真空泵是一种真空获取设备，它可以利用物理、化学或机械方法从容器中抽取空气，以获得和改善真空环境。真空泵种类繁多，在我国许多工业领域都有应用。本文重点介绍了真空泵的分类以及几种常见真空泵的性能、优缺点，并分析了我国真空泵产品的发展趋势。

　　真空的意义

　　17世纪，意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指给定空间内气体压力低于一个大气压的气体状态。完全没有气体的状态叫做绝对真空。一般来说，我们指的是相对真空，也就是说，在可以达到的最低压力下，每立方米气体中仍有几个气体分子。

　　在真空技术中，“真空度”和“压力”通常用来表示真空度。某个空间的压力越低，真空度越高，压力越高，真空度越低。根据各压力范围内不同的物理特性，真空一般分为粗真空、低真空、高真空和超高真空。

　　真空泵的分类及发展趋势

　　真空泵的分类

　　自20世纪初以来，真空技术不断发展，真空设备种类越来越多，应用领域逐渐扩大。根据真空泵的工作原理，它可分为两种基本类型：输气泵和集气泵。输气泵主要是通过不断地吸入和排出气体来达到抽气的目的。气体捕获泵通过允许气体分子在泵的内表面上被吸附或冷凝来减少容器中气体分子的数量。

　　真空泵的分类及发展趋势

　　几种常见的工业真空泵及其发展趋势

　　水环真空泵是一种可变容积泵，它可以清除易燃、易爆和腐蚀性气体，以及含有灰尘和湿气的气体。该真空泵具有结构简单、易于维护、磨损小、安全性高、对输送的气体无污染等优点，但也存在效率低、真空度低(真空差)的缺点。水环泵的主要原材料是铸件，易于加工，劳动强度大。因此，国产产品比进口泵有价格优势，目前被广泛使用。目前，国内液环泵制造商应主要从减轻重量、减小体积、降低能耗和提高效率方面改进产品。

　　旋片真空泵是最基本的真空采集设备之一。它是一种油封式机械真空泵，适用于真空包装、真空成型、真空抽吸等封闭系统的抽气。但是，它不能用于去除氧气含量高、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应以及含有颗粒灰尘的气体，也不能去除水或其他液体。旋片真空泵具有体积小、重量轻、噪音低等优点，可以获得较高的真空度。国产旋片泵已达到技术标准，价格远低于进口泵，具有一定的竞争优势。目前，旋片真空泵需要解决的问题主要是旋叶材料、轴封漏油等。以及能够去除水蒸气的旋片真空泵的开发。

　　滑阀真空泵属于油封式变容真空泵，可用于抽取一般气体或含有少量凝析油。与旋片真空泵相比，滑阀真空泵具有能在高压(104帕)下工作、抽气能力大、能在恶劣工作条件下使用、经久耐用等优点。主要应用于真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等。滑阀泵铸件重，加工工作量大，因此许多国外生产企业希望与国内真空泵企业合作。为了加快替代进口，国内滑阀泵需要在降低振动噪声、防止喷油和漏油方面优化产品。

　　罗茨真空泵具有启动快、功耗低、泵速高等优点。它能抽出含有水蒸气和灰尘的气体，并能迅速抽出突然释放的气体。罗茨泵的使用可以减少泵送时间，提高生产效率。目前，国产罗茨泵的市场份额小于进口产品。为了抢占国内市场和进入国际市场，国内企业需要在降低振动噪声、解决轴封漏油、提高泵的平滑度和清洁度方面对国内产品进行改进。

　　干式螺旋真空泵是一种较新的真空获取设备，具有可靠性高、使用寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混合输送等特点。它能去除腐蚀性、毒性、含尘气体、可冷凝蒸汽和其他气体。干式泵有广泛的应用。代表性行业包括半导体工业、化学工业和电影工业。这三个行业的需求是干式泵市场的主要驱动力。美， 欧大约一半的半导体行业使用干式真空泵，而不是油封机械泵。目前，国内干式真空泵很少使用，市场份额不到1%。中国半导体行业主要使用进口干式泵。因此，应加大国产干式真空泵的研发力度，使干式真空泵成为中国真空产业新的经济增长点。

　　结论

　　经过长期的发展，真空泵有多种类型和应用领域。每种类型的真空泵都有不同的优良特性和性能。用户应根据各自的操作条件、真空要求和其他因素考虑如何选择真空泵。目前，我国真空行业应重视国产真空泵产品的升级换代，抢占更多国内市场和进入国际市场。