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晶圆吸附切割司倍克水环真空机组

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螺杆真空泵有什么优势?

2021 - 04 - 07

随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍，其质量也在不断提高。由于其特性和优势，它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用程序，让我们学习螺杆真空泵有什么优势?　　现在螺杆真空泵具有优异的耐腐蚀性。当使用螺杆真空泵时，我们会在启动后两个小时遇到减速器内壁温度很高的情况。对于机械设备来说，这种情况是非常不寻常的。因此，我们需要立即对其进行修复，如果温度没有下降，请注意，螺杆真空泵上的油窗不能与有机玻璃板一起使用。将低温冷却器升高到螺杆真空泵的真空泵位置，并施加负10度的冷却水以降低温度。螺杆真空泵制造商提醒，为了降低螺杆真空泵前泵的工作流体温度，应采取措施将温度降低到20度以下，以达到更好的使用效果。　　以上是螺杆真空泵良好使用效果的相关介绍。由于其特性和优点，它被广泛使用。在操作过程中，必须严格按照操作规程进行操作，以达到良好的效果，并避免因麻烦而造成不必要的麻烦。

螺杆真空泵的维护预防措施是什么

2021 - 04 - 20

随着螺杆真空泵的使用越来越普遍，其质量也在不断提高。由于其独特的优势，它被每个人广泛使用。为了使每个人都能更好地使用它，让我们了解螺杆真空泵的维护预防措施是什么。　　正确使用和定期维护螺杆真空泵可以延长设备的使用寿命。在提高日常操作效率的同时，有必要仔细观察维护过程，尤其是对于那些容易被忽视的小零件。首先检查螺杆真空泵是水平安装还是垂直安装，接地螺钉是否拧紧，电动机电缆连接是否正确以及电动机是否正常旋转。如果是反向操作，则应立即更正。进气管和排气管必须密封。安装消音器和进气阀，准备并检查泵是否与泵以相同的方向运转。如果不是，请立即更正。每次打开螺杆真空泵时，都需要使空气泵运转20至30分钟，然后将液体从泵和消音器排放到排气口。当没有液体排出时，准备正常的泵操作并打开冷却水阀。　　螺杆真空泵正在运行。打开进水阀，然后关闭进水口。数据的正常运行对于保护泵非常重要。由于螺杆真空泵的特殊结构，螺杆真空泵的操作不同于机械泵和罗茨泵。在极端压力的情况下，电流将相对较大。通常，电动机的功率是电动机的功率的两倍。在相同的大气条件下，它会非常小，并且达到正常发动机的水平是正常的。当螺杆真空泵停止运转时，关闭进气阀并打开进气阀，切断泵电机的电源，关闭冷却水源，并将冷却水排入泵中，以避免泵体冻结或低于4摄氏温度。冬季会导致螺杆真空泵无法运行。使用螺杆真空泵的正确方法是让每个操作员都掌握它。只有确保设备的...

真空泵的启动和停止步骤问题

2021 - 05 - 10

水环真空泵是发电厂真空系统中常用的真空设备。它在打开设备之前保持真空状态并在启动后保持真空状态方面起着重要作用。让我们谈谈真空泵的启动和停止步骤问题。　　水环真空泵的启动和停止步骤如下：　　1.在开始之前，请确认系统连接完好，作业单已结束，无关人员已从生产现场撤离，并且系统的相关阀状态正确。现场计量表已正常运行。　　其次，检查进气门的控制压力是否正常，压缩空气压力是否保持在0.4-0.5Mpa，进气门的电源是否已打开以及开关的测试是否正常。　　3.检查真空泵供水系统的阀门是否已打开，冷凝水泵是否正常运行或淡化水系统的压力是否正常。　　四，检查冷水机进水口和回水口是否打开，给水压力是否正常，检查汽水分离器，给水管阀处于正确状态，给水阀排水口底部有蒸汽。 -分水器关闭，泵体上的排水阀关闭。　　第五，打开水分离器水分离器旁通阀以补充水分离器水位至140-180mm，然后放电磁阀，打开电磁阀前后手动门并放置自动调节装置。　　6.测量仪的绝缘材料合格，然后将其发送到电源，检查电机接地线是否完好，并确认满足启动条件。　　7.确认排气装置的真空破坏门已关闭，并且轴封加热器水封已经运行。空隙破坏门充满水并密封。　　8.开始运行真空泵，电流不大于额定电流，检查真空泵是否正常运行，水气分离器的水位是否正常，泵的电机和轴承是否正常振动。温度变化正常，轴承温度正常。　　真空泵的轴承温度应不高于75，电动机...

螺杆泵的特点

2021 - 05 - 24

半导体制造业中有许多不同的真空泵。我们将其分为两类：主泵和高级真空泵。主泵在腔体中产生粗糙的中间真空有多种用途。在集成的多腔设备中清空容纳硅晶片的区域；为高级真空泵泵送空气。先进的真空泵用于获得10-3 Torr到10-9 Torr 的压力范围以及超高真空。新晶圆厂使用的现代真空泵是干燥的，这意味着内部没有油或润滑剂会回流到处理室并污染硅晶圆。螺杆泵特点：1.转子轮廓啮合均匀，密封性好，抽气效率高。2.最终真空度高，最大压力可达到0.2 Pa。3.进口螺杆转子专用加工中心一批，加工精度高，产品性能稳定。4.螺杆泵的所有转子都经过了G1动态平衡测试，并且在运行过程中泵的振动很小。5.泵标配了定制的电动机，并且在泵的油腔和电动机之间形成封闭结构，从而消除了电动机端部的动态轴伸密封，并消除了机油泄漏引擎末端出现问题。6.泵标配特殊的可拆洗消音器，具有良好的降噪效果和低噪音，同时易于拆卸，清洗和维护。7.螺杆泵结构合理，可以适应多种保养和维护措施，针对各种对泵有害的情况具有相应的处理方法，可以配备相应的结构或附件，具有很大的相关性。维护效果好，操作简单，处理时间短，可以更好地保证设备的正常运行。

干式真空泵和水环真空泵比较

2021 - 06 - 07

干式真空泵和水环真空泵是当今广泛使用的两类真空设备。虽然经常使用，但很多用户并不了解具体的区别。两种类型的设备比较进行介绍。　　1、真空稳定性性能对比：　　随着水环真空泵运行时间的增加，闭路冷却循环水中有机溶剂的含量逐渐增加，使得闭路冷却循环水的表面蒸气压增加(即更容易在相同条件下挥发)，从而导致真空装置的上限真空温度和抽气速度降低，从而延长干燥时间和产品质量。　　干爪式真空泵不存在上述问题，因为无水无油。　　2、真空度对比：　　爪形真空泵的上限真空压力高于5Pa，而水环泵的上限真空压力高于2000Pa。因此，在一些工业条件和矿山，爪形真空可以单独使用更换罗茨水环或常用的罗茨水射流。　　3、设备耐腐蚀性能对比：　　当系统中有酸性气体时，由于水环真空泵中存在水，酸性气体溶解在水中形成酸性液体。酸性液体由水环泵叶轮驱动，对泵有强烈的冲刷腐蚀。　　干爪式真空泵内无水，酸性气体不能形成酸性液体，设备无腐蚀。　　4、故障停机和停电对产品和系统的影响对比：　　水环真空泵在运行中出现故障停机后，水环泵内的水会在大气压下流回系统，造成产品污染和罗茨泵损坏。　　干爪泵内无水，不会发生上述事故。　　5、节能降耗效果对比：　　水环真空泵依靠叶轮在水离心机中做功，形成吸力，打气腔，从而达到抽气效果。因此，水环真空泵的主要能耗是叶轮在离心水时的能耗，在工作过程中能耗发生变化。　　当爪形真空泵接近真空上限时，...

干式真空泵进行防气蚀保护的原因

2021 - 06 - 23

干式真空泵是一类使用范围很广的设备，所以和其他真空设备一样，必须有相应的防气蚀保护措施，以免对空的使用产生一定的影响.泵，但有多个用户在气蚀中我不了解保护，所以我将介绍相关内容。　　空化是一种客观现象。干式真空泵工作时，当真空度达到-0.093MPa以上时，真空泵腔内的水很容易达到饱和蒸气压，此时会产生很多气泡。由于排气末端的压力增加，这些气泡会迅速爆炸。这时，原来气泡周围的水会迅速填满原来气泡的空间，对吸尘器的叶轮和盘片造成很大的冲击。抽的同时，还会伴随着咯吱咯吱的声音。气蚀刚刚开始损坏干式真空泵叶轮和圆盘。主要是由于叶轮的点状损坏，破坏了金属表面的保护层。随着空化时间的增加，会出现蜂窝状凹坑。在叶轮表面形成的深度会慢慢增加，直到叶轮叶片因气蚀和液体阻力而破裂。汽蚀是干式真空泵的主要威胁在实际应用中，许多真空泵因汽蚀而退化或损坏。　　以上是干式真空泵汽蚀保护的相关保护措施。根据以上操作，可以大大减少设备的气穴现象，从而有效提高设备的效率和使用寿命。

真空泵跳闸有哪些问题?

2021 - 07 - 08

干式真空泵的使用越来越多，其质量也在不断提高。被大家广泛使用。但是其优缺点也是非常明显。为了大家更好的使用，我们一起来了解一下真空泵跳闸有哪些问题?　　干式真空泵在使用时跳闸对设备的损害很大，零部件也会有一定程度的磨损。如果发生跳闸，应查找原因并进行修理，以免设备再次损坏。干式真空泵的排气口吸入异物或杂质，发动机加载。可拆开真空泵检查内部是否有故障。如果螺杆真空泵长期不使用，电机会充电，电流会暂时过高。这时可以关闭真空泵的进气口，加热泵体。　　干式真空泵的电机接两相电源。如果未启用三相电源，真空泵可以连接到三相电源。如果跳闸或运行约十小时后跳闸，可以调整过电流的上限。真空泵在使用时，真空泵电机加载。此时，电流过高。如果超过电控箱设定的电流，真空泵自行跳闸是正常的。可调整电流保护上限，解决跳闸问题。　　以上涉及启动干式真空泵。为保证其性能的稳定性，必须在使用时按照要求进行操作。您可以根据实际需要选择合适的解决方案。如果您需要，可以联系我们，我们是专业的厂家，我们会给您合理的建议，避免盲目操作造成的损失。

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晶圆减薄真空吸附为什么要用水环真空泵系统

发布时间: 2025 - 12 - 27

来源: 591

晶圆减薄真空吸附选用水环真空泵系统，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量，具体分析如下：一、无油设计保障晶圆洁净度水环真空泵以水为工作介质，无需润滑油，避免了油蒸气或油滴对晶圆表面的污染。在晶圆减薄过程中，即使微小的油污也可能导致后续工艺（如光刻、镀膜）出现缺陷，影响芯...

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

发布时间: 2025 - 07 - 25

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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

电子晶圆附附如何选型真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 24

来源: 1268

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始压强（Pa），P2 为目标压强（Pa）。应用场景：高精度加工：如光刻、键合等工艺，需高抽速（如＞1000L/s）以快速建立真空环境。一般加工：如切割、研磨等工艺，70-90 kPa真空度下，抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型：需了解被抽气体成分（如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等），针对性选择泵型。含蒸气或颗粒：需在进气口安装冷凝器或除尘器，防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体：需选用耐...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

发布时间: 2025 - 07 - 22

来源: 1268

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统油封泵的油蒸汽污染，保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计：支持低负荷省电运行，同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断，提高管理效率。即插即用安装：集成化设计（如电气室、机壳）简化安装流程，占地面积小，适合空间有限的工厂。自动启停功能：根据生产需求自动启停，减少人工干预，降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用：覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域，满...

电子行业如何做到集中抽真空

发布时间: 2025 - 07 - 09

来源: 1282

在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电子束设备中，低温泵与扩散泵、罗茨泵配合，实现高真空冷却。二、系统设计：模块化与集成化结合，提升灵活性模块化设计功能分区：将抽真空系统划分为预抽模块（机械泵+罗茨泵）、高真空模块（分子泵/扩散泵）、低温模块（低温泵）等，根据工艺需求灵活组合。快速切换：通过阀门控制气体流向，实现不同工艺腔体的快速切换，减少设备闲置时间。案例：半导体制造中，L/L腔与工艺处理腔独立设计，通过管道连接至中央真空泵组，实现...

塑胶造粒产线干式螺杆真空泵替代水环式真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 03

来源: 564

在塑胶造粒产线中，干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵，其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面，具体分析如下：1. 环保性：无污染排放，降低合规风险水环泵痛点：水环泵以水为密封介质，运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染，尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时，废水处理成本高且环保压力大。例如，某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款，后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势：采用无油无水设计，彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放，避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题，提升产品纯度。同时，尾气中未冷凝的溶剂（如甲苯）可通过常压冷凝器高效回收（回收率超96%），减少VOCs排放，满足严格环保法规。2. 工艺适应性：满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性：水环泵极限真空度仅达2000Pa，需多级泵串联才能实现更高真空，且真空度受水温、水质影响大（如夏季水温升高导致真空度下降）。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa（绝压），且运行稳定，不受水温及抽出溶剂影响，满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理：水环泵不便进行防腐处理，难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀；同时内置高效滤芯或旋风分离装置，拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质，避免磨损或堵塞，延长设备寿命。3. 稳定性：减少非计划停机，提升生产效率水环泵缺陷：水环与转子接触易磨损，需定期更换水环和滤芯，维护成本高。长时间运行后，水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降，需冷冻盐水冷却水箱，增加能耗和故障率。干式泵优势：螺杆转子间无接触，无磨损，寿命长达10年以上，维护仅需定期更换滤芯（寿命可达数千小时，支持在线反吹或脉冲清灰，无需停机）。无油设计避免油品变质导致的真空度波动，确保工艺参数稳定，减少次品率。例如，某企业采用干式泵...

干式螺杆真空泵对比水环真空泵的优势

发布时间: 2025 - 07 - 01

来源: 155

干式螺杆真空泵相比水环真空泵具有以下核心优势：1. 极限真空度更高，系统简化干式螺杆真空泵：单泵可直接从大气压抽至 1Pa（绝压），极限真空度高，无需多级泵串联，系统结构简单，连接管道少，泄漏点少，故障率低。水环真空泵：极限真空度仅 2000-4000Pa，需与多级罗茨泵或蒸汽喷射泵串联才能实现更高真空，系统复杂，维护成本高。2. 长期运行稳定性强，不受水温影响干式螺杆真空泵：无水环设计，运转稳定，不受水温波动或抽出溶剂的影响，适合连续高负荷运行。水环真空泵：水温升高会导致真空度下降，需用冷冻盐水冷却水箱，增加能耗；溶剂混入水体还会进一步降低真空性能。3. 溶剂回收率高，环保经济干式螺杆真空泵：工作腔内无介质，排气端可设置常压冷凝器，对未冷凝溶剂（如甲苯）进行高效回收，回收率超96%，且无废水产生。水环真空泵：溶剂直接混入水体，无法常压冷凝回收，需定期换水，产生大量废水，处理成本高。4. 防腐蚀性能优异，适应恶劣工况干式螺杆真空泵：过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍或特氟龙涂层，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀，适用于化工、制药等腐蚀性气体环境。水环真空泵：防腐处理困难，一般不适用于酸性体系，且溶剂进入水箱可能腐蚀设备。5. 安全性高，无倒吸风险干式螺杆真空泵：无水无油设计，即使停泵倒吸也不会污染系统或引发危险，保障产品质量和生产安全。水环真空泵：停泵时水可能倒吸回真空系统，存在污染物料或引发分解爆炸的风险。6. 维护成本低，寿命长干式螺杆真空泵：无油设计，无需更换润滑油或滤芯；螺杆间无接触，磨损小，寿命长达 10年以上，维护简单。水环真空泵：需定期更换水、滤芯和机械密封件，维护成本高；叶轮与水体摩擦导致磨损，寿命较短。7. 节能效果显著干式螺杆真空泵：采用永磁变频技术，能耗比水环泵低 30%-50%，且无额外冷却系统能耗。水...

温控行业高温磁力泵

发布时间: 2025 - 06 - 27

来源: 1257

温控行业中，高温磁力泵凭借其无泄漏、耐高温等特性，在高温液体输送领域发挥着重要作用，以下从工作原理、核心优势、应用场景及注意事项展开介绍：一、工作原理高温磁力泵通过磁力传动器（磁力联轴器）实现无接触力矩传递，以静密封取代动密封，使泵达到完全无泄漏。电机带动外磁转子旋转时，磁力线穿过隔离套带动内磁转子和叶轮同步旋转，介质封闭在静止的隔离套内，避免了传统泵的泄漏问题。二、核心优势无泄漏设计：泵轴由动密封变为封闭式静密封，彻底杜绝介质泄漏，适用于输送有毒、有害、易燃、易爆和贵重液体介质，是创建无泄漏、无污染文明车间、文明工厂的理想用泵。高温适应性：采用耐高温材料和特殊设计，能够在高温环境下稳定运行。例如，某些高温磁力泵的工作温度范围可达-45℃至400℃，甚至更高。节能高效：由联轴器传动变为同步拖动，不存在接触和摩擦，功耗小、效率高。同时，无需独立润滑和冷却水，降低了能耗。安全可靠：过载时，内、外磁转子相对滑脱，对电机、泵有保护作用。当磁力传动器的从动部件在过载情况下运行或转子卡死时，磁力传动器的主、从动部件会自动滑脱，保护机泵。维护简便：结构简单，运行稳定，维护成本低。例如，某些高温磁力泵采用直联后拉式设计，无需拆卸管道，维修方便。三、应用场景石油化工行业：用于输送高温油品、化学溶液等，确保生产过程的安全和高效。冶金行业：处理熔融金属和高温废液，防止泄漏，保护环境。电力行业：用于冷却系统和热交换设备，处理高温冷却液，保证设备正常运行。制药行业：输送高温药液和溶剂，确保药品生产的质量和安全。食品加工行业：提供稳定、卫生的输送服务，满足食品安全标准。四、注意事项介质纯净度：不允许有铁磁杂质、颗粒进入磁力传动器和轴承摩擦副。输送含有固体颗粒的介质时，应在泵流管入口处过滤。温度控制：应在规定温度条件下运行，严禁介质温度超标。可在磁力泵隔离套外表面装设铂电阻温度传感器，检测环隙区域的温升...

电子晶圆真空吸附水环式真空泵

发布时间: 2025 - 06 - 26

来源: 1267

水环式真空泵在电子晶圆真空吸附中应用广泛，其特点与优势如下：工作原理水环式真空泵叶轮偏心安装在泵体内，启动前向泵内注入一定高度的工作介质（常为常温清水）。当叶轮旋转时，水在离心力作用下在泵体壁内形成旋转水环，叶片及两侧侧板形成密闭腔。在前半转（经过吸气孔）旋转过程中，密封容腔容积逐渐扩大，气体由吸气孔吸入；在后半转（经过排气孔）旋转过程中，密封容腔容积逐渐缩小，气体从排气孔排出，同时排出一部分水，排出的水气经气液分离器分离后，水可循环使用。优势特点结构与维护：结构简单，制造精度要求不高，容易加工，维护成本低，周期长，适合长期连续运行。工艺适配：能提供较大抽气量，在低真空度（2000～4000Pa）下表现良好，满足晶圆吸附大流量、低真空度需求。气体处理：等温压缩过程接近等温，可避免气体温度过高，适合处理含水蒸气等可凝性气体，防止气体在泵内凝结。抗污染：对粉尘和颗粒物不敏感，水环作为密封和冷却介质，减少磨损，延长设备寿命。安全性：使用水作为工作介质，无油污染风险，等温压缩特性使其在处理易燃易爆气体时安全性更高。经济性：初始投资和运行成本较低，使用寿命长，适合大规模生产环境。适应性：可通过调节供水量、转速等参数适应不同工艺需求，也可与其他真空设备组合使用。应用场景在电子半导体领域，水环式真空泵可用于灯泡排气，电容、集成晶体管电路、LCD显示器的生产，以及太阳能电池板的单晶硅、多晶硅生长炉，切割，真空层压等生产环节。在电子晶圆真空吸附中，它能快速建立真空环境，稳定吸附晶圆，满足半导体制造对洁净度和稳定性的要求。

光电产线为什么要用螺杆真空泵替代真空发生器串联抽真空

发布时间: 2025 - 06 - 21

来源: 40

在光电产线中，用螺杆真空泵替代真空发生器串联抽真空主要基于螺杆真空泵在抽气效率、真空度稳定性、能耗、运行可靠性、维护成本及环保性等方面的显著优势，以下为具体分析：抽气效率与真空度稳定性螺杆真空泵：螺杆真空泵具有较高的抽气效率，能够在短时间内达到所需的真空度。其工作原理是通过螺杆的旋转来压缩和排出气体，从而形成真空。这种机械式的抽气方式使得螺杆真空泵在抽气过程中能够保持稳定的真空度，不易受到外界因素的干扰。真空发生器串联：真空发生器通常是通过压缩空气来产生真空，其抽气效率相对较低，且真空度的稳定性较差。在串联使用时，多个真空发生器之间的协同工作可能更加复杂，难以保证整体抽气系统的稳定性和效率。能耗与运行成本螺杆真空泵：虽然螺杆真空泵的初期投资可能较高，但其运行成本相对较低。螺杆真空泵在抽气过程中能耗较低，且能够长时间稳定运行，减少了因设备故障或停机而带来的生产损失。真空发生器串联：真空发生器在运行过程中需要消耗大量的压缩空气，且随着串联数量的增加，能耗也会相应增加。此外，真空发生器的使用寿命相对较短，需要频繁更换，进一步增加了运行成本。运行可靠性与维护成本螺杆真空泵：螺杆真空泵的结构相对简单，运行可靠，维护成本较低。其螺杆和泵体之间的间隙较小，能够减少气体的泄漏，提高抽气效率。同时，螺杆真空泵的润滑系统也相对简单，减少了因润滑不良而导致的设备故障。真空发生器串联：真空发生器在串联使用时，任何一个环节的故障都可能导致整个抽气系统的失效。此外，真空发生器的维护也相对复杂，需要定期清洗和更换滤芯等部件，增加了维护成本和时间。适应性与环保性螺杆真空泵：螺杆真空泵能够适应不同的工作环境和抽气需求，具有较强的适应性。同时，螺杆真空泵在抽气过程中不会产生有害物质，对环境友好。真空发生器串联：虽然真空发生器在某些特定场合下具有一定的适应性，但在光电产线等需要高精度、高稳定性的场合下，其性能可...

CNC精雕机行业螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空

发布时间: 2025 - 06 - 20

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在CNC精雕机行业中，螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的方案具有显著优势，主要体现在效率提升、维护成本降低、环保性增强及稳定性提高等方面。以下是对该替代方案的具体分析：一、螺杆真空泵的优势清洁无油：螺杆真空泵为干式真空泵，泵腔内无润滑油，因此不会产生油雾或油蒸汽污染被抽气体，有利于获得清洁真空环境，特别适用于对真空度要求较高的CNC精雕机行业。高真空度与大抽速：螺杆真空泵通过优化转子型线设计和精密加工，能够实现高真空区的大抽气量，提高工作效率。同时，其强制输气特性使得在宽压力范围内都能保证较大的抽速，排气量几乎不受排气压力影响。耐腐蚀与适应性强：螺杆真空泵的泵腔及螺旋转子表面可进行防腐涂层处理，能够适应含有腐蚀性气体、可凝性蒸气及少量粉尘的气体环境，这在CNC精雕机加工过程中可能遇到的复杂气体环境中尤为重要。低噪音与低振动：螺杆真空泵的转子经过精细动平衡校正，运转平稳，噪音低，振动小，有利于改善工作环境。维护简便：螺杆真空泵结构简单，零部件少，且核心部件无易损件，因此维护简便，降低了维护成本。二、旋片真空泵串联抽真空的局限性油污染问题：旋片真空泵需要机油才能运行，长时间使用后机油会与被抽气体中的水汽、煤油等混合，导致油污染，需要定期更换机油，增加了维护成本和环境污染。维护复杂：旋片真空泵的旋片和排气阀等部件容易磨损，需要经常更换，维护复杂且成本较高。性能下降：随着使用时间的增长，旋片真空泵的性能会逐渐下降，特别是当被抽气体中含有腐蚀性介质或粉尘时，性能下降更为明显。三、螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的可行性效率提升：螺杆真空泵的高真空度和大抽速特性能够显著提高CNC精雕机的抽真空效率，缩短加工周期。维护成本降低：由于螺杆真空泵无需换油且维护简便，因此能够显著降低维护成本。环保性增强：螺杆真空泵无废油排放，对环境无污染，符合当前环保要求。稳定性提高：螺杆真空泵的运转平稳...

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