性能。它既是真空室又是冻干材料的容器。四.集水器集水器是真空系统容器之一，其作用是从材料的升华中捕获水蒸气以保护真空泵。疏水阀也称为疏水阀，冷凝器和冷阱。五.真空管和真空阀在干燥箱和捕水器，捕水器和真空泵之间有真空管，并且提供真空阀以控制打开和关闭，流量最小等。根据阀门的工作强度，真空阀可分为低真空阀，高真空阀和超高真空阀。因此，真空阀的选择主要取决于其使用和使用条件，其型号尺寸，它取决于管道的直径。六.真空测量真空通常以压力表示。因此，真空锥体归因于真空环境中的压力测量。真空测量是真空技术中同样重要且密切相关的部分。传统的真空测量方法是直接测量压力。例如，U形管...

水环式真空泵机组

发布时间: 2019 - 07 - 12

来源: 65

水环真空泵机组可以理解为水环真空泵闭式循环系统，水环真空泵负压站，罗茨水环真空机组，这种产品在很多用户心目中称为水环真空泵机组，每个水环以下的组成和真空泵机组的功能简述如下：水环型真空泵闭式循环系统：水环型真空泵闭式循环系统一般由水环型真空泵，蒸汽分离器，换热器组成，单个由阀门，供水电磁阀，球阀，管道，电接点真空计，控制柜，框架等组成。主要功能是回收水环真空泵中的工作液，一般缺乏化学工业和水资源。企业可以使用这个水环真空泵机组，这可以大大减少水资源或化学工作液的可持续利用，从而降低企业的成本。水环真空泵负压站：水环真空泵负压站一般由水环真空泵，真空缓冲罐，蒸汽分离器，换热器，止回阀，供水电磁阀，球阀，管道，控制柜，真空计，机架等组成，主要有功能是在负压运行期间为负压需求存储一定的负压，保证负压的及时供给，还有效的水资源为节省，并且在防滑分离器和换热器的情况下，可以直接组成水环真空泵和真空缓冲罐，也可以形成水环真空泵负压站。无论哪种水环真空负压站，都可以配备。电接点真空计和控制柜通过调节真空的上下限来控制真空泵的启动和停止。这种水环真空泵单元在医疗行业和V型铸造行业中具有共同的应用。罗茨水环真空装置：罗茨水环真空机组一般由水环真空泵，止回阀，球阀，波纹管，罗茨真空泵，供水电磁阀，控制柜，电接点真空表，管道，机架等组成，真空单元为罗茨水环，真空单元为水环泵闭式循环系统和水环真空负压站具有抽速大，真空度高的优点，罗茨水环真空单元为罗茨泵为主泵，水环泵为前级泵的串联连接。罗茨水环真空装置使用水环泵作为前级泵。它比其他真空泵更有利。当使用单个水环泵时，它克服了极限压差（与水环泵相比，单元的极限压力大大提高）。在压力下泵送速率低的缺点，同时保持罗茨泵可以快速工作，具有大泵速的优点。特别是能够适应去除大量可冷凝蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵，以消除可...

水环式真空泵气水分离器特点和工作形式

发布时间: 2019 - 07 - 12

来源: 234

从水环式真空泵排出的气和部分水，进入气水分离器后，水流向分离器的下部，气体被分离出来，并通过分离器的排气管排出。对于水环压缩机来说，分离器是必需的设备。它的主要作用是使从泵排气管排出的气与水分离，并使分离后的气体通往需要气体压力的设备中去。此外，有的气水分离器还起向泵内供应补充冷却水的作用。对于水环真空泵，可不用气水分离器，但是，若泵所使用的液环要回收作循环使用（例如为了避免浪费，有回收价值或有害，有毒的液环），或者在没有自来水的场合，即泵内补充水水断断的情况下，就必须安装气水分离器，以便向泵内供水。此外，分离器还可以消除水环式真空泵运行时产生的噪音，故又叫消音器。真空泵用设备和压缩机用设备的区别，仅仅在于气水分离器的不同: （1）前气水分离器的压力等于大气压（排气管直接通入大气），分离器的顶部是平的，这样可使得制造工艺简单，后者气水分离器内的压力等于所需的某一排气压力，分离器的顶部是球面形的，以便增加承受气体压力的强度。（2）溢水系统不同真空泵气水分离器的溢流系统是普通水管。当分离器的水位超过溢流管的水平线时，水将通过水管排出以维持装置中的水位，以及用于压缩机的气水分离器。溢流系统为浮子调节阀，内部空心浮子。当设备中的水超过浮子时，浮子向上浮动，以特殊螺钉为轴，驱动与螺栓连接的摇杆旋转，摇杆的右端连接到工作站螺钉的一端，工位螺钉的另一端嵌入套筒的槽中。当摇杆向下旋转时，套筒通过固定螺钉旋转，以在溢流开关的外圆周上旋转。溢流开关中的孔连接，使得水沿着溢流管通过孔流出管。然后水位逐渐下降，浮子也下降。摇杆被驱动向相反方向移动。套管上的孔逐渐从溢流开关上的孔移开，直到水位下降到水平位置浮子以下。浮子处于水平位置，上述两个孔完全交错隔离，分离器中的水停止溢出。从上述工作原理可以看出，即使分离器中的水位低于溢流管的水平线，气体也不能通过溢流系统（和气水的溢流管）流出分离器...

真空泵操作要点和注意事项

发布时间: 2019 - 07 - 12

来源: 126

真空泵操作要点水环真空泵运转时，要不断地充水以维持泵内液封，同时也起冷却的作用，但泵所能造成的真空度受泵体中水的温度所限制。液环真空泵可使抽出的气体不与泵壳直接接触，因此.在抽吸腐蚀性气体时只要叶轮采用耐腐蚀材料制造即可。泵内所注人的液体必须不与气休起化学反应。例如，抽吸空气时可用水，抽吸氮气时可用浓硫酸。还应注意所用液体应不含固体颗粒，否则，将使叶轮与壳体常受磨损，降低抽气能力。单级蒸汽喷射泵仅可得到90%的真空，如果要得到95%以上的真空，则可采用几个蒸汽喷射泵串联起来使用，便可得到更大的真空度。真空泵操作注意事项真空系统启动时，要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，再关闭扩散泵前后两个活塞，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，以免有机物、水汽等杂质进入机械泵，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。对玻璃真空系统的检漏，使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中，发生感应放电时所产生的不同颜色，来大致估计真空度量级，以判断系统是否漏气。实际检漏过程如下，启动机械泵数分钟后，系统的真空度可达1.333~13.33Pa。真空泵表面清洁的重要性在真空系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源，这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右，而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层的微小程度。当装配真空系统时，必须用液体对其表面进行化学清洗，并要求清洗液在蒸发干燥后，其残留物完全可忽略不计。此外，用于最后清洗的液体的蒸气压必须足够高，以便在不太长的时间内可以挥发、干燥。

真空泵在不同应用中的效果不同

发布时间: 2019 - 07 - 11

来源: 89

因为种种真空泵的功能除均能餍足对容器停止抽真空的配合点之外，尚具有差别之处。因而在选用时必需明白泵在真空体系中所承当的事情使命是非常紧张的，真空泵在种种差别事情范畴中所起的感化归结起来重要有如下几个方面。1、在体系中做主泵所谓主泵便是对真空体系被抽容器间接停止抽真空，以取得餍足工艺请求所需真空度的真空泵。 2、粗抽泵粗抽泵是指从大气压开端低落真空体系压强到达另一抽气体系能够开端事情的真空泵。3、前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高答应的前级压强以下的真空泵。4、维持泵维持真空泵是指认真空体系抽气很小时，不可以有用的应用重要前级泵。为此，在真空体系中另配一种抽气速率较小的帮助前级泵来维持主泵的正常事情或维持已抽闲的容器所需的高压的真空泵。5、粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指从大气开端，低落被抽容器的压强后事情在低真空或粗真空压强范畴内的真空泵。6、高真空泵高真空泵是指在高真空范畴事情的真空泵。7、超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范畴事情的真空泵。8、增压泵增压泵平日指事情在低真空泵和高真空泵之间，用以进步抽气体系在中心压强范畴的抽宇量或低落前级泵抽气速度请求的真空泵。

真空泵在性能、结构和工作原理怎么分类

发布时间: 2019 - 07 - 11

来源: 61

真空泵在性能、结构和工作原理怎么分类,下面小面就给大家介绍一下(1)按真空泵性能特点和用途分类低真空泵:此真空泵的极限压强高于1.33Pa的真空泵属于低真空泵。常见的有往复式真空泵、旋片式真空泵、水环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。中真空泵:极限压强在10-2~1.33pa之间的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵等。高真空泵:极限压强在10-6~10-2pa的真空泵属于高真空泵。各种扩散泵及分子泵等属于高真空泵。超高真空泵:极限压强低于10-6Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有离子泵、低温泵等。 (2)按真空泵结构特点分类机械式容积真空泵:这种泵是靠机械动作使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的。如往复式真空泵、旋转式机械泵等都属于此类泵。射流式真空泵:这种泵没有机械运动部件.主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。其他类型真空泵:这类泵多属于获得高真空、极高真空或高纯洁真空泵的泵类，如吸附泵、分子泵、离子泵、冷凝泵等。 (3)真空泵按工作原理分类这是真空泵的基本分类方式，根据工作原理的不同各种真空泵可分为往复式、旋片式、滑阀式、机械增压式、喷射泵、扩散泵、分子泵、离子泵、冷凝泵等。

水环式真空泵的工作原理及工作的三个阶段

发布时间: 2019 - 07 - 11

来源: 84

工作前泵内必须充以一定数量的工作水是水环式真空泵能够工作的必要条件。向泵充入水后，当叶轮旋转时，水被带动旋转，形成一紧贴泵壳内壁的水环，水环内表面与叶轮轮毅表面及两侧盖端面之间形成一个月牙形的工作空间。该空间被叶轮的叶片分隔成若干个互不相通的腔室。这些腔室的容积随着叶轮的回转将会周期性地变大和变小。显然，腔室容积变大时将吸入流体，腔体容积变小时将会挤压和排出流体。吸入、压缩和排出三个工作阶段便组成了水环式真空泵的一个工作循环。以输送气体为例: (1)吸入过程当叶间转过图中的右半转时，由于叶片外端与偏心的泵壳间的距离增加，叶间的液体就会被甩出，使叶间腔室的容积逐渐增大，气体便通过侧面的吸入口被吸入。 (2)压缩过程当叶间转过吸入口开始进入图示左半转时，由于泵壳与叶片外端的距离逐渐缩小，叶轮外按圆周方向高速流动的液流便会挤入叶间。这样，在叶间尚未与排出口相通时，其中的气体便受到压缩。 (3)排出过程当叶间转到与排出口相通时，叶间腔室中的压力即会在瞬间与排出压力相平衡，并在叶轮随后的转动过程中，由于叶外的液体不断挤入叶间，从而将气体排出。可见，水环式真空泵的工作原理与叶片泵有非常相似之处，即都是靠工作腔室的容积变化来产生吸排，但两者却有着重要的差别。水环式真空泵中的定子是由一个旋转水环构成的，而这个水环是由叶轮给予工作水的动能所形成的。水环中的液体在右半转中是靠叶轮带动其回转而获得了一定的能量，并被甩到叶外的流道中;而在其进入左半转后，也就只能凭借其已获得的动能挤入叶间，压缩气体。这样，叶轮外的液体流速必然会随着压力的增加而降低。当排出压力升高到一定的数值时，叶轮外液体的速度也就会降到很低，从而不能进入叶间去压缩气体。也就是说，水环式真空泵中的气体在压缩阶段压力能的增加，完全是靠工作水获自叶轮的动能转换而来的。因此，水环式真空泵的排出压...

罗茨真空泵需要注意的使用误区

发布时间: 2019 - 07 - 11

来源: 90

1、罗茨真空泵使用必须配备前级泵，罗茨真空泵不可以单独使用。2、罗茨真空泵多用在罗茨真空机组中，它的作用是提高抽速和前级泵的真空度。罗茨真空泵在与前级泵连接的中配需配备旁通阀，这样可以有效的保护罗茨真空泵，如果前级泵的抽气不稳定或者其他因素导致整个机组的工作不正常带有旁通阀的罗茨真空泵此时会起到保护罗茨真空泵的作用，从而延长整个真空机组的寿命。深圳恒才生产的罗茨真空泵都配备有旁通阀，用户可以放心使用。3、在选择罗茨真空泵的时候需要注意的是罗茨真空泵的易损件密封方式是哪一种，深圳恒才生产的罗茨真空泵采用的都是机械密封的方式，这样可以有效的提高罗茨真空泵的工作效率，如果罗茨真空泵的密封方式选择轴套密封的话工作效率则会大大降低，在选择罗茨真空泵的时候需要特别注意。4、罗茨真空泵在使用过程中如果导致真空度降低，此时需要检查不可缺少的一点是罗茨真空泵转子之间的间隙是否有所变化，如果罗茨真空泵的转子间隙变大，则需要更换罗茨真空泵，因为此类罗茨真空泵在生产加工过程中没有对罗茨真空泵转子做静动平衡，或者是采用轴套密封的。

半导体工艺中干式真空泵的种类

发布时间: 2019 - 07 - 11

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油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类，最主要的特点是真空度高，能满足新型行业的特殊工艺要求，其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移，社会的进步，它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意，比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等，因此，干式真空泵应运而生。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式，爪式，组合式（罗茨＋爪），螺杆式。当今，这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中，圆裂片式，爪式和组合式（罗茨＋爪）被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.

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