顾名思义，真空机组不是由单个设备组成。它由罗茨真空泵和水环真空泵组成。除用于完成工业上的抽气功能外，还可以实现真空制冷的功能。
当真空机组用作真空预冷器时，所需的真空度和抽速较高，因此在选择时必须根据实际情况进行匹配。真空机组在熟肉的过程中用作真空预冷器。描述如下：将熟肉的1/3放入立方反应釜中，熟肉的温度约为90°C。熟肉的温度降至约20°C，所需时间为30分钟以下，且每30分钟处于真空负压状态的水蒸气的蒸发量为20kg。
由于分子增压泵的高耐压性，容易使前级泵处于流量的高状态。分子增压泵的高吸入压力减轻了前级泵的预泵负担。分子增压泵可以在100-50Pa下工作。从大气到该压力的前级泵基本上遵循这样的定律，即压力每经过一段时间就会下降一个数量级。因此，该单元可以具有高的泵送效率。简化高真空装置并消除罗茨泵是分子增压泵的另一个优点。
对于较大的高真空应用设备，可以适当增强前级泵的预泵送能力，以进一步缩短吸入时间。由于预泵送时间与整个排气过程相比非常短，因此前级泵的使用时间也很长。简短，因此它可以作为多套设备的预泵使用，这通常非常现实。
真空泵油在空气(或氧气)和金属催化剂存在下，在一定温度下氧化时间，会显示出油的酸值，粘度变化和沉淀物的形成。使用该方法会发生氧化，因此会逐渐形成一些醛，酮，酸和胶，沥青质和其他物质。氧化稳定性是要抑制上述不利于油品使用的物质的性能。
真空机组的真空冷却效果主要是通过催化剂的催化作用在指定时间内将产品冷却至合适的储存温度。当设备的制冷能力不足时，可以通过加强前级泵来提高制冷能力。
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