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2019 - 07 - 02
真空泵是一种产量大,应用面很广的产品,但它确实是直接影响真空设备性能质量的必备基础产品。真空泵的范围从高/超真空到粗/低真空。产品可分为14类:高/超真空——低温泵,分子泵,溅射离子泵,钛升华泵,扩散泵。 中真空——干式泵,两级旋片泵,罗茨泵,油增压泵,水蒸汽喷射泵。 粗/低真空——单级旋片泵,滑阀泵,液环泵,往复式真空泵。 真空泵市场根据用户需求动态变化。市场增长的主要驱动因素是半导体行业的快速发展以及干泵和分子泵应用的日益增长。 目前,全球真空泵市场年销售额约为20亿美元,年增长率约为7%。 中国有许多真空泵制造商。所有真空泵的年销售额约为1.5亿元,仅相当于美国 Kinney真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析,可以看出各种真空泵的市场和应用领域在不断变化和发展。中国的真空泵制造业历史悠久,基础扎实。国内生产的真空泵已经在各个领域得到应用和验证。一些泵也出口到国外,并得到了外国用户的认可,并得到了好评。应该说中国的真空泵制造业在中国内外部市场仍有巨大的发展空间。  1.液环泵虽然液环泵是一台粗真空泵,但它在中国的石油,化工,电力,纺织,造纸,医药等领域仍有很大的市场。在国外,液环泵的销量占真空泵市场总量的14%,仅次于干泵,因此Nash,Seimems和Kinney等公司正在中国投资或建立销售网络以...
2019 - 07 - 08
在修理空调和制冷设备时,维修人员通常使用真空泵疏散系统。真空应为-0.1MPa,持续24小时,并且真空度不会显着增加。  1.真空泵的结构和工作原理常用的真空泵是旋片式真空泵,是一种用泵油密封的机械泵。转子外圆与泵腔内表面相切,旋转叶片安装在转子选择中。在弹簧的作用下,它总是与定子腔壁紧密接触。当偏心率转子在电机的阻力下旋转时,旋转叶片也旋转。顺时针旋转时,吸入口连续吸入气体。进气腔不断膨胀。同时,排气腔变得越来越小,并且首先被吸入的气体被完全压缩。气压上升,在达到一定压力后,排气阀可以通过泵油冲洗并从排气管排出。这个循环不停止,它可以起到真空抽吸的作用。   2.常见故障按下并测试系统时,确认没有漏气,如果真空泵和系统管道连接正确,如果发现真空度低于规定要求,那么真空泵必须是检查是否有损坏或质量问题。  1)首先检查泵中的油是否低于标准管路,油质是否被涂抹,皂化或溢流过低,以致气体不能顺利排出。  2)检查进气阀处的金属网是否被灰尘或异物堵塞,导致吸气回路失效或效率下降。  3)检查电机驱动皮带是否过松和滑动,导致偏心率为转子。 4)检查真空泵的抽速是否适合泵系统。如果是“小马拉大车”,电量不够。  5)在上述原因消除后,应拆卸真空泵,如果损...
2019 - 07 - 11
工作前泵内必须充以一定数量的工作水是水环式真空泵能够工作的必要条件。向泵充入水后,当叶轮旋转时,水被带动旋转,形成一紧贴泵壳内壁的水环,水环内表面与叶轮轮毅表面及两侧盖端面之间形成一个月牙形的工作空间。该空间被叶轮的叶片分隔成若干个互不相通的腔室。这些腔室的容积随着叶轮的回转将会周期性地变大和变小。显然,腔室容积变大时将吸入流体,腔体容积变小时将会挤压和排出流体。吸入、压缩和排出三个工作阶段便组成了水环式真空泵的一个工作循环。 以输送气体为例: (1)吸入过程当叶间转过图中的右半转时,由于叶片外端与偏心的泵壳间的距离增加,叶间的液体就会被甩出,使叶间腔室的容积逐渐增大,气体便通过侧面的吸入口被吸入。 (2)压缩过程当叶间转过吸入口开始进入图示左半转时,由于泵壳与叶片外端的距离逐渐缩小,叶轮外按圆周方向高速流动的液流便会挤入叶间。这样,在叶间尚未与排出口相通时,其中的气体便受到压缩。 (3)排出过程当叶间转到与排出口相通时,叶间腔室中的压力即会在瞬间与排出压力相平衡,并在叶轮随后的转动过程中,由于叶外的液体不断挤入叶间,从而将气体排出。 可见,水环式真空泵的工作原理与叶片泵有非常相似之处,即都是靠工作腔室的容积变化来产生吸排,但两者却有着重要的差别。水环式真空泵中的定子是由一个旋转水环构成的,而这个水环是由叶轮给予工作水的动能所形成的。水环中的...
2019 - 07 - 16
今天小编为您提供了几种解决真空泵振动的方法供您参考。一,安装橡胶隔离器橡胶隔振器的选择:材料一般是氯丁橡胶(C.R),天然橡胶(N.R);一般采用压缩式橡胶减震器,对于轻型真空泵,可选用剪切式橡胶减震器;与弹簧减震器相比,橡胶减震器的减振性能相对不同。 二,安装弹簧隔离器1.真空泵弹簧隔离器选型本实用新型一般采用自立式弹簧减震器,结构简单,成本低廉。弹簧暴露在外面,弹簧状态随时可以观察,并且预先设置待更换的弹簧,以避免弹簧锈的过度损坏,导致真空泵突然下降导致装置。损坏和管道撕裂等现象。 2,弹簧的选择: 通常,阻尼器制造商需要满足以下要求:弹簧直径应不小于额定载荷下其高度的0.8倍;弹簧必须有一定的额外行程,涡街流量计至少等于额定静态挠度的50%;水平刚度至少是钢的直线度的100%,以确保阻尼器的稳定性。3.弹簧减振器挠度的选择; 通常,阻尼器制造商的额定弹簧阻尼器额定挠度(弹簧额定压缩)一般为25MM(从大约3-4HZ的频率值),这种偏转可以应用于650rpm的真空泵的振动。当速度低于650时,建议使用偏差为40或更小的弹簧隔振器。 第三,安装坚固的底座 为了满足更严格的振动标准,在添加坚固的底座时使用弹簧隔离器无疑是最佳选择。坚固底座的规格:底座的重量约为真空泵重量的1-2倍;框架由槽铁制成,其高度不小于长度的1/12...
2019 - 07 - 19
旋片式真空泵故障现象及真空泵维修方法文字:旋片式真空泵遇到故障现象,不用担心,直接找我们的真空泵维修人员。一,旋片式真空泵烟雾和燃油喷射指旋片式真空泵在排气口操作烟雾或燃油喷射。1.冒烟,如果泵刚刚开始运转,就会有烟雾,这是正常现象。如果你吸烟很长时间,这是不正常的。真空泵维修方法:烟雾指示泵入口外部,包括管道,阀门和容器的维护。检测到泄漏后,烟雾将结束。2,注射,表明进气口外大量泄漏,甚至进气口暴露在大气中。真空泵维护方法:密封泵的进气口,使泵运转。如果没有燃油喷射,则会发生泄漏;排气阀损坏,检查排气阀是否损坏,更换排气阀。二,旋片式真空泵噪音这里指的是泵的噪音。1.当你碰到气缸时,泵在运行时会发出不规则的声音,就像金属水龙头的声音一样。这是旋转盘撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由成对转子叶片之间的弹簧破裂或收缩或弹出故障引起的。真空泵维修方法:打开泵检查转子弹簧是否损坏。更换弹簧。2.排气阀的噪音主要是由于泵排气阀的损坏。真空泵维修方法:更换排气阀。在旋片式真空泵的运行中,如果操作不当,经常会出现真空泵真空,烟雾,燃油喷射,油封泄漏,噪音等故障,以及真空泵油乳化泵。在这种情况下,首先,不要惊慌,等待根据故障排除关机。以上是对故障现象的总结,以及真空泵的维护方法,希望对大家有所帮助。以上是旋片式真空泵和真空泵维护方法的共用。你学到了多少?如果您想了解更多关于真空泵的信息,请关...
2019 - 07 - 25
通常,离心泵的入口管线通常大于泵的入口直径,因此泵入口的安装直径减小。这两张照片显示了不同数量的离心泵,它们也是泵的吸入口。一个选择顶部平面设计,另一个选择底部平面设计。关于端吸式离心泵进水管上偏心头的安装问题(即泵入口为水平进水口),在泵管标准教科书中,规定为:偏心不同直径水平管道上的管道直径方向(水平部分向上或向下),由没有液袋或气囊确定(在两种情况下):1.当介质从顶部泵入底部时,底部偏心,安装头部,不存在液袋;  2.当介质从底部泵送到顶部时,顶部偏心,头部安装,没有安全气囊;一般来说,它通常“达到最低水平,直至最高水平”。还有:使用浆液或固体介质应平整。在离心泵的入口和出口处改变管道直径有什么用?主要是降低管道中介质的流速,降低流速,减少管道中流动介质的摩擦。离心泵入口处的水平偏心减速器通常布置在俯视图中,但是在减速器直接连接到向上弯曲的弯头的情况下,可以使用底部平面图。减速器应靠近泵入口。顶部扁平安装的原因是为了防止气体在偏心减速器中积聚并进入离心泵,并且发生气体腐蚀泵。当水平吸入离心泵入口减少时,管道从泵的底部到顶部安装,自下而下的泵从顶部到底部安装(以防止气体在泵口处积聚,它也安装了平顶)。并且抽吸速度低于杂质的沉降速度,并安装底板。原理是没有形成气穴。空化和污水排放是影响偏心头安装的两个主要因素。一般情况下,如果没有特别说明,为了考虑防汽蚀,顶...
2019 - 07 - 29
进口真空泵应在安装前按如下方式准备:(1)在安装部件之前,应完成清洁过程。其意思是去除加工过程中金属部件染色的油污,污垢,助焊剂和其他杂质,防止安装后进口真空系统内部产生气源。将去污染粉末去污染并用热水洗涤,然后用热空气干燥,最后用有机溶剂干燥。(2)安装前检查零件,并立即拆除有泄漏的零件,以防止泄漏的零件装在系统上,这对真空系统的调试不方便。(3)检查进口真空泵阀等部件的特性是否符合设计要求。(4)根据电气图检查电路是否完整。开关是指开路位置,相关测试仪器是否处于零点,接地线是否接地,以及操作是否安全。安装进口真空泵系统时需要注意的特殊问题是安装需要与泄漏检测工作紧密结合。该过程是安装机械泵并首先泵送空气,然后在需要真空度后安装主泵,从不安装系统。做好漏气检测,否则如果发生泄漏,将给安装工作带来不便。同时,在安装过程中,必须特别注意静密封法兰上的橡胶圈和法兰密封面。该标记可防止安装后漏气。
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2019 - 10 - 21
来源: 3
水环真空泵怎么选  耐腐蚀水环式真空泵,集耐腐蚀材料、高真空等技术于一体,产品具有耐腐蚀性能强、极限真空度高、排气量大等特点。  对于水环真空泵来说,要保证其稳定运行,就是为了效率以及稳定性,如果在极限真空度附近及大排气压力附近运行,真空泵的效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。而且水环真空泵还容易发生汽蚀现象,导致泵体、叶轮等零件的损坏,甚至无法工作。  在有基本的参数后,选泵过程中: ...
发布时间: 2019 - 08 - 29
来源: 7
当水环真空泵运行时,由于各种原因会产生噪音,那么如何解决噪音呢?1.水环真空泵 - 安装弹簧隔离器:(1)弹簧的选择弹簧直径应不小于其额定载荷高度的0.8倍;弹簧必须有一定的额外行程,涡街流量计至少是额定静态偏转的一半;弹簧的水平刚度至少与钢的直线度一样好,以确保阻尼器的稳定性。(2)水环真空泵 - 弹簧隔离器类型的选择水环真空泵一般采用自立式弹簧减震器,结构简单,成本低;弹簧暴露在外面,以便随时可以观察到弹簧状态,并且预先设置要更换的弹簧,以避免弹簧生锈的过度损坏,导致水环真空泵突然沉降,造成损坏水环泵设备和管道撕裂。(3)水环真空泵 - 弹簧减振器的挠度选择通常,制造商的弹簧阻尼器额定挠度(弹簧额定压缩)一般为25MM(从约3-4HZ的频率值),这种偏转可应用于650转/分的水环真空泵的振动隔离。当速度低于650时,建议使用偏差为40或更小的弹簧隔振器。2,水环真空泵 - 安装坚固的底座水环真空泵是满足更严格的振动标准的更好选择。添加坚固的底座时,最好使用弹簧隔离器。3,水环真空泵 - 安装橡胶隔振器橡胶隔离器通常由氯丁橡胶或天然橡胶制成。通常,使用压缩橡胶阻尼器。对于轻质水环真空泵,可以选择剪切橡胶减震器。常见的降噪方法包括安装隔振器和惰性基座。在降低水环真空泵的噪声之前,应分析噪声的原因,然后根据具体原因采取相应的解决方案,以达到合适的效果。
发布时间: 2019 - 08 - 29
来源: 10
水环真空泵是工业泵送工作中常用的一种设备。这要求水环泵的内部操作具有非常高的流畅性,因此如果存在问题,水环真空泵机器可能会卡住并且不能工作。由于某种原因,水环真空泵马达过载甚至转动,习惯上称这种现象“卡死”。水环真空泵卡住的原因是:1.弹簧损坏,导致旋转件受到不均匀的应力。2.装配不当,局部压力大.3.由于水环真空泵进风口过滤器丢失或损坏,外部污垢和金属屑落入水环泵腔内。4.水环真空泵泵转子,旋转叶片端面与端盖之间的间隙过小,摩擦热产生旋转叶片摩擦或过热而摩擦力过大,且硬度较大旋转叶片太大,因此端面很深。划伤,烧结卡住了.5.当轴与套筒配合过紧时,润滑油路不平滑,泵会因相互粘连而长时间卡住。水环真空泵泵室生锈。6.水环真空泵在潮湿环境中运行或去除潮湿气体,导致泵油变成乳化液或泵油垢或甚至地壳泵油的粘度太大(冬季).7.水环真空泵转子在启动时裂开.8.某些水环真空泵在高低真空室的空气通道上有半圆形凹槽,压在它们上面的橡胶板压得太紧,挡住了中间空气通道等。在卡纸时,由于转子过载或转动水环真空泵电机,电机很容易燃烧。即使不烧坏电机,如果不停止修理,也会损坏水环真空泵的泵腔,破坏旋转叶片,扭转转子,烧坏端面等。水环真空泵堵塞总是发生在转子,旋转叶片和端面或中间隔板之间或转子和泵室之间,这些是决定水环真空泵极限压力的关键部件,所以发卡。在死亡的情况下,必须紧急停止泵,消除故障,并正确修理。不允许对汽车进行测试甚至干燥。否则,很容易导致整个泵报废而无法修复。日常维护和检查工作,以尽量减少水环真空泵设备出现问题的可能性.
发布时间: 2019 - 04 - 08
来源: 83
离心泵有很多不同的类型,对于不同液体需要选择不同的离心泵,液体粘度不大、流量较大、扬程不高时,宜选用往复泵;液体粘度较大、流量较小、扬程不高或含有气泡时,可选用旋涡泵;液体粘度较大、流量较小、扬程较高时,宜选用转子泵。       理解类型的选择是最基本的,只有正确选择才能使得正常运转,但是我们在使用中经常会遇到突然泄漏的问题,这又是哪些原因造成的呢?下面就来分析一下。    1、抽空、气蚀或较长时间憋压,导致密封破坏;    2、对泵实际输出量偏小,大量介质泵内循环,热量积聚,引起介质气化,导致密封失效;    3、回流量偏大,导致吸人管侧容器(塔、釜、罐、池)底部沉渣泛起,损坏密封;    4、对较长时间停运,重新起动时没有手动盘车,摩擦副因粘连而扯坏密封面;    5、介质中腐蚀性、聚合性、结胶性物质增多;    6、环境温度急剧变化;    7、工况频繁变化或调整;    8、突然停电或故障停机等。    当遇到突然泄漏的问题,我们一定要正确分析,以采取对的措施,以免造成不要的损失。
发布时间: 2019 - 02 - 25
来源: 62
过完年过来有听到X客户反馈不锈钢磁力泵生锈的情况,并质疑是否买了假的不锈钢?其实不是的,不锈钢没有正确使用唯护,它也会生锈的。不锈钢磁力泵是靠它表面形成的一层非常薄但是坚固又紧密的富铬氧化膜保护膜,防止氧原子的继续渗入和氧化,从而获得抗锈蚀的能力,但如果因为某些原因,使保护层的薄膜遭到了持续的破坏,空气或液体中氧原子就会不断渗入或金属中铁原子不断地析离出来,形成疏松的氧化铁,金属表面也就受到不断地锈蚀。不锈钢受到破坏的形式很多,我们常见的情况有。(1)、污染的空气中含有氧化碳、氧化氮的大气、大量硫化物,遇冷凝水,形成硫酸、硝酸、醋酸液点,引起化学腐蚀;(2)、不锈钢磁力泵表面粘附含有酸、碱、盐类物质,如装修墙壁的碱水、石灰水喷溅,从而引起局部腐蚀;(3)、不锈钢磁力泵表面存积着含有其他金属元素的粉尘或异类金属颗粒的附着物,在潮湿的空气中,附着物与不锈钢间的冷凝水,将二者连成一个微电池,引发了电化学反应,保护膜受到破坏,称之谓电化学腐蚀; (4)、不锈钢磁力泵表面粘附有机物汁液(如瓜菜、面汤、痰等),在有水氧情况下,构成有机酸,长时间则有机酸对金属表面的腐蚀。为确保金属表面永久光亮,不被锈蚀,我们建议:1、 必须经常对装饰不锈钢表面进行清洁擦洗,去除附着物,消除引发修饰的外界因素。2、 海滨地区要使用 316材质不锈钢,316材质能抵抗海水腐蚀。不锈钢316材质(18Cr-12Ni-2.5Mo),因为其添加Mo,所以其耐蚀性、耐大气腐蚀性和高温强度特别好,可在苛刻的条件中使用;加工硬化性优(无磁性),它常应用于海水里用设备、化学、染料、造纸、草酸、肥料等生产设备;照像、食品工业、沿海地区设施、绳索、CD杆、螺栓、螺母。3、 市场上有些不锈钢管化学成分不能符合相应国家标准,达不到 304 材质要求。因此也会引起生锈,这就需要用户认真选择有信誉厂家的产品,304材质(18Cr-8...
发布时间: 2018 - 11 - 10
来源: 32
真空吸附是一种常见的一种真空泵应用,CNC加工加心就常常用真空泵来达到负压真空吸附。今天我们来了解一下CNC雕刻机如何运用真空吸附?真空吸附的原理,真空吸附采用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的。如图1 所示:通气口与真空发生装置相接,当真空发生装置启动后,通气口通气,吸盘内部的空气被抽走,形成了压力为P2 的真空状态。此时,吸盘内部的空气压力低于吸盘外部的大气压力P1,即P2      1.    初次启动,用螺丝刀拨动电动机风扇,确保叶轮无卡滞;    2.    吸气口与雕刻机吸附管道连接,严格进行密封,防止泄露;3.  必须用4平方以上的线。接线时,先按照一定顺序接,真空泵应该为顺时针方向转,如果电机反转,任意调换其中的两根线即可。4.连接电动机电源,并调整运转方向与所标相符;真空泵需要的电源开关不低于100A。真空泵的电源要独立,不许和其他设备共用一个电源开关,如果出现电机转速慢或者电源开关跳闸时,应及时关闭电源检查电路是否正常。    5.向水箱内注水,直到上水位口淌水为止;    6.打开向泵内注水阀门,并等待三分钟,确保工作液流入泵内。    7.真空泵在每天工作之前要进行补水,雕刻机在雕刻完每一块板时要把雕刻的阀门关闭,再上另一块板,不要切断真空泵电源,如果切断真空泵电源不关闭雕刻机阀门会导致真空泵的真空度变小。    8.启动电动机,真空泵开始工作,吸附台面产生吸附效果...
发布时间: 2018 - 11 - 08
来源: 37
不锈钢真空泵在使用的过程中,有时候会出现困油和困水,输不出介质的问题,遇上这样的问题我们应该怎么解决呢?下面就为您介绍一下。  (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵困油问题?       不锈钢真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系数e大于1,当出现同时有两对齿轮啮合的瞬间,在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积,一部分油液也就被困在这一封闭容积中,齿轮连续旋转时,这一封闭容积便逐渐减小,到两啮合点处于节点两侧的对称位置时,封闭容积为最小,齿轮再继续转动时,封闭容积又逐渐增大,直到容积又变为最大。        在封闭容积减小时,被困油液受到挤压,压力急剧上升,使轴承上突然受到很大的冲击载荷,使泵剧烈振动,这时高压油从一切可能泄漏的缝隙中挤出,造成功率损失,使油液发热等。当封闭容积增大时,由于没有油液补充,因此形成局部真空,使原来溶解于油液中的空气分离出来,形成了气泡,油液中产生气泡后,会引起噪声、汽蚀等一系列恶果。以上情况就是不锈钢真空泵的困油现象。这种困油现象极为严重地影响着不锈钢真空泵的工作平稳性和使用寿命。        为了消除困油现象,在不锈钢真空泵的泵盖上铣出两个困油卸荷凹槽。卸荷槽的位置应该使困油腔由大变小时,能通过卸荷槽与压油腔相通,而当困油腔由小变大时,能通过另一卸荷槽与吸油腔相通。两卸荷槽之间的距离,必须保证在任何时候都不能使压油腔和吸油腔互通。 (进口不锈钢真空泵图)不锈钢真空泵出水量少原因?不锈钢真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。不锈钢真空泵出水量少是运用中常见的一个问题,这种情况会形成效率降低,招致这种现象的详细缘由如下:1、主要缘由是所运用的不锈钢真...
发布时间: 2018 - 09 - 28
来源: 75
真空系统是真空干燥和真空冷冻干燥中的必备主要部件,为获得高质量的制品,必须知道对对真空干燥机的真空泵使用注意事项要有全面的了解,真空系统出现问题,就不能进行加工,因此,真空系统的日常维护保养是很重要的工作,下面我们就一起来学习一下真空系统的保养事项。一、真空泵油:1、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。3、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。 二、使用注意事项:1、尽量控制真空干燥机真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。2、真空干燥机真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。3、如发现真空干燥机真空泵有异常声音应立即停车检查原因。 三、真空泵清理:1、一般情况下,真空干燥机真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。2、有条件的对真空干燥机管中同样进行清理,确保管路畅通。3、检查真空干燥机真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵,试看真空泵是否灵活。4、向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。四、真空泵检查:1、拧下真空干燥机真空泵泵体的引水螺塞,灌注引水(或引浆)。2、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。3、点动电机,试看电机转向是否正确。4...
发布时间: 2018 - 08 - 23
来源: 68
深圳恒才真空泵以清洁无污染,而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业,今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。    半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项: 1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备;2、有效稀释有害气体的浓度:半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围;3、注意氧气的浓度:空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油滤和油品:4、防止温度过高:比较容易理...
发布时间: 2018 - 08 - 20
来源: 39
最近有些等离子清洗机的客户寻问客户技术的问题,今天就来探计一下。等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质,用真空泵实现一定的真空度,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。在真空等离子清洗机的使用过程中,如果有真空抽不了,真空度无法维持,抽真空时间也变长等的问题,应该是真空泵怠工了!今天恒才陈工用案例给我们分享一些维护保养小常识,仅供参考:现象:真空泵抽空能力下降,经测试真空泵在无负载状态下极限真空为8Pa;真空泵进行拆解保养后,真空泵在无负载状态下极限真空小于1Pa。维护保养的过程:对带回真空泵进行拆解保养及保养后性能测试,在拆解后发现真空泵腔体内有很多杂质堆积,真空油混浊且粘稠度较高,各级旋片出现不同程度磨损,止逆阀损坏、排气阀片断裂,详细阐明如下:             1、真空泵抽气滤网有大量杂质沉积,网孔出现堵塞:2、真空泵腔室内有大量杂质沉积和粘附,杂质会随真空泵的运行而流动,易造成真空泵转子卡死、真空泵各级旋片划伤及损坏、封堵油路、排气阀片断裂等情况,影响真空泵的抽空能力甚至导致真空泵转子等主要部件损坏。因大量杂质已经粘附于腔室内,一般清洗难以去除,需采用化学试剂浸泡清洗和物理打磨的方法去除。经确认,腔体内杂质以胶渣沉积物为主,其他成分无法确定,还需与客户进行技能讨论进行深化了解。3、排气阀片开裂,如下为换下的新旧的排气阀片对比图:  排气阀片在真空泵内起到单向阀的作用,开裂后排气阀片单向阀作用失效,导致真空泵无法正常抽真空,之后真空泵抽真空能力下降。    4、真空泵油位监视玻璃已经出现腐蚀及杂质附着的情况,无法清晰的对真空泵腔室内...
发布时间: 2018 - 07 - 18
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所谓真空,是指在给定的空间内,压力低于101325Pa的气体状态。旋片真空泵出现噪音的情况一般是因为,旋片真空泵的旋片对缸体的撞击,泵残余容积和排气死隙中的压力油的发声;排气阀片对阀座和支持件的撞击;箱体内的回声和气泡破裂声;轴承噪声;油冲击挡油板等引起的噪声;传动引起的噪声,风冷泵的风扇噪声;电机噪声等。 如果旋片真空泵出现噪音的时候该怎么去处理。下面小编给大家讲解如何降低旋片真空泵噪音的方法。1、旋片真空泵的旋片对缸壁的撞击:如果制造、设计或用材料不恰,会引起旋片真空泵的旋片滑动不畅,或者由于存在排气死隙,不可压缩的油引起旋片真空泵的旋片头部不能始终紧贴缸壁运转,就会引起旋片真空泵的旋片对缸壁的撞击发声。因此,宜采用园弧面分隔进排气口的结构。用排气导流槽消除死隙。在采用线分隔结构时,应尽量缩短排气终点到切点的距离,对于70l/s以下的旋片真空泵,考虑旋片的实际厚度,建议取7~lomm,大泵取大值。过近时,由于转子旋片槽的存在和旋片头部只有一条狭带接触,旋片转到切点位置时密封效果一旦不好,就会影响旋片真空泵的抽速甚至极限压力。可见这种结构不能完全消除排气死隙,限制了降噪水平。2、旋片真空泵泵到极限压力时,两处压力油会在与真空腔室接通时高速射向真空腔室,与转子、缸壁撞击发声。3、旋片真空泵的阀片对阀座和支持件的撞击噪声:吸入的气体量大,阀片噪声就越大,阀跳高,阀的面积大,阀片噪声也大,阀片材料也有一定影响。建议关闭阀片要及时,要严密。注意旋片真空泵阀的选材与结构。4、旋片真空泵两处容积的大小、位置与噪声有关。5、旋片真空泵箱体内的回声和气泡破裂声气量增大时,此项噪声将增大。因此,开气镇时或通大气时此项噪声会明显增大。如果气镇量可调,则可合理调节气镇量。6、需要指出的是,旋片真空泵的旋片与槽的间隙过大会降低性能。因此,要保证合理的公差配合和形位公差值,注意旋片的热膨胀,避免旋...
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