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2026 - 04 - 03
在半导体封装吸附工艺中,水环式真空泵的选型需重点关注以下核心参数及要点:一、核心选型参数极限真空度需求:晶圆吸附通常需要较高的真空度(如-90kPa至-95kPa,约10050mbar绝压)。选型原则:选择极限真空度高于工艺要求半个到一个数量级的泵型。例如,若工艺要求100mbar绝压,泵的极限真空度应至少达到50mbar以下。典型值:水环式真空泵极限真空度通常在0.0930.098MPa(约9398mbar绝压),需根据工艺需求选择匹配型号。抽速(流量)根据真空室容积(V)和达到目标真空度所需时间(t),通过公式计算所需抽速:需求:抽速需满足快速建立真空环境的要求,通常要求≥50m³/h/工位。选型原则:S=tV×ln(P2P1) 其中,$S$为抽速(L/s),$P_1$为初始压强(Pa),$P_2$为目标压强(Pa)。 - 在计算结果基础上增加20%\30%安全余量,确保泵在负载下仍能满足需求。典型值:水环式真空泵抽速范围广泛,如SK系列覆盖1.5120m³/min,II FSK系列覆盖1.620.4m³/min,需根据工艺规模选择。材质与防护普通工况:选用铸铁材质泵体。腐蚀性工况:选用316L不锈钢或工程塑料泵体(如II FSK系列耐腐蚀型号)。防爆需求:选用防爆系列(如2BV2Ex系列)。需求:半导体制造对洁净度要求极高,泵体...
2026 - 05 - 08
在PCB制造工艺中,压合环节对真空环境的要求极为严苛。传统分散式真空泵系统因能耗高、污染重、效率低等问题,逐渐被集中式中央真空泵系统取代。深圳恒才推出的压合工艺中央真空泵系统,凭借六大核心优势,成为PCB企业提升生产效能、降低运营成本的首选方案。一、集中抽真空:省电30%以上的能源革命分散式真空泵需为每台压机独立配置,设备数量多、功率冗余大,导致能耗居高不下。深圳恒才中央真空泵系统通过“一拖多”设计,将多台压机的真空需求集中处理,利用智能分配技术动态调节抽气量,避免能源浪费。以某大型PCB企业为例,改造后年耗电量降低32%,单线年节省电费超20万元。此外,系统采用高效电机与变频控制技术,进一步优化能耗曲线,实现绿色生产与经济效益的双重提升。二、无油烟污染:环保合规的清洁生产方案传统真空泵因润滑油挥发或泄漏,易产生油烟污染,危害员工健康且违反环保法规。深圳恒才系统采用全封闭油路设计与无油干式泵体,彻底杜绝油烟排放。其专利级过滤装置可拦截99.9%的油雾颗粒,确保排气符合国家清洁生产标准。某企业应用后,车间空气质量显著改善,员工呼吸道疾病发病率下降65%,同时避免因环保不达标导致的停产风险。三、抽速效率高:压合良率提升的关键保障PCB压合工艺对真空度响应速度要求极高。深圳恒才系统通过优化流道设计与大功率泵体组合,实现抽速较传统系统提升40%。以高频高速板压合为例,系统可在8秒内将真空度...
2018 - 08 - 23
深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。  半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:    1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;  2、有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物...
2019 - 10 - 23
关于维护水环真空泵滤芯,您可能不知道!  水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障,滤芯使用一段时间后,可以及时更换,不仅达到良好的过滤效果,也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。  通常,在打开水环真空泵之前,请检查零件是否完整和有故障,以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯,在检查完所有零件而没有任何问题之后,您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常,则可以,但是如果电流减小,则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞,这会影响电流的运行。  水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多,建议更换滤芯,以确保水环真空泵设备的正常运行。  教您4招,解决水环真空泵出水少  1,水环型真空泵-使用过高的扬程  所使用的水环真空泵使用不当,扬程太高或使用中的阀未正确调节,导致扬程的使用太高。  根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。  2,水环真空泵-过滤器堵塞  水环真空泵的过滤器堵塞,导致水环泵水畅通无阻,出水量减少。  处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部,以及潜水泵周围的水和碎屑。  3、水环真空泵-旋转方向相反  水环真空泵向相反方向旋转,出水量很小。  处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。  4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损  处置方法:卸下水环真空泵,修理或更换叶轮和泵盖。  您知道水环真空泵对环境有何要求吗...
2019 - 10 - 29
水环式真空泵是催化剂生产中广泛使用的一种气体输送设备,一般与带滤机(胶带机)配套使用,利用自身形成的负压条件,抽取不凝结、不溶于水、不含有颗粒的气体,达到真空过滤的目的。  1.设备基础知识  1.1工作原理  水环式真空泵属于变容式真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内,当叶轮旋转时,注入泵体内液体形成旋转的液环,液环内表面与叶轮轮毂形成一个月牙形空间,相邻叶片间泵腔容积周期性的增大和减小,实现吸气、压缩和排气的目的。  1.2设备结构  磁力泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、分配板、轴封、供水管路、自动排水阀等组成。  1.3主要性能指标  主要参数包括:工作液流量、排气量、最大真空度、转速、功率。  1.4设备用途  带滤机抽真空。  2.水环式真空泵开停机步骤  2.1开机前的检查与准备  (1)准备必要的开车工具:阀门钩、扳手等。  (2)检查泵的各连接部分的螺丝是否紧固,电机接地线是否良好,阀门是否灵活好用。  (3)通过供水管路向真空泵内供水冲洗,用手盘动转子,然后通过放水管路把污水排尽。  (4)点试电机的转向,确保转向正确。  2.2开机步骤  (1)打开进气阀。  (2)当自动排水阀没有水流出时,起动电机,泵运转。同时打开工作水供给阀,使真空压力表指针接近0MPa(表压)。随着泵的吸入绝对压力的下降,指针向负值偏移(读数在0~-0.003MPa之间)。  (3)如果是轴封...
2020 - 05 - 06
螺杆真空泵是一种真空泵设备,也是一种用来抽取水的泵。在整个抽取过程中,它产生了一定的流量。从总数流量来看,它可以反映泵的实际应用状态。在使用前,必须进行适当的调整,以确保泵的高效率。如何调节它的水量流量?  一、螺杆真空泵供水调节方式:  当螺杆真空泵正常运行时,适当打开电源阀门,检查通道负压表的工作压力。逐渐降低电源阀油管的压力。当负压表的表针开始上升和下降时,水流量不足。再次逐渐打开电源闸阀。当负压表的表针再次稳定时,此时水流量正常。  二、螺杆真空泵供水调节常见问题:  当没有足够的水专利复审3)时,螺杆真空泵的抽真空能力将降低。如果水太多流量,将导致浪费和浪费水源,并将继续扩大泵的励磁电流。因此,当使用机械泵时,首先检查负压表是否正常工作。  因此,必须对螺杆真空泵的水流量进行有效调节。由于水流量与泵机械设备的抽真空能力和泵内的工作压力有关,如果水流量不够或太大,肯定会导致危险。因此,必须有效调节泵水流量。  进口真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。联系电话18820944856
2020 - 07 - 09
真空泵的使用通常与水有关,但它仍然需要水来支持它的工作。很多时候我们是以加水的方式来做的。关于给真空泵加水的说法是什么?  真空泵运行时,需要用液体作为工作液体,基本上是选择水作为工作液体。当叶轮顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力,水形成由泵腔形状决定的大致相等的厚度封闭圆环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切。水环的上内表面正好与刀片的尖端相接触(事实上,刀片具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环,之间形成一个新月形空间,该空间被叶轮分成几个具有相同叶片数的小腔。如果以叶轮下部为0为起点,当叶轮旋转180前,小腔的体积由小到大,并与端面上的吸入口连通,则气体被吸入,当吸入结束时,小腔与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,气体被压缩;当小腔与排气口连通时,气体从泵中排出。  当水量减少时,其工作效率将降低,这将增加能耗和运行成本。工作流体的作用不仅是抽取气体,而且是降低泵体的温度。工作流体比正常水平低得多,这将增加泵体的热值,降低泵的耐用性并增加维护成本。因此,水环真空泵运行时必须保持工作流体的正常液位,这有利于泵的正常运行、维护和降低成本。  工作流体可视为其工作动力。如果停电了,真空泵能做些什么来努力战斗呢?因此,我们平时不应该吝啬,时不时地给他们一些水,这样他们就能以好工作的形式回报我们。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 05 - 09
来源: 1296
PCB行业正经历从规模扩张向技术驱动的转型,压合工艺作为核心环节,其真空泵系统的效率直接决定产品竞争力。深圳恒才压合工艺中央真空泵系统,通过集中式架构与六大技术创新,为行业提供了一条降本增效的清晰路径。一、集中式架构:破解分散式系统的能耗困局传统分散式真空泵需为每台压机独立配置,设备数量多导致初始投资高,且各泵体独立运行难以协调,存在“大马拉小车”的能耗浪费。深圳恒才系统采用“中央主机+分布式管道...
发布时间: 2019 - 07 - 24
来源: 112
水环式真空泵是一种普通的泵,在我们的生产和生活中发挥着重要作用。它具有操作方便,效率高,运行成本低的优点,使该装置得到广泛应用。使用,想知道可以一起看看吧!        1.在电力工业中的应用:冷凝器真空吸尘,真空吸水,烟气脱硫,真空排气和地热气体排放。        2.石油化工行业的应用:气体回收,气体回收,气体增压,强化石油回收,气体收集,原油稳定,易燃易爆气体压缩,真空蒸馏顶置真空系统,真空结晶和干燥,真空过滤,真空交付各种材料。        3.在制造业中的应用:干燥,反应器干燥,蒸馏,脱气,结晶,材料转移。        4.在纸浆和纸张生产中的应用:黑液蒸发,粗浆洗涤器,石灰泥和过滤器,沉淀过滤器,真空脱水机,原料和白水脱气系统,浆料罐压缩机,吸水箱,辊辊,吸辊和转印辊,真空压力机,毛毡吸水箱,防喷箱。        5.在塑料工业中的应用:挤出机脱气,定型台(型材),EPS发泡,干燥,气动输送装置,氯乙烯气体提取和压缩。        6,应用装置:蒸汽灭菌,呼吸器,气体,防护服,牙科器械,中央真空系统。        7.在环保行业的应用:废水处理,沼气压缩,真空加水,废水净化/活性污泥罐氧化,鱼塘通风,沼气回收,废物处理机。        8.在食品和饮料行业的应用:鱿鱼清洗机,矿泉水脱气,色拉油和脂肪除臭,茶和调味品杀菌,香肠火腿生产,烟草产品加湿,真空蒸发器。        以上仅是小编总结的...
发布时间: 2019 - 07 - 24
来源: 120
水环式真空泵用于工业生产中,用于真空饮用,进料,蒸发,浓缩,回收,过滤和其他过程。水环式真空泵应在广泛使用时用于维护真空泵。简而言之,良好的维护与真空泵的使用寿命有关,确保真空泵的正常运行。接下来,我们将向您介绍恒才机电真空泵维修专业人员介绍的水环式真空泵的一些常用维护方法。1.为了避免叶轮,泵体或主叶轮的磨损,含有气体和工作流体的灰尘颗粒可以通过泵下部的冲洗口冲出泵室。2.如果使用硬水工作液,必须首先软化硬水或使用溶液清洗泵一段时间。3.电机正常工作温度为15C~20C,高于环境温度不超过55C~60C,正常工作轴承应每年加油1次或2次,至少每年一次,并更换润滑剂。4.当机械密封泄漏时,检查机械密封的移动,静环是否损坏或密封是否老化。如果发生这种情况,您将需要更换新部件。这是水环式真空泵的常用维护方法。在日常维护中,只要精心制定和实施相应的计划,基本上保证了真空泵的正常运行。如遇特殊情况,请立即停车,仔细检查,或请专业人员进行维护。
发布时间: 2019 - 07 - 23
来源: 147
01水环式真空泵分类根据结构,分为单级单作用水环泵,单级双作用水环式真空泵,双吸环泵和大气水环式真空泵。单级单作用水环泵:单级意味着只有一个叶轮。单动是指每次叶轮旋转时,吸气和排气都进行一次。该泵的极限真空度更高,但泵送速度和效率更高。单级双作用水环泵:单级意味着只有一个叶轮,双作用意味着每次叶轮旋转时,吸气和排气都进行两次。在相同的速度条件下,双作用水环泵的尺寸和重量比单作用水泵小得多。由于工作室对称地分布在泵壳的两侧,因此改善了作用在转子上的载荷。这种泵具有更高的抽速和更高的效率,但极限真空度更低。双吸环泵:大多数是串联连接的单作用泵。实质上,两个单级单作用水环泵的叶轮共用一个心轴。它的主要特点是它具有高真空。 ,抽速仍然很大,工作状态稳定。大气水环泵:它实际上是大气喷射器系列水环泵的单元。水环泵前面的空气泵用于增加极限真空并扩大泵的适用范围。根据吸入和排出的方法,它分为轴向吸入和径向吸入和排出。轴向吸入和排出:气体的吸入和排出通过壳体侧盖上的吸入口和排出口进行,结构简单,维护方便,缺点是气体流入气体进入和排出叶轮的方向。叶轮叶片在彼此垂直的方向上移动,气体不能在叶片的整个宽度上均匀地进出叶轮,这增加了气体进出叶轮时的水力损失,降低了泵的效率。 。径向吸入和排出:气体通过位于叶轮内圆周(对应于轮辋)的气体分配器上的吸入口和排出口进入和离开叶轮。优点是气体可以在叶片中。叶轮进出全宽,吸气口和排气口的形状可用于使气体以与叶轮运动方向基本相同的方向进出叶轮,从而减少液压损失并提高泵的效率。缺点是气体分配器结构复杂,加工和安装精度高。02水环式真空泵工作原理水环式真空泵的工作原理。泵体内充满适量的水作为工作液。当叶轮顺时针旋转时,水被叶轮抛出。由于离心力,水根据泵室的形状形成大致相等厚度的闭合环。水环上部的内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的下部内表面刚刚与叶片的尖端接触(实际上叶...
发布时间: 2019 - 07 - 23
来源: 146
抽真空速度是决定真空等离子清洗机工作效率的重要因素之一。吸尘速度主要由真空泵决定。当要加工的产品的尺寸很大时,必须使用具有大腔(80L以上)的真空等离子清洁器。如果仅使用一个真空泵,则抽真空速度将变慢,并且抽真空所需的时间将很长。 因此,大腔真空等离子体清洁器通常配备有真空泵组以提高抽真空速度。今天我们将介绍等离子清洁器中使用的真空泵组的类型以及选择真空泵组时的注意事项。真空泵组合两个或多个真空泵组成一系列结构,可大大加快真空泵送速度。在真空等离子体清洁器中通常使用三种类型的真空泵组,一种是旋转叶片真空泵和罗茨泵;另一种是干式真空泵+罗茨泵;最后一个是机械泵和分子泵。 1.旋片式真空泵+罗茨泵旋片式真空泵和由罗茨泵组成的泵组也可称为油泵组。该泵组是我们真空等离子清洗机中最常见的泵组。它由旋片式真空泵驱动。泵,加上罗茨泵作为二级泵的组合。这种类型的泵组通常用于真空等离子清洁器,其中清洁度要求不是很高并且腔体很大。旋片式真空泵和罗茨泵是真空等离子清洗机中最常见的泵组。有许多优点:首先,它可以大大提高抽速和减少抽真空时间。二,结构相对简单,易于维护;第三,具有成本效益,具有价格优势。2.干式螺杆真空泵+罗茨泵干式螺杆真空泵和罗茨泵组合成干式泵组。泵组使用干式螺杆真空泵作为底部泵,使用罗茨泵作为辅助泵。因为它们都是由干式真空泵组成,所以没有油污染,清洁度高于油泵组。干泵组通常用于具有高清洁度要求的行业,例如生物医学,半导体和航空航天。干泵组具有优越的性能,具有许多优点:一是清洁度高,避免油污;二,高真空速度,提高工作效率;三,工作性能稳定,声音低。第四,对工作环境的要求低,可以应对各种恶劣的工作环境。3.机械泵+分子泵机械泵加上分子泵形成一个特殊的泵组 - 分子泵组。分子泵组的使用可以形成清洁的超高真空环境,因此分子泵组通常用于需要高真空环境的涂布机和蚀刻机等设备中。分子...
发布时间: 2019 - 07 - 23
来源: 130
真空泵机组已广泛应用于许多领域:1.半导体工业:薄膜制造设备,半导体器件封装设备; 2.科学仪器行业:同步辐射束线机,电子显微镜,真空泵单元极光测试设备,分析测试设备; 3.机械设备行业:材料制备设备,真空检测设备,真空过滤设备,物料净化设备,超高真空排气设备; 4.医疗器械行业:牙科设备,透析机;5.生物制品业:材料净化和药物制备;6.包装行业:食品,医药,生物制品等包装设备; 7.真空冶金行业:真空炉,纳米材料制备设备,真空检测设备等领域。真空泵是获得无油真空系统作为分子泵和小型低温泵的前级泵的最佳配置。其主要运动部件只有一个动涡旋,因此动力传递简单,在相同尺寸下运动半径小,零件小,结构简单紧凑,整机尺寸小,介于两者之间移动和静止涡旋,移动板和泵腔室之间的间隙很小,泵中的运动部件与泵腔没有摩擦,因此几乎没有磨损,运行稳定,功耗低,气流小损耗小,工作可靠性高,使用寿命长,易于维护,维护成本低,容积效率高。高。风冷,无需水冷。真空泵在很宽的压力范围内具有高压缩比和稳定的抽速。由于压缩室的容积变化是连续的,因此驱动转矩变化小,功率变化小,振动噪声低。不提供干式真空泵的类型。为了达到涡旋泵有效运行的目的,滚动管必须在每个真空室中牢固地啮合,以避免由于真空室之间的大的压力差,热变形和部件而导致的涡旋壁力的恶化。排气室。高压气体保留和降低真空泵效率。因此,必须确保涡旋轮廓之间的精确容纳和啮合,以控制工作介质的泄漏,并实现泵送的目的。这是真空泵结构设计的重要基础。在泵送气流路径中,不需要使用任何油和密封液体作为介质,并且可移动和静止涡旋件相对旋转以形成吸入腔室和压缩腔室以被泵送气体排出,并且吸入,压缩和排气过程不断完成。 因此,如何防止泄漏解决密封问题尤为重要。真空泵的密封件主要包括轴向啮合间隙的径向密封和径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。
发布时间: 2019 - 07 - 23
来源: 99
介绍循环水真空泵的两个用法一、抽真空的用法:       循环水真空泵用于真空干燥箱、旋转蒸发器、双层玻璃反应釜等仪器设备抽真空,降低实验设备内气压,使受试样品能在较低温度条件下迅速蒸发,比如在真空干燥箱上使用,可以让物料在高真空度的状态下使用较低的温度快速干燥,既不破坏试样的有效成份,又不造成二次污染。       循环水真空泵又名循环水多用真空泵,顾名思义,除了抽真空以外还应有循环的用途,但是,很多单位在使用循环水真空泵时并没有用到抽真空以外的用途,比如在作旋转蒸发实验时,大家常使用的方法是把真空泵的抽气嘴直接连通到冷凝器的抽真空气嘴上抽气,如果觉得抽气速度慢会把两抽头并联起来再接到旋蒸上,这样是增加了抽气速度,但是,真空泵水箱里的水会因为抽入了大量蒸汽而变热,当温度升高到超过40℃,抽气效率就会降低,我们看一下水箱背面,可能会注意到水箱上面有两个水嘴,这两个水嘴就是为了解决水箱里的水温过高设计的,把水箱的上水嘴接个水管放到水池中,把下水嘴用水管连接到自来水上,打开水龙头,调节至合适的流量,这样既可以防止水温过高真空度降低,又可以减少腐蚀性气体对循环水真空泵的辐射。二、多用途的使用方法:       除了抽真空和水循环以外,循环水真空泵还有个用途,就是为冷凝器提供冷却水。具体操作方法是:将旋转蒸发器或双层玻璃反应釜的冷凝器进水口用胶管连接到真空泵背面的出水口上,再将冷凝器的出水口用胶管连接到进水口上,检查胶管连接牢固后,开启循环水真空泵电源开关,再旋转真空泵背面的旋钮开关,开到合适的位置来调节流量,这样就实现的一机多用的目的。
发布时间: 2019 - 07 - 23
来源: 124
液环真空泵结构及工作原理液环真空泵是一种使用液体作为工作介质的粗泵。水环真空泵用作工作介质,也可以使用其他工作油,如油,硫酸和乙酸。主要使用工业水环真空泵。液环真空泵有单级,双级,单作用和双作用应用。单级和两级真空泵是指叶轮的级数;单/双动作是指叶轮/壳体的形式,单作用叶轮真空泵叶轮旋转一次,气体经过一次抽吸/排出;双作用真空泵使其叶轮旋转一周。吸入和排出两种气体。使用真空泵时,需要注意以下事项:1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要1×10-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空度至少为5×10-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。3.在工作压力下,真空泵应能清除真空设备过程中产生的所有气体。4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。5.真空设备对油污的要求。如果设备严格要求无油,则应选择各种无油泵,如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。如果要求不严格,你可以...
发布时间: 2019 - 07 - 22
来源: 240
与其他类型的机械真空泵相比,水环式真空泵具有以下优点:(1)结构简单,制造精度不高,易加工。易于操作,易于维护。(2)结构紧凑,泵通常直接连接到电动机,转数高。结构尺寸越小,可以获得更大的位移。(3)水环泵腔内没有金属摩擦面,无需润滑泵。旋转构件和固定构件之间的密封可以通过水密封直接进行。(4)水环泵室内压缩气体的温度变化很小,可以认为是等温压缩,因此可以去除易燃易爆气体。(5)由于没有排气阀和摩擦表面,可以去除含尘气体,可冷凝气体和气水混合物。     水环式真空泵的缺点(1)效率低,通常为约30%,优选为50%。(2)真空度低。这不仅是因为结构限制,更重要的是因为工作流体的蒸汽压力。通常,水环式真空泵具有广泛的优点,例如等温压缩和作为密封液的水,其可以去除易燃,易爆和腐蚀性气体,并且还可以去除含有灰尘和水分的气体。应用。
发布时间: 2019 - 07 - 22
来源: 105
罗茨真空泵的工作原理性能特点罗茨泵与凸轮泵基本相同,但转子属于罗茨式。它可以输送数万厘泊粘度的液体。罗茨真空泵主要由泵体内两个相反旋转的转子组成,由一对同步齿轮驱动。罗茨真空泵的转子与泵体啮合,具有间隙。间隙的大小主要取决于液体的粘度。必须将其调整到超过一定的粘度范围以增加间隙。1,罗茨真空泵经常检查油位的位置,必须满足必须调整的要求,以达到罗茨真空泵的操作要求,根据油位标准。2,罗茨真空泵换油期根据实际使用情况,可以满足用户的性能要求等考虑,一般新罗茨泵,抽清洁气体,建议换油后约100小时工作看不到黑金属粉末,截止日期后油可能会延长。3,罗茨真空泵经常检查油品的质量,应及时发现油品变质,更换新油,确保罗茨真空泵正常工作。4,罗茨真空泵一般情况下,罗茨泵应在2000小时工作后检查,检查密封的年龄,检查排气阀是否开裂,清洁阀板和排气阀座清洁整个罗茨部件泵室,如转子,旋片,弹簧等。它通常用汽油洗涤和干燥。用干布擦拭橡胶干燥。清洁和组装时应小心。5,罗茨轴承润滑剂到轴承体,观察油位应在油中心线,应及时更换或添加润滑剂。6,罗茨真空泵检查罗茨真空泵管和接头是否松动。手动旋转罗茨真空泵,看看罗茨真空泵是否灵活。7,罗茨真空泵试运行后应重新组装,一般应空清2小时换油两次,因为清洗罗茨真空泵会留下一定量的挥发物,以便功能正常,然后投入正常运作。8.罗茨真空泵启动电机。当罗茨真空泵正常运行时,打开出口压力表并输入罗茨真空泵。如果显示相应的压力,请逐渐打开闸阀并检查电机负载。9.罗茨真空泵试图控制罗茨真空泵的流量和标记上标明的范围的升力,以确保罗茨真空泵在最高效率点运行,以实现最大程度的节能。
发布时间: 2019 - 07 - 22
来源: 81
罗茨真空泵是一种双转子容积式真空泵。泵室内有两个对称的转子,转子有两叶,三叶和四叶形状。两个转子沿彼此相反的方向旋转,并被轴端齿轮同步驱动。转子彼此不接触,并且转子和泵室壁也不接触,并且它们之间通常存在0.15至1.0mm的间隙,并且泵室由间隙密封。由于罗茨真空泵的泵腔内没有摩擦,转子可以高速运转,一般为1500~3000r / min,不需要使用润滑油,可以实现无油清洗过程。泵的润滑仅限于轴承和齿轮,以及动态密封。泵没有往复运动部件,因此可以实现良好的动态平衡。因此,罗茨真空泵运行平稳,转速高,尺寸小,以获得大的抽速。目前,国内外大多数罗茨真空泵都是水平结构。泵的进气口位于顶部,排气口位于底部。该水平结构具有低重心和高速操作时的良好稳定性。罗茨真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮相对同步旋转。泵主要是直接耦合的,而大型泵是皮带驱动的。电机和传动齿轮设置在转子轴的两侧,便于安装和拆卸。传动轴传递大扭矩,轴具有足够的强度和刚度,轴和转子牢固地固定。罗茨真空泵的密封至关重要。驱动轴的外轴,两个转子的轴承和泵室设有动态密封,泵室和每个端盖设有静密封。为了避免罗茨真空泵的误操作,通常提供旁路安全阀。根据罗茨真空泵的特殊需要,油压齿轮箱,轴承和其他部件与泵腔分离。罗茨真空泵压缩过程中产生的热量传递给转子和泵体。转子难以将热量传递到泵的外部,并且泵体的热量容易损失到周围的大气中。因此,在转子和泵体之间产生温差。转子的热膨胀加剧。当泵负载增加时,转子膨胀,间隙消失并卡住。因此,出现了一种风冷罗茨真空泵,它使用冷却的气体或气氛直接冷却热转子,从而减小转子和泵壳之间的温差,并改善罗茨真空泵的耐热性。这种风冷罗茨真空泵可用于高压差和高压缩比。该泵结构简单,冷却器与泵出口连接,便于维护和更换。由于均匀的散热,转子与泵体之间的间隙可以保持很小,这有利于提高泵的容积效率。
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