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2020 - 07 - 06
市场上流行的旋片真空泵都是由定子的偏心原理构成的。 该设计结构简单、设计容易、维护容易,但也存在旋转重心偏心率大等缺点。 如果没有良好的质量平衡,进口旋片真空泵旋转时容易发生振动,产生噪音。  以滑阀式真空泵为例,复杂形状的闭合曲线是滑阀式真空泵的独特的转子运动轨迹,很难实现滑阀惯性力的完全平衡。 滑阀泵必须解决的一个重要问题是平衡滑阀的惯性力,减少产生的噪音. 现在,很多制造商由于振动引起的噪音,往往限制其速度,基本上可以以305 ^ -600r/min,分别达到1000r/min。  为了更生动地分析具体事项,以阀柱真空泵为例。 自从引入滑阀泵以来,其转子惯性力引起的振动引起了人们的关注,做了许多工作。 但是,到目前为止,这个问题还没有完全解决。 目前的一般共识是:滑阀转子产生的惯性力是泵振动的主要原因。  一个是流体的作用引起的振动。 当泵工作点明显偏离最佳效率点时,在叶片上产生不均匀的流动和不稳定的逆流,局部压降会引起气蚀。  其次,机械振动引起的机械原因:例如转子组件的不平衡:泵,马达,联轴器错误的轴弯曲:齿轮齿面磨损:滑动轴承油膜振动:滚动轴承轨道,钢球不圆形或内外圈封闭:的设计是合理的  目前的研究结果表明,阀芯式真空泵的主要振动是由泵阀体运动系统产生的不平衡惯性力引起的。 目前,有几种解决不平衡惯性力的方法。  一,使用动态平衡。 通常,先进行分析和计算,然后再添加...
2020 - 07 - 09
螺杆真空泵主要采用滤芯作为过滤器安装,是过滤器的重要工作部件。过滤效果主要由过滤元件的性能决定。螺杆真空泵的主要过滤方法有哪些?滤油器用于螺杆真空泵的滑油,延长了滤油器的使用寿命。安装在油路中的排气过滤器考虑了螺杆真空泵的排气阻力、防尘能力和油气性能要求。  达到平衡。不同的内部和外部位置使用不同的数据来实现不同的分离目的。进气过滤器可有效防止固体颗粒和细灰被吸入螺杆真空泵。减少机械磨损,提高运行可靠性。还能有效维护系统部件,延长螺旋真空泵的使用寿命。螺旋真空泵广泛应用于国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求高的企业。  如果完全了解螺杆真空泵,只有更好的维护才能停止。如果螺杆真空的泵腔不干燥,长期使用会生锈。当它被重复使用时,可能无法正常启动。那么如何正确除锈呢?人工除锈人工除锈是一种节约成本、更安全的方法。不需要使用化学产品除锈,因为螺杆真空泵的泵腔使用化学除锈剂,泵腔或多或少会损坏。  除锈剂除锈用除锈剂是干净的,但螺杆真空泵的泵室可能会有一定程度的损坏。如果使用中生锈,可根据情况选择防锈方法。当然,采取足够的防锈措施是好的,这不仅可以保证螺旋真空泵的正常使用,而且可以延长其使用时间。
2020 - 07 - 14
一般真空泵漏气是由以下几点情况引发的。  1)真空泵密封不严:拧紧所有的联接螺栓,拧紧填料压盖,紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处,还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。  2)轴承歪斜:这种现象使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言,其轴向间隙不均匀,叶艳旋转时,必然会有一部分与侧盖摩擦水环真空泵,擦伤侧盖和叶轮端面,使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时,大量地泄漏到吸入腔里去,使真空度或排气压力降低。这时就要将轴承拆下来进行修理,然后再进行正确地安装。  3)前后侧盖不同心:可能真空泵的前后侧盖有着较大的不同轴度,后果与轴承歪斜的相同。  4)真空泵发热:真空泵温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对旋片真空泵排气压力是没有什么影响的。  应用真空泵技术时,真空泵制造商认为有必要关注以下几个问题  1.产品的共晶点和共熔点  产品的共晶点是产品材料中的水分全部冻结时的产品材料温度,真空干燥技术的冻结温度参照材料的共晶点设定,为了使产品完全冻结,产品材料的冻结温度通常设定为比该共晶点低5~10。产品的共熔点是指冻结的产品从冰晶开始熔化时的温度罗茨真空泵。通常,在干燥食品材料时,加热温度不能高于产品材料的熔点。否则,会直接影响冻干产品的含水量和质量。  2.设定调整真空度  维持干燥真空时的真空度的能量约占冷...
2020 - 07 - 17
一、真空炉结构:  真空炉结构一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。  (1)真空炉壳:  密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质,炉壳一般用水冷或气冷降温。  (2)真空炉膛:  炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件,如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。  (3)坩埚:  熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚,有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。  (4)真空系统:  真空炉的真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。  二、真空炉工作原理:  工作原理即通过抽取真空,形成一个几乎没有空气的低压环境,然后利用水在低压(低于大气压)低温沸腾产生蒸汽,通过汽水凝结换热方式将热量输出的原理工作的。  三、真空设备:  从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。  真空炉种类繁多,对真空系统的要求也不尽相同。就真空而言,有低真空、中真空和高真空系统。  1.低真空系统低真空系统适用于真空范围为2~1333Pa的真空热处理炉,如预抽式低真空井式炉。大多数泵是基于油封的旋转泵。  2.中真空系统适用于真空度为3x10~1.333Pa的真空热处理炉,中真空系统在真空热处理炉中应用最为广泛,通常由两级真空泵机组组成。主泵采用旋转机械泵或滑阀式...
2020 - 07 - 22
螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的理想泵。由于其泵速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放、运行成本低,已广泛应用于半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。  目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,传统的真空泵系统已经不能满足清洁、无油、耐腐蚀、可冷凝的抽汽和恶劣工况下运行的要求。因此,近年来,干式真空泵发展迅速,并且通过真空获得的产品已经更新。  螺杆真空泵的特征  螺杆真空泵:的工作原理一对同步齿轮带动螺杆反向旋转,螺杆与泵室之间有一定的间隙,没有任何金属对金属的接触。因此,当螺杆旋转时,泵送的气体从空气入口被吸入,并被排放到空气出口。  早期的螺杆真空泵具有相同的螺距。为了降低能耗和泵腔内的温度,后来开发了变螺距螺杆真空泵。其中一个螺丝是由两个不同螺距的螺丝拼接而成,另一个是螺距不断变化的螺丝杆真空泵,螺丝是由一种整体材料制成的。  螺杆真空泵的特征如下  变螺距结构,比等螺距螺杆节能30%,排气温度更低;  泵送气体在泵腔中的距离很短,并且被快速排出;  泵送的气体很少在泵室内搅拌;  小颗粒不易积聚;  它能夹带液体、可冷凝物和微小颗粒;  低振动和噪音;  泵腔中的残留物很容易清除。  干式螺杆真空泵使用中的注意事项  使用干式螺杆真空泵的注意事项如下:  1.螺杆真空泵背压  螺杆真空泵通常的排气压力为大气压力,在匹配...
2020 - 07 - 27
在真空泵的日常使用中,应该采用什么样的真空泵维护方法? 今天小编共享真空泵的基本维护方法。 真空泵的日常维护方法大致分为日常维护和使用的维护方法。 以下是具体的维护方法,可以简单了解内容。  一.真空泵的定期维护方法  1.定期检查油位位置,及时调整油位,使油位不符合规定要求。 开真空泵时,确认油位在油标的中心。  2.仔细检查油质情况,发现应立即更换油,以便真空泵正常工作。  3.定期检查真空泵管路及接头的松动。 用手转动真空泵,检查真空泵是否柔软。 检查套筒的磨损情况,磨损大时要及时更换。  4.真空泵的换油考虑到实际使用情况和能否满足性能要求等情况,建议新的真空泵在100小时左右换油。 在油中找不到黑色金属粉末的情况下,可以适当延长油交换循环。  5.一般情况下,在真空泵事件2000小时后进行检查,检查橡胶密封的劣化程度,检查排气阀座是否破裂,去除阀座及排气阀座上沉淀的污垢。 汽油用于清洗和干燥真空泵室内的转子.旋转叶片和弹簧。 橡胶构件可以用干布清洗或擦拭。 清洗和组装时,必须注意轻便搬运。  二.真空泵的使用维护方法  1.真空泵运行中的维护方法是,真空泵轴承温度不得超过环境温度35。  2.冬季真空泵的维护方法,是使用时留心防冻液。 汽车停车后,需要拆下泵体的下排水塞来清洗介质。 防止结冰。  3.需要停止真空泵使用时,关闭男同性恋阀.压力补正,然后停止马达,减少因突然...
2020 - 08 - 03
罗茨真空泵使用一段时间后,会出现一些故障。在维护过程中,我们应该注意检查轴承、油封、机器密封和皮带是否损坏。如果损坏,应及时更换,罗茨泵应安装正确。  1.拆卸和清洁  第一步是拆卸三角带、泵进出口管道、伴热蒸汽管道和氮气管道;拆下地脚螺栓,并将真空泵移至维护平台。  其次,打开泵顶部各级盖板,用塞尺从上盖板插入人,测量转子与各级隔板的前后间隙,并做好记录。  最后,用记号笔在真空泵上部的整个平面位置做明显的标记,避免恢复时出错;清楚地标出主动转子和被动转子的前后方向;逐步从尾端拆卸真空泵泵体的连接螺栓,测量并记录各级隔膜之间的纸垫厚度,直至完全拆卸。用酒精清洗真空泵的所有部件,并用纱布纸清洗污染的部件;转子墙板和隔板的拉毛部分用锉刀修平,用抛光机抛光。  2.安装步骤  准备新的转子,滚动轴承、油封、机械密封和调整纸垫进行更换;更换前后轴承箱墙板上的油封以备后用。  (1)用矩形框固定维修平台,将主转子前挡板放在上面,根据标记放置主动和从动转子,逐步安装泵壳、挡板、级间密封圈、调节纸垫和四角圆柱定位销。注意拆卸时调整纸垫的厚度应与记录一致,并拧紧泵体的紧固螺栓。  (2)将泵体平放在维修平台上,安装两端隔板处的转子节流环;安装轴承箱内墙板;安装轴承座和轴承。  (3)用测隙规检查各级转子和隔板的前后间隙,要求满足真空泵维护手册中的间隙数据。一般情况下,保证前后转子与隔板的间隙大于...
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发布时间: 2024 - 04 - 15
来源: 0
挤出真空设备特点是什么?挤出真空泵设备是一种广泛应用于各种工业领域的设备,具有许多独特的特点和优势。本文将从挤出真空泵设备的工作原理、结构特点、应用领域以及维护保养等方面进行详细介绍,以帮助读者更好地了解和应用该设备。挤出真空设备特点是什么?一、工作原理挤出真空泵设备的工作原理主要是利用机械力将气体排出,从而形成真空。具体而言,该设备通过旋转的叶轮或活塞等机构,将气体从进气口吸入,经过压缩和排出,...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 65
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现问题,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等情况,以及真空泵油在泵内乳化等。如果出现这种情况,首先不用担心,今后就按照故障逐一等待关机扫描。这里有一些解决问题的方法。  1.旋片真空泵吸油和喷油:这意味着旋片真空泵在工作时在排气口吸油或喷油。  1、吸烟时,如果泵刚刚开始工作,有冒烟现象,恢复正常,如果长时间吸烟不正常。如何处理:烟雾表示修理泵进气口外的管道、阀门和容器。泄漏检测将在未来处理,吸烟将结束。涡街流量米  2、燃油喷射,说明进气口外有许多泄漏点,甚至进气口都暴露在大气中。如何处理:密封泵的进气口,使泵工作,如果没有油注入,澄清泄漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  2.旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.当钢瓶被敲击时,泵发出不规则的噪音,像金属撞击金属的声音。这是转子撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由于配套旋转板之间的拉簧断裂造成的,可能是收缩或弹出故障造成的。处理方法:翻转泵,看看螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2、排气阀片发出噪音,首先是泵排气阀片损坏。如何处理:更换排气阀片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前测得的旋叶真空泵真空度低于工厂目标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本条件。  1.这次添加的旋片真空泵油的商标与原来的不同。不同品牌的真空泵油有不同的结果,因为不同品牌的油的全蒸汽压不同。处理:根据货物的型号标准更换正确的新真空泵油。  2.另一个原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脱色,并且可能太脏。处理:排空泵内的所有真空泵油,更换同类型的真空泵油,并处理泵内泵送气体进入中的水蒸气和杂质。  3.泵送气体的温度可能过高。处理方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油没有保留...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 70
离心泵出口的止回阀的作用就是防止出口管路中的液体倒流形成水锤造成泵内叶轮损伤。  止回阀的安装与泵的多少无关,止回阀主要为了在泵停止运行后,防止液体回流,使泵倒转,从而造成损坏泵的事故,并且为了防止液体倒流对其他储罐等的损坏(从高位罐倒流会造成罐补抽坏)。因此最好加上止回阀。  如果能保证停泵前先关闭出口阀,且出口阀不内漏或损坏,也可以不安止回阀。  离心泵出口止回阀门'止回阀'的选型  一般的泵站工程情况,对于泵出口止回阀的选择,应遵循以下原则;  1、对泵出口管路口径较小的管路,即DN ≤50mm时,应选用升降式止回阀。  2、对泵出口管路口径DN50mm的管路,应选用旋启式止回阀旋启式止回阀可以水平或垂直安装。旋启式止回阀阀瓣绕转轴作旋转运动,其流体阻力一般小于升降式止回阀,它适用于较大口径的场合,安装位置不受限制,通常安装于水平管路,它适用与较大口径的场合。根据阀瓣的数目可分为单瓣旋启式、双瓣旋启式及多瓣旋启式三种。单瓣旋启式止回阀一般使用与中等口径的场合。大口径管路选用单瓣旋启式止回阀时,为减小水锤压力,最好采用能减小水锤压力的缓闭止回阀。双瓣旋启式止回阀适用与大中口径管路。对夹双瓣旋启式止回阀结构小、重量轻,是一种较快的止回阀;多瓣旋启式止回阀适用与大口径管路。  离心泵出口止回阀的安装  ① 旋启式止回阀一般安装在水平管道上:对于口径DN~80mm的止回阀,也可安装在垂直或向上倾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回阀应安装在水平管道上;立式升降式止回阀必须安装在垂直管道上,介质为自下而上流动。  ③ 由于止回阀容易损坏,因此,应靠近泵出口安装止回阀,在止回阀上部设有切断阀(一般用球阀或闸阀),方便检修。  ④ 为便于止回阀拆卸前泄压,对于止回阀本身不带放净阀的,应在止回阀与切断阀之间加装泄压用放净阀。  防止水力冲击对止回阀密封面损坏的保护措施...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 50
性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片真空泵多年来得到广泛应用的重要因素。旋片真空泵具有油润滑和密封结构,因此影响旋片真空泵可靠性和使用寿命的最重要因素是泵内蒸汽和化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。  1.蒸汽提取  大多数旋片真空泵制造商将详细解释设备在百帕时的蒸汽容差或克/小时时的蒸汽容量。这些信息指的是水蒸气。当气动阀打开且真空泵处于工作温度时,如果入口压力低于给定值,泵送的水蒸气不能冷凝。在干燥过程中,泵的尺寸不是由根据蒸汽量的泵速决定的,而是由每单位时间收集的水量决定的。因此,必须用关闭的真空侧阀和打开的空气压力阀预热泵约15至30分钟,以达到其最佳工作温度(油)(约70-80℃)。只有在正确的操作温度下,蒸汽才能通过打开的气动阀泵出。高真空阀门的延迟开启可以很容易地集成到控制系统中。  泵压过程完成后,建议打开气动阀,让真空泵继续运行约15分钟,这样泵体内剩余的蒸汽可以通过排气装置排出。该过程再生工作流体,以防止停滞腐蚀和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通过定时工具轻松集成到控制器中。如果系统需要低于1至2百帕极限压力的空气压力,则需要两级旋片真空泵。值得注意的是,两级旋叶真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量将低于单级泵。  2.工作流体  使用旋叶式真空泵时,工作流体(即真空泵油)主要负责三个重要功能:密封、润滑阀门和轴承、传导铝壳上的压缩和摩擦热以冷却泵体。  用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋转叶片泵和真空泵的重要预防性维护和日常维护。如果油位下降过低,泵系统将无法再润滑。由于缺乏润滑,泵系统的运行将被阻塞,最终导致泵故障。油位过低也会妨碍压缩热的最佳消散。泵过热会导致工作流体快速老化。缺乏润滑和形成油碳最终会导致泵故障。因此,必须确保泵的油位不能低于观察镜的中间位置。  需要定期检查工作流体的颜色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超过5%,就会呈现...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 46
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户来说,它还关注旋片真空泵温度不稳定时的启动阶段的噪声、不同入口压力下的操作噪声以及气体开启镇流器的操作噪声。因此,应该考虑许多因素。  根据声音产生的位置,旋片真空泵的噪音可分为以下几个方面:  (1)转子对缸体的冲击,泵的剩余容积和排气死区中的压力油的声音产生;  (2)排气阀片对阀座和支架的冲击;  (3)箱内回声和气泡破裂;  (4)轴承噪声;  (5)大量气体和油冲击挡油板产生的噪音;  (6)其他。如传动噪声、风冷泵风扇噪声等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  对旋片真空泵设计和处理方案的建议如下:  1.旋转板对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致转子板滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油导致转子板头部不总是靠近气缸壁,这将导致转子板撞击气缸壁。因此,采用圆弧面分隔进出口的结构是合适的。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气终点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋叶泵,考虑到旋叶的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当其过近时,由于转子转子槽的存在和只有一条窄条与转子头接触,一旦转子旋转到切点,密封效果不好,这将影响泵送速度甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意转子板的热膨胀,避免转子板与槽之间的擦伤,注意油的冷油粘度,设计足够的转子板弹簧力。采用圆弧面分离时,转子中心的附加偏心值不宜过大。否则,当转子穿过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,从而产生冲击噪声。一般来说,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以适当增加。  排气死区中的压力油和剩余容积中的压力油...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 43
疫情还没完全结束,  复工安全管理你知道怎么做吗?  关注人的问题  一是员工安全问题。员工复工,疫情防控压力也随之增大。企业应给员工提供复工指南,办公室防疫手册,要提醒员工做好4个防疫准则,戴口罩、勤洗手、勤通风、同事之间保持距离。  二是岗位缺员问题。受疫情影响,假期延长,停工企业外地员工返回后不能立即到岗,导致一线生产职工人力不足。建议企业组织人资、生产、设备、安全部门对岗位人力满足情况和人员安全生产能力进行一次评估,按照关键岗位员工到岗情况,确定复工时间。  三是人员心理问题。许多员工复工返岗后自由散漫的心还没有收回来,心思并没有真正回到工作岗位上,容易发生“三违”行为。建议企业在复工复产期间,安全管理人员要经常深入生产现场提醒与监督,同时严格落实领导干部带班制度,抓好反“三违”管理。  关注员工的复产问题,  还有我们的生产“复工设备”  一起来了解吧~  关注设备,实施管理  对装置开泵前的设备调试和吹扫、置换、气密试验等重要作业,以及装置开停泵流程、设备运转、公用工程启动等重要步骤,实施责任人签字确认制度,进行安全条件审核确认。  加强设备设施的管理。  一是检查设备的检验周期是否符合要求,  二是对管道、弯头减薄等设备腐蚀要进行一次风险识别判断;  三是动静设备存在的隐患是否得到消除;  四是报警联锁等是否完备在用、好用、管用。  看完泵的实施管理  还有泵的正确“操作方式”  一起记住它吧~  关注机械泵的维护  ①真空泵设备的启动,停用多日的真空泵启动时,请不要直接启动,应该先转动电机风叶至少三圈后再启动。如果连续启动三次后还停止机器,并用手盘动主机 ,再次启动机器!这样操作,可有效避免开机时供油不及时机头卡死的现象。  ②真空泵设备的停车,真空泵设备在进行停车的时候,要注意(如进气管有阀门)关闭进气管上的阀门,之后也就应该要关闭供水管,且要注意疾速关停...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 85
罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);  罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);单级的极限真空为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。  罗茨泵的极限真空不仅取决于泵本身的结构和制造精度,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,罗茨泵可以串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转,泵送的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0,然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭,泵室内的气体不会被压缩和膨胀。然而,当转子的顶部围绕排气口的边缘转动并且v0空间与排气侧连通时,由于排气侧的高气体压力,一些气体冲回到空间v0中,导致气体压力突然增加。当转子继续旋转时,气体离开泵。罗茨泵在泵室中,有两个“8”形转子安装在一...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 82
半导体工艺真空主要用于键合工艺,如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压。  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质,它们可能阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力上升或过压,并造成更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当提取这些介质时,有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  理解这一点更容易。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易产生危险。  当...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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当确定真空系统的配置时,设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。  真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙,以及可渗透元件或气体泄漏装置,当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时,这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂,不能用几何尺寸来表示,因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示,单位为pa·l/s。  焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。  常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等,是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查,超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧,大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝,而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试,并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小,内壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接,以避免两次焊接造成的有害空间。因此,有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。  此外,应该指出的是,由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹,从而对焊缝造成损坏,或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀,这可能形成泄漏点。  因此,所采用的焊接方法必须能够使焊缝的泄漏率满足这些条件下的技术要求。  目前,不锈钢广泛用于超高真空容器。应该说不锈钢的可焊性和可焊性都很好。为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,这也对焊缝的密封性能提出了严格的要求。微小泄漏难以检测、修复和消除。实践证明,非超高真空容器常用的压力检漏方法不能满足超高真空容器的漏率要求,即在压力检测找不到漏点的情况下,氦质谱检漏仍可能发现漏孔,不能满足漏率要求...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵运行中的注意事项  旋片式真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或更多)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可沿其径向槽来回滑动,并始终与泵壳内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,停止油泵油至油标中心为宜。过低不能将油密封到排气阀上,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。在运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入。加注后,应拧紧螺塞。应过滤油,以避免异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时运行。  3.当环境温度过高时,油温将升高,粘度将降低,饱和蒸汽压将升高,这将导致极限真空降低,尤其是热电偶测得的全压力。如果加强通风和散热或提高泵油性能,极限真空可以得到改善。  4.应根据压缩水银真空计检查真空泵的极限真空。如果压力表经过充分的预测试,泵的温度达到稳定的水平,泵的端口直接连接到压力表,并且在运行的30分钟内将达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,只能用于参考。  5.如果相对湿度较高,或者泵送气体中含有较多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开空气压力阀,关闭空气压力阀。停泵前,可打开气动阀空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵内乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,关机后再逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片式真空泵的烟雾和喷油:指运行中从旋片式真空泵排气口喷出的烟雾或喷油。  故障1,抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵长时间使用后,会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡死”、严重油污、真空泵室生锈、旋叶撞击声大、硬物落入真空泵室划伤真空泵室、真空泵过热等异常现象。  此时,必须拆卸和清洗真空泵。该方法包括以下步骤:  (1)切断电源,从真空系统中取出真空泵,  (2)用重力法或加压法排放和收集污油,避免污染环境;  (3)取下皮带和皮带轮键(双级旋叶真空泵包括皮带);  (4)先拆下低真空端,拆下后端盖,然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。  (5)取下前端盖,取出高真空转子、旋转板、弹簧等。  (6)取下观察镜、排气阀、排气盖等。  (7)用汽油彻底清洁去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%的氟化氢溶液煮沸以去除油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨,以去除锈斑和毛刺。清洁后的零件必须干燥。  (8)组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子上,然后将前端盖安装到真空泵室内,安装定位销,均匀对称地拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活且均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应与阀座紧密连接)和其他部件,如气体镇流装置等。  真空泵维护注意事项,总结真空泵维护知识:  (1)定期检查油位是否低,以及干油标记线。如果有低干油标记,应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不能太多,否则会造成起动困难和喷油困难等问题。  (2)应注意真空泵的正常运行、有无任何特殊噪音、机器的过载运行以及电机真空泵的温度过高。  (3)水冷真空泵应防止冷却水中断,真空泵温度不得超过70度。如果环境温度低且干燥5度,真空泵中的冷却水应在停机后排出,以防止真空泵冻结和破裂。  (4)真空泵应通过皮带保持清洁。真空泵上不得放置其他物体。  (5)注意皮带松紧是否合适。如有必要,调整或更换。  (6)真空泵油应每年定期更换1~3次。用于真空熔炼的机械真空泵每月...
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