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2020 - 02 - 17

制药业不仅是国民经济的一个部门，还是治疗，预防，保健和计划生育的社会福利事业。由于药物种类繁多，更新迅速，新药开发工作，要求高，难度大，成本高和周期长，因此制剂的生产需要合适的人员，工厂，设备，测试仪器和良好的卫生环境，以及各种必要的配方辅助材料与适用的内部和外部包装材料相匹配。以下编辑人员将分析常见真空设备和真空系统在制药行业中的应用。　　真空技术是一种相对先进的技术，已在中国许多领域得到广泛应用。真空技术是中国医药工业发展中的一项重要技术，可以满足医药生产的需要，并可以保证较高的卫生标准。因此，研究真空技术在制药机械行业中的应用具有重要意义。　　制药行业常用的真空设备有哪些?　　①真空微波干燥设备。它是一种广泛使用的真空设备。该设备具有药品生产过程中加热速度快，加热效率高的特点，物料的回收率可达到100%。　　②带式真空干燥设备。内径可以达到2400mm，最大长度可以达到19000mm，但也有一些缺点：药物生产的进料不均匀，干燥速度较慢，水含量控制不足等。　　③真空浓缩设备。它是药品生产中常用的机械设备。　　在实际使用中，为了达到以下目的：一次提取大量物料，并且提取纯度高，提高了药品的生产质量和生产效果，提高了生产效率，节省了生产成本，促进了生产企业的发展。使用其真空系统产品可延长正常工作时间，并且由于可重复使用，因此可以提高产量并节省成本。它不仅安全，而且即使在相当苛刻的工作...

螺杆真空泵怎么除锈

2020 - 02 - 20

螺杆真空泵主要采用滤芯作为过滤器安装，是过滤器的重要工作部件。过滤效果主要由过滤元件的性能决定。螺杆真空泵的主要过滤方法有哪些:滤油器用于螺杆真空泵的滑油，延长了滤油器的使用寿命。油路中的排气过滤器考虑了螺杆真空泵的三个要求，即排气阻力、含尘量、油气分离性能。　　达到平衡。不同的内部和外部位置，使用不同的数据来完成不同的分离目的3。进气过滤器能有效防止固体颗粒和细灰被吸入螺杆真空泵。减少机械磨损，提高运行可靠性。它还能有效维护系统部件，延长螺杆真空泵的使用寿命，广泛应用于国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求高的企业。　　全面了解螺杆真空泵可以更好地停止维护。螺杆真空泵的泵室如果不处于干燥状态，长时间不使用会生锈。重复使用时可能无法正常启动。如何正确除锈?人工除锈是一种节约成本且相对安全的方法。不需要使用化学产品来除锈，因为如果在螺杆真空泵的泵室内使用化学除锈剂，泵室或多或少会损坏。　　用除锈剂除锈除锈剂非常干净，但可能会对螺杆真空泵的泵室造成一些损坏。如果使用过程中生锈，可根据实际情况选择除锈方法。当然，如果能采取足够的防锈措施是好的，这不仅能保证螺杆真空泵的正常使用，而且能延长其使用寿命。　　恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列...

旋片真空泵维护保养步骤

2020 - 02 - 24

旋片真空泵长时间使用后，会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡死”、严重油污、真空泵室生锈、旋叶撞击声大、硬物落入真空泵室划伤真空泵室、真空泵过热等异常现象。　　此时，必须拆卸和清洗真空泵。该方法包括以下步骤:　　(1)切断电源，从真空系统中取出真空泵，　　(2)用重力法或加压法排放和收集污油，避免污染环境;　　(3)取下皮带和皮带轮键(双级旋叶真空泵包括皮带);　　(4)先拆下低真空端，拆下后端盖，然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。　　(5)取下前端盖，取出高真空转子、旋转板、弹簧等。　　(6)取下观察镜、排气阀、排气盖等。　　(7)用汽油彻底清洁去除的金属部件，并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%的氟化氢溶液煮沸以去除油。对于有毛刺或铁锈的零件，可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨，以去除锈斑和毛刺。清洁后的零件必须干燥。　　(8)组装时，先安装后级，托起弹簧和旋转板，安装到转子上，然后将前端盖安装到真空泵室内，安装定位销，均匀对称地拧紧螺钉。组装后，旋转应灵活且均匀。安装前转子和后端盖后，安装排气阀(排气阀片应与阀座紧密连接)和其他部件，如气体镇流装置等。　　真空泵维护注意事项，总结真空泵维护知识:　　(1)定期检查油位是否低，以及干油标记线。如果有低干油标记，应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不能太多，否则会造成起动困难和喷油困难等问题。　　(2)应注意真空泵的...

卧式离心泵机组预热怎么暖泵

2020 - 02 - 28

当卧式离心泵输送的介质高于200℃时，泵在启动前必须预热。否则，进入泵的介质将导致泵中的温度瞬间升高，转子部件迅速膨胀，静止部件被相对缓慢地加热，导致动态部件和静态部件之间的间隙减小，这可能导致相互接触、摩擦或阻塞。在严重的情况下，转子的动平衡精度受损，转子可能被卡住，这通常称为轴锁定。输送固化介质时，还应进行暖泵，否则进出口管道容易被固化介质堵塞，导致气蚀和振动故障。　　卧式离心泵的预热方法及注意事项　　1.高温泵　　(1)当暖泵机组在试启动或维护后启动时，泵应采用正暖模式，即泵入口阀微开，介质从泵吸入口流经泵体，从泵出口管道排放阀排放到指定的收集装置。它也可以称为间歇暖泵。　　(2)注意事项启动高温泵和加热泵的注意事项如下:　　1)暖泵升温速度为15-30℃/小时　　2)当泵体温度与输送介质温度之差≤20℃时，可完成泵的预热。　　3)正暖结束后，关闭暖泵排水阀，并在满足其他驱动条件后再次启动。　　2.备用泵　　(1)OH2结构的备用泵暖泵使少量物料从排出管通过运行泵，流经备用泵的泵体，然后返回泵入口，使备用泵处于热备用状态，防止备用泵和吸入、排出管中的介质凝固，有效维持暖泵，便于启动，需要反向加热。也就是说，暖泵管线从泵出口管线的切断阀后面被引导到出口止回阀的前面。在暖泵管路上设置闸阀和孔板，使少量物料从暖泵管路通过主泵引出，缓慢流过备用泵的泵体，并返回泵入口，达到持续暖泵的目...

真空泵机组维护保养

2020 - 03 - 04

真空泵维护　　真空泵机组的质量取决于其机械结构和油的质量。使用真空泵时，必须对其进行良好的保护。如果挥发性有机溶剂被蒸馏，有机溶剂将被油吸收，蒸汽压将增加，从而降低排空效率。如果是酸性气体，就会腐蚀油泵。如果是水蒸气，油会变成乳液，真空泵会损坏。　　因此，使用真空泵机组时必须注意以下几点:　　蒸馏系统和真空泵之间必须安装吸收装置。　　蒸馏前，系统中的有机溶剂蒸汽必须由水泵完全抽出。　　如果你能抽空气，尽可能用水泵。如果蒸馏物中含有挥发性物质，使用水泵减压，然后使用油泵。　　减压系统必须保持紧密和气密。所有橡胶塞应具有适当的尺寸和孔道。橡胶管应该是真空橡胶管。磨砂玻璃涂有真空油脂。　　真空泵和离心泵的区别　　离心是物体惯性的表现。当伞旋转时，水滴将从伞向外边缘移动，并被抛出，这被称为离心。离心泵就是根据这一原理设计的。高速旋转的叶轮叶片带动介质旋转甩出，从而达到输送的目的。　　真空泵是指使用机械、物理、化学或物理化学方法对泵送容器进行抽吸以获得真空的装置或设备。一般来说，真空泵是一种使用各种方法来改善、产生和保持封闭空间内真空的装置。真空泵的功能是制造真空，其结构形式多种多样，包括离心式、隔膜式、活塞式、液环式、旋转式和喷射式。　　真空泵和空气压缩机的区别　　空气压缩机简称空气压缩机。这是一台产生压缩空气(正压)的机器　　真空泵正好相反。这是一台产生真空(负压)的机器

真空泵油的使用注意事项

2020 - 03 - 07

真空泵的使用寿命不仅关系到真空泵本身的质量，而且要求用户严格按照规定的要求使用。如何使用真空泵油这个问题分享。　　真空泵油的用途如下:　　一、油窗必须清洁，严禁在阳光下暴晒和露天存放，要存放在黑暗、干燥和通风的地方，防止水和灰尘混入。　　二，在取油或装油时，必须清除桶盖周围的小雨，以防杂物混入油中，造成泵的磨损。　　三、不同品牌、品种的真空泵油不能混用，新旧油不能混用。　　四、严格避免将真空油与其他润滑油混合，更不能与轻质油混合，否则会影响真空性能。　　五、真空泵应尽量避免泵送溶剂、水蒸气和腐蚀性气体等。定期检查时必须使用，定期换油。　　六、换油时应使用泵体的旧油排出，注入新油后慢慢转动泵轴，清洗泵腔以排出残余油，反复清洗几次，如清洗干净后换上新油。　　七、泵检修时必须用溶剂或清洗剂清洗泵的所有零件，并干燥零件。　　八、加油器具必须是专用设备，不应与其他油类或溶剂容器一起出现。　　九、矿物油和酯油或其他合成油交换时，泵应拆开进行彻底清洗。包括所有零件必须浸在酯油中以防止污染。　　十、如吸入化学气体和溶剂，影响真空泵油的污染，必须在油处理时清洗干净。　　十一、换油周期:　　1.当真空泵油真空度下降，不能满足需要时;　　2.当真空泵油变成黑色和棕色时，应该更换。

离心泵机械密封装置的作用

2020 - 03 - 11

据中国石化行业统计，80%以上的深圳离心泵厂家采用机械密封。由于工况不同，离心泵在输送物料的过程中，经常会出现机械密封处的物料泄漏，污染环境，浪费能源。　　机械密封是离心泵的主要易损部件之一，因此大多数泵的故障都是由密封失效引起的。据统计，机械密封故障引起的泵故障占设备故障率的50%以上，因此有必要对离心泵机械密封泄漏进行分析和改进，以降低泵的故障率。　　一、离心泵的工作原理和机械密封装置的作用　　离心泵通过电机和联轴器使叶轮高速旋转。叶片之间的液体被叶片推动。在离心力的作用下，泵中的液体不断从中心向四周抛掷。当泵中的液体从叶轮中心抛向边缘时，在中心形成低压区。由于液体进入泵前的压力大于泵吸入口的压力，在压力差的作用下，液体通过吸入管被连续吸入泵内，以补充排出液体的位置。只要叶轮继续旋转，液体就会不断地被吸入和排出。　　当泵轴穿过泵壳时，当动部件和静部件之间存在间隙时，泵中的液体将从间隙中泄漏出泵。如果吸入端是真空的，外部空气会泄漏到泵中，严重影响泵的运行。为了减少泄漏，轴端密封装置一般安装在动静间隙处。轴封装置是离心泵的重要组成部分，直接关系到离心泵的正常运行。现在轴封装置一般采用机械密封。　　二、机械密封的原理　　机械密封是一种轴向端面密封装置，它依靠弹性元件移动，静环端面密封副预紧和中压压缩弹性元件压力来实现密封。　　机械密封通常由静环、动环、压紧元件和密封元件组成。动环和静...

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Hot News / 热点新闻

PCB线路板分散小泵如何做集中起来抽真空

发布时间: 2025 - 12 - 13

来源: 900

在PCB线路板生产中，将分散的小泵集中起来抽真空可通过采用集中真空泵系统替代分散小泵实现，该方案在效率、能耗、稳定性、维护成本及环保性等方面均优于传统分散小泵串联方式，具体实施要点如下：一、集中真空泵系统的核心优势效率提升：多台真空泵组协同工作，通过优化管道设计，可在2-6分钟内将真空度稳定抽至10-30mbar的合格范围，远超单台旋片真空泵或串联泵组的工作效率。节能显著：集中控制与泵组优化运行使...

高温水泵表面保护材料及工艺要求有哪些

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 71

磨蚀和气蚀一直是高温水泵运行和维护中的关键问题。传统的表面保护材料和工艺远远不能满足水泵抗气蚀和磨损的要求。因此，为了有效地增强高温水泵，除了使用不锈钢或其他硬质合金制造叶片之外，流通部表面的抗气蚀和磨损的能力也是表面保护技术的连续实验研究。　　通常,高温水泵表面保护材料的技术要求必须具有：　　1、高强度和硬度，可抵抗气蚀和磨损; 2、具有吸收冲击的韧性能量;　　3、具有高粘结强度，在泵中每秒30-35米的高速水流的冲击下不会剥离;　　4、涂料的价格必须适中，以用于大中型泵站和大型农村中小型泵站;　　5、涂层材料应该是无毒，不可燃和易爆的，易于存储和运输，并且不会污染周围的环境。　　加工要求为了促进和应用表面保护技术，加工技术必须：　　1、该过程很简单，可以由不同级别的操作员掌握;　　2、加工中使用的工具(设备)应在市场或一般泵站维护工作中容易获得，并且价格适中，而无需特殊且昂贵的设备;　　3、该过程应不受季节和周围环境的影响，泵站可在冬季和春季维护期间进行;　　4、涂料不需要特殊的绝缘，涂料后可以快速固化或投入使用，以缩短维护周期。　　高温水泵运行平稳，水泵同轴度高，叶轮动静平衡好，确保运行稳定，振动小，节省空间，同轴电机和水泵，大大减少了水泵的占地面积和空间，节省了施工。投资，该泵除了机械密封摩擦副外没有任何金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

高温热水泵轴承损坏问题出在哪里

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 67

高温热水泵是轴向吸入式偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是不含颗粒或纤维的液体(水，传热油等)。该装置具有节省安装空间，外观精美，强度高，配合方便的优点。由于其精度高，耐高温，运行稳定等特点，被广泛应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉水回收系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　　最近，我收到了许多客户的报告，说我的高温热水泵轴承磨损很快。这里发生了什么，然后小编将向您介绍。　　1、高温热水泵在运行2000-3000小时后应在轴承体中添加或更换润滑油，以确保轴承具有良好的润滑性并延长轴承的使用寿命。　　2、建议用泵内部的密封件更换轴承，并清洁叶轮内部的碳，以确保足够的流量和压力。　　3、被用户更换的轴承大多在机电市场或轴承商店购买。用户购买轴承只是为了看模型，而忽略了高温热水泵的高温和高速特性。必须要求轴承具有高温和高速条件。否则，它不适用。在高温热水泵中。　　4、更换轴承时，还需要判断轴的磨损程度。如果碳纤维盘根严重磨损，建议将其更换为轴。碳纤维的磨损将导致传热油与机油室内的润滑油混合，从而失去润滑油。润滑性，除了管道中的导热油外，杂质还会滚动到轴承中，从而加速轴承损坏。　　5、轴承的组装过程存在问题：工厂的组装车间在组装轴承时会使用专用工具。第一轴承不同于第二轴承所使用的工具。目的是同时制造轴承内环和外环。为了确保轴承的原始性能，可以理解的是，许多用户在更换轴承时都忽略了轴承的安装过程，并且在安装过程中使用非专业的工具通常会由于不适当的力而损坏轴承。

你真的了解高温油泵吗?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 61

选择高温油泵与了解其主要参数密不可分，这些参数包括泵排量，额定流量，理论流量，额定转数等，其中：　　1.排量(mL/r)：泵每转一圈可排出的液体量;　　2.理论流量(L/min)：在额定转数下，通过计算方法获得的每单位时间泵可排放的最大流量;　　3.额定压力(Mpa)：可以保证泵在正常工作条件下可以长时间运行的最高压力;　　4.额定流量(L/min)：在正常工作条件下长期运行时可以输出的最大流量。　　5.额定转数(r/min)：可以保证在额定压力下长时间正常运行的最大转数;　　6.最大转数(r/min)：在额定压力下，允许泵在短时间内超过额定速度的最大速度;　　7.驱动功率(KW)：在正常工作条件下可以驱动液压泵的机械功率。　　通常，应根据系统的实际工作条件进行选择。为了提高系统的可靠性并延长高温油泵的使用寿命，可以在泵的额定压力的70%至80%之间选择固定设备中液压系统的正常工作压力。液压系统的工作压力可以在泵额定压力的50%至60%之间选择。　　选择高温油泵的第二个最重要的因素是泵的流量或排量。泵的流量与工作条件有关。所选泵的流量必须大于液压系统运行的最大流量。　　泵的效率值反映了泵的质量。一般来说，主机的常用运行参数应在泵效率曲线的高效率区域。　　此外，不应同时使用高温油泵的最大压力和最大速度，以延长泵的使用寿命。　　速度的选择应严格按照产品规格表中指定的数据进行，并且不得超过最大速度值。至于其最低速度，在正常使用条件下没有严格的限制。

肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 98

高温水泵和普通水泵在产品结构和产品性能方面有很大不同。肉眼可见的高温水泵与普通水泵差异关键点包括以下三点：　　1、电动机：高温水泵电动机为全铜耐高温电动机。它可以承受高达100°C的温度。但是，不同的铜只能承受45°C的水温，因此据说该电机处于高温状态。在一个地方工作，甚至长时间工作都是非常困难的。　　2、高温机械密封，主要材料是碳化硅金属，它可以承受高达120°C的水温，但是普通机械密封只能承受50°C以下的水温，因此对泵送温度更高的水。很多人说水通常在100°C沸腾。怎么会在120°C?因此，因此，您不必担心产品变热。　　3、轴承也从德国进口，可以在最高120°C的高温下工作。在国内，它们只能在低于50°C的水温下工作，因此这已成为Flygt高温水泵的优势。　　以上是高温水泵与小编推出的普通水泵的区别。高温水泵是轴向吸入式出口偏心高温介质传递循环离心泵。传递循环介质是没有水的液体(纤维和导热油)。具有安装简单，耐高温，流量大，适用范围广的特点。主要应用于大功率模具温度机，管道增压，锅炉回水系统，木工机械，风能技术辅助加热设备等行业。　高温水泵还具有以下优点：　　1、运转平稳，泵同轴度高，叶轮动静平衡好，运转稳定，振动小;　　2、节省空间，电机和泵同轴，Zui大大减少了泵的占地面积和空间，节省的建设投资;　　3、可靠的机械密封结构可确保减少介质输送泄漏;　　4、除了机械密封摩擦副外，泵中没有金属摩擦，并且性能长期保持稳定。

干式螺杆真空泵优缺点总结

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 65

干式螺杆真空泵主要使用一对螺杆，其特征是两个螺杆通过动平衡进行精细平衡，并由轴承支撑，安装在泵壳中，并且螺钉与螺钉之间有一定的间隙，这样就制成了干式螺杆真空泵。在工作过程中，彼此之间没有摩擦，运转平稳，噪音低，在工作室中没有润滑，并且干式螺杆泵可以去除含有大量水蒸气和少量灰尘的气体，并具有最高的真空度更高。但是，中国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　干式螺杆真空泵，它使用一对螺钉将泵壳中的吸气和排气泵出，以便同时进行高速反向旋转。它的优势弥补了油封真空泵的不足，我们都称其为油封真空泵的升级版。但是，干式螺杆真空泵的成本也是其缺点。接下来，主要介绍其优点和缺点：　　干式螺杆真空泵的优点　　1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层，可适应恶劣条件　　2、气体未在泵中压缩，适合于抽取可凝性气体　　3、无油耗，无滴落　　4、结构简单，易于维护。　　5、所泵送的气体直接从泵体排出，不污染水，没有环境压力，更便于气体回收。　　干式螺杆真空泵的缺点　　1、由于螺杆泵加工困难，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。　　2、不适合泵送爆炸性气体。　　3、不适合除去氧气过多的气体。　　随着中国工业界的发展，在半导体工业的加工制造，液晶显示器等中，对清洁真空环境的要求越来越高，传统的油真空泵已经不能满足这种要求。螺杆式干式真空泵具有抽速范围广，结构简单紧凑，抽气腔部件无摩擦，寿命长，能耗低，无油污等优点，在制造和应用领域具有更多优势。真空泵市场起着重要作用。在诸如欧美和日本的发达国家，螺杆干式真空泵在许多领域已逐渐取代了传统的油泵。

[干货]真空泵使用与保养21注意点

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 63

1、始终检查油位。如果不符合要求，则必须进行调整以满足要求。使用真空泵运行时，油位在油标准的中心。　　2、经常检查机油质量，发现应及时更换新机油以确保真空泵正常工作。　　3、根据用户的使用情况，根据实际使用条件以及是否满足性能要求考虑换油周期。通常，当使用新的真空泵去除干净和干燥的气体时，建议每100小时更换一次真空泵油。在油中看不到黑色金属粉末后，将来可以延长换油周期。　　4、在正常情况下，应在运行2000小时后检查真空泵，检查橡胶密封圈的老化程度，检查排气阀件是否破裂，并清除沉积在阀件和排气阀上的污垢。座位。清洁整个真空泵腔室的零件，例如转子，旋转叶片，弹簧等。通常用汽油清洁并干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁和组装时应小心。　　5、有条件地清洁管道，以确保管道畅通。　　6、重新组装后，应进行测试。通常，它必须运行2小时，并且换油两次。由于在清洁过程中会在真空泵中留下一定数量的发物，因此在正常运行后将可以正常运行。　　7、检查真空泵管路和接头是否松动。用手转动真空泵，看其是否灵活。　　8、向轴承体中添加轴承润滑油。注意油位应在油标的中心线。应及时更换或补充润滑油。　　9、拧开真空泵的泵体的水塞螺丝，然后倒入水(或浆液)。　　10、关闭出口管道的闸阀和出口压力表以及入口真空表。　　11、点动电动机，检查电动机是否正确旋转。　　12、启动电动机。当真空泵正常运行时，打开出口压力表和入口真空泵。压力显示适当后，逐渐打开闸阀并检查电动机负载。　　13、尝试将循环水真空泵的流量和升程控制在标签上指示的范围内，以确保真空泵在最高效率点运行，从而获得最大的节能效果。　　14、在真空泵运行期间，轴承温度不得超过环境温度35°C，最高温度不得超过80°C。　　15、如果发现真空泵发出异常声音，请立即停止并检查原因。　　16、当要停止真空泵时，请先关闭闸阀，压力表，...

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 61

市场上真空泵那么多,选择时需要注意什么?下面我们就来告诉大家这些注意点. 1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。　　例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2.正确选择真空泵的工作点。　　每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。　　3.真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4.正确组合真空泵。　　由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5.真空设备油污的要求。　　如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，您可以选择拥有一个油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，挡板，油阱等，也可以达到清洁真空的要求。　　6.了解所泵送气体的成分。　　该气体不包含可冷凝的蒸气，粉尘和腐蚀...

用了很久的罗茨真空泵,我竟然还不知道它的原理

发布时间: 2019 - 11 - 22

来源: 167

罗茨真空泵(称为罗茨真空泵)是旋转变量真空泵。它是从罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵的工作范围，将其分为具有直排气环境的低真空罗茨真空泵，中真空罗茨真空泵(也称为机械增压泵)和高真空多级罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的功能特点　　1、在很宽的压力范围内具有很高的抽速;　　2、快速启动，可以立即工作;　　3、对泵送气体中包含的灰尘和水蒸气不敏感;　　4、转子泵室内无润滑，无油;　　5、低振动，转子良好的动平衡条件，无排气门;　　6、驱动力小，机械摩擦损失小;　　7、结构紧凑，占地面积小;　　8、较低的运营和维护成本。　　因此，罗茨真空泵广泛用于冶金，石化，造纸，食品和电子行业。　　罗茨真空泵的工作原理　　在泵室中，两个“ 8”形的转子s彼此垂直安装在一对平行轴上，一对传动比为1的齿轮带以相反的同步旋转运动运行。在转子和转子之间，转子和泵壳的内壁之间有一定的间隙，以实现高速运行。由于罗茨真空泵是没有内部压缩的真空泵，因此压缩率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前级泵。罗茨真空泵的极限真空度取决于泵本身的结构和制造精度以及前级泵的极限真空度。为了提高泵的极限真空度，可以串联使用罗茨真空泵。　　罗茨真空泵的工作方式类似于罗茨鼓风机。由于转子的连续旋转，泵送的气体从进气口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过排气口排出。由于v0空间在吸入后完全封闭，因此气体不会在泵室内压缩和膨胀。但是，当转子的顶部翻过排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧较高的气压，一部分气体返回到空间v0，这样气压突然变成增高。当转子继续旋转时，气体离开泵。　　罗茨真空泵转子从0°到180°的抽吸过程。在0°位置，下部转子封闭了来自泵进口的v0体积的气体。当旋转至45°位置时，腔室与排气口连通。由于排气侧的高压，一部分气体返回。当转到90°位...

半导体工艺中干式真空泵的几种选择

发布时间: 2019 - 11 - 21

来源: 86

在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式，其中前三种被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类型的泵在物理特性上作一些探讨，希望能对大家有所帮助。　　干式真空泵类型　　双圆裂片式　　双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。　　三叶圆裂片式　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。　　组合式(罗茨+爪)　　组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流...

掌握这8点助你选择真空泵

发布时间: 2019 - 11 - 21

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1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。　　2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。　　3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。　　4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。　　5、真空设备油污的要求。如果严格要求设备无油，则应选择各种无油泵，例如：水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，您可以选择拥有一个油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，挡板，油阱等，也可以达到清洁真空的要求。　　6、了解要泵送的气体的成分。该气体不包含可冷凝的蒸气，粉尘和腐蚀性。选择真空泵时，您需要了解气体成分并为泵送的气体选择合适的泵。如果气体中包含蒸气，颗粒和腐蚀性气体，请考虑在泵的入口管道上安装辅助...

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