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2019 - 10 - 18
水环式真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限压力,对于单级泵为 2.66~9.31kPa;对于双级泵为 0.133~0.665kPa。水环泵也可用作压缩机,它属于低压的压缩机,其压力范围为( 1~2)X105Pa表压力(在特定的条件下)。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中,如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等,得到了广泛的应用,由于水环泵压缩气体的过程是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘,含水的气体,因此,水环泵的应用日益增大。  水环泵的工作原理示意图,水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。  叶轮被偏心的安装在泵体中,当叶轮按图示方向旋转时,进入水环泵泵体的水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切(如Ⅰ -Ⅰ断面),水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上,叶片在水环内有一定的插入深度)。此时,叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部 0°为起点,那么叶轮在旋转前 180°时,小腔的容积逐渐由小变大(即从断面Ⅰ -Ⅰ到Ⅱ -Ⅱ),压强不...
2019 - 10 - 30
罗茨真空泵的抽速与前级真空泵的抽速之间的关系主要取决于体积效率和罗茨真空泵的压差。如果容积效率低,则罗茨真空泵装置的有效抽速会大幅下降。如果罗茨真空泵的压差超过最大允许压差,则压缩功将导致转子过热并被卡住。因为泵壳很容易到周围的环散热仍然不太热。  罗茨真空泵的最大允许压差在40-100hPa之间。在较高的压力范围(150hPa)中,允许的压差会稍高一些,这是因为抽气量值得感谢,并且改进了转子。冷却。随着压差的增加,不可避免地会增加所需的功率。  罗茨真空泵的出口管中安装了专用的气体冷却器,由于冷却气体的回流可以将转子的温度保持在指定范围内,因此可以增加最大允许压差。  内。在真空和高真空范围内,抽速比多使用10:1。当入口压力变化较大或前级压力变小时,压缩比降低,因此抽速比多选择。  1.当罗茨真空泵在较高压力下启动时,压力迅速下降并达到所需压力。尽管启动时超过了最大允许压力差,但短时过载(几分钟后)正常的罗茨真空泵电动机不会引起问题。当入口压力非常低或预真空泵气镇阀工作时,通常使用两级预真空泵,否则很难达到罗茨真空泵所需的预压力,并且在此压力下进行前期泵的抽速太低。这将导致压缩比过高并降低容积效率。  2.当泵的入口压力在真空度范围内时,这是允许的最大压差成为重要因素。当入口压力为15hPa时,罗茨真空泵与前级真空泵的泵速比为6:1,而当入口压力为75hPa时为2:1。在罗茨真...
2019 - 11 - 05
水环真空泵常见故障  第一,水环真空泵真空度不够  可能的原因:电机电源不足导致转速不足;供水不足;叶轮和分配板之间的间隙过大;机械密封损坏,导致漏水漏气;叶轮过度磨损;循环水不能排放。  排除方法:检查电源电压是否在电机额定电压范围内;增加供水(必须控制在正确的范围内,否则会导致电机过载和发热);调整叶轮和分配器板之间的间隙(一般为0.15-0.20毫米);更换机械密封;更换叶轮;检查出水管。  第二,水环真空泵不能启动,或者会发出很大的噪音  可能的原因:电机电源电压不足;马达无相位运转。泵长期不用导致生锈;泵内杂物的吸入;叶轮拖动分配器板。  排除方法:检查电源电压是否过低;检查电机接线是否牢固;如果泵长时间不用,可以添加除锈剂或打开泵盖除锈。打开泵盖清除杂物;调整叶轮和分配板之间的距离。  第三,水环真空泵电机过热  可能的原因:过量供水导致电机过载;电机缺相;通风口被堵住了;叶轮拖动其他零件。  排除方法:将供水减少至正常范围(参见泵操作说明中的供液量);检查接线是否牢固;检查排气口;打开泵盖,调整叶轮和其他部件之间的间隙。  第四,水环真空泵流量不足  可能的原因:管道泄漏;阻力损失增加。  排除方法:检查接头处的机械密封;检查管道和止回阀有无故障。  水环真空泵的日常维护  (1)正常工作时,应注意检查轴承的工作和润滑情况。建议其温度(轴承和外圈)一般比环境温度高15...
2019 - 11 - 07
水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。       水环真空泵在聚氯乙烯行业的应用  近几年来我国启动了许多大型的基本建设和技术改造项目,这些项目的实童都需要大量的聚氯乙烯材料,特别是房地产的兴旺,更加推动了聚氯乙烯行业的发展,据氯碱行业的统计,我国去年生产了410万吨聚氯乙烯,进口了200可吨。据该行业的预测,2005年的全国需求量将达800万吨,而到了2010年将达到1500万吨,正是因为需求量高速增加,使得我国的氯碱行业的企业加改造扩产,并且近一、二年新上了许多企业。氯碱企业的发展,必须配套水陕空泵和水环压缩机j用以抽除和压缩乙炔和氢气的水环真空泵和水环压缩机过去也不过30m3/min,而现在年产10万吨烧碱和10万吨聚氯乙烯的企业,需要的水环真空泵和水环压缩机达70m3/min以上。  水环真空泵和其它类型的机械真空泵相比有以下优点  1、结构简单,制造精度要求不高,容易加工。  2、结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。  3、压缩气体基本是等温的(通常多变压缩指数n=1.1~1.15...
2019 - 11 - 11
随着雕刻行业的发展,市场对雕刻机厂家提出了更高的要求。雕刻市场的生产细分行业的日益成熟,CNC雕刻满足大规模生产的需要,但也更简洁的用户界面。在一个重要的角色CNC雕刻机工作真空系统作用,最近把一些CNC雕刻机,相关应用程序和其他工业应用中的问题,以及真空系统的主要功能在分析CNC雕刻机。  所述CNC雕刻机的主要功能是适用于切割,在各种平面材料雕刻一个两维的,三维雕刻。另一个通用的金属斑块雕刻机的主要功能和优点:强大,一台机器,无论是产生青铜,不锈钢板,钛金,铝等金属表面牌刻字,图形艺术和手工艺刻图案等,可以很容易地得到。因为机器刻电镀工件的强函数可以从微小被加工到大格式标志徽章,铭牌。  CNC雕刻机的真空系统应用  木工  立体波浪板加工,橱柜门,工艺木门,免漆门,屏风,雕铣工艺窗口异型加工家具产品。  模具工业  雕刻各种浮雕,影雕,刻,平面雕刻,切割,清洗和其它效果底部。  雕刻业  广告招牌,PVC板,特氟隆片,双色板,标牌制作,压克力切割,塑料成型,字符切割,标牌制作,切割PVC,水晶板,丙烯酸类,LED /氖槽,孔形字面切割,光盒成型。  石雕业  天然大理石,花岗石,人造石,墓碑,里程碑,瓷砖,玻璃和电线三维浮雕雕刻,切割,倒边,钻立体雕刻的材料。  手工业  各种精细图案可以刻和在木,竹,人造大理石,有机板,双色板,水晶等材料的文本。  真空系统是由真空泵套,P...
2019 - 11 - 12
压力铸造分为高压铸造和低压铸造。高压铸造和低压铸造有什么区别?随着压铸行业的发展,越来越多的压铸制造商正在使用真空系统。如今,许多制造商对压铸零件有越来越高的要求。另外,在国内压铸行业中,使用真空制造商不多,真空系统的制造商也不平衡。结果,压铸制造商感到他们在选择真空设备时别无选择。本文旨在分析真空系统在高压铸造中的实际应用效果,希望对压铸制造商有所帮助。  高压铸造和低压铸造有什么区别?  高压铸造是将熔融的合金液体倒入压力室中,高速填充模具的型腔,并在压力下使合金液体凝固而形成的铸造方法。高压压铸的主要特征是与其他铸造方法不同的是高压和高速。 1熔融金属在压力下充满型腔,并在更高压力下结晶并凝固。共同压力是15-100MPa。 2金属液体通常以10-50 m/s的速度高速填充模腔,有些甚至会超过80 m/s(模腔通过入口浇口引入模腔的线速度),因此熔融金属填充时间非常短,可以在约0.01-0.2秒内填充型腔(取决于铸件的大小)。  低压铸造的过程是:在密封的坩埚(或密封的罐)中,引入干燥的压缩空气,熔融金属在气压的作用下沿立管上升进入浇口,并顺利通过浇口。进入腔体和保持在坩埚内的液面的气体压力。直到铸件完全凝固。然后,释放液体表面上的气压,并且液体提升管中的未固化金属液体流回坩埚。重新打开并取出铸件。  压铸的真空系统原理  压铸真空系统主要由三部分组成:真空阀,真空单元和控制...
2019 - 11 - 14
水环真空泵在使用时会产生较大的震动,这是一种相对常见的情况。这取决于其自身电动机的特性。通常,它不影响设备的正常使用,但是在使用环境时有一些特殊的要求,对设备的要求比较高,这种情况可能要求水环真空泵设备降低震动程度,以下将与小编来看看一起如何解决它。  1、对设备传动系统的改造也可以达到减震的目的。通常的具体操作是将设备和驱动轴之间的原始刚性连接调整为弹性连接,这也可以大大减少电动机和驱动轴到设备的振动传递。通常建议使用弹性套筒销联轴器,以使电动机和驱动轴振动,但使用挠性联轴器后,传递到水环真空泵的振动将大大降低。  2、增强管道刚度后也可以实现减震。通常,直接在设备上进行加固操作不是很容易。因此,在加固时,在出口钢管的焊接处使用加固。具体的操作方法是将真空泵出口与出口阀的连接管中使用的法兰沿入口和出口的方向焊接。这样可以大大提高钢管的刚度,并最大程度地减少变形的记录。实际操作后,可以证明加固后,减震效果非常好。  以上是水环真空泵减震的方法。除上述方法外,如果需要进行减震处理,还可以咨询专业人员,选择适合设备的方法,不要盲目调整。
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2019 - 08 - 06
螺杆真空泵可以去除大量的水蒸气和少量的灰尘,但螺杆真空泵可能会在长期使用后抽出。这种抽气现象非常影响设备的正常运行。这将使螺杆真空泵在正常工作模式下无法执行相应的工作。1.对于更高螺杆真空泵,不可能直接排放大气。如果直接排气环境将构成螺杆真空泵,则吸入口和排出口将具有太大的压力差,从而使真空泵过载。因此,必须确保能够达到更高的真空。确保转子之间有开放空间。2.使用前级泵时必须使用前级泵,然后当系统中的压力被吸入一定范围时,使用前级泵注入螺杆真空泵,以便可以避免螺杆真空泵的过载现象。另外,当转子连续翻转时,吸入的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间,然后通过排气口排出。由于吸入后的空间完全关闭,在泵室中内部气体没有被拧紧和膨胀,但是当转子的顶部翻过排气口的边缘并且空间与排气侧连通时,由于气体排气侧的压力高,一部分气体返回空间,因此气体压力高。突然增加了。当转子继续移动时,气体离开泵。螺杆真空泵的抽气现象也与通常的维护工作有关。定期维护和及时发现维护问题不仅可以减少设备故障,而且设备的使用也非常好。螺杆真空泵日常维护工作包括:1.有条不紊地清洁管道,确保管道畅通无阻。2.重新组装后,应进行测试。一般来说,它必须运行2小时,换油两次。由于螺杆真空泵在清洗过程中有一定量的挥发性物质,操作正常后即可正常运行。3.检查螺杆真空泵管道和接头是否松动。用手转动真空泵,看看真空泵是否灵活。4.定...
2019 - 08 - 10
为了提高设备的协调能力和效率,真空泵设备(旋片式真空泵)及其配置逐步系列化,完整,以更好地满足煤炭工业安全生产的需要,未来真空泵产品的发展方向。随着煤炭工业技术的发展,该领域各种应用的旋片式真空泵的设计得到了改进,为煤炭工业的安全,节能和环保做出了重要贡献。在设计和制造中,突出了旋片式真空泵在煤化工过程中的应用优势。典型的焦化厂通常包括选煤车间,焦化车间,回收车间,焦油加工车间,苯加工车间,脱硫车间和废水处理车间。煤层气可以合成许多化学产品的原料,如氨,甲醇或甲醛。旋片式真空泵是一种解决该过程问题的装置,例如减压,加压和合成蒸馏。广东旋片式真空泵在煤化工过程中有哪些优点?配置安全可靠:水环泵设计的气体分离器经过特殊设计,由相关仪器组成的真空压缩机组确保泵送的气体无泄漏。由于使用水或其他液体作为工作流体,它可以带走压缩热并连接到等温压缩过程,这特别适用于易燃易爆气体的提取和压力输送。它具有自身防爆的特点:为了满足煤炭工业安全生产的需要,服务煤炭行业更为专业。旋片式真空泵的设计具有灭火灭火苗的特点。因此,使用旋片式真空泵作为气体排放和运输,消除了防爆装置。这样的设施,这个优势非常明显,主要体现在:1。设施简化; 2.节水; 3.减少监测点; 4.完整的防爆功能。获得专利的真空单向阀位于真空泵的吸入口和系统之间。当异常停机时,系统和真空泵可以完全自动切换,具有防止回水和回火的功能。旋片式...
2019 - 08 - 14
分析干式真空泵主动跳闸的原因。干式真空泵是指使用机械设备,物理,有机化学或物理对抽水容器进行抽真空以获得真空泵的设备或机器设备。简而言之,干式真空泵是使用各种方法在封闭空间中改进,创建和维护真空泵的机器。例如,干式真空泵遇到有效跳闸条件。主要原因应该是掌握绊倒情况,然后解决干式真空泵绊倒的小问题,进而解决绊倒的小问题。干式真空泵制造商解释了为什么干式真空泵会跳闸。干式真空泵使用了很长时间。如果干式真空泵停止时间过长,电机负载将导致瞬态电流过高。关闭干式真空泵。进气口用于加热泵壳。电机负载。干式真空泵电机负载,当电流过高时,如电气控制柜上设置的电流量,干式真空泵将自动脱扣和脱扣,干式真空泵批发提醒干式真空泵是否正常这次。条件,可调大电流维护极限解决绊倒情况,干燥真空泵出口吸脏物或杂物,电机负载,可拆卸干式真空泵检查内部是否有小问题。干式真空泵电机连接到两相开关电源。三相电源未接通,可连接干式真空泵的三相电源。如果工作重复十个小时,仍然会进行调整。目前的流量限制只能用于平衡原材料和机电工程制造商的供需。
2019 - 08 - 27
充油设备绝缘油易受微生物,杂质和水分的污染。在绝缘油污染或污染之前,旋片式真空泵产品系列,定期过滤设备中变压器油的脱水和脱气,有效去除绝缘油中的水分,气体和杂质颗粒油。提高绝缘强度和油品质量,确保电气设备安全运行。然后,旋片真空泵在绝缘油处理中的应用可以发挥作用。首先,让我们简要了解绝缘油的作用。1.绝缘。充油电气设备充满绝缘油,去除空气并隔离不同电位的带电部件,增加带电部件之间的绝缘强度。油的质量越好,带电设备的绝缘安全性和可靠性越高。2.冷却和冷却效果。当电气设备通过电流时,产生热量,并且固体绝缘材料的导热率通常较差。在充满油之后,部分热量被油吸收,并通过循环冷却吸油热量带走热量,从而实现冷却和冷却带电设备的功能。3.灭弧效果。在开关设备中,绝缘油主要用作灭弧作用。当油浸开关工作时,触点会产生电弧,温度很高。如果没有带走热量,则冷却接触,并且在初始电弧发生之后,将继续产生电弧,并且装置容易燃烧。由于存在绝缘油,当初始电弧发生时,油在高温下分解,并且产生的气体的约70%是氢。氢的导热系数非常大,可以吸收大量的热量并将其传递给油,并直接接触接触。冷却以实现灭弧。随着变压器电压的增加和容量的增加,绝缘水平的裕度相对减小。通过这种方式,除了在材料,设计和制造过程的使用中的严格要求和仔细考虑之外,对绝缘油有新的要求和标准。同时,随着用油设备质量要求的提高,如粒径,对油净化设备的性能要求也...
2019 - 09 - 02
水环真空泵:水环真空泵在设备中的作用首先是为罗茨真空泵形成所需的真空。至于一般情况,单级水环真空泵的极限真空度不高,而目前中国生产的罗茨真空泵需要预真空比较高,所以实际上我们一般不需要单级水环真空泵作为罗茨真空泵的前级泵,但使用具有较低极限压力的两级水环真空泵作为前级泵,也可以减少。该单位的最终压力。泵和水环真空泵的最终压力为400Pa,可满足一般真空需求,但其应用规模受一定限制。如果两个罗茨真空泵串联连接然后与水环真空泵组合,它可以大大增加设备的极限压力(可以达到25Pa)。因此,在这种类型中通常看到两个罗茨真空泵串联连接,然后两级泵用作前级泵。如果需要更高的极限压力,可以使用三个罗茨真空泵和一个水环真空泵,其极限压力可以达到1Pa。如果需要需要大量水蒸气的真空系统,则更适合使用水环真空泵,但由于其极低的真空度(这只是相对的),极限真空度不高。尽管在需要高真空度的真空系统中,需要更高极限真空的机械真空泵用作前级泵。气镇机械真空泵可与水环真空泵并联,作为泵的前级泵。当真空钻孔时,水环真空泵用于预抽,直到水蒸气大大减少,然后打开燃气机械真空泵以切断水环真空泵。如果需求太长而无法完成钻孔时间,则所需的冷却水和功率相对较小。深圳恒才机电设备有限公司以“诚”为本, 持之以“恒”,赋之以“才”,以我们的专业和专注来忠诚地服务每一个客户, 提供给客户持续和稳定的真空系统(水环真空泵+罗茨真空泵...
2019 - 09 - 05
分析干式真空泵主动跳闸的原因。干式真空泵是指使用机械设备,物理,有机化学或物理对抽水容器进行抽真空以获得真空泵的设备或机器设备。简而言之,干式真空泵是使用各种方法在封闭空间中改进,创建和维护真空泵的机器。例如,干式真空泵遇到跳闸。主要原因应该是掌握绊倒情况,然后解决干式真空泵绊倒的小问题,进而解决绊倒的小问题。干式真空泵制造商解释了为什么干式真空泵会跳闸。干式真空泵使用了很长时间。如果干式真空泵停止时间过长,电机负载将导致瞬态电流过高。关闭干式真空泵。进气口用于加热泵壳。电机负载。干式真空泵电机负载,当电流过高时,如电气控制柜上设置的电流量,干式真空泵将自动脱扣和脱闸,干式真空泵批发提醒干式真空泵是否正常这次。条件,可调大电流维护极限解决绊倒情况,干燥真空泵出口吸脏物或杂物,电机负载,可拆卸干式真空泵检查内部是否有小问题。干式真空泵电机连接到两相开关电源。三相电源未接通,可连接干式真空泵的三相电源。如果旅行重复十个小时,仍然会进行调整。目前的流量限制只能用于平衡原材料和机电工程制造商的供需。深圳恒才机电设备有限公司,在干式真空泵生产,销售方面有多年经验。良好的产品和售后服务质量,在业界广受欢迎。干式真空泵方案欢迎联系:张:13928410990.
2019 - 09 - 12
实验真空环境模拟为了评估和研究一些运动部件的影响,拉伸机构的干摩擦,冷焊性能和升华,研究材料在真空条件,高真空和其他空间环境下的重量损失和老化是必需的。该试验是在多种因素的共同作用下进行的。众所周知,真空系统现在越来越广泛地应用于各个行业。下面介绍真空系统在热真空测试设备中的应用。 真空系统应用于半导体,集成电路和光电器件的制造过程。是集成电路专用设备的关键设备之一;它还用于各种其他涂装设备和真空应用设备。 热真空测试是在真空和某些温度条件下验证航天器及其组件的各种特性和功能的测试,包括冷浸,热浸和可变温度过程。环境条件是真空度优于6.5×10-3Pa;在冷黑色背景下,半球形法向发射率大于0.90。在模拟试验过程中,试件大部分处于工作状态,并测量其工作参数和环境参数。冷浸是指将航天器及其部件置于规定的最低试验温度一段特定时间;热浸是指在指定的时间内达到规定的最高测试温度。从室温到规定的最低试验温度,冷浸后再升至规定的最高试验温度,实习热浸,最后回到室温,成为温度循环。 热真空测试设备,也称为空间环境模拟设备或空间模拟器,是对模拟卫星及其组件在轨道运行的高真空条件下的卫星部件的测试。这是组件的热真空测试。热真空试验箱主要由真空容器,散热器和辐射屏,试验平台,制冷,加热系统,真空系统,循环水系统,供气系统,测量和控制系统,以及安全保护系统。...
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常见的真空泵发热问题原因及解决

日期: 2020-02-19
来源:
浏览次数: 197

  使用真空泵一段时间后,可能会发生各种问题,遇到这种情况时,我们不能忽略它。因为这不仅会缩短真空泵的使用寿命,而且可能存在危险,例如我们常见的真空泵发热问题。

  真空泵发热原因

  1、电机轴承损坏。

  2、真空泵过载运行。

  3、真空泵中的刀片损坏。

  4、电机轴承是否损坏。

  5、当前电压不足。

  6、真空泵油的问题,已经被乳化并且无法冷却吗。

  7、真空泵中的排气过滤器由于长期使用而发生故障。

常见的真空泵发热问题原因及解决

  真空泵发热解决方法

  1、关闭小出口阀。

  2、检查和故障排除。

  3、轴承更换。

  4、选择稳定电压。

  5、更换泵油。

  6、更换有故障的零件(排气过滤器,叶片等)。

  恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-8625533,手机13928410990。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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