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2025 - 11 - 17
造粒机用干式集中真空泵系统在塑料、化工、食品等行业的造粒生产中具有显著优势,其通过无油、高效、稳定的设计,解决了传统湿式真空泵的诸多痛点。以下是该系统的核心优势及具体应用场景分析:一、核心优势1. 无油污染,保障产品质量干式运行机制:干式真空泵通过机械间隙或特殊材料(如碳精片、陶瓷)实现密封,无需润滑油参与抽气过程,彻底避免油蒸气或油滴进入造粒系统。产品纯净度提升:在塑料造粒中,油污染会导致颗粒表面油斑、内部孔隙率增加,影响材料力学性能(如拉伸强度、冲击韧性)。干式泵可确保颗粒表面光滑、密度均匀,满足高端应用(如医用级塑料、食品包装材料)的严苛要求。案例:某聚乙烯造粒生产线改用干式泵后,产品不良率从3%降至0.5%,客户投诉率下降80%。2. 高效节能,降低运行成本抽气速率与极限真空度优化:干式泵(如螺杆泵、爪式泵)采用多级压缩或变容积设计,抽气速率比传统水环泵提升30%-50%,极限真空度可达1Pa以下,显著缩短造粒机抽真空时间(如从10分钟缩短至5分钟)。能耗对比:以100m³/h抽气量为例,干式螺杆泵功率约7.5kW,而水环泵需15kW(需配套冷却水循环系统),年节电量超4万度(按8000小时运行计算)。维护成本降低:干式泵无油液更换、过滤器清洗等维护需求,年维护成本可减少60%-70%。3. 稳定可靠,适应恶劣工况耐腐蚀与耐颗粒性:干式泵内部结构简单(无复杂油路)...
2026 - 03 - 14
PCB热压机对真空环境的要求极高,传统油旋片泵因漏油、噪音大等问题,难以满足现代工厂的环保需求。中央真空泵系统以水为工作介质,实现了零油污染、低噪音运行。噪音控制:75dB油旋片泵运行时噪音高达92dB,严重影响车间工作环境。中央系统通过独立泵房设计及降噪措施,将噪音控制在75dB以下,符合职业健康标准。废水处理:闭路循环系统水环泵采用闭路循环系统,工作液可循环使用,仅需定期补充少量水分。某企业改造后,年废水排放量从500吨降至10吨,大幅降低了环保处理成本。随着能源成本上升,PCB厂商对节能设备的需求日益迫切。中央真空泵系统通过优化泵组配置及运行策略,实现了显著的节能效果。能耗对比:单台压合能耗降低40%某企业测试数据显示,改造后单台热压机的真空抽取能耗从1.2kWh降至0.72kWh,按年生产100万片PCB计算,年节约电费超60万元。热回收技术:能源利用率提升30%中央系统配备热回收装置,可将电机废热用于车间供暖或预热工作液。某企业实测数据显示,热回收技术使系统能源利用率从65%提升至95%,进一步降低了运营成本。
2026 - 04 - 02
在半导体封装领域选择真空泵时,需综合考虑工艺需求、泵的类型、性能参数、维护成本及智能化趋势,以下为具体选择建议:一、明确工艺需求真空度要求:半导体封装对真空度要求极高,需根据具体工艺(如刻蚀、CVD、封装等)确定所需的真空度范围。抽气速率:根据真空室的容积和达到要求真空度所需的时间,计算所需的抽气速率。气体性质:了解被抽气体的物理化学性质,如腐蚀性、易燃易爆性、含粉尘/颗粒情况等,以便选择适合的泵型和材质。二、选择泵的类型机械泵:适用于中低真空度需求,结构简单,维护方便,但可能无法满足高真空度要求。扩散泵:适用于高真空度环境,但需要预热,能耗较高,且可能产生油蒸汽污染。分子泵:超高真空领域的首选,无油污染,抽速快,但成本较高。干式真空泵:如螺杆式、爪式等,适用于半导体封装等清洁严苛的制程,具有无油污染、耐腐蚀、可处理可凝性气体等优点。三、关注性能参数极限真空度:确保所选泵的极限真空度高于工艺要求的真空度。抽气速率:根据工艺需求选择合适的抽气速率,确保泵能在规定时间内达到要求的真空度。启动时间:考虑泵的启动时间,以满足生产节拍的要求。功耗:选择低功耗的泵型,以降低运行成本。噪音:根据生产环境的要求选择低噪音的泵型。四、考虑维护成本易损件更换周期:了解泵的易损件(如密封件、轴承等)的更换周期,以便合理安排维护计划。维护复杂度:选择结构简单、易于维护的泵型,以降低维护成本和时间。长期运行...
2026 - 05 - 06
PCB压合工艺中,传统油旋片真空泵因使用真空油作为工作介质,易产生油雾挥发、油污泄漏等问题,不仅污染车间环境,还可能因油分子附着在PCB表面导致产品缺陷。深圳恒才机电设备有限公司的中央真空泵系统采用水环泵技术,以水替代油作为密封和冷却介质,彻底解决了油烟污染难题,助力企业实现绿色制造。一、油污染的危害与环保挑战健康风险:油雾中含有挥发性有机物(VOCs),长期吸入可能引发呼吸道疾病,威胁员工健康。产品质量隐患:油分子附着在PCB表面,可能影响层间结合强度,导致压合后出现气泡、分层等缺陷。环保合规压力:随着《大气污染物综合排放标准》等法规的收紧,PCB企业需严格控制VOCs排放,油旋片泵的废气处理成本高昂。二、水环泵技术:无油环保的核心深圳恒才系统采用水环泵作为次级泵,其环保优势体现在:零油污染:以水为工作介质,抽气过程中无油分子挥发,彻底消除车间油雾。封闭式循环:工作液(水)在泵体内循环使用,仅需定期补充少量水分,年废水排放量不足传统方案的5%。废气处理简化:压合过程中产生的挥发性气体(如水蒸气、酸性气体)通过水环泵冷却后直接排放,无需额外配置油雾过滤器,降低运维成本。三、实际案例:从污染到环保的转型某企业原有8台压合机,采用油旋片泵方案,车间油雾浓度超标,每年需花费50万元处理废气和更换真空油。引入深圳恒才系统后:油雾浓度降至0.1mg/m³以下(远低于国家标准5mg/...
2026 - 05 - 27
水环真空泵机组 · 半导体封装 · 集中供气你问的是三件事的交叉:水环真空泵机组在半导体封装环节中,以集中供气(中央真空站)的方式怎么用。一、水环泵在半导体里到底干什么半导体全链条对真空度要求跨度极大。薄膜沉积、刻蚀、离子注入这些前道工序,真空度要求极高,水环泵够不上,主力是干泵、分子泵、低温泵。但封装是后道工序,整体以中低真空为主,真空度要求大概在50到200毫巴之间,这正是水环真空泵机组的能力区间,所以封装是它的主场。二、集中供气系统怎么架构所谓集中供气,就是一套中央真空站,通过管道供给整条产线多个工位同时用。典型配置是罗茨泵加水环泵串联。罗茨泵当主泵,水环泵当前级。抽气速率从70到2500升每秒不等,视型号而定。极限真空方面,二级机组大概267帕,四级机组可以做到0.5帕。配套功率5.5到56千瓦。工作液就是水,闭路循环,省水环保。封装环节有挥发溶剂时,可以配防爆电机。三、在封装中的具体工位应用晶圆吸附和真空抓取,真空需求50到200毫巴,CNC真空吸附、机械手抓取芯片,要求真空稳定、响应快。模塑成型,这是水环泵用量最大的场景,抽走封装材料内气泡,保证致密性。真空回流焊,中低真空环境,减少空洞率,提高焊接可靠性。探针测试,大概10帕级别,部分测试环节需要低真空,罗茨泵是核心适配。真空封装和烧结,中真空环境,排除腔内气体,做气密性封装。四、为什么封装偏好集中...
2026 - 06 - 18
PCB压合真空,为什么必须上罗茨水环集中抽真空先说一句大实话PCB压合不抽真空,等于开盲盒。板材间残留空气,200~230℃高温高压下,气泡、空洞、翘曲、层间错位,全来了。真空环境下,气体分子大幅减少,热量靠辐射+传导快速穿透板材,压合周期缩短,成品率拉满。真空不是加分项,是必选项。为什么是罗茨+水环,不是油旋片?对比项油旋片泵(传统)罗茨水环真空机组高温耐受200℃+油碳化乳化,频繁换油换叶片水为介质,无油,不怕高温油污风险油雾返流污染PCB板面,发黄起泡零油污染,板面干净真空度衰减快,波动±1.5mbar稳定在1030mbar,波动±0.2mbar维护月换油、月清杂质,5台=10次/月无需人工清理,关键部件寿命10年+能耗单台分散运行,总功率高集中+变频,节能30%40%罗茨泵负责粗抽,抽速快,把压力迅速拉低;水环泵做前级,维持高真空度。两者串联,是目前PCB压合真空系统的最优解。为什么要集中抽,不是一台压机配一台泵?传统方案:10台压机=10套泵,管路乱、能耗高、真空度不均。集中方案:一套系统统一服务所有热压机,统一管道,统一控制。指标传统分散(12台压机)恒才集中方案总功率180kW108kW(降40%)年耗电216万度129.6万度年省电费—86.4万元成品率基准提升约5%不良率8%3%非计划停机频繁减少80%压合周期12min6min,产能翻倍投资回...
2026 - 07 - 10
数据中心液冷循环方案:为何首选德国Speck磁力离心泵在数据中心液冷系统中,循环泵是负责将冷却液输送到冷板或浸没槽的核心动力设备。由于液冷系统一旦发生泄漏,极易导致昂贵的服务器宕机甚至严重的安全事故,因此对循环泵的安全性、稳定性和能效有着极其严苛的要求。德国Speck(斯贝克)磁力离心泵凭借以下核心优势,成为数据中心液冷领域的理想选择:1. 极致安全:真正的“零泄漏”设计(核心优势)液冷系统最大的风险在于冷却液泄漏。Speck磁力离心泵采用无密封的磁力驱动技术,通过磁力耦合传递动力,彻底取消了传统的机械密封装置。这种设计从根本上避免了传统泵类设备中常见的滴漏问题,实现了真正的“零泄漏”,为数据中心IT设备的安全运行提供了最高级别的保障。2. 卓越的静音与减振性能数据中心对运行噪音有严格限制。Speck磁力泵在运转时极其平稳,且由于没有机械摩擦部件,其运行噪音极低。此外,其出色的减振设计能够有效减少设备运行对机房微环境的振动干扰,非常适合对声学环境要求极高的现代智算中心。3. 高效节能,助力降低PUE数据中心的能耗指标(PUE)是核心考核标准。Speck磁力泵拥有优异的水力模型和极高的电机效率,能够在提供稳定大流量的同时保持极低的能耗。这有助于数据中心进一步降低制冷系统的电力消耗,从而优化整体PUE值,满足绿色节能的运营要求。4. 极高的运行可靠性与长寿命数据中心通常要求7×...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 07 - 20
来源: 1139
AI数据中心冷却系统磁力泵怎么选?认准德国SPECK,告别泄漏与低效焦虑随着AI大模型和智算中心的爆发式增长,单机柜功率密度正从传统的10kW向100kW甚至更高跃升。传统的风冷已逼近物理极限,液冷技术成为AI数据中心的“必选项”。然而,在液冷系统中,冷却液循环泵被称为“心脏”,其可靠性直接决定了千万级IT资产的安全。面对市场上琳琅满目的泵类产品,AI数据中心冷却系统的磁力泵究竟该怎么选?一、 选...
发布时间: 2019 - 07 - 11
来源: 166
油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,最主要的特点是真空度高,能满足新型行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。随着时间的推移,社会的进步,它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意,比如旋片式真空泵不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等,因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为这种差异,我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式,爪式,组合式(罗茨+爪),螺杆式。当今,这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中,圆裂片式,爪式和组合式(罗茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。现在很多的干式真空泵应用到半导体行业中,用于取代油式真空泵.这样做不仅满足生产所需的真空度,也能满足行业中的特殊工艺要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 158
瓦斯事故是近几年煤矿行业中需要注意的重中之重,一次矿难就能搭上无辜的几十条人命。所以,煤矿行业的设备安全是断断不能忽视的,我国从20世纪50年代开始进行煤层气抽放,抽放量不断增加,基本达到煤矿安全的目的,控制了瓦斯事故的发生。采用水环式真空泵/压缩机抽放瓦斯有以下几种基本形式: 以采煤和抽放关系分:采前预抽,即对未开采煤层的煤层气抽放。因为矿区范围广,管线长,一般有几十公里。工作环境恶劣,所以要求水环式真空泵/压缩机抽气量大、真空度高、运行可靠。现在水环式真空泵/压缩机采用国际先进技术设计制造,气量可以达到500~70000m3/h,完全可以满足煤矿工业的需要。该抽放方法逐渐成为主流,该方法不但成为安全生产的保证,而且煤层气将成为新的清洁能源,对我国这样一个煤炭大国具有战略意义。边掘边抽、边采边抽,即正开采煤层过程的煤层气抽放。采后抽放,即报废矿井、采掘巷道煤层气抽放。 以抽放方式分:钻孔法抽放,对煤层钻孔、并且采用松动技术,增大煤层气的释放面积和通导,使煤层气快速释放。减少采掘过程中的释放量。这种方法效果好,而且煤层气的利用率高。一般采用水环式真空泵/压缩机来抽放。巷道法抽放,对采空巷道、采掘巷道进行瓦斯抽放,保证安全浓度。地面垂直井抽放;混合法抽放等。 以抽放目标层分:开采层抽放、邻近层抽放、采空区抽放等。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 242
真空泵站主要由真空收集罐、真空泵、污水泵和自控装置组成。真空收集罐用于保证真空和收集污水,一般罐内下部1/3的空间收集污水,上部余下的2/3的空间用于保证真空。真空收集罐和真空管道连接,真空管道的接入口一般为罐体的中部。罐内的负压有真空泵产生。当负压低于下限时,真空泵开启,当罐内负压达到设定上限时,真空泵自动停止。在真空泵可收集罐之间安装有止回阀,真空泵停止运行时,止回阀自动关闭,保证罐内气体不倒流。在污水泵口也安装有止回阀,当污水泵停止运行时,止回阀自动关闭,防止污水倒流。真空收集罐顶部还安装有安全阀,防止真空泵或污水泵工作时,罐内压力过大。 真空站使用前要进行密封试验。在使用终端阀门关闭的情况下,启动真空泵使系统负压达到-70kPa,1小时后负压降低应不超过10%。 真空排水系统在我国起步较晚,是一种新型排水系统,比较适合应用于地下室等对安装及卫生有特殊要求的场所。虽然其造价比传统的排水方式高20%~30%,但其在节水、环保和运行维护方面具有非常明显的优势。经过不断的实践和改进,相信这种排水系统在未来必将会受到越来越多的青睬。
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 191
冻干机中真空泵的真空排气量如何确定?下面小编带大家了解一下.(一)真空泵抽速的性能指标 冻干机真空系统从大气压抽到10Pa的时间不多于30min。 (二)真空泵选型原则 所选主真空泵的极限真空应比冻干箱要求的极限真空高1~2个数量级。医药冻干一般要求极限真空为1~5Pa,所选主真空泵极限真空应高于1X10-1~1X10-2Pa。旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、油增压泵均可。 冻干箱的工作真空度为4~4OPa,应在主真空泵最佳抽速压力范围内。 冻干机使用的真空泵还应可以抽除一些水蒸气,或者可适应被抽气体夹杂有水蒸气。 (三)抽气速率的计算 冻干机有预抽时间要求,对于冷阱和冻干箱共用一台制冷机时,这个时间要求很重要。满足不了时可能造成预冻制品融化。如果在真空冷凝器(冷阱)制冷的同时,冻干箱还能供冷保持低温,这一时间要求就不那么重要了。也就是说可以适当延长要求的时间,然这对冻干机的性能还是略有影响的。不同的行业需求的真空度不同,所以要选择合适的真空泵去满足生产中需要的真空度的要求.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 205
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
发布时间: 2019 - 07 - 10
来源: 230
我公司生产销售的水环式真空泵在真空浓缩方面应用广泛,尤其是在制糖行业,以下针对制糖行业的具体应用,分析具体工艺流程:糖厂每加工1000公斤的甜菜,可得到约为125公斤的糖汁,含糖率一般为百分之十几。然后将糖汁放在蒸发罐内加热,浓缩成含有35%水分的糖浆。由于水分含量仍然很多,糖还不能结晶出来,这时要把糖浆放在真空罐中,再浓缩成含7~8%水分的精膏,于是糖从饱和溶液的糖膏中逐渐结晶析出。 因为糖浆的浓度很高,而使沸点提高了20,故糖浆的沸点为100+20=120。在这样高的温度下煮糖(浓缩的过程就是煮糖)将会引起糖分的焦化,而使损失增加。若在一定真空度下熬糖,就会使沸点大大降低。因此糖浆浓缩成搪膏,要在一定的真空度情况下进行。 开始由于水分大量存在,糖浆远没有达到饱和状态,故应在最大真空度下进行水分蒸发,所需真空度为-620~-640毫米汞柱,其沸点相应为68-70。溶液的浓度增加,沸点必然升高。随着糖浆的不断浓缩在同一真空度下糖浆的温度会逐渐升高至74~77。真空熬糖的第二阶段可在低的真空度下进行,所需真空度为-420~-460毫米汞柱,沸点约为93-94。选择正确的真空泵能够给企业提高生产效率,节约能源.合适的真空度能够让产品质量的得到保证.稳定的真空度能够减少下次产品的出现.在制糖行业来说,选择合适的水环式真空泵是十分必要的.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 201
对液态成品的精制过程,最后一步工艺往往是精馏。其目的主要为:保持产品的物理化学性质;产品的精制收率尽可能高;以产品为正馏份,除去作为溶剂的低沸部分和下脚料的高沸部分,从而达到产品质量指标。液态产品通常具有受热变质的热敏性,因此在较低温度下实现精制显得尤为重要。 同样地,从经济以及环境保护方面的考虑,对脱除的溶剂必须回收使用。液态产品的精制要求尽可能在高的真空度下进行,通常操作压力在10Pa以下(1个标准大气压为101325Pa)。满足此条件的配置有:滑阀真空泵、爪式泵两种单泵、罗茨真空机组。 (1)罗茨真空机组。 其运行功率相当高。对于前级泵达到相当于LH-70PH型爪式泵同样抽气量的机组,其机组配用功率为20Kw,对于日夜连续运行的真空产生装置来说,12.5Kw的差别,一年下来,意味着9万元的电费差距(以每年工作300个昼夜计。电费以1元/度计)。 (2)滑阀泵。 其必须有真空泵方能有效工作。当气体流经真空泵时,难免将真空泵油夹带出去。这就意味着不能直接套用所回收的溶剂,或者浪费掉并污染环境。此外,滑阀泵对操作维护要求较高,在寒冷季节,开关机稍有不慎,就非常容易损坏。 (3)爪式泵。 采用爪式泵,泵后的常压回收溶剂没有问题。另外,由于其本身结构较好、加工精良、附属装置齐全,一旦投入使用,其使用要求低、使用范围广、使用寿命长、清洗维护保养方便。当需要更高的真空时,其能作为前级泵方便地组成真空机组。 由此可见,在液态成品高真空精制的场合,爪式泵是一种相当合理的选配方案。
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 167
真空冷却对肉类保鲜的重要性不言而喻,下面我们就来了解一下吧.尤其在夏季,肉类产品的保鲜是一个非常困恼屠户的问题,本文着重讲真空冷却对肉类食品保鲜的具体方法,真空冷却是一种快速蒸发的冷却方法,它已经被广泛应用于去除花卉和果蔬内部的田间热,主要应用的真空泵是旋片式真空泵,真空度高会让肉类的保质期维持的更久!    以降低这些产品的温度和延长寿命。近几年来,食品安全问题,尤其是肉制品的安全问题已经越来越受到世界各国人们的重视。为了减少肉制品中的细菌繁殖和降低污染,必须使肉制品能够快速冷却。传统的冷却方法如风冷、水冷等方法的冷却时间比较长,需6~10小时左右,已经不能够满足产品的快速冷却。因此,真空冷却的应用就延伸食品工业中,并在熟肉以及肉制品的快速冷却中发挥了极大的作用。为了使熟肉能够快速冷却,国外许多学者从不同角度对熟肉的真空冷却进行了实验研究。目前,真空冷却在熟肉中的实验研究主要从影响真空冷却速率、质量损失的因素进行了研究,影响真空冷却速率和质徽损失的主要因素有:产品的密度、孔隙率、收缩率和水分含量。还有一些过程条件,如盐水注射量、是否翻转、样品粉碎和包装等也会对真空冷却速率和质量损失产生影响。今天我们了解了,旋片式真空泵用于真空冷却的应用,后面我们还会分享更多的应用,敬请关注.
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 272
大家可能不知道真空应用中的前级真空泵是什么?小面小编就和大家一起了解一下.可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 前级真空泵概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以分为三种主要类型: (a)气体的输运是通过一级或多级压缩来实现。 (b)通过动量转移输运气体。 (c)气体吸附在低温表面上,而后再加热,再生出来。 机械真空泵是第一类泵的代表,而喷射泵和吸附泵是第二类泵和第三类泵的代表。工作压强区域 虽然各种类型的泵都能对大气排气,但它们的有效工作区城的变化取决于其工作原理。如果不用密封液,就不能保持高压缩比,机械间隙不可能做得小到足以有效地阻止二次膨胀或返流。没有密封液的泵很适于在大气压附近工作。由于压缩热难于散掉,一些干式机械泵,尤其罗茨泵和千式螺旋压缩机的低压强工作受到限制。这些泵最好在30OTorr以上工作。若使用如碳、石墨化铸铁以及高温下合成的材料,那么,由于这些材料的自润滑性能,可将干式旋片泵的工作区域延伸到150Torr,在同样的压强区域,也可以有效地利用液环泵、往复式活塞泵以及效率较低的喷射泵。若用双级液环泵、无阀多片泵、双级往复式活塞泵、液体喷射泵以及双级蒸汽喷射泵,甚至可将压强区域延伸至大约30Torr.当工作压强进一步降低时,比较简单的泵可能不再适用了,必须用多级旋转油封泵,并选择低蒸汽压的密封液。单级泵的有效工作压强区城主要是由于油污染影响,因而将其限制到0.lTorr。由于同样的影响,双级油封泵的低压工作限,稍低于10mTorr。约为1mTorr的油蒸气压弧使前级接双级油封泵(在有效抽速下)的罗茨泵不能在10-6Torr区域内工作。对低于1mTorr的抽气,用其他抽气设...
发布时间: 2019 - 07 - 09
来源: 184
真空装置自动控制常用名词汇术语有很多,下面这些就是小编给大家总结的.希望能够给大家带来帮助.1、被控制对象要求实现控制的真空装置或生产过程,称之为被控制对象。例如真空阀、真空泵、真空镀膜机、真空热处理炉等。2、测量装置测量被控制量变化的装置。例如:真空计、温度计、膜厚测量仪等。3、调节装置(调节器)它把测量装置所测量的被控制童与真空工艺所需要保持的给定值相比较,得出偏差值,并按设计好的运算规律进行运算,发出信号,使控制执行机构动作,以消除被控制量与给定值的偏差。如模拟PID(比例、积分、微分)调节器、数字PID调节器(即单片机、计算机)等。在真空装置的真空度控制中,它通常与测量装置的真空规及执行机构的真空调节阀组合在一起,构成压力控制仪。4、执行机构它接受调节装置发出的信号,产生调节作用,以消除被控制量与给定值的偏差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。5、被控制量系指被控制对象内要求实现控制的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。6、测量值测量装置所测得的被控制量的实际值。7、给定值被控制量要求保持恒定或按预定规律变化的规定值。8、偏差测量值与给定值之差。9、扰动干扰它是使被控制量产生变化的因素。扰动分两种:一种为控制系统内各个环节产生的扰动,称为内扰;另一种为控制系统以外对系统产生的干扰,称为外扰。10、反馈把输出信号送回到输人端,以增强或减弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号增强者称为正反馈;反之,则称为负反馈。在自动控制系统中多采用负反馈。11、调节过程系指控制系统受到加外信号(给定值或扰动)作用后,原来的平衡状态遭到破坏,由于自动控制装置的调节作用,使被控制量回复到原来的平衡状态,或过渡到新的平衡状态的过程。12、位式调节系指被控制量偏离给定值时,调节器使执行机构全开或全关的调节。如具有上、下限压力给定的真空继电器的压力调节。13、比...
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