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2020 - 11 - 23
罗茨真空泵的优点  1、罗茨真空泵运行稳定,噪音低,振动小,极限真空高。泵的传动部件采用坚固的防反冲结构,因此泵可以在高压汽车下长时间运行。即可在短时间内达到最佳真空度。因此,在泵腔中没有滑动部件,不需要油润滑,并且防止了油蒸汽对系统的污染。  2、启动快,功耗低,运行和维护成本低,抽气速度高,效率高,对抽气中所含的少量水蒸气和灰尘不敏感,在100至1Pa的压力范围内抽气压力率大。  3、罗茨真空泵运行平稳,具有抽速大的优点。  罗茨真空泵停机注意事项  1、关闭前级油封机械泵气镇阀(如前级油封机械泵气镇阀在运转中开着气镇)  2、关闭罗茨真空泵进气阀;  3、先停罗茨真空泵,再停前级真空泵,严禁搞错停机程序;  4、在停前级泵的同时,立即前级泵的进气口放大气;  5、关闭冷却水进水阀;  6、如需长时间停止使用,或在冬季为防止冻裂,开启放水阀将固定端冷却水套内的剩水放尽;  导致罗茨真空泵出现噪音的原因  一、电机噪声  风机噪声普遍都比较大,据分析应该是塑料风机变形所致;二是使用了质量不好的轴承所引起的轴承噪声。  二、罗茨真空泵内部零件噪声  1、转子碰撞  转子与转子、转子与泵体和转子与侧盖的碰撞噪声。产生的主要原因是:轴的刚度不足,转子和齿轮在轴上定位的径向移位,齿轮间隙过大或过小,轴承的轴向游隙过大等。  2、罗茨真空泵的齿轮  影响齿轮噪声的因素除齿轮本身的加工精度外...
2020 - 12 - 03
油库等场所在汽油运输装卸等过程中,存在大量的挥发,造成损耗浪费以及对环境的污染。因此在这些场合往往都会配备油气回收真空泵,进行油气回收作业。螺杆真空泵厂家就来谈谈油气回收真空泵的一些选型。  油气回收真空泵应用  目前的油气回收工艺主要有吸附法、吸收法、冷凝法以及膜分离法等,而吸附法因为经济合理,是当前采用最为普遍的回收方法。螺杆真空泵厂家在《油气回收真空泵在油气回收工艺中是如何发挥作用的》中,介绍了吸附法油气回收的大致情况。  吸附法油气回收主要经历“吸附——真空解吸——汽油回收”这样一个大致过程,油气回收真空泵在其中的主要作用就是解吸。早期的油气回收真空泵一般采用水环真空泵,具有结构紧凑、等温压缩、操作简单等特点。在各种螺杆真空泵不断出现后,水环真空泵的劣势就显得比较明显了:效率低,一般在30%左右,好的可以达到50%;真空性能不稳定,易受工作液温度影响;回收油气可能与工作液混合,分离困难,且产生污水不能直排。尤其是在夏季这种高温季节,一方面水环真空泵的抽吸能力受工作液温度升高的影响较大,另一方面油气挥发也较为厉害,真空泵负担加重。两方面因素重叠,导致水环真空泵在油气回收中无法实现有效脱附。  在螺杆真空泵出现后,有效改善了水环真空泵作为油气回收真空泵的一些缺陷,优势明显:真空度高,真空性能稳定,不易受外界温度影响,如螺杆螺杆真空泵可以达到1Pa左右的极限真空,有稳定的宽范围的...
2020 - 12 - 15
真空泵有那几种类型  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。  气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵(往复真空泵,旋转真空泵);动量传输泵(分子真空泵,喷射真空泵,扩散泵,扩散喷射泵,离子传输泵)。  气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。  常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称  W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)  D 定片真空泵 S 升华泵  X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵  H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵  ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵  YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵  L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵  XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵  F 分子泵 PS 水喷射泵  K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵  真空泵适用于哪些场所?  真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工...
2020 - 12 - 25
在清洁水环真空泵之前,请采取适当的保护措施,例如戴上防毒面具,然后遵循正确的清洁方法。由于水环真空泵已经在恶劣的环境中长期运行,因此可能会暴露于某些化学药品需要其他特殊的清洁方法:  (1)电化学清洗:将要清洗的金属零件放在一定的溶液中,然后将零件连接至电源的正极或负极,然后将由某种材料制成的极板连接至电源的另一极。电源调整电源电压可以达到一定的电流密度,以达到脱脂和去除金属表面氧化层的目的。  (2)酸和碱蚀刻处理:在脱脂之后,进行蚀刻处理以去除金属表面上的氧化物。经过热处理后,油渍不再存在,可以直接进行蚀刻处理以去除退火后的氧化。地板。蚀刻处理通常在酸性溶液中进行。大多数金属氧化物和金属本身可以与适当浓度的酸溶液发生化学反应。氧化物与酸反应形成盐和水,金属与酸反应形成盐和氢。一旦一些氢被金属表面吸收,一些金属就会变脆。为了避免金属脆性和过度腐蚀,可以将腐蚀抑制剂添加到蚀刻溶液中,并且可以适当地控制蚀刻溶液的浓度和温度。  (3)超声波清洗:超声波清洗的原理是利用由其引起的介质的“真空现象”,即超声波振动使清洗介质的密度发生变化,从而达到清洗目的。振动使介质变薄,有时会闭合。稀缺时,会形成瞬时空间。当关闭时,瞬时冲击力可以达到各种大气压。这种强烈的冲击会破坏物体表面上的油膜,并使其与污染物一起从物体表面分离。陷入困境。  简而言之,在水环式真空泵长期工作之后,需要定期清洁真空泵,...
2021 - 01 - 07
水环真空泵工作液只能使用一次吗?很有可能有刚接触此设备的顾客会问,当然不是;那么工作液是不是可以重复使用?当然可以,只是需要注意下列事项。  1、水环真空泵工作液再循环应用时,要保证工作液中没有杂质污染,循环应用要配备储水箱和制冷一般工作水温度应控制在15-25℃,温度过高会影响水环真空泵特性,例如真空值和抽速等。  2、通常是加工设备冷却,更关键的是现场工艺了,溫度层面的管控,大部分产业链实际上都会将循环水不断应用,节约资源。循环管道要保证装好,一般状况下,水环真空泵工作液首先推荐工业软水。  3、泵在工作情况下对水的温度和水的质量是有一定规定的,关键是为了防止浸蚀內部叶轮等配件,使用循环应用水这样才能节约能源。  4、尽可能采用工业软水,以防导致设备的损坏,做到应用水的重复使用,达到环境保护,节约能源的目的。
2021 - 01 - 20
真空泵在使用中如果发生漏气问题,会大大降低工作效率,同时如果不及时找出原因并解决,可能还会给设备带来更多损伤,下面我们介绍一下真空泵漏气的原因。  前后侧盖不同心,即前后侧盖有着较大的不同轴度,后侧与轴承歪斜的相同。轴承歪斜这种现象使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言,其轴向间隙不均匀,叶轮旋转时,会有一部分与侧盖摩擦,擦伤侧盖和叶轮端面,使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时,大量地泄漏到吸入腔里去,使真空度或排气压力降低。这时须将真空泵的轴承拆下来进行修理,然后再进行正确地安装。液环温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对排气压力是没有什么影响的。  真空泵液环发热的原因比较多,有可能是输进液环的温度本来就高,也有可能是供给水或供给液水母不足,以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高,还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升,以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。拧紧真空泵的所有联接螺栓,拧紧填料压盖,紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处,还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。如果您在使用中发现真空泵有漏气的问题,那不妨先按照以上几个方法来进行排查,及时处理。
2021 - 03 - 03
一、水环真空泵的结构和原理  将一定量的水注入水环真空泵的圆柱泵的气缸中。星形叶轮偏心安装在泵缸中。当叶轮旋转时,水通过离心力释放,形成相对于叶轮偏心的封闭水。吸入水环真空泵中的气体沿着吸入管和吸入口垫圈进入水环和叶轮之间的空间。右侧的月牙形部分,由于叶轮旋转,该空间的体积逐渐变小,从而产生真空抽吸气体。随着水环真空泵叶轮的旋转,气体进入左侧的月牙形部分。由于叶轮偏心旋转,该间隙逐渐缩小,气体逐渐压缩并增加。气体和水通过垫圈通过排气孔并沿着排气管进入水箱,然后自动分离,然后从排气管中释放出来。来自水环真空泵的废水和空气一起排放到水箱中。  二、水环真空泵的故障分析和应对  1 、真空泵度不够  可能原因:  电动机电源不足会导致速度不足;  供水不足,叶轮和分配板之间的间隙太大;  机械密封件损坏,导致漏水和漏气;  叶轮过度磨损;  循环水无法排出。  排除方法:  检查电源电压是否在电动机的额定电压范围内;  增加供水量(必须将其控制在正确的范围内,否则会导致电动机过载和发热);  调整小叶轮和分配板之间的间隙(通常为0.15-0.20mm);  更换机械密封;  更换叶轮;  检查出水管道。  2 、启动不了或者启动了噪音大  可能原因:  电机电源电压不足;  电机缺相运行;  长时间不使用泵会导致氧化;  抽吸泵中的残留物;  叶轮驱动配电盘。  排除方法:  检查电源电...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 06 - 26
来源: 4814
结论先行:做,而且现在就该做。 分散式旋片泵在高温、高真空、零油污染这三个硬指标面前已经全面溃败,集中方案不是升级,是刚需。一、核心技术架构(最主流方案)罗茨泵(粗抽)+ 水环泵(精抽)双级串联 + 变频集中控制 + SCADA远程监控组件选型作用罗茨真空泵抽速 3000m³/h 级别26分钟把系统从大气压拉到 1000Pa 以下水环真空泵SPECK V155/V255 等接力精抽,真空...
发布时间: 2019 - 08 - 09
来源: 111
旋片式真空泵的使用是一种混凝土的机械脱水方法。旋片式真空泵在混凝土施工中的应用,可有效防止表面收缩,提高抗冻性,降低水灰比,缩短压扁,抹灰,拉拔。模具加工的间隙时间加快了模板周转,提高了施工效率,降低了劳动强度,为混凝土机械施工创造了条件。道路工程沥青混凝土,水泥混凝土和其他类型的路面工程是通过设计长度乘以设计宽度(包括转弯面积)计算的,不扣除各类井所占的面积。在这个阶段,高层商品混凝土泵送广泛用于土木建筑。泵送的商品混凝土具有大的坍落度和许多水泥浆。施工期间经常发生裂缝。土建工程非常紧张,质量要求很高。建议采用旋片式真空泵吸水技术,可取得良好效果。用于真空吸水的真空叶片真空泵成型的原理是什么?真空吸水和吸水过程使用流动性较高的商品混凝土,倒入模具,然后用旋片式真空泵吸水。借助于大气压力和真空室之间的压力差,排出商业混凝土混合物中的过量水分。加油站。当进行真空处理时,在商品混凝土表面上的真空室中形成真空,真空度以pa为单位以真空表示。随着真空处理时间的延长,商品混凝土中的部分水分和空气被排出,固相颗粒彼此靠近,水继续被挤出,水泥浆浓缩,水 - 水泥比降低,商品混凝土不断增加。对于真空吸水处理后的商品混凝土,残余水灰比不小于0.3,不会影响水泥的正常水化。通过旋片式真空泵吸水技术在工程中的应用,该技术具有以下特点:1.加快施工速度。吸尘式商品混凝土采用流动性商品混凝土混合料,坍落度大,浇筑,摊铺,振动时间短,操作方便。真空吸附后,可立即涂抹,缩短静止时间,减少季节和气候条件的影响,缩短施工周期。2.提高地板部件的质量。地板采用真空吸水技术,商品混凝土结构紧凑,强度高,材料均匀,外形美观,质量保证。此外,极端的平滑,压实和浆料提升可以大大提高商品混凝土表面的耐久性,如耐磨性,不渗透性和抗裂性。3.改善工作条件。使用机械平滑和涂抹而不是手动操作可以降低劳动强度并提高效率。由于使用...
发布时间: 2019 - 08 - 09
来源: 144
茶叶制造商一直在寻找能够帮助储存大量茶叶的设备。旋片式真空泵在茶叶贮藏中的应用。因为茶喜欢闻,所以更怕水分,高温和光照,需要干燥,清洁,黑暗,低温,低氧;避免高含水量,接触异味,光线,高温环境,暴露空间。根据这些要求,茶叶必须在储存前提取。茶具有很强的吸湿性和吸收气味,易于吸收空气中的水分和气味。如果储存方法稍微不合适,风味会在短时间内消失,而高产茶的价格越高,保存起来就越困难。通常,茶叶保存一段时间后的香气,味道和颜色变化。原来的新茶会消失,味道会逐渐消失。因此,掌握茶叶的储存方法可确保茶叶的品质在生活中必不可少。茶可吸收水分并吸收异味。因此,应特别注意适当的储存和包装。除了美观,方便,卫生和产品保护要求外,还必须在储存期间防止水分和气味,以确保茶的质量。导致茶叶变质的主要因素是:清淡。二,温度。第三是茶的含水量。第四是大气湿度。五,氧气。六,微生物。七,气味污染。由微生物引起的变质受到诸如温度,湿度和氧气等因素的限制,并且气味污染与存储环境相关。因此,必须控制光,温度,湿度和氧气以防止茶叶变质。包装材料必须是阴影的,例如金属罐,铝箔层压袋等。可以使用旋片真空泵或氮气填充的包装去除氧气。可以使用脱氧剂。存储方法有两种类型:常温存储和低温存储,具体取决于存储空间的温度。由于茶叶的吸湿性非常强,无论储存方法如何,储存空间的相对湿度应控制在50%以下,并且储存期间茶叶的含水量应保持在5%以下。根据茶的特性和茶的劣化,理论上茶的储存和储存是干燥的(含水量小于6%,优选3%-4%),冷藏(最好是零摄氏度)是理想的用于厌氧(真空或氮气)和光保护。但是,由于各种客观条件,这些条件通常是不可能的。因此,在具体的操作过程中,可以掌握茶叶干燥的必要要求,可以根据现有条件延迟茶叶的老化过程,并采取其他措施。旋片式真空泵在茶叶储存中的应用不适用于所有茶叶,需要根据不同的茶叶品种使用。随着社会的不...
发布时间: 2019 - 08 - 09
来源: 137
真空泵维护中的真空泵故障是什么?如何解决这些真空泵故障。通常,真空泵的故障可分为操作故障和性能故障。操作失败可能包括泵未转动,泵温过高,漏油,漏水,温度报警,氮气报警,时间报警等,电流报警等。性能故障可能包括极压,极限全压,泵送效率,噪音,燃油喷射,气镇性能等,或可能不符合要求。在解释真空泵故障和进口真空泵维修方法之前,首先要记住以下四个方面。1,首先要了解泵的类型,特性和当前条件。了解使用要求并确定修复目标。在进行真空泵维修之前准备好测试装置。2.确定故障并诊断故障。判断准,可以省事。确认将被确认。3,故障排除,拆卸必须遵循正确的拆卸方法,使用特殊工具时一定不能随意拆卸,以减少特殊工具的不足和新操作造成的不当损坏,减少位置变化和运行时间。4,有毒有害的腐蚀性泵,用户首先告知真空泵维修人员应做好安全防范工作,确保维修人员的健康。真空泵常见故障和真空泵维修方法1.泵没有转动。如果情况未知,则不能先打开泵以避免加重故障。手动测试是否可以旋转。如果它可以旋转,泵体不会卡住。2.高功率超标。长期连续进气压力过高,排气压力过高,杂物进入咬合,泵温过高,旋转叶片旋转间隙过小,电压过高,泵液返回泵太多。损坏电机。应尽可能避免接近最大功率的长期连续运行。如果表面有沉积物,请定期清除。3.喷砂。喷砂时,应注意不建议一直喷涂某个地方,并且必须是均匀的,以避免真空泵因尺寸偏差而出现真空偏差。4.拆卸和拆卸时,必须按照说明书的建议和规定执行订单,记住位置并合理放置,以免错位。5.在真空泵正常运行期间,泵中的真空泵油应保持在油印线以下。在油镜的2/3加油时,应与不同等级和型号的真空泵油混合使用。6.应定期更换真空泵油。通常,应每3至6个月更换一次。如果发现泵油被乳化或碳化,应及时更换真空泵的特殊油。7.如果真空泵需要运行24小时,则必须每六个月对真空泵进行维修和修理。真空泵维修找专业维修人员,真空泵...
发布时间: 2019 - 08 - 08
来源: 118
流体流动过程是化学工业中的五个主要单元操作之一。流体流动过程包括转移,过滤,固体流化和运输活动。离心泵传统上是流体流动过程领域的流行标准,但在某些情况下,这些离心泵效率低且成本高。在这种情况下,螺杆真空泵将是一种可行的替代方案。螺杆真空泵可用于处理各种流体,包括具有较高粘度的流体。在化学流体操作中使用螺杆真空泵技术具有许多优点,包括处理各种流速,压力,液体类型和粘度的能力,以及即使在背压存在下也具有一致的流速。在这方面,离心泵存在不足之处:1.过多的泵通常用于降低泵选择的复杂性,这可能导致运行和维护成本增加,操作抵消以及高于实际需求的能耗。2.在离心泵运行期间,流量将随压力增加而降低。因此,对于需要稳定流速和高时间成本的工作,可能需要更长时间并且成本会更高。当泵送粘度高于100 cSt的流体时,离心泵的性能可能是负的。3.最后,这些低效率将导致能量消耗增加甚至可能牺牲生产效率,从而从根本上对化学过程的操作产生负面影响。螺杆真空泵技术在化学流体传输应用中的优势1.能够处理各种流量,压力,液体类型和粘度2.即使由于粘度变化而存在不同的背压,流速也是稳定的3.大批量和整体运营效率,降低运营成本4.可通过更高的泵速比控制生产或产能5.内部速度低6.自吸操作和良好的吸入特性7.机械振动小,使用寿命长8.固有的平稳和安静的运行特性9.极低的脉动,减少应力并延长相关流体输送部件(管道,软管,密封件,轴承等)的使用寿命在化学过程中,没有一个单元的操作比另一个更重要,但如果制造商想要优化其流体输送应用的性能,最好考虑螺杆真空泵的优点。除成本外,螺杆真空泵的主要操作优势还包括能够在更高的速度和压力下处理具有更宽粘度窗口的流体,能耗更低且无需考虑BEF。这些优点使螺杆真空泵成为关键化学过程中更有效,可靠,经济且适应性更强的流体输送过程。
发布时间: 2019 - 08 - 08
来源: 110
在化肥行业使用进口真空泵也非常广泛。特别是磷肥的生产也是中国宏观调控支持的重点产业。由于新项目和老企业的技术改造主要在水平以上,规模大,因此规模较大。超大型水环真空泵也已应用于此。例如,一家新的大型水环真空泵,其泵送能力为300m3 / min,已被安装到云南的磷肥公司。另外,有许多磷肥企业在压力为80~100hPa时需要大的泵送能力。因此,使用两级水环真空泵和具有大气喷射器的两级水环真空泵。在这种条件下,它具有独特的优势。许多化肥企业已经淘汰了具有高振动,高噪音和高真空的往复式真空泵。它已被两级水环真空泵取代,并取得了良好的效果。可以说它有两个层次。水环真空泵将在该行业中得到越来越广泛的应用。目前,我国真空泵采集设备仍以传统真空泵为主,主要有旋片式真空泵,水环真空泵,阀芯真空泵,罗茨真空泵等,并应用于传统工业。中国生产的真空泵用于电子信息产业。差距越大,与日本,欧洲和美国的差距越小。中国生产的大多数干式泵用于实验室,化学,医药等领域,也可用于半导体行业。国内电子信息产业的快速发展影响了国内干式真空泵的发展。在对真空泵进行全程检查后,在不断提高其操作规范的基础上,有必要展示产品的有益推广,以完成应用,加强真空泵质量的不断提高,凭借强大的生产优势,库存产品的开发利用应用,不同层次的应用扩展,快速稳定的运行可以增加产品整体推广的实用性,进一步实现全面的性能全功能,对应公司的不同需求,产品合理的技能开发。利用进口真空泵加速其功能的推广,增强生产能力的不断发展,提高所有应用技术的开发,促进各种工艺的严格管理,增加产品的使用。实践功能的论证可以充分证明其发展的人才,将继续发展其主导的发展过程,扩大其所有使用价值的表现,并为所有生产能力的生产和经营提供更有用的支持。从不同的行业,它可以有力地展示进口真空泵的优势。高标准的产品质量,可以用来促进其持续发展的能力,快速,稳定地发挥其优势,并...
发布时间: 2019 - 08 - 08
来源: 170
罗茨真空泵在冰箱维护中的一个应用是使用真空泵抽空冰箱,这是最有效的方法。本文将罗茨真空泵应用于冰箱的维护,为真空泵的真空泵送提供依据。使用真空泵来修理冰箱有两个功能:一是充气压力,目的是泄漏制冷系统;另一种是真空吸尘器,以便为制冷剂的注入做准备。这就是冰箱中需要德国罗茨真空泵的原因。如何使用罗茨真空泵对冰箱进行真空吸尘?首先,启动冰箱自己的压缩机运行,直到压缩机达到一定温度,并用手感受热量。然后停止(或不停止)。真空泵或维护压缩机通过管道连接到过程管道,并开始真空。大约半小时,使用打火机的灯与维护压缩机的排气口对齐。如果火焰稳定,可以认为系统中的真空满足要求。然后停止吸尘并关闭三通阀。拧下移液器并修理压缩机的连接器,连接氟瓶,并用少量制冷剂填充系统。关闭三通阀。启动冰箱自己的压缩机几分钟。然后将灌装管连接到维护压缩机的吸入端,打开三通阀,然后撤离。从系统中完全去除空气和水分需要大约半小时。然后你可以照常给制冷剂充电。工作原理:我们知道水的蒸发速率与压力和温度有关。在较低压力和较高温度下,蒸发速率更快。由于夏季空气湿度高,当空气用来给冰箱加压时,水会进入系统。当抽真空时,压缩机将开始利用压缩机产生的热量来加热系统中的水以加速蒸发。 。此时,更容易从真空中抽水。一般维护压缩机是用于冰箱的压缩机,其功率受限,并且难以绘制理想的真空。如果系统充满少量制冷剂或在接近理想真空泵的情况下使用罗茨真空泵,系统中的制冷剂可能远大于水分与空气的比例。它可以很容易地抽出空气和水分,使系统中的真空满足要求。罗茨泵 - 水环泵装置广泛用于化学,食品升华和高空模拟试验的真空系统。这种组合单元大致有以下几种类型:罗茨泵 - 水环泵;罗茨泵 - 水环泵 - 常压泵机组;罗茨泵 - 水环泵并联机械真空泵。罗茨真空泵在冰箱维修中的重要性在于它是否能保持最有利的真空,是衡量真空设备运行的标准,对冰箱的安全性和经...
发布时间: 2019 - 08 - 08
来源: 122
在半导体蚀刻工艺中应用旋片式真空泵的目的是去除曝光和显影的光致抗蚀剂微图案中的下层材料的暴露部分,即,再现与下层材料上的光致抗蚀剂相同的图案。蚀刻是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中非常重要的步骤。这是与光刻相关的图形处理的主要过程。事实上,所谓的蚀刻是狭义理解的是光刻蚀刻。首先通过光刻对光致抗蚀剂进行光刻曝光处理,然后通过其他方法进行蚀刻以去除要去除的部分。随着微制造工艺的发展,从广义上讲,蚀刻已经成为通过溶液,反应离子或其他机械手段剥离和去除材料的通用术语,并且已经成为微加工的通用术语。以下描述Si3N4蚀刻的过程:Si3N4刻蚀半导体刻蚀工艺:在903E蚀刻机中蚀刻,引入蚀刻机的气体是:CF4,NF3,He。氟自由基的作用是使氮化硅被腐蚀,产物是气体,它被旋片式真空泵抽走。为了加速腐蚀速率,可以在CF4中加入少量氧气(5%-8%),因为氧气可以抑制反应室壁中F *的损失,并且:CF4 + O2→F * + O * + COF * + COF2 + CO + ...(电离)。 COF *具有长寿命,当它移动到晶片表面时,发生以下反应以加速腐蚀速率:COF *→F * CO(电离),但加入氧气以腐蚀光致抗蚀剂以减少选择性。蚀刻是微细加工技术的重要组成部分,微电子技术的快速发展推动了微加工技术的发展。通常,蚀刻技术可分为干蚀刻和湿蚀刻。初始蚀刻主要是湿法蚀刻,但是当器件制造成微米和亚微米时代时,进行湿法蚀刻。蚀刻难以满足日益高的精度要求。干蚀刻技术取得了很大进展。干蚀刻通常通过物理和化学方面的组合去除蚀刻的膜,因此蚀刻具有各向异性,这可以从根本上改善湿法中固有的横向底切问题。从而满足细线蚀刻的要求。有许多常见的蚀刻方法,旋片式真空技术就是其中之一。用于半导体蚀刻工艺的旋片式真空泵具有速度快,选择率高,各向异性高,蚀刻损伤小,大面积均匀性好,蚀刻部分轮廓可控性...
发布时间: 2019 - 08 - 08
来源: 178
真空系统在食品生产粉末管理中的应用非常重要,然后小编就会告诉你原因。在食品生产的粉尘控制方面,许多用户首先想到它,以便员工可以在车间定期扫描。如果更多,可以使用小型真空吸尘器清洁。然而,根据调查,95%的车间粉尘浓度通过手动清洁和吸尘器不符合国家安全局的要求,甚至车间的灰尘也有爆炸的危险。食品车间使用Punoc真空系统,车间进行了清洁。合格率超过95%,因此真空系统在食品生产的粉尘控制中起着至关重要的作用。你认为食物的小尘埃还会爆炸吗?业内专业人士也表示,粉尘不是绝对安全的,所以我们不能忽视任何一种粉尘。在破碎机,粉碎机,筛分机,干燥机,进料器和储存箱的生产过程中发生粉尘爆炸事故。这是因为除尘设备的灰尘沉积在管道中。当受到某种冲击时,易燃粉尘再次飞散,瞬间形成高浓度尘云,如果遇到火源,很容易爆炸。因此,食品车间的真空系统安装不可能是机会主义。首先,在食品车间粉尘控制的前提下,需要去除火源(加工设备)和真空系统的防火防爆措施的火源。对于机械摩擦和由冲击产生的火花,必须采取措施去除火星,以防止铁板,螺钉等被吸入管道并引起火花引起燃烧。防止静电火花是一个重要问题。特别是对于易燃粉尘系统,系统的集尘器,管道,风扇和其他设施应接地。它也可以用带有铁夹的防静电滤布接地。其次,要始终观察料斗内部的温度和系统真空桶,或安装温度传感器,随时控制设备内部的温度,以防止热量积聚引起火灾并引起爆炸。进口真空系统采用室外安装方案。如果发现存在火灾现象,当系统风扇需要关闭时,为了防止烟气通过管道流回车间,应在防火阀后关闭风扇或关闭风量开关以防止发生事故。发生。我相信很多人都对真空系统节能,耐用,运营成本低的知识有所了解。如果您需要真空系统请联系网站客服.
发布时间: 2019 - 08 - 07
来源: 214
用于油脂行业除臭的真空机组。在油脂除臭过程中,真空机组应保证稳定运行。虽然蒸汽喷射真空泵易于操作,但必须不断检查和保持动力蒸汽的压力稳定性。空气压力冷凝器的排水温度影响蒸汽喷射泵的工作效率。务必检查冷凝器排水温度,确保供水稳定,防止冷却水中断。一般情况下,第一级冷凝器排水温度应控制在20~30°C。有条件的企业可以通过排水温度检测传感器自动调节动力蒸汽量,节约能源,提高经济效益。末级喷射真空泵的排气口优选地还配备有压力冷凝器或有效止回阀,以避免由于动力蒸汽的突然中断而导致的系统真空破坏。在真空机组终止前,应直接关闭蒸汽,然后关闭加热蒸汽阀,除臭器排气主阀,喷射泵动力蒸汽阀和气压冷凝器进水阀,以确保安全操作。在20世纪70年代和80年代,该过程中使用的真空设备是蒸汽喷射真空泵单元。然而,随着国家节能减排政策的出台,高能低效蒸汽喷射真空泵机组逐渐被罗茨液环(滑阀)取代。 )而是真空机组。根据客户使用情况调查,罗茨液环(滑阀)真空机组可节省约75%的能耗。1、除臭油脂的方法一种除臭油脂的方法,包括蒸发器,油脂和真空塔,其特征在于,在恒温下将油脂加热至110(±5)摄氏度的温度,然后在真空中通过蒸汽挥发。塔为0.2至1千帕。发出有气味的气体,然后使用熔融液态的活性炭过滤。 “气味”成分控制在0.01%以下,可以在各种环境下使用。在进入除臭阶段之前去除。在半连续和连续除臭过程中,油脂的脱氧可以在气体分离器中连续进行。气体分离器的工作压力与除臭器的工作压力相同,工作温度控制在70℃以下。2、汽提脱臭汽提脱臭是油脂除臭的核心过程。汽提脱臭的操作条件直接影响除臭油的质量和经济效益。间歇式除臭设备可以在低温下长时间运行。每批油的装载量不超过设备总容积的60-70%,汽提蒸汽的量为每小时30-50kg /吨油。除臭时间根据油中挥发性组分的组成确定。在约180°C的...
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来源: 2014
工厂中的真空泵会使一部分废气挥发。实际上,真空泵本身不会产生废气。从真空泵排出的废气主要是工作系统中使用的气体组分。如何处理这部分废气简单直接,投资小。收集和净化放电是碳吸附。活性炭的吸附特性可用于吸附有害成分,从而达到良好的净化空气效果。让我们知道进口真空泵的两种废气处理方式。由真空泵产生的废气不是唯一的。这两种方法用于使有机废气在收集后通过设备净化,然后通过15米的烟囱排放到大气中。1.碳吸附法:主要由活性炭层和支撑层组成。活性炭具有空隙,比表面积大,吸附能力强。正是由于这种活性炭的特性,它被广泛用于水的深度处理,如生活用水,后期水的深度处理(清洁水)。使用活性炭一段时间后,吸附大量吸附物,逐渐变得饱和,失去工作能力,严重时会渗入过滤层。因此,应进行活性炭的再生或更换。2.离子净化方法:使用高温发生器形成低温等离子体,并在平均能量约为5eV的大量电子的作用下,有机废气分子如苯,甲苯,通过净化器的二甲苯转化成各种活性颗粒和空气。 O2组合在一起产生低分子无害物质,如H2O和CO2,以净化废气。在该过程中,当有机气体进入冷离子反应室时,气体均匀地分配到等离子体反应室(PRC)。将反应室分成149个六边形管,每个管在中心具有冠状线,与反应室分开。高压管线用于引导反应室以调节高压,并且高压被传导到管中的管状线。从导线到管壁发生放电现象。一旦放电,等离子体电子与气体分子碰撞产生化学活性核素,通常称为自由基和载荷载体。此外,它还具有微型静电除尘器的功能,可以去除灰尘。以上介绍了进口真空泵废气处理中使用的两种方法。实际上,有很多种方法和手段,主要是真空泵废气的管道收集。有必要设计主管的管径,支管的管径等,然后采用侧吸。仍然存在吸气时收集空气的问题,选择风量大且风压多大的风扇,这些都是去污效果。
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