新闻资讯_水环式真空泵_进口真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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2020 - 05 - 06

许多用户发现，在长时间使用干式真空泵之后，设备的温度经常升高，这导致设备的使用效率降低。这对用户来说一直是个大问题。因此，我们需要及时找出问题的原因，并及时制定对策。　　一、干式真空泵温度高的原因　　(1)风机转速低，风压大，风量小。电机功率大，工作电流大，发热量大。　　(2)风机叶片数量少，产生的风量小。　　(3)真空泵电机所在的母线电压为380伏，由于电缆压降和负载分布不均匀，电机实际施加的电压仅为365伏，电压低导致运行电流大。　　(4)电机附着灰尘和油脂，降低散热能力。　　二、干式真空泵高温解决办法　　电机功率和转速与真空泵匹配，不能改变。风扇安装在电机的主轴上。电机的转速决定风扇的转速，不能更换。虽然增加风扇叶片的数量可以起到一定的作用，但当叶片数量增加时，动态平衡就不容易找到。如果对准不好，电机的振动会增加。　　原风扇罩加长40厘米，风扇罩内增加一个与风扇罩直径相同的轴流风扇。轴流风机电机功率为850瓦，转速为1489转/分，电压为380伏.原来的风扇还在。为轴流风扇罩提供额外的电源，并且轴流风扇不与主电机互锁。真空泵启动后及时启动轴流风机，真空泵关闭后30分钟关闭轴流风机，使主电机充分冷却;定期清除电机上的灰尘，保持电机散热片清洁，增加散热能力;在母线将干式真空泵所的电压调整到400伏。　　以上是螺杆干式真空泵厂家对干式真空泵高温的主要原因及解决方法，以解决干式真空泵...

真空泵选用方法及建议

2020 - 07 - 02

真空泵选择建议：　　1.选定的真空泵必须能够抽取过程中释放的气体。　　2.所选主泵的极限真空度必须高于泵送容器所需的真空度。　　3.所选主泵的泵送速度必须大于过程中的最大气体排放量。　　4.所选真空泵的工作介质和用于制造泵的材料必须满足工艺要求。　　5.对于连续生产过程，所选真空泵必须可靠地满足连续生产的需要。　　真空泵的选择方法：　　1.过程所需的真空度　　真空泵的工作压力应满足工艺工作压力的要求，选择时的真空度应比真空设备的真空度高一半至一个数量级。(例如，真空过程需要100帕(绝对压力)的真空度，真空泵应该至少为50帕-100帕)。一般来说，如果绝对压力高于3300帕，首选水环真空泵作为真空装置;如果绝对压力低于3300帕，则不能选择水环真空泵，可以选择旋叶真空泵或真空度较高的真空泵作为真空获取装置。　　2.工艺所需的提取量(提取率)　　真空泵需要泵送速率(即真空泵在其工作压力下排出气体、液体和固体的能力)，一般单位为m3/h、l/s和m3/min。具体计算方法可参照以下公式计算选择。当然，真空泵的选择是一个综合的过程，涉及到相关的经验和其他因素。　　抽气速率计算公式：　　S=2.303(V/t)Log(P1/P2)　　其中：　　S为真空泵抽气速率(L/s)　　V为真空室容积(L)(m³)　　t为达到要求真空度所需时间(s)(h)　　P1为初始真空度(Torr)(p...

2018年春节放假通知

2019 - 01 - 24

电子行业如何做到集中抽真空

2025 - 07 - 09

在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电...

真空蒸馏装置介绍

2018 - 06 - 01

真空蒸馏是使一些具有很高的沸点化合物化合物沸腾，降低化合物沸腾时的压力,一但压力降低到化合物的蒸汽压（在一定的温度下），化合物就开始沸腾，蒸馏作用就可进行的技术，且以真空汽化器的形式常见于实验室。真空蒸馏工艺在石油化工中使用较普遍，与大气压下蒸馏相比，它有许多特点，使沸点降低;分解聚合物危险性小，能够低温处理;容易加热，热损失小;空气中的氧、水蒸气等成分的影响减小湘对挥发度大;平衡关系改变(如共沸点消失等) 按蒸馏系统操作压力的不同，真空蒸馏可分为: ①减压蒸馏常见的减压蒸馏过程，大多在104Pa以上的压力范围内操作。减压蒸馏机理与常压蒸馏差不多，常压蒸馏装置形式基本上可用。 ②粗真空蒸馏压力范围为1.O*104Pa-2.7x102Pa，气体的流动属粘滞态。在这个压力范围内进行蒸馏操作是容易实现的。 ③低真空蒸馏压力范围为2.7*102Pa-1.OPa，此时气体接近过渡流状态，对真空蒸馏装置的选型、设计、制造、安装、操作等都有较为严格的要求。 ④准分子蒸馏压力范围为1.0-1.0*10-2Pa，此时，气体分子的平均自由程与蒸馏器尺寸相近，气体呈过渡流状态。 ⑤分子蒸馏操作压力在1.33*10-2Pa以下。在分子蒸馏或准分子蒸馏装置中，气体的流动为分子的自由运动，也就是说，可以忽视该系统中的其它分子的碰撞和干扰，此时，蒸馏过程受来自液面的蒸发所支配。真空蒸馏装置： 1、间...

雕刻机专用真空泵选型及操作注意事项？

2018 - 08 - 02

雕刻机专用真空泵选型怎么选呢？下面来了解一下几个重点。一、真空泵常温作业介质(0-50℃)，单纯抽水或溶液，不必水气两用，但要求具有自吸能力，并对流量和输出压力有要求。阐明：抽的作业介质是水、非油性、不是强腐蚀的液体等溶液(不能含有固体颗粒等)、有必要有自吸功用。二、真空泵常温作业介质(0-50℃)，需求抽水或气体(可能水气混合或空转、干转场合)，垂青体积、噪音、接连运用等功用。阐明：要求水气两用、能够长时间干转、不损坏泵；24小时接连运转；体积特别小、噪音低，但对流量、压力要求不高。1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。2、要求微型泵既能抽气又能抽水。3、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状况。某些传统水泵害怕“干转”，“干转”乃至会损坏泵。而WKA系列产品本质上是一种复合功用泵，它集成了真空泵和水泵的功用，有人把它叫作“真空水泵”。因而，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。无论是抽气状况仍是抽水状况，都归于正常作业领域，也就无所谓“干转”损害。4、主要用微型泵抽水，但不期望在抽水前靠人工加“引水”(有些水泵在作业前需求人工参加一些“引水”，这样泵才能把低处的水抽上来，不然泵无法抽水乃至损坏)，即期望泵有“自吸”功用。这时就能够选PHW、WKA系列产品，它们的利益就在于：没有接触到水时，它就抽真空，构成真空后靠气压把水压上来，而后开...

关于水环式真空泵的温度知识你知道多少？

2018 - 10 - 14

水环式真空泵的介质温度：(1)水环式真空泵泵体内有必要补充冷却作业液，以补偿运用中随气体排出的部分液体。作业液的作业温度一般在0~40℃之间，或低于沸点10℃。但为确保用最小量作业液到达最佳作业状态，一般应将其温度操控在15℃左右，这样才干到达液环式真空泵的最佳效果。(2)液环式真空泵轴密封液与作业液应运用相同介质，这样能够将轴密封液回收至作业液中，削减作业液用量，一般轴密封液流量操控为0.5dm3/min。(3)液环泵所抽输的介质有必要完全符合产品运用要求，即不溶于作业液，并且对泵体无腐蚀。一般抽输介质温度应操控在0~80℃，因而咱们出产中所抽输的窑气温度应预先降温至80℃以下，方能到达最佳效果。(4)因为真空泵所抽输介质为窑气，含CO2，CO等有毒物质，为确保无渗漏，清洗中，应常常查看填料函是否到达预定密封液压力，查看密封液流量或压力指示值，调理阀门，确保密封液压力正常，在这种特别情况下，应该挑选具有防腐蚀性的原料，如304、316、316L不锈钢原料等等水环式真空泵的机体温度：一、水环式真空泵机体温度原因剖析1、水环式真空泵电机功率大，作业电流大，发热量大。2、电扇叶片数较少，发生的风量小。3、电扇转速低，风压，风量小。4、真空泵电机地点母线电压为380V，因为电缆压降及负荷分配不均，电机实践所加电压只要365V，真空泵电压偏低形成运转电流大。5、电动机附有尘埃、油污，降低了...

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液冷用circutec磁力泵TOEMA065-200型号，浸没式冷板式液冷用

发布时间: 2026 - 09 - 24

来源: 2212

TOEMA 通常是 circutec 的磁力泵系列，065 大概率代表进出口径 DN65（约 2.5 英寸），200 一般指叶轮名义直径或扬程等级。这个规格属于中大流量段，用在浸没式或冷板式液冷系统里是比较合理的选型。磁力泵在液冷场景的核心优势你选磁力泵的方向是对的，液冷系统对"零泄漏"要求极高，磁力泵通过磁力耦合传动、取消机械密封，从根本上杜绝了跑冒滴漏，是目前数据中心液冷二...

旋片真空泵气镇阀如何降低噪声

发布时间: 2020 - 07 - 20

来源: 452

旋片真空泵的气镇原理;　　油封机械真空泵的压缩室内开有小孔，并安装有调节阀。当阀打开并且进气量被调节时，转子旋转到某个位置，空气通过该孔被混合到压缩室中，以降低压缩比，使得大多数蒸汽不会冷凝，并且将与混合气体一起被排除在泵外。扮演这个角色的阀门叫做气镇阀门。　　原因：由于旋片真空泵的泵送过程是一个压缩过程，当存在水蒸气等可水环真空泵冷凝气体时，如果在从泵室排出之前达到饱和蒸汽压力，它们将在油中冷凝，导致泵油乳化和劣化，润滑和密封性能劣化，并且冷凝物将在吸入室中再次变成气态，从而降低真空度。　　原理：排气室的压力由两部分组成：空气分压和蒸汽分压。只有当两者之和足以克服大气压力和排气阀的弹性时，才会发生排气。气镇阀的功能是在排气发生之前将一定量的空气充入泵的旋片真空泵排气室，从而降低排气压力中的蒸汽分压。　　气镇阀的优点：满足抽出潮湿空气而无水蒸汽污染油品的要求;真空泵的极限压力可以恢复;净化真空泵泵油;恢复真空泵的极限真空度。　　旋片真空泵的噪音，通常是指泵温度稳定时，在极限真空下测得的噪音水平。包括泵本身的噪音和马达噪音，对用户来说，与泵温度不稳定时启动阶段的噪音不同的入口压力下运罗茨真空泵转的噪音，还有开气町工作中的噪音也很关心。因此，必须考虑各种影响因素。根据发音部位的不同，旋片真空泵的噪音有以下可能性　　(1)旋片与气缸体的碰撞、泵剩馀容积和排气死亡间隙中的压力油的发音　　(2)排气阀座与支撑部件的碰撞　　(3)箱体内的回声和气泡破裂音　　(4)轴承噪音　　(5)大量气体、油撞击挡板等引起的噪音　　深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离心泵，高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售...

水环真空泵工作原理和罗茨真空泵区别

发布时间: 2020 - 07 - 20

来源: 430

水环真空泵的工作原理　　水环真空泵启动时，泵内的液体在叶片旋转产生的离心力的作用下在泵上形成旋转液环，水环真空泵的叶轮偏心安装在泵室内，因此叶轮的轮毂和水环内面在泵室上部形成切线，在泵室下部接触。　　前半部分，随着叶片和水环之间的密封空间逐渐变大，形成了几个空洞，气体从分配板的吸入口被吸入。在后半段，密闭内腔的容积逐渐减少，空间内的气体被压缩，从分配水环真空泵板的排气口排出。加入的液体是冷凝水，不仅可以形成液体环，还可以减少气体压缩产生的热，密封分配板和叶轮端面的间隙。　　在水环真空泵的运转中，一部分工作液与气体一起排出，因此有必要向真空泵内连续供水。泵内不产生金属摩擦，使用中不需要润滑，寿命长。此外，水环真空泵结构紧凑，转速高，操作简单，压缩温差变化小，能吸收易燃的爆炸性气体。但是，水环真空泵有能效低的缺陷，效旋片真空泵率为30%~50%，真空度低，工作介质被限制在饱和蒸气压。　　原理不同　　罗茨真空泵(简称：罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子，转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙，相互不接触的可变容量真空泵。　　水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子，将水(液体)投向定子壁，水(液体)形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变罗茨真空泵容积真空泵。　　适用范围不同　　罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙空间仿真等装置上经过了长期运行的考验，应在国内广泛普及和应用。同时也广泛应用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵附件是一种真空泵消音器，用于真空泵的噪音对策。　　水环真空泵主要应用于煤矿(放气)、化工、制药、矿山、造纸、食品、啤酒、建材、塑料、冶金、电气等行业。　　深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：阿特拉斯水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离...

双水环真空泵故障出现轴向力问题原因

发布时间: 2020 - 07 - 20

来源: 511

配管的积水　　由于水环真空泵与蒸汽冷凝器连通，另一方面，水环真空泵在运转中水蒸气分离设备上有工作的漏洞，因此配管内容易积存水蒸气。另一方面，如果停止水泵的运转，水蒸气凝结形成积水，因此随着积水的次数增加，水向真空泵内逆流，在短时间内形成大的电压，电动机容易烧损。　　为了避免管道积水对马达造成的危害，应定期检查水环真空泵的使用情况，重点检查气管道是否有积水，如水环真空泵果发现的话，应立即进行清扫。为了防患于未然，为了改造水环真空泵的水分分离器，采用了具有更高耐磨损性和耐腐蚀性的钢材，或者加粗水分分离器的管筒的直径，能够在充分的空间内进行水分分离，从而大幅度减少水蒸气的堆积流，避免了积水故障。　　运转动力不足，水环真空泵的实际运转动力不足，一般仅达到30%左右，最大不超过50%。工作效率低，影响生产效率。此类问题的原因主要是电机供电旋片真空泵不足，不能满足水泵正常工作的转速需要。另外，由于配管的积水、水环真空泵的供水量不足，叶轮和分配板之间的间隙无法良好地密封，动力下降。　　产生轴向力的原因，因为吸排液口的压力不同，所以在不完全对称的叶轮两侧液体的压力不同，从而产生了轴向力。如果叶轮两侧的液体压力无视轴的截面积，也不考虑叶轮的旋转对压力分布的影响，则作用于叶轮的力是轮盘受到的力和轮盖受到的力的差，转化计罗茨真空泵算式是出口压力和入口压力的差和叶轮盖的面积的积，出口压力为。　　轴力引起的问题，不平衡的轴向力加重了罗茨真空泵的轴向力轴承的工作负荷，对轴承不利，同时轴向力将泵转子向吸入口扩展，引起振动，叶轮口环摩擦，泵体有可能破损。　　消除轴向力的方法，罗茨真空泵一般采用平衡盘和叶轮的对称安装，单级泵一般在叶轮上开平衡孔，当然是通过在叶轮的轮盘上安装平衡叶片的方式来平衡轴向力。　　深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片...

真空泵维护怎么做

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 359

真空泵的“预防性维护”比“不错的修理”大。　　所谓预防检查，是指根据真空泵设备的运转周期和使用频率，事先确认设备现状的维护方式。我问大家，事后修理好还是预防修理好?也许很多人认为预防性维护好。那么，和事后维护相比，认真考虑预防维护在哪里比较好的人好。　　在预防性维护中有两种具体的模式。一是定期预防性维护，按照真空设备消耗周期订正计划安排的宕机时间检查;二是监测设备状态，发现故障危险性和潜在故障，及时安排修理，将故障消灭在萌芽状态。　　预防性维护的另一种形式是机会保全。即利用生产淡季、休息日、周末或上下游的宕机时间检查机会的预防性维护。已经证明，维护的“机会”可以适当地延长检查周期，也可以适当地缩短检查周期，这种延长或缩短不会对设备造成重大损害。这种预防性维护也被称为机会保全。无论采用什么样的预防性维护方式，为了避免故障的发生，都是设备故障停止前的处理。　　到底预防性维护在哪里比较好? 具体研究一下吧。　　1.可以减少和避免修订版以外的宕机时间　　今天的企业大多按订单组织生产，客户对交货期要求非常严格，在精益生产企业中，准时化、零库存成为典型特征。真空设备一旦设备停机，必然会影响某一生产工序，该订单受到影响，对企业效益、信誉造成严重损害。通过预防性维护，避免大量的修订版外宕机时间，保证按时交货意义重大。　　2.可减少设备的连锁损坏，延长设备寿命　　设备损坏多从局部或零配件开始，该局部或零配件又影响其他局部或零配件，经一头地一头地传下来，最后成为大问题。因此，如果真空设备的某个零配件的质量发生变化或破损，不仅会影响到真空设备系统的故障，还会影响到应用环节的设备。因此，预防性维护可以减少或避免轻微的损坏，及时消除小风险，避免影响的扩大，最终导致更严重的故障损坏。　　3.能够降低维护成本　　当然，不恰当的“预防性维护”不仅不会降低成本，还会增加成本。我们说修...

真空泵在食品行业的应用

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 353

数据显示，目前世界真空泵市场年销售额约为20亿美元，年生长率为7%左右。我国作为设备制造大国，真空泵市场的销售量逐年增加，市场前景广阔。　　目前，我国真空泵厂家超过600家，销售额在60亿元左右。其中销售额在1亿元以上的真空泵制造企业约10家，2000万元以上的约40~50家，其套餐预算均在100万~1000万元之间。　　真空泵是一种量大、产量大、产值不高的产品，确实是直接影响真空设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分为14种。　　高/超真空——低温泵、分子泵、溅射络离子泵、钛热升华泵、扩散泵。中真空——干式泵、二级转子泵、罗茨泵、油加压泵、水蒸气喷油泵。粗/低真空——单级转子泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。　　真空泵的市场根据用户的需求而动态变化，真空泵的应用也在扩展。例如在食品包装、低温设备、压电石英药、化工等行业领域。真空泵是直接影响真空成套设备性能、质量的必不可少的基础产品，而在真空泵产品的高端领域，国产的真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来表示，几乎每天都随着用户需求的变化而动态变化。　　食品行业的许多加工过程都是用真空系统优化处理的。在食品包装过程中，使用真空泵可以排出空气，延长食品的保管时间，消除异味。真空泵在食品行业的应用：热升华、干燥、脱水、真空蒸发、脱气、除臭、杀菌、真空保鲜、真空包装等。　　食品行业的许多加工过程可以通过采用真空系统进行优化处理。此外，在食品包装中，真空泵可用于排出空气，延长食品的保管时间，消除异味。　　矿元素水脱气　　自然水源矿元素水中含有碳酸矿元素铁元素。接触空气的话，溶于水的铁元素会氧化，水的味道会变差。需要在约50mbar的压力下对水进行除铁元素处理，首先用真空泵除去水中的碳化物，将其导入生产苏打水。　　除色拉油及...

半导体行业真空炉中阿特拉斯.科普柯真空泵的应用

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 327

一、真空炉结构：　　真空炉结构一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。　　(1)真空炉壳：　　密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。　　(2)真空炉膛：　　炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途，炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。　　(3)坩埚：　　熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。　　(4)真空系统：　　真空炉的真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。　　二、真空炉工作原理：　　工作原理即通过抽取真空，形成一个几乎没有空气的低压环境，然后利用水在低压(低于大气压)低温沸腾产生蒸汽，通过汽水凝结换热方式将热量输出的原理工作的。　　三、真空设备：　　从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。　　真空炉种类繁多，对真空系统的要求也不尽相同。就真空而言，有低真空、中真空和高真空系统。　　1.低真空系统低真空系统适用于真空范围为2~1333Pa的真空热处理炉，如预抽式低真空井式炉。大多数泵是基于油封的旋转泵。　　2.中真空系统适用于真空度为3x10~1.333Pa的真空热处理炉，中真空系统在真空热处理炉中应用最为广泛，通常由两级真空泵机组组成。主泵采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵(罗慈朋)或油增压泵的高真空系统　　3.高真空系统适用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空热处理炉Pa系列，如真空退火炉、真空钎焊炉，通常由三级真空泵组成，主泵常用的有油扩散泵、离子泵，泵多采用一级旋转机械泵或旋转活塞泵.　　四、应用　　广泛用于半导体行业的电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。　...

半导体刻蚀设备中阿特拉斯真空泵的真空应用

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 388

1.半导体离子束刻蚀机的组成　　离子束刻蚀机由真空室、工作台、快门、真空抽气系统、供气系统、水冷系统、电源和电器系统等主要部分组成。该机在正常工作时,首先将真空室的压力抽至2×10-3Pa或更低,再调节Ar气流量,使真空室压力保持在1×10-2~2×10-2Pa(如需要辅助气体,如O2、CH2等,则可按一定比例与之混合), 然后启动离子源各电源,使离子源正常工作,从离子源引出一定能量和密度的离子束被中和器发射的电子中和后,轰击工件进行溅射刻蚀。工件表面必须预先制备沟槽的掩膜图形。这样裸露部分被刻蚀掉,掩蔽部分被保留下来,从而在工件表面形成所需要的沟槽图形。　　2.真空系统　　真空系统有两套，分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空，只有在预真空室真空度达到设定值时，才能打开隔离门，进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供，刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。　　离子刻蚀机真空泵-阿特拉斯真空泵　　型号：单级旋片泵GVS系列，　　技术参数：　　主要特点:　　1.半导体工业用真空泵和系统.　　2.科研仪器,真空加工用途真空泵和系统.　　3.排气控制.污水处理系统,气体处理系统.　　4.油封旋片泵.产品应用领域：PCB板业，半导体行业，CCL行业，SMT行业，光电机械，化工行业等。

浅谈真空泵那些事

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 449

今天我要和大家谈谈真空泵，它是层压机和正负压机的标准部件，主要用于抽真空，也就是产生负压。接下来，让我们了解一下它的基本知识和维修保养常识。　　1.基础知识：目前贴面机械中使用的真空泵为单级旋叶耦合结构。其优点是转速高、噪音低、泵速快、效率高。该泵配有排气过滤器，能有效消除油雾，运行平衡，振动小，可在任何压力下工作。　　二.日常维护：保持真空泵处于无尘环境，定期检查油位(保证油量的2/3)，定期检查真空泵是否漏油，清洗或更换过滤装置。　　三、常见故障排除：　　1.真空泵不工作：电机损坏/真空泵或电机卡住/保险丝熔断/　　2.异常噪音：轴承、连接轴或风扇叶片损坏。　　3.吸烟或排气时漏油：排气过滤器安装不正确。　　4.突然达不到工作压力或抽真空时间过长：检查真空系统管道是否有停滞漏气，排气过滤器或滤油器是否堵塞，进气滤网是否堵塞等。　　5.机油发黑：机油使用时间过长，环境温度过高，进气温度过高。　　深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产，销售，售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有：水环真空泵，旋片真空泵，螺杆真空泵，罗茨真空泵，离心泵，高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。http://www.cnst-pumps.com/

真空泵配件失效是什么情况

发布时间: 2020 - 07 - 17

来源: 371

一、真空泵配件有：　　1.油雾过滤器(别名：精密分离器、排气过滤器、排气过滤器)　　真空泵油雾分离器是通过位于一侧的空气油混合物中的真空泵油雾分离器的滤纸及棉质。油被说唱乐，实现了瓦斯气体和真空油的分离操作。过滤后的真空泵油与回油管一起循环利用，排出的是无油排气瓦斯气体，无污染，效果良好。　　2.空气过滤网(别名：空气过滤网)　　真空泵折动的间隙小，如果外部介质含有颗粒、污垢，则折动面被破坏，泵的折动面被切断或堵塞，泵无法正常工作。为了防止异物被人泵吸入，有必要使用过滤烟嘴防止异物进入人泵。万一空气杂质未被过滤除去时，进入泵内油管堵塞，润滑油可能混入，因此选择空气过滤烟嘴时，原则上必须选择正品。后期维护和维护：请定期清洁使用真空泵的空气过滤网，以避免发生滞留在过滤器中的杂质吸入泵内而使泵粘着等现象。　　3.机油过滤器(别名：机油格栅)　　油栅又称油过滤烟嘴，真空泵油过滤烟嘴是配置了许多进口真空泵布兰德的油过滤烟嘴装置，设置于泵回油管路，主要用途是捕获回油罐中产生或侵入系统内的污染物，也是控制系统污染浓度的重要过滤装置。　　二、真空泵配件常见的失效情况　　1.磨损　　磨损是真空泵附件常见的故障模式，在润滑条件下，是零配件之间接触面的摩擦磨损，多发生于齿轮、汽缸叶片、转子平面轴承、滚动轴承。这样的磨损速度很慢，磨损故障主要与润滑、密封条件有关。另一个是在无润滑条件下，由于零配件之间的摩擦，或者材料在零配件表面的摩擦而产生的磨损，在真空泵中尤为显着。例如，联轴器、2X泵的皮带轮、螺杆真空泵的双轴等。这种磨损速度比前者快得多，主要关系到金属材料的性能和材料的性质。在油式真空泵中，润滑中的磨损特别明显，多由于真空泵的油变质、异物引起的润滑不良。　　二、疲劳破坏　　疲劳是破坏反应历程，龟裂发生是破坏模式。这些个常常最终导致零配件断裂。这种疲劳破坏故障的过程存在于...

旋片真空泵极限压力怎么测应用有哪些

发布时间: 2020 - 07 - 16

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新购买的旋片真空泵在使用前必须充分理解旋片真空泵的详细情况。不正确的操作方法，包括系统的连接、安装方法、启动、操作和其他注意事项，容易损坏真空泵。　　1.旋片真空泵的极限压力测定，旋片真空泵的极限压力请使用压缩真空计直接在泵的吸入口测量。第一次使用泵后，长时间使用后，使用新的油后，关闭吸气口至少1小时后，旋片真空泵达到工作温度和泵，将油完全脱气，测量极限压力。　　2.旋片真空泵的电气配线，水环真空泵旋片真空泵的电线必须由专业电工执行，使用适当的电机过载保护。单相220V50HZ真空泵必须确保电压在220V10%的范围内。电压低于220V时，必须安装交流电源调节器。请勿在低压和高压下长时间工作，以免电机损坏。　　旋片真空泵的三相异步电动机接线结束后，必须检查电动机的旋转。电动机的正确旋转方向是电动机轴的旋转方向从电动机的风扇侧逆时针旋转的方向。　　3.旋片真空泵的系统连接，旋片真空泵的吸气旋片真空泵管请切断为吸入口的尺寸以上尽可能短的尺寸，螺纹接头请采用真空密封。如果泵送的气体中含有灰尘，必须在泵的入口端安装灰尘过滤器。　　旋片真空泵是容积泵，通过旋转式在泵室连续运转，吸入气体进行压缩，最后从排气口排出。泵主要由定子、转子、旋转板等构成，转子偏心地组装在定子室中。转子槽有两张转子，转子之间放有转子弹簧。定子的供排气口被转子和座椅分离成两部分。　　转子在定子腔内旋转时，转子在弹簧张力和自离罗茨真空泵心力的协同作用下其端部与泵腔内壁紧贴而折动，定期地扩大吸气口侧的腔内容积而吸入气体，并且逐渐缩小排气口的容积，压缩吸入的气体并从排气口排出。　　旋片真空泵机组是用于吸引特定的密封容器内的气体，使该容器获得一定的真空的基本设备，随着现代科学技术的高度发展，旋片真空泵的应用遍及各科学领域和各种企业事业部门，包括冶金、化学工业、轻工业、石油、医疗、制药、印染、电气设备、电真空、半导体、食品...

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