发布时间:
2018
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来源:
201
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分。借一真空镀膜企业家的话，真空镀膜表面技术就是为客户的产品做“美容”---外观更丰富多彩、更亮丽。真空镀膜技术已广泛的应用在如：装饰品、刀具、模具等金属切削工具、光学仪器、集成电路制造、太阳能利用、平板显示器、建筑玻璃和汽车玻璃、防伪技术、飞机防护涂层、信息存储领域、传感器等等 真空镀膜常用的真空泵有如下几种： 一、真空镀膜旋片真空泵真空镀膜中选的旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时，在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小，吸入腔内的气体被压缩，待气体压力高于大气压力时，推开排气阀排出大气。转子连续转动，泵便不断抽气。 二、真空镀膜罗茨真空泵真空镀膜中罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个'8'字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮...