咨询热线 HOTLINE
400-862-5533
13928410990
真空泵 Products
行业资讯 了解行业的最新资讯
2019 - 10 - 24
水环真空泵在启动之前需要做一些必要的准备  1. 水环真空泵的存储期限过长(超过两年)。启动之前,应更换水环真空泵轴承中的油脂。等级为3#钙基润滑脂或3#锂基润滑脂。更换之前,请用汽油清洁轴承腔。  2.通过供水管线向真空泵供水,用手移动转子(叶轮),然后通过排水管线排放污水。  对于在试运行后投入运行的设备或已投入运行的设备,如果停放了超过2天,则应在重新启动时用水冲洗它们,以避免水环真空泵内生锈和结垢,这可能会导致启动困难甚至烧毁电动机。  3.检查水环真空泵的电气部分是否安全和正确。  4.检查水环真空泵马达的旋转方向,使其符合真空泵的要求。  5.检查水环真空泵联轴器防护罩是否牢固可靠。  耐腐蚀水环真空泵。它具有很强的耐腐蚀性和高真空度。  它具有排量大的特点,可用于抽送腐蚀性气体或腐蚀性液体作为真空泵的工作流体。它广泛用于石油,化工,制药,食品,锂电池和其他新能源行业。  使用水环真空泵时要注意的问题  水环真空泵主要由泵体,叶轮和端盖组成。  水环真空泵体:内腔的加工精度不高,但需要铸坯。  水环真空泵叶轮:整体铸造形式,材料包括墨球铸铁,(耐腐蚀)不锈钢等。  水环真空泵端盖:打开吸排气口,以连通泵室和泵侧端盖的吸排气通道。  水环真空泵在使用时可能有两个问题  1,过度压缩:  关闭的小腔没有到达排气口,它里面的气体已经达到排气压力。  2,压缩不足:  封闭的小...
2019 - 10 - 31
水环真空泵启动和停车怎么操作啊?水环真空泵维修找哪里?今天就给大家介绍一下简单的方法.当然如果在保修期之内请找售后人员.  水环真空泵启动与停车  1,水环真空泵启动    长期停车水环真空泵在开始之前,必须用手转动数周,以确认泵中没有卡字母或其他损坏。启动按照以下顺序进行(请参阅设备说明)。  1)关闭气管道路上的闸阀。  2)启动电动机(从驱动器的方向看,电动机沿顺时针方向旋转,右侧为吸气口,左侧为排气口)。水环真空泵型对于机械密封,在启动电动机之前,应先向机械密封中加水。否则,可能会产生水蚀。  3)打开供水管上的阀门6或直接用自来水向水环真空泵供水,逐渐增加供水量,直到供水达到指定要求为止。  4)当水环真空泵达到极限真空或最大压力时,打开气管道路上的阀门2,泵开始正常工作。  5)调整填料压盖,使水也滴落到外部滴中。  6)通过阀门将供水调节至水环真空泵,以在所需的技术条件下运行,以最大程度地减少功耗,达到性能指标并满足工作要求。  7)调节供水管向气水分离器供应的水量,以确保水环真空泵所要求的技术规格,并减少用水量。  8)水环真空泵在极端压力下工作时,泵可能会由于物理作用而爆炸,但功耗不会增加。可以打开气管道路上的阀门以产生少量气体。爆炸声响起并消失了。如果爆炸没有消失并且功耗增加,则表明水环真空泵发生故障,应停止维护。  2,水环真空泵停车  1...
2020 - 06 - 10
无论哪种真空泵,振动和噪声都会影响工业真空系统的应用,甚至造成环境噪声污染。因此,在中,真空泵行业,降低泵的振动和噪声对真空泵的实际使用和使用寿命非常重要。  为了更形象地分析具体事物,我们还是以滑阀真空泵为例。自滑阀泵问世以来,由它的转子惯性力引起的振动引起了人们的注意,并做了大量的工作,但到目前为止这个问题还没有完全解决。目前,普遍认为:滑阀泵的转子产生的惯性力是泵振动的主要原因。  如果真空泵的工作点严重偏离效率点,将运行:叶片,导致液体流动不均匀和回流不稳定。气穴现象是由于局部压力降低等原因造成的。振动:由机械原因引起,如转子部件不平衡:泵、电机和联轴器不中轴弯曲:齿轮齿面磨损:滑动轴承油膜振动:滚动轴承履带、钢球不圆或内外圈脱落:设计不合理或热膨胀引起管道共振过大;松动的地脚螺栓等。  从目前的研究结果来看,真空泵的主要振动来自运动系统产生的不平衡惯性力。目前,解决不平衡惯性力的方法包括以下几个方面  首先,采用动平衡方法。通常,它可以通过分析来计算,然后添加一个平衡轮并放置在滑轮外部。  增加一个配重或平衡轮来平衡和阻尼偏心轮和滑阀的惯性力。实践证明,这是一种有效的减振方法。  第二,还可以打开和关闭机械减振装置。当然,这些装置中的大部分都用于高速泵和泵中与高泵速。例如,减振是通过在泵底座上添加防振胶来实现的。  第三,调整水泵结构,根据实际需要设计基础型和卧室型水泵。...
2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2019 - 10 - 29
1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,如果真空干燥过程要求工作真空度为10 mmHg,真空泵厂家所选真空泵的真空度应至少为2 mmHg,最好为1 mmHg。通常将泵的极限真空度选择为比真空设备的真空度高一半数量级。  2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:2BV系列水环真空泵的工作压力范围为760mmHg〜25mmHg(绝对压力),在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化(详细变化)泵性能曲线) ,其稳定的工作压力范围为760〜60mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在25〜30mmHg的条件下长时间工作。  3.在工作压力下,真空泵应能够清除真空设备过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装置将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压,因此需要前级泵,因此必须将这些泵组合在一起。  5.真空设备对油的污染要求。如果严格要求设备无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。...
2019 - 11 - 05
今天给大家介绍一下水环真空泵的一些知识,包括管道布置注意事项及加适量水的原因.有兴趣的可以阅读一下.       一,水环真空泵加适量水  水环真空泵中装入水作为工作流体的适当的量。当叶轮顺时针旋转时,水由叶轮周围抛出,离心力,一个闭合的环形形状,通过泵室的厚度确定的水形成近似于等。水环的内表面的下部与轮毂,刚好接触表面(实际上,叶片进入水中环的插入一定深度)和水的上部的叶片尖端正好相切环。此时,叶轮轮毂,以形成环和水之间的月牙形空间,并且这个空间被划分成相等数目的叶轮叶片和若干小室中。  如果叶轮0°为起点的下部,则水环真空泵叶轮的体积被旋转在从小到大的小室的前面180°,并且与进气口的端面连通,气在此时被吸入,当来自小腔和进气口分离吸入的端部;当叶轮继续从大至小的旋转,小室中,水环真空泵,使得气体被压缩;当小室与排气口连通,该气体被排出泵外。  第二,水环真空泵管结构的设计考虑  1,最大水环真空泵和压力管件可承受放电应予以考虑。  2,水环真空泵的管道应该被布置为直管,以最小化管道配件和最小化管道的长度,则必须将导通时弯曲的弯曲半径应管的三到五倍的直径,以使角度可能大于90℃。  3,合理选择水环式管的直径,大直径管,在相同的流速,流速小,阻力损失小,但价格高,体积小口径管道,导致电阻损失急剧增加,所以所选泵的扬程增...
2019 - 11 - 07
水环真空泵抽真空的原理  水环真空泵是以泵转动部分的机械作用排除泵体内气体,其工作原理为:偏心轮安装在充有适量工作水的椭圆形泵体内,带有若干前弯叶片的转子在泵体内旋转时,形成水环并在叶轮轮毂与水环间形成一个新月形空腔,转子每转动1周,转子上2个相邻叶片与水环间所形成的空腔,由小到大、再由大到小作周期性变化。当空腔由小变大时,产生真空,经进气口吸入气体;由大到小时,产生压力,气体被压缩并经排气口排出。由于每个相邻叶片与水环所构成的空腔均处于不同的容积变化过程,所以当转子转动时,泵的吸排气均为连续、不间断过程。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~1013 hPa 时,叶轮叶片外圆的线速度应为14~17 m/s ,较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低,所以在达到同样抽气量的前提下,应尽量选择转速较低的泵,大泵消耗的比功率较小,即效率较高。  2、应考虑水温的影响  因为海内外水环真空泵的手艺文件上的功能曲线及技术数据均是在进水温度为15 ℃的前提下得出的,前面也已经介绍了水温低于或高于15 ℃时水温对气量的影响系数计算公式。  3、吸气阻力的影响  由于煤气的吸风口经常在井下且远离水环真空泵(一些煤矿达...
产品名称: 晶圆吸附切割司倍克水环真空机组
上市日期:2024-09-05

由司倍克水环真空泵组成的水环真空机组实现了对晶圆的高效、稳定、精准切割、吸附,确保了芯片切割的精度和成品率,为产品的高性能和低成本生产提供了有力保障。

全国服务热线
400-862-5533
产品详情

与传统真空设备相比,水环真空机组在晶圆吸附切割技术,通过精确控制切割工具与晶圆表面的接触力度与角度,结合高效的真空吸附系统,实现了对晶圆的高效、精准切割。这一过程中,晶圆吸附切割水环真空机组作为核心设备,发挥了至关重要的作用。


  1. 真空度稳定:水环真空机组提供稳定的真空环境,确保晶圆在切割过程中能够牢固地吸附在切割平台上,避免因振动或外力干扰导致的切割偏差或损坏。

  2. 水环真空机组还具备良好的密封性和耐腐蚀性,能够有效防止尘埃、杂质等污染物进入切割区域,保证晶圆切割的洁净度和精度。

  3. 其结构简单、运行稳定,维护成本低廉

  4. 水作为工作介质,环保无污染

  5. 水环真空机组具有较宽的抽气范围和较强的抽气能力,能够满足不同规格、不同材质的晶圆切割需求。


在实际应用中,晶圆吸附切割水环真空机组已广泛应用于集成电路、微电子、光电子等领域的晶圆切割工艺中。例如,在先进制程的CPU、GPU等高性能芯片的制造过程中,晶圆吸附切割水环真空机组以其卓越的真空性能和稳定性,确保了芯片切割的精度和成品率,为产品的高性能和低成本生产提供了有力保障。



产品参数
400-862-5533
产品名称:

晶圆吸附切割司倍克水环真空机组

上市日期: 2024-09-05

司倍克水环真空泵参数图


产品细节
400-862-5533

晶圆吸附切割水环真空机组

晶圆吸附切割水环真空机组

晶圆吸附切割水环真空机组

晶圆吸附切割水环真空机组

晶圆吸附切割水环真空机组


Case / 案例展示
2024 - 08 - 25
点击次数: 44
CNC真空吸附之螺杆真空机组集中抽真空案例分享:某精密模具制造企业,在引入阿特拉斯螺杆真空机组作为CNC精雕机的配套真空设备后,显著提升了加工效率和产品质量。传统的机械夹具在某些情况下难以满足这一要求,尤其是在处理轻薄、易变形或不规则形状的工件时。因此,真空吸附技术应运而生,阿特拉斯螺杆真空机组它利用负压原理将工件牢牢吸附在工作台上,确保了加工过程的平稳进行。阿特拉斯螺杆真空机组的优势:加工精度提...
2024 - 08 - 02
点击次数: 23
在半导体制造业的精密世界里,晶圆吸附与切割技术无疑是构建微观电子奇迹的基石。这一过程中,水环式真空泵组以其独特的优势,尤其是当它由多台司倍克水环真空泵组成时,更是展现出了无与伦比的效率与稳定性,为晶圆处理提供了强有力的支持。一、水环式真空泵组的工作原理水环式真空泵,顾名思义,是通过在泵体内形成一个旋转的水环来工作的。当叶轮偏心旋转时,水环与叶轮之间的空间被周期性地缩小和扩大,从而产生真空效应。在晶...
2024 - 03 - 01
点击次数: 49
半导体元器件真空吸附搬运,根据客户真空要求,我们为其定制了水环式真空机组,采用了SPECK司倍克水环式真空泵VG55,现场应用效果非常好!水环式真空机组在半导体元器件起着吸附和搬运的作用,通过真空产生的负压,元器件可以被牢牢地吸附在特定的工装上,这样可以确保在检测过程中的稳定性和精确性。吸附的效果可以通过控制真空的压力和时间来进行调整,确保被均匀且牢固地吸附。真空泵在吸附电子元器件时具有以下优势:...
2023 - 12 - 13
点击次数: 27
在精雕机上,真空吸附工件可以确保工件在加工过程中稳定固定,提高加工精度和效率。客户原有的真空泵设备真空度不稳定,吸附功能断断续续,影响高速生产和元件加工的精密度,因此提出了改造升级真空泵系统——水环式真空机组。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空改造、真空系统设计、真空泵组安装布置,应用于各行业的机器设备。精雕机真空吸附工艺的步骤包括:将需要加工的工件放置在精雕机的工作台上,确保工件表面干净无污染。...
推荐产品 / Products
CNC精雕真空设备-大功率水环真空泵组水环真空泵组以其高功率、高效率的特性,在CNC加工过程中发挥着举足轻重的作用。其工作原理是通过机械作用使泵腔内的工作液形成旋转液环,液环在旋转过程中将气体从进气口吸入并压缩,最终通过排气口排出,从而实现抽真空的目的。这种工作方式使得水环真空泵组具有抽气量大、真空度高、运行稳定等特点。在CNC加工中,大功率的水环真空泵组能够迅速有效地抽除加工过程中产生的废气、废液等杂质,保持加工区域的清洁和干燥。这不仅可以提高加工精度和表面质量,还可以延长刀具和设备的使用寿命。同时,水环真空泵组的噪音低、振动小,不会对工作环境和操作人员造成不良影响。水环真空泵组还具有广泛的适应性。无论是用于金属切削、磨削还是激光加工等CNC加工领域,水环真空泵组都能提供稳定可靠的真空环境,满足各种加工需求。同时,其结构紧凑、维护简便的特点也使得水环真空泵组成为CNC行业中的理想选择。
发布时间: 2024 - 05 - 22
真空泵系统在晶圆吸附中的优势主要体现在以下几个方面:稳定性和可靠性高:真空泵通过创建负压环境,在晶圆与吸附盘之间产生真空区域,实现稳定的吸附力,确保晶圆在加工过程中的稳定性。机械真空吸附提供了稳定的吸附力,有助于确保晶圆在制造过程中的精确固定,从而减小位置偏差和角度误差的风险。通用性强:真空泵系统适用于不同尺寸和类型的晶圆,具有较高的灵活性。可以适应不同工艺和加工需求,为半导体制造提供多样化的解决方案。维护相对简单:真空泵系统结构相对简单,易于维护和保养。维护成本低,有助于提高生产效率和设备利用率。吸附力可控:通过调整真空泵的抽气速度和真空度,可以实现对吸附力的精确控制。这有助于适应不同晶圆材料和加工需求,确保吸附力的均匀性和稳定性。减少机械损伤和污染风险:真空泵系统通过非接触式吸附(如静电吸附和伯努利吸盘)可以减少与晶圆的物理接触,从而降低机械损伤和污染的风险。对于超薄晶圆或脆弱材料,这种优势尤为明显。提高工作效率:稳定的吸附力可以确保晶圆在加工过程中的稳定性,减少因晶圆移动或滑动而导致的加工时间延长和废品率增加的问题。从而提高半导体制造的整体效率。提高产品质量:稳定的吸附力和精确的固定位置有助于确保晶圆在加工过程中的精确性和一致性。这有助于提高半导体芯片的性能和可靠性,满足市场对高质量产品的需求。综上所述,真空泵系统在晶圆吸附中具有稳定性高、通用性强、维护简单、吸附力可控、减少机械损伤和污染风险、提高工作效率以及提高产品质量等优势。这些优势使得真空泵系统成为半导体制造中不可或缺的关键环节之一。
发布时间: 2024 - 06 - 14
联系我们
Contact
  • 扫描关注我们获取更多惊喜

Copyright ©2017 - 2021 深圳恒才机电设备有限公司 
犀牛云提供企业云服务
地址:深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
电话: 86 0755-23062776
传真: 86 0755-23062775
邮编:518000
  • 400-862-5533

    电话联系
  • 二维码

    扫一扫咨询
  • 查看产品视频

    扫码看产品视频
  • 查看公司动态

    扫码看公司动态

top

展开