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莱宝 SV100B 单级旋片真空泵抽速97.5m³/h

发布时间: 2021 - 07 - 27

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莱宝SV300B单级旋片真空泵高真空度280m³/h

发布时间: 2021 - 07 - 27

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螺杆真空泵的应用问题有哪些

2021 - 06 - 15

随着我国城市建设的快速发展，螺杆真空泵的使用率越来越广泛。只有在整个操作过程中选择合适的操作方法，才能达到更好的使用效果。为了更好的应用，下面让我们一起来了解一下螺杆真空泵的应用问题有哪些。　　目前，螺杆真空泵广泛应用于各种工程中。螺杆真空泵开机后，联系现场中控，确认可以开机。通过现场操作柱启动按钮启动真空泵检查或调整出口管道排放阀流量的氮气密封气体，确认流量为2.5-3L /分钟，打开吹扫阀，确认流量计数流量合适，5-10分钟后清空，关闭吹扫阀，打开工艺入口阀，切断系统和真空泵工作时，注意观察体温，通过温控阀调节水量，控制温度。当螺杆真空泵停止工作时，关闭工艺入口阀，关闭系统，打开清洗阀，清洗20-40分钟后，关闭清洗阀，现场操作按钮停止柱停止。请关闭氮气阀并关闭冷却水阀，冬季长时间不要使用，请清洁机体和管道中的冷却水，以免结冰　　以上是关于螺杆真空泵的应用。根据具体操作规程选择合适的方法，避免因操作百叶窗而造成不必要的损坏。

小型真空泵的注意事项

2021 - 06 - 30

为了让大家能够更好的选择并使用真空泵，我们总结了以下几点注意事项，让您能够选择到合适的产品。根据实际使用的情况，我们要注意这些：　　1、小型真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持，应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。　　2、了解被抽气体成分，气体中有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分，针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体，需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。　　3、小型真空泵在其工作压强下，可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。　　4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速，但是不能进行抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的真空度。　　5、小型真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。　　6、正确地选择小型真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适，而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。　　7、小型真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选择无...

中央吸尘系统的设计清扫真空机组应用

2021 - 08 - 09

电子行业清扫真空系统(HV)不同于一般设备，不能在建筑已经完工的时候购置使用，必需在建筑施工的阶段，配合设计，同期进行安装。最好是在设计阶段同步设计，可以使网管布置更加合理、紧凑，更节约投资成本。负压：负压值一般用KPa 或水柱来表示(mmH2O)。它反映了吸尘器形式主机内部与外界压力差的能力。该值随管道内的吸风量而变化。通常，会给出吸尘主机的最大负压值，这一数值是通过人为阻塞管道而获得的(即吸风量为零)。经验证明：吸尘压力压值在-16～22KPa(1600～2200mmH2O)时使用，感到最为舒适。最大负压值越大并不意味着吸尘器效率越高。风量：吸风量用立方米比单位时间来表示(l/s或m3/h)，它是给定条件下管道吸入的空气量。它的值和该处的套管口径有关。一般给出吸风量的最大值，该数值为管道和主机连接切断(即负压为零)时所得。最大吸风量越大并不意味着吸尘器的效率越高。马达功率：吸尘主机的马达功率用瓦特表示(W)。它是指马达启动时所需的电功率。该数值随着机器的运行状态而变化，它反映的是机器的耗电量而不是它的效率。因此，高功率值往往能掩盖马达的低效率，这是刻意降低马达的成本而造成的结果(内部低效率)。马达的功率越大并不意味着吸尘器的效率越高。气流效率：气流效率又称有效功率，用瓦特表示(W)。这是所有用户选择吸尘系统的首要标准。它是机器将尘埃从其吸附表面吸起并送至储存袋的能力。与人...

干式螺杆罗茨真空系统特点是什么？

2021 - 09 - 09

相比于其他真空机组，干式螺杆罗茨真空系统的优势体现在哪些方面？干式螺杆罗茨真空系统特点是什么？无油螺杆罗茨真空系统应用优势是什么？若论干式螺杆罗茨真空系统的应用优势，这得益于真空泵合理的选型及设计，罗茨泵需要前级泵（如水环泵、旋片泵、螺杆泵等）辅助，使得真空系统真空度更高，更稳定。来了解下，干式螺杆罗茨真空系统的特点：1.无油无水是指螺杆真空泵，一定意义上也可称之为干式真空泵，干式真空泵无需油或水作为介质，就不会产生废油、废水和油烟，是有益于利环境环保的。2.对于被抽介质有水蒸汽或粉尘的环境不敏感，相比于罗茨旋片机组，干式无油螺杆罗茨真空系统优势更明显；3.无油干式螺杆罗茨真空系统维护清洗比较便捷，泵腔内无接触不磨损，长期使用真空性能也基本不变，真空度稳定性比较好；4.应用比较广泛，可用于化工、制药、电工、航空航域、真空镀膜、真空炉、真空干燥、真空浸渍、真空冶金等领域。深圳恒才机电设备有限公司致力于泵浦工程，主营水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、干式真空泵、真空机组配套、真空系统、真空解决方案等，从设计、选型、安装、调试、维保等一站式服务，为客户提供泵浦方面的优质工程方案。

真空泵油适合所有类型真空泵吗？

2021 - 10 - 14

真空泵油适合所有类型真空泵吗？真空泵油是通用的吗？专业的真空泵厂家售后人员表示，真空泵油并非通用，而是需要根据真空泵和应用场合选择合适的真空泵油，不同种类真空泵用不同真空泵油。是否只有油润滑旋片真空泵需要添加真空泵油？并不是，罗茨真空泵、油螺杆真空泵均是需要使用真空泵油，且需要定期更换；即使是干式真空泵、鼓风机和压缩机也需要为其齿轮箱加油，以防它们过早磨损，并确保其在低噪声和低振动水平下平稳运行。矿物真空泵油与合成真空泵油有什么区别？矿物真空泵油覆盖了基本的工业应用，如：抽吸空气以及少量水蒸汽，它们适用于中低工作温度。合成真空泵油比矿物真空泵油具有更好的粘度特性，因此适用于需要更高工艺负荷（例如：酸、化学品）和工作温度的严苛应用。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵，为客户提供专业的真空设备、真空解决方案设计、真空系统安装及售后维护保养等问题，如需更多真空泵装置详情，欢迎联系 13928410990

罗茨真空泵故障维护适用标准

2021 - 11 - 11

罗茨真空泵必须在完全的容积水平上工作，与旋片真空泵相比，罗茨真空泵没有内部压缩功能，能压缩排气压力。1.未达到极限压力，原因是配管.系统或泵部分漏气，前级泵的极限压力降低，润滑油水环真空泵的质量差，油封性差。维修方法是检查系统的泵，修理前段泵，更换润滑油和油封。2.吸引速度低，原因是配管的通路能力低，前级泵的吸引速度低，需要增加配管的通路能力，修理和更换前级泵。3.电机过载，可能是因为入口压力太高，转子端面与端盖的一面接触，来自前级泵的回油进入了罗茨茨真空泵旋片真空泵的泵室内。这需要调整压力转子和防逆流油的设置。4.在极限压力下工作，在极限压力下工作的状态下，真空泵的旋转速度很快，气体不会从壳体表面放出热。因为温度突然上升，转子和外壳的间隙变小，真空泵停止。否则，会导致真空泵变成真空。检查一个造纸真空脱水系统的罗茨真空泵的选定是否适用罗茨真空泵的标准主要如下1.呼吸力2.动作点轴功率3.电机功率在选定罗茨真空泵时，吸引力满足生产线的工艺要求的情况下，可以尽可能减少罗茨真空泵的工作点的轴力，在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下，制浆的生产成本进一步变小，马达的设置力也小的情况下，电配置成本也得到抑制。

激光真空焊接设备之罗茨旋片真空机组

2021 - 12 - 16

激光真空焊接工艺的实现，得益于深圳恒才机电设备有限公司的罗茨旋片真空机组。应用于电子行业，电子产品精密焊接工艺，为改善激光真空焊接工艺高要求，深圳恒才为其定制了新的真空解决方案，一起来了解下。罗茨旋片真空机组，采用ZRS 250罗茨真空泵及GVD 28旋片真空泵，及密闭腔体，组成了罗茨旋片真空机组，有效解决了激光焊接设备的真空度低、机器故障、真空泵设备抖动大等问题。进口罗茨旋片真空机组应用于真空焊接的优势：1、低噪音、体积小巧，轴封技术，无油泵结构，环保无污染2、自动调整泵的转速，从而防止电机过载、过热；3、抽气时间缩短达50%、提高效率，节约成本；4、运行压力低，可靠性高、稳定性好等特点；5、使用寿命长，维护容易；新的真空方案解决了原有存在的问题，在密闭腔体里面实现真空焊接工艺，更精密更精准，激光真空焊接设备提高了工作效率，为生产增加效益，激光真空焊接的工艺也得到了改善。深圳恒才真空泵方案的改造，给客户的生产带来更多便利、提高工作效率、降低了维护成本及环保难题，更多真空泵相关详情，欢迎致电深圳恒才机电设备有限公司，我们将竭诚为您服务 13928410990 张小姐。

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挤出真空设备特点是什么？

发布时间: 2024 - 04 - 15

来源: 0

挤出真空设备特点是什么？挤出真空泵设备是一种广泛应用于各种工业领域的设备，具有许多独特的特点和优势。本文将从挤出真空泵设备的工作原理、结构特点、应用领域以及维护保养等方面进行详细介绍，以帮助读者更好地了解和应用该设备。挤出真空设备特点是什么？一、工作原理挤出真空泵设备的工作原理主要是利用机械力将气体排出，从而形成真空。具体而言，该设备通过旋转的叶轮或活塞等机构，将气体从进气口吸入，经过压缩和排出，...

旋片真空泵污染及处理

发布时间: 2020 - 02 - 17

来源: 63

旋片和泵腔之间的间隙被油密封，因此旋片真空泵通常是油封的机器真空泵。旋片真空泵可靠耐用，可以单独使用，也可以用作真空泵或超高真空泵的前级泵或超高真空泵的前级泵或预吸泵。旋片真空泵广泛用于冶金，机械，电子，化学工业，轻工业，石油和医药的生产和科研部门。然而，在长期使用中，其污染问题令许多用户头痛。鉴于此问题，本文分析了真空泵公司对旋片真空泵的污染和处理。让我们一起看看。　　真空泵公司分析旋片真空泵的污染和处理方法，主要有四点：　　1、由于旋转板型真空泵机构固有的自补偿间隙调节作用，因此它对小型机构损伤并不特别敏感。在大多数设计中，选择滑动轴承比起球形轴承对灰尘的敏感性低。一旦尘埃颗粒由于重力作用从油中分离出来，就会在油池中产生沉淀物，并且直到将其除去后才将其纳入油循环中。这些灰尘颗粒可以用机油滤清器过滤，但这似乎不值得。如果污染严重且滤清器更换太复杂，则不如更换机油那么容易。最好将灰尘颗粒进入泵之前，将其放置在可以处理的地方。为此，使用干式过滤器和油污收集器，真空泵维修最为有效。选择的保护方法应取决于要处理的体积，灰尘颗粒的大小和允许的压降。如果是研磨性粉尘颗粒，泵部件的表面硬度应为增高，以延长使用寿命。　　2、暴露于低蒸气压的物质并不罕见。这些物质在泵中冷凝并与润滑剂混合，或者稀释润滑剂，或者形成油漆状和凝胶状沉积物。气镇方法对此无能为力。最好的真空泵维修方法是在蒸气进入泵之前将其阻塞。但是，在许多情况下，这是不合适的，因为泵在如此宽的压力范围内工作，很难设计出有效的疏水阀，或者由于某些污染物，很难对疏水阀进行维护。这时，大多数都可以通过定期换油解决。　　3、在拧紧过程中，水蒸气会凝结成水滴并与真空泵混合形成悬浮液，这不仅会降低真空度，还会导致真空泵腔体和转子生锈，从而破坏转子密封表面，以及极高的真空度。因此，重要的是防止水蒸气污染真空泵。真空泵分享有一些提示：　　①...

真空系统用在制药工业中

发布时间: 2020 - 02 - 17

来源: 37

制药业不仅是国民经济的一个部门，还是治疗，预防，保健和计划生育的社会福利事业。由于药物种类繁多，更新迅速，新药开发工作，要求高，难度大，成本高和周期长，因此制剂的生产需要合适的人员，工厂，设备，测试仪器和良好的卫生环境，以及各种必要的配方辅助材料与适用的内部和外部包装材料相匹配。以下编辑人员将分析常见真空设备和真空系统在制药行业中的应用。　　真空技术是一种相对先进的技术，已在中国许多领域得到广泛应用。真空技术是中国医药工业发展中的一项重要技术，可以满足医药生产的需要，并可以保证较高的卫生标准。因此，研究真空技术在制药机械行业中的应用具有重要意义。　　制药行业常用的真空设备有哪些?　　①真空微波干燥设备。它是一种广泛使用的真空设备。该设备具有药品生产过程中加热速度快，加热效率高的特点，物料的回收率可达到100%。　　②带式真空干燥设备。内径可以达到2400mm，最大长度可以达到19000mm，但也有一些缺点：药物生产的进料不均匀，干燥速度较慢，水含量控制不足等。　　③真空浓缩设备。它是药品生产中常用的机械设备。　　在实际使用中，为了达到以下目的：一次提取大量物料，并且提取纯度高，提高了药品的生产质量和生产效果，提高了生产效率，节省了生产成本，促进了生产企业的发展。使用其真空系统产品可延长正常工作时间，并且由于可重复使用，因此可以提高产量并节省成本。它不仅安全，而且即使在相当苛刻的工作环境中也可以毫无故障地工作，并且需要投资收益。　　温馨提示，对制药设备的要求：　　1.设备的设计，选择，安装，改造和维护必须符合预期用途。应尽量减少污染，交叉污染，混乱和错误，以方便操作，清洁，维护以及必要时进行消毒和灭菌。　　2.生产设备对药品不会有任何危害，与药品直接接触的生产设备的表面应光滑，稳定，易于消毒且耐腐蚀。请勿与药品发生化学反应或吸附药品或将物质释放到药品中，以免影响产品质量并造成...

罗茨-螺杆真空机组在生物医学方面的应用

发布时间: 2020 - 02 - 17

来源: 64

制药厂最初使用罗茨-水环真空装置。在生产过程中，系统的最佳真空度约为38Pa，整个装置的功率为62.6kw。现在它正在进行技术改造。即，使用罗茨螺杆真空机组的生产。在生产过程中，系统的最佳真空度为13P，整机功率为33.5kw。接下来，我将比较两者之间的区别以及干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的优点是什么。　　制药业和生物医学工程业是现代制药业的两大支柱。生物医学产业包括生物技术产业和制药产业。生物医学工程是生命科学和工程科学原理和方法的综合应用。从工程角度来看，它可以从分子，细胞，组织，器官和整个人体系统的多个层面了解人体的结构，功能和其他生命现象。用于医疗，人体功能辅助和保健的人造材料，产品，设备和系统技术的总称。生物医学工程行业包括：生物医学材料产品，(生物)人工器官，医学成像和诊断设备，医学电子仪器和监视设备，现代医学治疗设备，医学信息技术，康复工程技术和设备以及组织工程。　　在生物医学和化学工业中，罗茨螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置之间的比较有四个主要区别：　　1、由于罗茨-螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置相比降低了29kw，因此可以节省电费。　　2、因为原始系统的真空度不够高，所以应该提高加热温度。该系统目前的真空度良好，可以增加投入量，增加月产量，提高产品产量，为公司带来可观的经济效益。　　3、最初使用的水环泵，系统抽出的少量物料与水一起排出，这会消耗大量的水，污染水，并消耗大量水。螺杆真空泵无污水排放。排气口装有液气分离装置以回收一些物料。同时，螺杆泵本身耐腐蚀，可以去除酸和碱气体以及大量的水蒸气和粉尘气体。　　4、罗茨螺杆真空装置运行非常平稳可靠，维护率极低，维护方便。它是制药，化学和产品蒸馏的理想泵送设备。干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的应用推广。　　随着中国科学技术的不断发展和进步，我国各行各业不断重视科学技术的研究和探索，并一直侧重于医...

抗击肺炎!恒才与您一起坚持，美好终会到来

发布时间: 2020 - 02 - 17

来源: 54

目前新型肺炎肆虐，很多人受到影响。大家都希望这场疫情早点结束。恢复我们往日的生活秩序。恒才机电一直关注着疫情的发展，借这次机会向奋斗在一线的医护人员表示深深的敬意。　　以诚为本，履行应尽的社会责任。恒才机电与您一起抗疫。公司为了医院和医疗机构的客户专门推出医院中心负压系统。　　医用真空负压系统：医用中心吸引系统是由中心吸引站的真空泵机组作为负压源，通过真空泵的抽吸使吸引系统管路到达所需的负压值，在手术室、抢救室、治疗室和各个病房的终端处产生吸力，主要用于吸除病人的污秽物及其他污染物。　　系统组成：　　负压站，由真空泵机组和真空容器组成的独立操作间，一般包括真空泵、真空罐、分气缸、集污罐、真空仪表、控制柜和连接管道等;　　中心吸引站到各病区、各楼层、各病房的管道系统;　　吸引管路的末端，插拔式自封快速接头，连接吸引器和吸引瓶等吸引装置;　　现有医用负压系统的问题　　真空系统前段只配有一道细菌过滤器，且只关注0.2~0.5μm以上粒径的去除比例，对低于这个粒径过滤不佳，对细菌有一定过滤效果，难以过滤病毒。　　未配备加热设备，进行病毒及细菌的灭活。　　现有的医用真空系统都存在二次污染的情况。　　恒才机电推荐医院负压系统方案　　医用真空分两路供应，普通管线和ICU、产房及手术室等专用管线。　　除菌思路：　　灭活为主，灭而非防。　　采取叠加灭活，广谱。　　化学灭活是主要手段，高温是辅助。　　高温灭活，真空泵起主要作用。　　不对细菌过滤器过度依赖。　　推荐适合肺炎疫情的真空泵：　　主推：干爪式真空泵，干爪泵内高温可以有效去除病菌，维保周期长，且保养不接触泵腔，维护人员无病菌感染风险。　　水环真空泵，我们可在现有基础上进行改良，将极大降低病菌感染风险。　　旋片真空泵，运行温度下灭菌效果不好，需要频繁维保，维护人员存在病菌感染风险。可提供现有系统改造。　　油螺杆真空泵，润滑油中有机物质会滋...

真空泵的散热和冷却技术介绍

发布时间: 2020 - 02 - 17

来源: 60

当真空泵执行能量转换时，始终只有一小部分损耗转换成热量。它必须通过电动机外壳和周围的介质连续散发热量散发。散发的这种加热过程称为冷却。此外，当真空泵工作时会产生一定量的热量。如果不及时散发热量，将会影响真空泵的内部部件，甚至随着时间的流逝而损坏真空泵。这会影响风扇的正常运行，甚至损坏风扇。以下是真空泵改造厂家对真空泵的散热和冷却技术的分析。　　真空泵，每个人都不陌生，但是真空泵是否不能存在大量的油。实际上，真空泵已广泛用于许多行业。通常，将水环泵用作前级泵比其他真空泵更有利。这主要是因为它可以泵送大量的冷凝蒸汽，尤其是当气镇油封机械没有足够的能力去除冷凝蒸汽，或者，使用的溶剂会使泵油变差并影响性能，或者当真空系统不允许油污染。因此，不得给真空泵上油。　　专业的真空泵改装厂家想告诉您，真空泵有多种类型的散热和冷却解决方案，并且根据身体不同部位的发热来确定适当的散热解决方案。例如，当真空泵的工作压力高时，温度迅速升高并且温度高。普通真空泵需要循环水进行冷却和冷却，以保护风扇不受损坏。　　真空泵厂家在分析真空泵的冷却和冷却技术时有四个重要点：　　一、空气冷却：　　即，由级间泵或双级泵吸入的空气被压缩，然后通过组合吸收和相差组合消音器传输。　　二、转子内部冷却：　　为了使真空泵在更高的压差下工作，可以采用更有效的冷却方法。即，转子通过循环油冷却。真空单元轴的两端有油孔和油径轴头。从另一端放电。　　三、转子油膜冷却：　　这种冷却方法是在真空泵的入口处连接一个油管，并使用均匀滴下的冷却油除去转子的热量。　　四、冷却：　　真空泵由于气体的输送和压缩而产生热量，该热量必须从转子传递到外壳和散发。

详解双级旋片真空泵的维修方法

发布时间: 2020 - 01 - 15

来源: 115

1、首先了解泵的类型、特点、现状。了解使用要求并确定维修目标。维护前准备测试方法。　　2.判断故障并确认故障。准确的判断可以省去麻烦。诊断必须得到验证。　　3、故障排除，先简单后复杂，先简单后困难。不拆除就不要拆除。为了减少新损坏造成的专用工具的缺乏和操作不当，减少位置和运行时间的变化。一般来说，拼接转子是不可拆卸的，否则形状和位置公差将得不到保证，转子将报废。　　4.对于有毒、有害和腐蚀性泵，应要求用户首先清洁它们，并告知它们必要的保护措施，以确保维护人员的健康。　　5.故障分类。建议将故障分为运行故障和性能故障。操作故障可能包括泵不旋转;性能故障可能包括未能满足或未能满足要求，如极限压力、极限满压、提取效率、噪音、喷油、气体镇流器性能等。　　6.故障判断和诊断示例　　1)泵不旋转。如果情况不清楚，不能先启动泵，以免加重故障。能用手移动，不能用手移动。　　(1)泵可以不转动地移动。原因可能是联轴器故障;皮带打滑;电机接线不正确;电机损坏;电源中断等。　　(2)不能上盘或上盘很重，原因可能是启动泵温度过低，泵油粘度过高;由于设计和制造原因，泵关闭后返回的机油过多。由于油位过高，泵返回的油过多(添加的油过多，或泵中冷凝的水蒸气，或排气管中冷凝的水返回泵);泵内有异物(进气管内有焊渣和氧化物;螺旋弹簧等泵部件的碎片;旋转件变形卡住;发生堵塞(铜套管、转子、中间壁、泵盖、定子、轴承)。　　2)双级旋片真空泵温度过高。在低位排气阀附近测得的最高油温超过了操作说明中规定的值。随着泵的温度升高，泵油的粘度将大大降低，泵油的饱和蒸汽压将增加，这将增加泵的极限压力并降低泵送效率。橡胶零件容易老化。热膨胀减小了工作间隙，特别是一些非金属旋转板的厚度方向和铜套内孔的间隙，影响了泵运行的可靠性。泵温度高的原因可能是泵的环境温度太高、进气温度太高、进气冷却装置失效以及泵长期连续运行的进气压力太高。...

旋片真空泵降噪问题如何解决

发布时间: 2020 - 01 - 15

来源: 71

旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时，在极限真空下测得的噪声水平。　　它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户而言，它还关注泵温度不稳定时的启动阶段噪声、不同入口压力下的运行噪声以及气体开启镇流器的运行噪声。因此。应该考虑许多因素。　　旋片真空泵的噪声源如下　　(1)转子对缸体的影响，泵的剩余容积和排气死区内压力油的发声。　　(2)排气阀片对阀座和支架的影响。　　(3)盒子里的回声和气泡破裂。　　(4)轴承噪声。　　(5)大量油气撞击挡油板产生的噪音。　　(6)其他。如传动引起的噪音、风冷式泵的风扇噪音等。　　(7)电机噪声，这是一个关键因素。　　旋片真空泵的设计和处理建议如下:　　1.旋片对气缸壁的影响　　如果使用不当的设计、制造或材料导致旋片滑动不顺畅，或者因为存在死气隙，不可压缩的油会导致旋片头部不总是靠近气缸壁运行，这将导致旋片撞击气缸壁。因此，宜采用圆弧面分隔进出口的结构。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时，排气端点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋片泵，考虑到旋片的实际厚度，建议取7 ~ Lomm，大泵取大值。当太近时，由于转弯　　如果转子旋转到切点位置时密封效果不好，那么副转子槽的存在以及转子头仅与一个窄条的接触将影响泵的泵速，甚至泵的极限压力。可以看出，这种结构不能完全消除排气死区，限制了降噪水平。　　应该指出，转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此，必须保证合理的公差配合和形位公差值，注意旋片的热膨胀，避免旋片和槽的磨损，注意冷油的粘度，设计足够的旋片弹簧力，当圆弧面用于分离时，转子中心的附加偏心值不应过大。否则，当转子通过两个圆弧时，它将倾向于在交点处脱离气缸壁，而不是产生冲击噪声。一般来说，小型泵只有0.20 ~ 0.25毫米，而大型泵可以适当增加。　　排气死区压力油和剩余容积压力油的发声。当泵达到极限压力时，两处的压力油在与真空室...

半导体真空泵在使用中要注意什么

发布时间: 2020 - 01 - 15

来源: 72

半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体，对生产和人员安全构成威胁。因此，半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:　　1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道，以避免过压　　在半导体真空泵的应用中，当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时，介质的组成可能极其复杂。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵，这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成，可能会堵塞真空泵或管道系统，影响真空泵的性能，导致压力升高或过压，并带来更大的风险。因此，有必要及时清理，必要时设置过滤设备。　　2.有效稀释有害气体的浓度　　半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此，在半导体真空泵的应用中，当抽取这些介质时，有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如，当与空气或氧气接触时，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时，也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此，当半导体真空泵提取这些介质时，在压缩前的当前条件下，需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。　　3.注意氧气的浓度　　如果空气中的氧气浓度过高，燃烧和爆炸风险也会发生。因此，在某些情况下，应注意氧气的浓度，并应使用惰性气体稀释它，以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油，并及时更换滤油器和油品。　　4.防止温度过高　　这一点更容易理解。在半导体在真空泵中的应用中，有许多有害气体。然而，无论是干式真空泵还是油封机械泵，如果泵腔内的温度过高，易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易造成危险。　　当我们使用真空泵时，需...

旋片真空泵的操作注意事项和故障处理

发布时间: 2020 - 01 - 15

来源: 60

旋片真空泵运行中的注意事项　　旋片真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内，并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或多个)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时，旋片可以沿着其径向凹槽来回滑动，并且总是与泵壳的内壁接触。旋片与转子一起旋转，将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:　　1、检查油位，以停止泵油至油标中心为宜。过低不能密封排气阀油，影响真空度。如果过高，在大气中启动时会导致燃油喷射。运行过程中，油位有所上升，这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油，从注油孔添加。加注后，应拧紧螺塞。油应该过滤，以防止异物进入堵塞油孔。　　2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口，则应与泵同时操作。　　3.当环境温度过高时，油温会升高，粘度会降低，饱和蒸汽压会升高，这将导致极限真空降低，特别是热电偶测得的全压力。如果通风和散热得到加强或泵油性能得到改善，极限真空可以得到改善。　　4.真空泵的极限真空应根据压缩水银真空计进行检查。如果压力表经过全面的预测试，泵的温度会达到稳定水平，泵的端口会直接连接到压力表上，并且在运行30分钟内会达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大，仅供参考。　　5.如果相对湿度高，或者泵送的气体含有更多的可冷凝蒸汽，在连接泵送容器后，宜在移动20~40分钟后打开气压阀，关闭气压阀。停泵前，气动阀可开启空载运行30分钟，以延长泵油的使用寿命。　　旋片真空泵的故障处理　　如果旋片真空泵运行不正常，经常会出现故障，如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。真空泵油在泵中乳化的现象等。在这种情况下，首先不要惊慌，然后关机后逐一消除。以下是一些故障排除方法。　　一、旋片真空泵的烟油喷射:指运行过程中旋片真空泵排气口的烟油喷射。　　故障1、抽烟。如果泵刚开始运转时有烟，这是正常的。...

旋片真空泵应该如何做保养

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旋片真空泵长期使用后，会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡滞”、严重油污、真空泵腔生锈、旋片撞击声大、硬物落入真空泵腔划伤真空泵腔、真空泵过热等异常现象。　　此时，真空泵必须拆卸和清洗。该方法包括以下步骤。　　(1)切断电源，从真空系统中取出真空泵。　　(2)用重力法或加压法排放和收集污油，避免环境污染。　　(3)取下皮带和滑轮键(双级旋片真空泵包括皮带)。　　(4)先拆下低真空端，拆下后端盖，然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。　　(5)拆下前端盖，取出高真空转子、转盘、弹簧等。　　(6)拆下视镜、排气阀、排气盖等。　　(7)用汽油彻底清洗去除的金属部件，并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%氟化氢钠溶液煮沸除去油。对于有毛刺或铁锈的零件，可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨以去除锈斑和毛刺。清洁过的零件必须干燥。　　(8)组装时，先安装后级，托起弹簧和旋转板，安装到转子中，然后将前端盖安装到真空泵室内，安装定位销，均匀对称地拧紧螺钉。组装后，旋转应灵活均匀。安装前转子和后端盖后，安装排气阀(排气阀片应紧紧地附在阀座上)和其他部件，如气体镇流器装置等。　　旋片真空泵维护注意事项，真空泵维护知识总结:　　(1)定期检查油位是否低以及干油标记线。如果有低干油标记，应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不应太多，否则会导致起动困难和喷油困难等问题。　　(2)应注意真空泵的正常运行、有无特殊噪音、机器过载运行以及电机真空泵温度过高。　　(3)水冷真空泵应防止冷却水中断，真空泵温度不得超过70度。如果环境温度低且干燥5度，真空泵中的冷却水应在关闭后排出，以防止真空泵冻结和破裂。　　(4)旋片真空泵应通过皮带保持清洁。真空泵上不得放置任何其他物体。　　(5)注意皮带松紧是否合适。如有必要，进行调整或更换。　　(6)真空泵油应每年定期更换1~3次。用于真空熔炼的机械真空泵每月可以...

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