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2020 - 03 - 19
一、干式螺杆真空泵开机前的检查和准备  1.检查真空泵部件是否齐全;  2.检查不同油位观察窗处的油位,并确认油位在油位观察窗中心线以上约3毫米处。  3.检查并确认真空装置各阀门的状态;  a.过程入口阀关闭。  b.入口过滤器排水阀关闭。  c.出口管道畅通,出口管道排污阀开启。  d.冷却水入口管道和出口管道阀门开启。  氮气线阀门打开,吹扫气体压力为0.5巴,氮气密封气体压力为3巴,吹扫阀门关闭。  二、干式螺杆真空泵开机操作步骤  1.联系现场中控确认可以启动,通过现场操作栏启动按钮启动真空泵;  2.关闭出水管排水阀;  3.检查或调整氮气密封气体流量,并确认流量为2.5——3升/分钟;  4.打开净化阀,确认流量仪表流量设置为最大值。吹扫5——10分钟后,关闭吹扫阀;  5.打开工艺入口阀并接入系统;  6.真空泵运行期间,观察机体温度。可以通过温度调节阀调节水量来控制温度(当温度调节阀位于刻度0时水量最大,当其位于刻度5时水量最小)。温度要求尽可能控制在50——75℃,以保证不超过80℃。  三、干式螺杆真空泵停止操作步骤  1.关闭工艺入口阀,切断系统;  2.打开吹扫阀,吹扫20——40分钟后,关闭吹扫阀;  3.通过现场操作柱停止按钮停止;  4.关闭氮气阀;  5.关闭冷却水阀门;如果在冬季长时间不使用,应排出机体和管道中的冷却水,以防冻结。  6.打开出口...
2020 - 03 - 24
真空系统是指通过管道将真空泵、真空计和各种部件以适当的方式连接起来,达到一定真空度的装置。真空系统的基本要求是什么?  1.在泵送装置或工作室中获得所需的极限真空和工作真空  极限真空度是指装置在无泄漏和放气时达到的真空度,工作真空度是指装置在进行真空处理时能够保持的真空度。在真空处理过程中经常会释放出大量的气体,此时的工作真空度将大大低于极限真空度。极端真空度和工作真空度有其自身的重要性,它们从不同方面影响着器件的质量。例如,在使用氧化物阴极装置的排气真空系统中,电10-2电极除气和阴极分解将产生大量除气。如果工作真空度差,电极可能被氧化,阴极可能活化不好。然而,当装置最终被密封时,基本上没有泄漏和放气,并且装置中的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。  2.获得一定工作真空度所需的时间  这个时间取决于真空系统机组的抽吸速度。提高泵送速度可以缩短这一时间。大型工作室显然需要大的泵速。有时工作间不大,但由于泄漏和放气严重,真空系统也需要较大的抽气速度,否则大量的泄漏和放气会大大降低真空度,使系统无法工作。  3.泵送装置或工作室中有合适的残留气体成分  实践证明,仅仅提高和保证极限真空度和工作真空度是不够的,还需要对残余气体成分有一定的要求。例如,对于真空摄像装置,为了在一年的使用寿命内保持灵敏度降低不超过巧合,要求装置中残留气体的氧含量不高于10-2Pa。耐高压真空开关管不应...
2020 - 03 - 27
在真空机组配置确定的情况下,设备所能达到的极限压力取决于由系统外部流向系统内部的总漏率Qo与虚漏所形成的总“漏”率∑Q1之和的大小及抽气系统的有效抽速。  真空技术中所讲的漏孔是指当封闭的容器内部与外部的气体压力或浓度不同时,可以使气体由器壁的一侧泄露到另一侧去的小孔、缺陷、或隙缝以及渗透元件或漏气装置。漏孔由于尺寸微小、形状复杂,无法用几何尺寸表示其大小,所以一般用等效流导或者漏气速率(简称“漏率”)来表示其大小,单位为Pa·L/s。  焊缝是真空制造工艺中最容易产生漏孔的区域之一  常见的焊缝外观缺陷及其它缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹及内应力都是超高真空系统中的漏孔或者虚漏源的隐患。为了最大程度地减少焊缝缺陷,便于检测,超高真空要求焊接的零部件使焊缝尽量处在真空侧,大气侧焊缝仅作为间断加强焊缝,同时使最大数量的焊缝能在制造阶段分别测试,在最终装配前给予矫正。由于一些零部件的截面尺寸小,内壁施焊受到限制,某些部位只能采用大气侧焊缝,焊缝应一次焊好,以避免两次焊接时造成有害空间,那么必须保证单面焊双面成型的效果优良。  另外还应该指出,由于压差、振动和热循环等原因在接头内产生的应力和应变,可能会使含有缺陷的焊缝产生裂纹从而使焊缝受损,或者在使用过程中焊缝受腐蚀,这样就可能形成漏点。  因而所采用的焊接方法必须在这些条件下能使焊缝的泄漏率满足技术要求。  目前,...
2020 - 04 - 01
现在使用包装设备的厂家很多,为什么需要使用包装设备?包装设备的配套设备又是哪个?包装设备中最关键的就是真空泵,它是针对物品抽真空处理的主力设备。真空泵的好坏决定着其的抽气速度(抽真空速度),而这个又是直接影响整机生产效率的主要因素,所以对于包装设备而言,真空泵的好坏决定着工作效率的快慢,又以及整机使用寿命的长短。既然如此重要,包装设备一般选用什么类型的进口真空泵呢?  包装设备是指能完成全部或部分产品和商品包装过程的设备。包装过程包括充填、裹包、封口等主要工序,以及与其相关的前后工序,如清洗、堆码和拆卸等。此外,包装还包括计量或在包装件上盖印等工序。使用机械包装产品可提高生产率,减轻劳动强度,适应大规模生产的需要,并满足清洁卫生的要求。  关于包装设备一般选用什么类型的进口真空泵这个问题,对于不同的真空包装厂家而言,他们在真空泵的选择上无非就是品牌的差异,有的厂家选用的是国产高端品牌的真空泵,而有的厂家选用的则是国产一般品牌的真空泵,更有的厂家所选用的是进口真空泵。而对于不同品牌的真空泵而言,主要区别则在于耐用性与故障率又以及性价比上。  而客观来看,并不是真空包装机选用的真空泵工作能力越强越好,其还应考虑机器的自身生产性能而定。每款机器该选用多大的真空泵都是经过科学计算而定的,所以我们一定要加以注意。  包装是产品进入流通领域的必要条件,而实现包装的主要手段是使用包装机械。随着时...
2020 - 04 - 06
在真空泵中,真空泵油不但作为得到真空泵的物质,并且还具有润化、制冷和密封性机械设备磨擦点的功效。它是真空泵油最重要的性能。因为真空泵规定高真空值,一般应用石腊基窄馏分润滑脂。针对外扩散真空泵,还可以应用甲基硅油或别的低蒸汽压的合成机油。  真空泵室的内部容量持续转变,产生排气管效用,这就规定真空泵油应具备适合的黏度和粘温特点,伴随着真空泵持续髙速发展趋势。因为滑片与泵壳中间的髙速磨擦,油温升高,成品油非常容易氧化分解。非常地,真空泵一般工作中在高的温度环境中工作,这提升了系统软件中的蒸汽压并减少了真空值。因而,规定真空泵油具备优良的苛化可靠性。  假如被真空泵吸进的汽体是腐蚀的,它将与油反映并浸蚀泵中的部件。吸进的空气中一般带有水蒸汽和凝结水,这会造成 真空泵油乳化和金属腐蚀。因而,规定真空泵具备优良的耐蚀性和抗乳化性。真空泵不可以带上质轻部件,以防危害真空泵油的饱和状态蒸汽压。以便避免气体进到真空泵的自动排气阀,真空泵油在相对速度的部件(电机转子和电机定子、电机转子板和转子槽等)中间具有空隙密封性的功效)。  真空泵中的真空泵油将在应用一段时间后拆换。比如,裂化、空气氧化转性、由机械设备地应力造成的化学变化转性、由水蒸气和可冷疑汽体造成的水解反应乳化、由有机化学融解造成的性能转变、由尘土堆积造成的黏度提升等。在这类状况下,真空泵油品已不可以考虑真空泵一切正常运作的规定,造成 真空...
2020 - 04 - 09
如何正确应用罗茨真空机组,在具体应用全过程中我们要保证下列好多个层面:  1,常常检查罗茨真空泵油量的部位,不符合规定务必调节,以做到运作规定,以油量规范为标准。  2,换油期依据具体应用状况而定,能够满足客户需求的特性规定和别的层面的考虑到,一般新式罗茨泵,抽整洁汽体,提议工作中100钟头上下换油完油不可以见到轻金属粉末状,在截止期完油将会会增加。  3,常常检查成品油品质,应及时处理成品油霉变,拆换新油,保证罗茨真空泵工作中一切正常。  4,应在工作中2000小时后开展检查,检查胶封的脆化水平,检查自动排气阀是不是裂开,清理阀板和自动排气阀座上的污渍清理全部罗茨泵腔的构件,如电机转子,旋片,弹黄等。一般用车用汽油清理干躁。清理和装配线时要轻装小心轻放小心地擦破。  5,机械泵滚动轴承向滚动轴承体润滑油,观查油量应在油轴线,应立即拆换或加上润滑油。  6,管和连接头是不是有松脱状况,观查罗茨真空泵是不是灵便。  7,在试运转后应再次拼装,一般应空2钟头换油2次,因为清理罗茨真空泵会留出一定的挥发份,才可以一切正常运行,随后把进到一切正常工作中。  8、操做工作人员一定要通读淄博市通普真空泵配置的商品使用手册。  9、在商品应用前保证在商品沒有因长期置放由环境要素造成 商品造成的要素。  10、工作中如出现异常响声和震动时要关机清查。  11、电器设备机壳务必接地装置或接零。  罗...
2020 - 04 - 13
真空泵维修就是指修补纠正已无效泵浦技术参数的一种技术性。真空泵维修流程一般包含拆卸,查验,清理各零部件,修补生产加工或拆换零部件,拼装调节等流程。  真空泵维修维护保养要提示的是,在维护保养全过程中,最好是在特定场地开展,并维持工作场所的整洁。  接下去给大伙儿介绍一下有关真空泵在维护保养时拆卸、清理的常见问题。  一、拆卸真空泵:  1、把这一整台泵从底座吊死至维修场所,拆卸、清理真空泵应在清理的房间内开展。拆卸时.应留意各构件、零件的塬装配线部位、方位及组成紧松,并做好纪录或标记,以防装反;拆卸靠背轮防护罩,复诊泵的管理中心;  2、在取下旋片和转子时,留意一定要用力捍紧旋片,因旋片受弹黄力很大,一不小心非常容易转手飞出,磕伤旋片菱角及衷面而不可以应用,松靠背轮联接地脚螺栓,拆掉靠背轮。  3、松泵进、出口管路法兰盘地脚螺栓,拆卸进、出口管路;拆下来的零部件应分离,妥善处置,不能乱堆乱倒,不然,非常容易相互之间磕伤或遗失,  5、装配线时,先要在旋转位置的表层上涂小量真空泵油、开展润化。留意清理,禁止铁销、泥沙及浮尘等掉入真空泵内,定位销要触碰优良。装上的真空泵应旋转轻轻松松,无轻和重不匀及阻碍状况,  6、焊装完后,从给油孔添加真空泵油至油道路标线才行,  7、启动前,应向抽真空口引入小量真空泵油,使真空泵内充足获得润化。重新装配的真空泵应开展好多个钟头的运行实验,以观查是不...
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2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 10
由于真空泵在使用过程中直接与介质接触,因此水环真空泵设备中的泵体,叶轮以及前后分配器必须与腐蚀性物质接触,此外,水环真空泵本身还具有腐蚀性在某些特性上,很容易引起设备的严重腐蚀,尤其是泵体,叶轮以及前后分配器的表面在大面积上更容易发生气蚀。在真空泵具有大的汽蚀面积之后,许多公司试图通过旋转分配器的密封端面来调节轴向间隙,但这不能从根本上解决问题,更不用说通过旋转经销商的密封端面了。无限期,因为这将影响其他大小的机械配合。建议使用聚合物复合材料从根本上解决真空泵的防腐问题。使用高分子化合物作为防腐层和机械修复层,并进行相应的机械加工,以将相应的间隙调整到合适的范围。聚合物复合材料具有良好的耐腐蚀性,并且一旦完全固化,便具有出色的耐腐蚀性。该聚合物复合材料具有优异的粘合性,优异的耐腐蚀性,耐气蚀性和耐磨性。该过程简单,效果明显。安全环保,无毒无害,可回收利用等独特性能。聚合物复合材料泵的防腐蚀保护具有优异的抗磨损,抗腐蚀,抗磨损和附着力性能,可以充分满足使用要求,确保使用寿命,并为企业降低成本。
2021 - 03 - 24
螺杆真空泵具有较高的密封要求。否则,泵中将不会安装任何特殊的机械密封件。开启泵时,内部确实密封,在正常使用中没有泄漏,但是不能完全计算出密封件的数量,用户还必须做好泄漏检测工作,尤其是在停止泵时。那么在真空泵泄漏检测中应该怎么做?  1.首先,有必要找出螺杆真空泵是否可以承受正压以及可以承受多少压力,以确定是否可以使用空气泵方法和可以填充气压。  2.在发现泄漏之前,应仔细仔细清洁焊缝,以清除焊渣,油和灰尘。  3.泄漏检测处的光线应足够,水槽底部应黑暗,水应清澈,并且水中不应有蒸汽。  4.螺杆真空泵应先充气,然后放入水中;否则,如果有大的泄漏,水可能会进入要检查的容器,并且小孔可能被水堵塞。将其放入水中之前,请使用听觉方法检查是否有大的泄漏,然后在清除大的泄漏后将其放入水中。  5.刚将被测部件放入水中时,被测部件的表面可能会出现气泡。如果这些气泡被擦除或刺破,则气泡不再出现,可以判断为在最初产生气泡的地方没有泄漏。如果气泡规则且连续地出现,则在气泡产生的地方会存在泄漏。  6.螺杆真空泵应在水中保持稳定,然后在水面平静下来后进行观察。  7.真空泵的检查部位应尽可能靠近水面。  8.如果发现泄漏,请及时进行标记。如果有大的泄漏,请在修理后检查小泄漏。  经常需要使用螺杆真空泵检漏。即使真空泵没有泄漏,有时我们也很难检测到某些零件的泄漏。直到出现严重情况时才发现它,因此最好立即...
2021 - 04 - 06
真空机组的高频放电是在两个电极之间存在交替的高频电场时发生的放电形式。当在放电管的两端施加交流电压时,气体中的电子和正离子将在交流电场的作用下产生额外的共振。因为正离子的质量比电子的质量大得多,所以共振幅度非常小。  当真空泵的频率较低且共振振动的幅度远大于两极之间的距离时,电子在每个半周期内经历崩溃,放电和熄灭的整个过程。此时的放电情况与DC情况相同。当频率更高时,共振振动的幅度远小于两极之间的距离,随着电子的继续来回移动,其电离能力将大大提高。因为电子共振的幅度非常小,所以进入电极的电子数量将大大减少。  由于电子的扩散速度快于离子,因此扩散的结果是,在轴上出现正电势,在管壁上出现负电势,这又产生了一个由轴指向的静电场。管壁。因此,放电管中有两种类型的电场,一种是围绕磁场线的涡旋电场,另一种是从轴指向管壁的静电场。在这两个电场的同时作用下,电子围绕着轴移动,同时向着管壁膨胀,从而形成了一系列同心环。由于不同半径的电子的能量不同,所以能级和激发量也不同,因此具有不同半径的光环具有不同的颜色。  简而言之,干式真空泵中的高频放电实际上意味着电子继续来回移动,并且电离能力得到增强。此功能可以减少设备的功耗并节省电费,从而节省使用成本并降低电路成本。
2021 - 04 - 19
螺杆真空泵是高科技产品,具有很高的技术含量。它主要用于高纯度真空工艺中。真空度极高,可以适应恶劣的工作条件。它具有提取可凝性气体和颗粒气体的能力。它特别适用于电子,化学工业和生物医学等领域。  螺杆真空泵是一种使用一对螺杆在泵壳中执行高速和反向同步旋转以产生吸气和排气的抽气装置。调节两个螺钉以实现良好的动态平衡,并由轴承和泵壳支撑。螺钉与螺钉之间有一定的间隙,因此,当泵工作时,彼此之间没有摩擦,操作是稳定,噪音低,工作腔不需要油润滑。因此,螺杆泵可以吸入大量的水蒸气和少量的灰尘。对于气体应用,极限真空度更高,功耗更低,并且具有节能和免维护的优点。它是油封真空泵的升级产品。  螺杆真空泵的核心部分,即——螺杆转子,是通过三维曲面数学模型进行设计和求解的。模型实体在五轴链接机床上进行处理。它具有高精度,可靠的质量和稳定的性能,可确保产品长期无故障运行。  螺杆真空泵将在100多个领域中使用真空设备,例如化学工业,冶金,电子,石油,航空航天,工具,造纸,包装,食品,医药,医疗设备以及信息工程,生物工程和微电子工程。
2021 - 05 - 07
今天是时候讲解一下干式真空泵。现在,每个人都对真空泵的价格和一些关键的购买要点感到好奇。接下来,就让我们看一下。  我们需要使用真空泵厂家来预先确定购买无油真空泵时所需的真空泵型号。干式真空泵的类型也多种多样,不同厂家的产品数量也有所不同。作为消费者,我们在产品购买过程中应注意什么?干式真空泵运行期间发生的振动会影响过程和环境吗?如果过程不允许,请选择无振荡的泵或选择抗振荡的方法。溢出的油蒸气对环境有什么影响?假设环境不允许污染,则可以选择无油或将油蒸气吹到室外。工作压力必须满足真空设备的有限真空和工作压力要求。干式真空泵的价格,运费和随后的保护费用。要购买更好的干式真空泵,我们需要在购买前做好所有准备工作,并有充分的了解,以便我们购买的产品良好。  以上是干式真空泵的内容。阅读以上文章后,我认为它一定会对您有所帮助。如果您还有其他疑问,请随时与我们联系。
2021 - 05 - 20
由于罗茨真空泵广泛应用于许多领域,因此具有使用寿命长和对产品性能提出更高要求的优点。为了更好的应用,让我们了解罗茨真空泵的转速不能太高的原因。  尽管大多数机械设备的转速越高,工作效率越高,但是这并不适用于所有机械设备。例如,罗茨真空泵的转速不能太高。一旦其转速太高,就不仅没有提高工作效率的效果。在运行过程中,通过空气阀的作用使真空泵的根部吸气和排气,如果转速过高或过高,则会导致每天无法维持空气阀的作用,这是因为容易产生磁滞现象,这会增加体积的损失。这不利于真空度的提高。同时,这将导致严重的泵阀冲击并增加设备磨损。  罗茨真空泵本身将振动,并且随着速度的增加,其零件的振动也将增加,这将产生不利影响。由于速度高,在一定的抽速下冲程会变短,如果安装了阀,缸径不应太小;否则,可用空间量将增加,压缩线和膨胀线将增加。缩短,不利于真空度的提高。为了确保真空,设备必须采用低速和长行程。提高速度后,罗茨真空泵在平衡通道上的平衡作用可忽略不计,气体无法及时平衡,并且清洗量的影响也无法减少,从而影响了真空度。罗茨真空泵的转速不能太高或太低,只有将其转速保持在合理范围内,才能将其工作效率保持在良好的状态。因此,在控制和使用设备时,应特别注意其转速问题,一旦出现异常现象,应及时进行调整,以免造成不良情况。  以上是罗茨真空泵的转速不能太高的原因。您可以根据实际交易要求选择合适的方法,以免盲目交易造成不必...
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大型泵站虹吸流道断流装置中旋片真空泵的应用

日期: 2019-12-26
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  随着我国城市化进程的加快,洪涝灾害和水环境恶化的问题也日益加剧。为了更好地处理这些问题,需要建造大量的大型泵站。流出通道作为低扬程泵站的重要组成部分,如果流出通道的流态不好,会降低泵装置的效率,甚至威胁泵站的安全运行。虹吸式出水口采用虹吸原理,截流方式简单可靠,但工程投资大,断面形状复杂,设计尺寸不当容易造成机组振动等不利现象。虹吸管广泛应用于我国大型低扬程泵站的出水渠道。因此,研究和优化旋片真空泵在泵站虹吸出口通道中的应用具有重要的理论意义和实用价值。

大型泵站虹吸流道断流装置中旋片真空泵的应用


  虹吸流道截流是国内外大型泵站常用的截流装置之一。其截止模式简单可靠。

  旋片真空泵在泵站虹吸出口的应用是如何操作的?

  停机时,只要真空破坏阀能及时打开,虹吸管就会被破坏。然而,由于虹吸出口单元的高启动升程和向正常运行的长时间过渡,泵单元将经常振动。为了降低启动扬程,减少水泵启动时不稳定工况的持续时间,使虹吸出口快速产生满管流量,真空泵通常在机组启动前启动,吸入虹吸出口通道中的空气,在真空度达到规定值后启动水泵。此外,当水泵在涡轮条件(发电条件)下运行时,还必须使用旋片真空泵抽出水流通道中的空气,使水流过驼峰,使水泵反向。因此,旋片真空泵是虹吸出口流道切断装置的常设设备之一,其容量选择与主泵启动前虹吸出口流道的空间大小有关。

  旋片真空泵与国内同类产品相比的优势:

  1.易于使用,易于安装和维护;

  2.旋片真空泵配有气动阀,可以去除少量水蒸气;

  3.旋片真空泵极限真空高;

  4.内置强制进油,润滑充分,性能可靠;

  5.配备自动防回油双重保险装置;

  6.当入口压力保持在1.33×10Pa时,仍能连续运行;

  7.不漏油,不喷油,不污染工作环境。

大型泵站虹吸流道断流装置中旋片真空泵的应用


  本工程采用泵站虹吸出口,不仅可以减少水流量的流失,降低能耗,而且便于维护,降低维护成本,便于管理,具有安全系数高等优点。因此,我国许多泵站在施工过程中采用虹吸出水渠解决方案。在实际工程中,有必要与旋片真空泵配套使用。本发明具有真空泵抽速快、管理方便、投资少的优点。具有很大的实用价值,应该推广。

  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-8625533,手机13928410990。

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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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