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2019 - 07 - 08
以下项目是直联旋片式真空泵在使用过程中需要注意的事项。如果其中一个被无意中使用,将影响旋片式真空泵和旋片真空泵的使用寿命。 不能泵送含有颗粒,灰尘或凝胶状,含水,液体和腐蚀性物质的气体。 不能泵送含有过多氧气的爆炸性气体或气体。 系统无法泄漏与真空泵配套的气体和容器太大而无法在长期泵送下工作。 不能用作加油泵,压缩泵等。仪器维护保持旋片式真空泵清洁,以防止杂质被吸入真空泵室。建议配置过滤器。但是,上部界面和过滤器下部界面之间的距离约为整个进料器高度的3/5。当水量过多时,可以通过排水塞排出,然后及时拧紧。过滤器用作缓冲,冷却,过滤等。 保持油位。不应混合不同类型或等级的真空泵油。如果被污染,应及时更换。 储存,水分或其他挥发性物质储存不当进入真空泵室。可以打开气镇阀门净化。如果真空受到影响,请考虑更换机油。更换真空泵油时,首先打开泵约30分钟,以换油。稀释,释放脏油,同时排油,从空气入口缓慢加入少量透明真空泵油,以冲洗泵腔内部。 如果旋片式真空泵的打鼾增加或突然咬死,应迅速切断电源并检查。
2019 - 07 - 12
真空泵操作要点水环真空泵运转时,要不断地充水以维持泵内液封,同时也起冷却的作用,但泵所能造成的真空度受泵体中水的温度所限制。 液环真空泵可使抽出的气体不与泵壳直接接触,因此.在抽吸腐蚀性气体时只要叶轮采用耐腐蚀材料制造即可。泵内所注人的液体必须不与气休起化学反应。例如,抽吸空气时可用水,抽吸氮气时可用浓硫酸。还应注意所用液体应不含固体颗粒,否则,将使叶轮与壳体常受 磨损,降低抽气能力。 单级蒸汽喷射泵仅可得到90%的真空,如果要得到95%以上的真空,则可采用几个蒸汽喷射泵串联起来使用,便可得到更大的真空度。真空泵操作注意事项真空系统启动时,要先用机械泵将系统抽至低真空,再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源,待油停止沸腾后再关冷凝水,再关闭扩散泵前后两个活塞,接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱,以免有机物、水汽等杂质进入机械泵,影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。 对玻璃真空系统的检漏,使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中,发生感应放电时所产生的不同颜色,来大致估计真空度量级,以判断系统是否漏气。实际检漏过程如下,启动机械泵数分钟后,系统的真空度可达1.333~13.33Pa。真空泵表面清洁的重要性在真空...
2019 - 07 - 17
在水环真空泵运行期间,轴可能会突然断裂。轴断裂立即发生在表面上,但实际上,定量变化的积累导致了质的变化。什么原因导致水环真空泵轴承断裂?1.气体或工作液的腐蚀也可能导致水环真空泵断轴2.水端真空泵轴端推力面位于第一主轴上,发动机轴上有空压机负载。当空气压缩机负荷增加时,发动机轴容易烧蚀或松动。径向跳动。3.水环真空泵的主轴承磨损过多,长时间松动。断裂发生在发动机轴的后半部分。这也是因为发动机轴具有大的径向跳动,这导致发动机轴断裂。4.水环真空泵轴弯曲过大或不同,主轴承间隙松动不均匀,使发动机轴在转动时受阻,加上发动机轴前后负荷不均匀,径向跳动很频繁。5.水环真空泵主轴承和连杆轴承多次烧蚀,消融部分支撑力减弱,轴径向跳动频繁,根部消融后应力发生变化,因此在根部和臂之间的轴上发生断裂。6.水环真空泵的相邻主轴承之间的间隙过大,尤其是最后两个主轴承与前两个主轴承之间的间隙过大。发动机轴后面有一个飞轮,前面有一个皮带轮,发动机轴两端都是过应力的。径向跳动很频繁。7.水环真空泵主轴承烧蚀或轴承滚动后,发动机轴的后轴将过大。8.水环真空泵发动机轴端间隙过大或烧蚀,运行前后会移动。由于水环真空泵轴承支撑力的变化和主轴同心度的变化,臂上的应力集中。另外,臂本身比轴颈更薄,并且轴易于破裂。因此,小编提醒大家在使用时要注意以上这些问题,可以有效避免。
2019 - 07 - 22
罗茨真空泵是一种双转子容积式真空泵。泵室内有两个对称的转子,转子有两叶,三叶和四叶形状。两个转子沿彼此相反的方向旋转,并被轴端齿轮同步驱动。转子彼此不接触,并且转子和泵室壁也不接触,并且它们之间通常存在0.15至1.0mm的间隙,并且泵室由间隙密封。由于罗茨真空泵的泵腔内没有摩擦,转子可以高速运转,一般为1500~3000r / min,不需要使用润滑油,可以实现无油清洗过程。泵的润滑仅限于轴承和齿轮,以及动态密封。泵没有往复运动部件,因此可以实现良好的动态平衡。因此,罗茨真空泵运行平稳,转速高,尺寸小,以获得大的抽速。目前,国内外大多数罗茨真空泵都是水平结构。泵的进气口位于顶部,排气口位于底部。该水平结构具有低重心和高速操作时的良好稳定性。罗茨真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮相对同步旋转。泵主要是直接耦合的,而大型泵是皮带驱动的。电机和传动齿轮设置在转子轴的两侧,便于安装和拆卸。传动轴传递大扭矩,轴具有足够的强度和刚度,轴和转子牢固地固定。罗茨真空泵的密封至关重要。驱动轴的外轴,两个转子的轴承和泵室设有动态密封,泵室和每个端盖设有静密封。为了避免罗茨真空泵的误操作,通常提供旁路安全阀。根据罗茨真空泵的特殊需要,油压齿轮箱,轴承和其他部件与泵腔分离。罗茨真空泵压缩过程中产生的热量传递给转子和泵体。转子难以将热量传递到泵的外部,并且泵体的热量容易损失到周围的大气中。因此,在转子和泵...
2019 - 07 - 25
旋片式真空泵在果蔬真空预冷中的应用。真空预冷是指在正常大气压(101.325 kPa)下,水在100°C蒸发。如果大气压为610 Pa,水在0°C蒸发,水的沸点随环境大气压降低降低。沸腾是一种快速蒸发,可以快速吸收热量。将新鲜水果和蔬菜放入密闭容器中,快速提取空气和水蒸气。随着压力持续下降,水果和蔬菜将通过连续快速蒸发水来冷却。用于真空预冷水果和蔬菜的旋片式真空泵是冷却处理设备,而不是制冷设备。其目的是让水果和蔬菜快速冷却到设定温度,然后从设备中取出物品,或将它们放在空气中,或直接运输,或将它们放入冷藏室。由于水果和蔬菜处于休眠状态,其活力的恢复需要一个时间过程,这是保存期。为什么选择旋片式真空泵来真空预冷水果和蔬菜?旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集装置之一。这是一种油封式机械真空泵,抽速大,体积小,极限真空度高,工作噪音低。在这种真空泵中,油起着重要作用,它具有密封,润滑和冷却三种功能。通过使用旋片式真空泵可以完全实现水果和蔬菜预冷却(≤660Pa)所需的真空度。然而,如上所述,真空冷却的原理是在水蒸发期间使用吸热来引起自冷却。因此,在冷却过程中产生水蒸气。如果水蒸气直接进入旋片式泵,则会导致泵油乳化,这不仅会影响泵的性能,还会对泵体本身造成损坏。解决方案是在泵前添加一个集水器,将水蒸气冷凝成水并排出。为此,必须重新配置制冷系统,以便已经除去水分的空气...
2019 - 07 - 29
工业旋片真空泵在工业吸尘中的应用也是现代科学技术发展的产物之一,给我们的生活带来了极大的便利。在做家务或工作的过程中,以及用于工业吸尘的工业旋片真空泵更容易。它具有干湿两用的功能,可吸收液体和固体,更便于大规模清洗工作。下一个小编将向您介绍工业吸尘的结构原理和工作原理。首先,让我们首先了解什么是用于工业吸尘的工业旋片真空泵。真空吸尘器简介对于许多人来说,由于显而易见的原因,真空吸尘器已成为不可或缺的家用设备。电流控制电机运行。电机上有一个风扇,风扇叶片有一定的角度,就像飞机的螺旋桨一样。当风扇叶片旋转时,空气一直被推到排气口。随着空气颗粒向前推动,风扇前方的颗粒密度增加,空气压力相应地增加,并且风扇后面的颗粒密度降低。风扇后面的压降与饮用时吸管的压降相同。风扇后面的压力低于真空吸尘器外部的压力,即环境空气压力。这在真空吸尘器内产生吸力,即部分真空。真空吸尘器结构原理1,吸尘原理。在电动机的高速驱动下,真空吸尘器的风扇叶轮将叶轮中的空气高速驱动到风扇,同时,集尘部分中的空气连续地补充到风扇中。这可能与外界形成更高的压力差。喷嘴的灰尘和污垢随着空气被吸入集尘部分,并通过泄漏器泄漏,以将灰尘和污垢吸收到集尘筒中。2.真空吸尘器的原件。所有真空吸尘器都配有组装刷头,用于清洁地板和地毯。吸尘吸尘器还配备了一系列清洁刷和喷嘴,用于清洁角落,窗帘,沙发和接缝。3.喉管:所有吸尘吸尘器都配有软管,...
2019 - 08 - 02
如果水环式真空泵严重污染,可能会卡住而无法使用。如果是严重的话,会严重影响生产进度。鉴于水环式真空泵的结垢问题,我们应该了解结垢的原因并采取预防措施。一,水环式真空泵结垢的原因随着水环式真空泵结垢的开始,真空泵内部的传热环境逐渐被破坏,热交换频率将越来越低,结垢速度将越来越快。规模的原因大致如下:(1)热分解:含有硬度成分的循环水进入真空泵后,在泵体内形成水环式,随着泵的旋转产生热量,使溶解在水中的碳酸氢盐逐渐分解,并且沉淀出几乎不溶于水的沉淀物。缩水。(2)溶解度降低:CA-SO4,CASIO3,CACO3和其他具有负溶解温度系数的盐随着循环水温的升高而降低溶解度,因此沉淀析出形成水垢。(3)相互反应:在循环水中溶解度大的盐通过在真空泵运行期间与其它盐物理反应形成水垢,形成难溶性物质。(4)蒸发和浓缩。由于循环水连续进行工作加热,因此不可避免地产生蒸发和浓缩,因此水中溶解盐的浓度不断增加,当其达到饱和时,沉淀析出形成水垢。二,水环式真空泵的规模分析在操作真空泵的情况下,产生的水垢包括盐垢和污垢,并且其组成根据水源而变化。污垢最大的危害是使水分破碎,水流阻力增大,影响正常供水,降低换热效率,水温不断升高,加速盐形成速度。有时它甚至会在规模下引起腐蚀。当污垢严重沉积时,真空泵会出现异常,效率下降或叶轮停止。泥土的来源因地而异。在实际操作中,有必要仔细分析是否有废水流入。是否有沉积物,...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 09 - 06
来源: 887
贴合机采用德国Speck水环真空泵,主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析:无油设计保障清洁度:贴合工艺对真空环境清洁度要求极高,油污或杂质可能污染材料表面,影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除润滑油污染风险,确保真空环境纯净无...
发布时间: 2025 - 08 - 12
来源: 859
选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益,以下为具体选择步骤及关键要点:一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵:需选择低蒸汽压、高粘度指数的油(如100号真空泵油),以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵:通常与前级泵(如旋片泵)配套使用,需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵:无需油润滑,但若为油封式干泵,需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵:需超高真空油(如硅油或聚菲油),蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空(10³-10⁻¹ Torr):普通矿物油(如32号或46号)即可满足。中真空(10⁻¹-10⁻³ Torr):需选择低蒸汽压油(如100号或150号)。高真空(:必须使用超低蒸汽压油(如硅油或合成油)。二、分析工况条件温度范围高温环境(80℃):选择合成油(如PAO、酯类油)或高粘度指数矿物油,避免油品氧化分解。低温环境(:选择低倾点油(如-30℃以下),确保低温启动性。宽温域工况:优先选择粘度指数高的油(如100号真空泵油),适应温度波动。气体成分腐蚀性气体(如酸性、碱性气体):选择抗化学腐蚀油(如含抗腐蚀添加剂的合成油)。含水蒸气:选择抗乳化性强、分水性能好的油(如100号油),避免乳液形成。含颗粒物:需定期更换滤芯,并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行:选择抗氧化性强、寿命长的油(如合成油或深度精炼矿物油)。间歇运行:可适当降低油品等级,但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高:增加启动扭矩,降低抽气效率。粘度过低:无法形成稳定油膜,导致密封性下降。参考标准:根据泵制造商推荐粘度(如ISO VG 32、46、100)选择。蒸汽压蒸汽压越低,极限真空度越高。高真空需求:选择蒸汽压中低真空需求:蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油(如100...
发布时间: 2025 - 08 - 08
来源: 1292
在液冷工艺中,德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性,成为输送冷却介质的理想选择,具体优势如下:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况:适应高温高压液冷需求高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。例如,其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃,扬程200米,流量110m³/h,适用于高压高温场景。高压能力:部分型号(如CY-4282.0067)扬程可达120米,支持高压循环液冷系统(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计:高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统,进一步增强安全性。例如,碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力,适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计:SPECK磁力泵采用模块化结构,用户可根据需要轻松更换部件(如隔离套、轴承),降低维护成本和...
发布时间: 2025 - 08 - 06
来源: 1289
在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵,主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性,这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质(如导热油、水基冷却液等)的理想选择。以下是具体分析:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压:适应液冷工艺的严苛工况高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。高压能力:部分型号(如CY/TOE-6091-MK)扬程可达115-120米,适用于需要高压循环的液冷场景(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求:简化液冷系统运维维护工作量小:磁力泵无机械密封更换需求,维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程,降低运维成本。避免空运转风险:虽需避免无介质空运转(以防滑动轴承和隔离套损坏),但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题,确保安全运行。5. 广泛适配性:覆...
发布时间: 2025 - 08 - 01
来源: 1293
晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析:一、无油设计,避免污染关键需求:晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高,任何油污或杂质都可能污染晶圆表面,影响产品质量。Speck优势:Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要,确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度,满足精细加工需求关键需求:晶圆加工过程中,如吸附、搬运、切割等环节,需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势:Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度,如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附,防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落,从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能,适应大规模生产关键需求:晶圆生产线通常需要连续运行,对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势:Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能,能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如,某些型号的总气量达到199m³/h,能够满足大规模生产线的需求,确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温,适应多种工况关键需求:晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境,对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势:Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造,能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时,其工作液温度范围广泛,最高可达80°C,进气温度(干)最高可达200°C,吸入气体(饱和)最高可达100°C,确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命,降低运营成...
发布时间: 2025 - 07 - 31
来源: 1290
将分散的真空泵改造成中央真空泵系统,可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现,能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析:一、设备选型与整合核心设备选择:根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如,罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景,如压机分散小泵的改造;变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低,常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合:将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统,减少设备数量,降低占地面积。例如,将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+,实现节能率80%的同时,减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局:合理设计真空管道布局,确保气体流动顺畅,减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置:配置适当容量的真空罐和储气罐,以稳定系统真空度,减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时,真空泵自动停止运行;当真空度下降至下限值时,备用真空泵组自动启动。排水系统改造:对于水环真空泵,需优化排水系统以减少水资源浪费。例如,在入口加装限流孔板,控制轴密封液用量;在后路管线上增设“U”型管,增加介质流动阻力并起到水封作用,减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成:采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面,可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略:引入变频驱动(VSD)技术,根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度,实现节能降耗。例如,Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理,提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...
发布时间: 2025 - 07 - 25
来源: 1291
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 24
来源: 1256
电子晶圆吸附过程中,真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素,以下是具体选型要点及分析:一、真空度与工作压强核心要求:真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如,若工艺要求真空度为100Pa(绝对压力),则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性:泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如,某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar,其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar,因此工作点应选在此区间内。应用场景:晶圆减薄:需-90kPa以上真空度(约90%真空度),以抑制振动和热变形。晶圆键合:需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar(约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa)超高真空度,避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活:需优于10 Pa真空度,防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义:抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力,单位通常为m³/h或L/s。计算方法:可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速,其中 S 为抽速(L/s),V 为真空室容积(L),t 为达到目标真空度所需时间(s),P1 为初始压强(Pa),P2 为目标压强(Pa)。应用场景:高精度加工:如光刻、键合等工艺,需高抽速(如>1000L/s)以快速建立真空环境。一般加工:如切割、研磨等工艺,70-90 kPa真空度下,抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型:需了解被抽气体成分(如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等),针对性选择泵型。含蒸气或颗粒:需在进气口安装冷凝器或除尘器,防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体:需选用耐...
发布时间: 2025 - 07 - 22
来源: 1257
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统油封泵的油蒸汽污染,保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计:支持低负荷省电运行,同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断,提高管理效率。即插即用安装:集成化设计(如电气室、机壳)简化安装流程,占地面积小,适合空间有限的工厂。自动启停功能:根据生产需求自动启停,减少人工干预,降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用:覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域,满...
发布时间: 2025 - 07 - 03
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在塑胶造粒产线中,干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵,其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面,具体分析如下:1. 环保性:无污染排放,降低合规风险水环泵痛点:水环泵以水为密封介质,运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染,尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时,废水处理成本高且环保压力大。例如,某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款,后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势:采用无油无水设计,彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。同时,尾气中未冷凝的溶剂(如甲苯)可通过常压冷凝器高效回收(回收率超96%),减少VOCs排放,满足严格环保法规。2. 工艺适应性:满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性:水环泵极限真空度仅达2000Pa,需多级泵串联才能实现更高真空,且真空度受水温、水质影响大(如夏季水温升高导致真空度下降)。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa(绝压),且运行稳定,不受水温及抽出溶剂影响,满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理:水环泵不便进行防腐处理,难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件(如螺杆、泵腔)可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金,耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀;同时内置高效滤芯或旋风分离装置,拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免磨损或堵塞,延长设备寿命。3. 稳定性:减少非计划停机,提升生产效率水环泵缺陷:水环与转子接触易磨损,需定期更换水环和滤芯,维护成本高。长时间运行后,水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降,需冷冻盐水冷却水箱,增加能耗和故障率。干式泵优势:螺杆转子间无接触,无磨损,寿命长达10年以上,维护仅需定期更换滤芯(寿命可达数千小时,支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机)。无油设计避免油品变质导致的真空度波动,确保工艺参数稳定,减少次品率。例如,某企业采用干式泵...
发布时间: 2025 - 06 - 27
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温控行业中,高温磁力泵凭借其无泄漏、耐高温等特性,在高温液体输送领域发挥着重要作用,以下从工作原理、核心优势、应用场景及注意事项展开介绍:一、工作原理高温磁力泵通过磁力传动器(磁力联轴器)实现无接触力矩传递,以静密封取代动密封,使泵达到完全无泄漏。电机带动外磁转子旋转时,磁力线穿过隔离套带动内磁转子和叶轮同步旋转,介质封闭在静止的隔离套内,避免了传统泵的泄漏问题。二、核心优势无泄漏设计:泵轴由动密封变为封闭式静密封,彻底杜绝介质泄漏,适用于输送有毒、有害、易燃、易爆和贵重液体介质,是创建无泄漏、无污染文明车间、文明工厂的理想用泵。高温适应性:采用耐高温材料和特殊设计,能够在高温环境下稳定运行。例如,某些高温磁力泵的工作温度范围可达-45℃至400℃,甚至更高。节能高效:由联轴器传动变为同步拖动,不存在接触和摩擦,功耗小、效率高。同时,无需独立润滑和冷却水,降低了能耗。安全可靠:过载时,内、外磁转子相对滑脱,对电机、泵有保护作用。当磁力传动器的从动部件在过载情况下运行或转子卡死时,磁力传动器的主、从动部件会自动滑脱,保护机泵。维护简便:结构简单,运行稳定,维护成本低。例如,某些高温磁力泵采用直联后拉式设计,无需拆卸管道,维修方便。三、应用场景石油化工行业:用于输送高温油品、化学溶液等,确保生产过程的安全和高效。冶金行业:处理熔融金属和高温废液,防止泄漏,保护环境。电力行业:用于冷却系统和热交换设备,处理高温冷却液,保证设备正常运行。制药行业:输送高温药液和溶剂,确保药品生产的质量和安全。食品加工行业:提供稳定、卫生的输送服务,满足食品安全标准。四、注意事项介质纯净度:不允许有铁磁杂质、颗粒进入磁力传动器和轴承摩擦副。输送含有固体颗粒的介质时,应在泵流管入口处过滤。温度控制:应在规定温度条件下运行,严禁介质温度超标。可在磁力泵隔离套外表面装设铂电阻温度传感器,检测环隙区域的温升...
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