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2021 - 12 - 30
以医疗器械的血液透析管为例,根据透析管生产工艺要求及存在的问题,我们为其提供了真空应用方案,采用阿特拉斯DZS爪型干式真空泵+前处理的整套真空解决方案。一、整套解决方案出具的原理依据:系统抽空,需要将Xm³的反应釜从大气压抽空到200mbar,此过程需要在Xmin内完成。同时过程会加热,吸气温度达到80℃,含有过程介质的挥发性气体以及水蒸汽被抽过来;无油是硬性要求;这些数据是整套解决方案出具的基础。根据客户提供的数据,我们需要做两部分工作,一是真空泵选型;二是吸气温度和组分的处理。二、阿特拉斯DZS爪型干式真空泵的特点:•  爪型干式真空泵无油认证•  简单、快速打开泵腔•  可拆卸爪件 -100% 可进行清洁•  不需要进行复杂的齿轮再同步•  小维护换油间隔20000小时•  大修理时间间隔48000小时•  模块化设计,易于维护•  为全寿命期而设计整套解决方案的应用,改善医疗器械传统真空工艺,环保节能,维护简单,医疗器械的血液透析管之爪型干式真空泵解决方案得到了客户的认可和赞评。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、实验室装置、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以高效稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真...
2022 - 02 - 17
注塑模具抽真空装置抽真空常见的三大问题是什么?真空泵系统用于注塑模具抽真空、真空吸塑成型等工艺,真空泵在吸塑行业是不可或缺的,根据客户的以往使用真空泵的反应,在使用过程中,注塑模具抽真空遇到了一些问题以及如何处理,深圳恒才机电设备有限公司来讲讲。注塑模具抽真空常见的三大问题:1、电费水费高解决方式:使用双级变频双机头技术,最大程度减少水电的浪费,节能率可达到50%左右。2.设备性能下降解决方式:主机机头,同步运行,间隙小,无接触,超长使用寿命。3.压力不稳定废品率高解决方式:使用变频双机头技术和电脑监控运行,使真空泵压力稳定,提高生产效率。以上内容为注塑模具抽真空装置抽真空常见的三大问题,以及对应真空泵解决方式,更多真空泵维修、真空泵系统设计、真空泵方案应用等,欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,拥有自主品牌康斯顿(CNST),同时也是德国SPECK和瑞典Atlas Copco正式授权代理商。恒才机电提供真空、空压系统设计/安装及维护,为真空改造提供专业服务,为环保节能做出积极贡献。
2022 - 03 - 31
罗茨真空泵故障维护是否适用标准_罗茨泵维修售后服务罗茨真空泵必须在完全的容积水平上工作,与旋片真空泵相比,罗茨真空泵没有内部压缩功能,能压缩排气压力。与旋片真空泵相比,与介质接触的所有组件都是无油的,适用于罗茨式真空泵的所有部件仍然适用于干式真空泵。  1.未达到极限压力,原因是配管.系统或泵部分漏气,前级泵的极限压力降低,润滑油水环真空泵的质量差,油封性差。维修方法是检查系统的泵,修理前段泵,更换润滑油和油封。  2.吸引速度低,原因是配管的通路能力低,前级泵的吸引速度低,需要增加配管的通路能力,修理和更换前级泵。  3.电机过载,可能是因为入口压力太高,转子端面与端盖的一面接触,来自前级泵的回油进入了罗茨茨真空泵旋片真空泵的泵室内。这需要调整压力.转子和防逆流油的设置。  4.在极限压力下工作,在极限压力下工作的状态下,真空泵的旋转速度很快,气体不会从壳体表面放出热。因为温度突然上升,转子和外壳的间隙变小,真空泵停止。否则,会导致真空泵变成真空。  检查一个造纸真空脱水系统的罗茨真空泵的选定是否适用罗茨真空泵的标准主要如下  1.呼吸力  2.动作点轴功率  3.电机功率  在选定罗茨真空泵时,吸引力满足生产线的工艺要求的情况下,可以尽可能减少洛茨真空泵的工作点的轴力,在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下,制浆造纸的生产成本进一步变小,马达的设置力也小的情况下,电配置成本也得到抑制...
2022 - 05 - 06
真空泵分离器添加润滑油怎么操作?关于真空泵保养、真空泵维修、真空泵系统售后服务等,欢迎咨询深圳恒才机电有限公司。在驱动力的作用下,真空泵的油雾分离器从一侧穿过油气混合物中的滤纸和真空泵的油雾分离器的棉油被截留,从而实现气体和真空油的分离过程。过滤后的真空泵油随回油管循环使用,无油废气排放,达到无污染、清洁的效果。真空泵分离器添加润滑油怎么操作?1.真空泵运行时检查:检查真空泵油雾分离器压力表是否堵塞。当压力表读数在红色区域时,这意味着油雾分离器堵塞,必须更换。2.如果油雾分离器没有压力表,油雾分离器的电阻通过水环真空泵驱动电机电流的变化来测量。真空泵的驱动电机或流量消耗的电流减少,表明油雾分离器堵塞,必须更换。3.如果真空泵油雾分离器压力表指示的压力低于正常值,或者驱动电机消耗的电流低于正常值,则油雾分离器损坏,需要更换。4.如果排出的气体含有油,必须更换,因为油雾分离器堵塞或损坏。真空泵的油雾分离器不能彻底清洗,堵塞的油雾分离器必须更换。5.在更换真空泵的油雾分离器之前,请关闭真空泵并切断电源,以确保旋片真空泵真空泵达到大气压。从油箱上打开通风盖板,用专用内部六用途扳手拆下通风过滤器,并将带密封圈的新油雾分离器的开口端安装在油箱中的正确位置。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进...
2022 - 06 - 07
首先,旋片真空泵不改变维护点。这种情况下,不能先打开泵,以免故障恶化。真空泵可以不旋片地旋片。原因是真空泵联轴器异常。旋片真空泵的皮带可能打滑,马达接线不正确,马达损坏,或马达不通电。真空泵不工作或磁盘很重。也许真空泵的温度太低,真空泵油的粘度太高,设计和制造的原因太多。如果油位过高,则过剩的油从泵中返回,过剩的燃料和水蒸气通过泵凝结,或者通过排气管凝结的水被返回到泵中,异水环真空泵物被返回到泵中进入。泵体,旋片叶片咬住。 其次,真空泵维护的泵温度过高主要是因为在排气阀附近测定的最高油温超过了规定值。随着真空泵温度的提高,真空泵油的粘度大大降低,真空泵油的饱和蒸气压增加,泵的极限压力增加,泵冒送效率降低,因此橡胶部件被加速、老化、热膨胀,操作变得可靠。由于以下理由,真空泵的温度太高了。一是真空泵工作环境温度过高,气温过高,泵冷却装置故障,泵长时间连续运转。中压太高,旋片真空泵水冷却泵冷却水。循环水不足和自冷却系统设计差,泵散热差。因此,维护的主要方面是使用更好的粘度润滑剂,修正泵冷却系统,实现良好的散热。 当旋片真空泵的安装高度增加时,旋片真空泵内的压力就会降低,泵压力的最低点一般位于叶轮叶片入口的后点附近。这里的压力在输送液体的温度下下降到饱和蒸汽压力后沸腾,随着液体从入口向外周流动,压力急剧上升,产生的蒸汽泡急速凝结。这种液体以较大的速度从气泡周边流入气泡中...
2022 - 07 - 06
干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。使用干式螺杆真空泵的注意事项如下:1.螺杆真空泵背压螺杆真空泵通常的排气压力为大气压力,在匹配电机功率不变的情况下,最大允许背压为0.3巴。如果螺杆真空泵在高背压下运行,将会导致诸如较低的抽吸速度、较差的极限真空和较高的排气温度等问题。2.进气温度螺杆真空泵的进气温度为15~60,在此温度范围内,泵可以长时间连续工作。进气温度超出此范围,因此应采取必要的措施。3.冷却水温度给定的冷却水温度为20 流量,冷却水的最高允许温度为32,但冷却水必须适当增加流量。4.处理液体和固体的能力干式螺杆真空泵送的气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 08 - 03
罗茨螺杆真空机组应用-化工有机溶剂真空系统解决方案。深圳真空泵生产厂家恒才机电根据客户真空使用需求,设计了罗茨螺杆真空机组,由一台螺杆真空泵及三台罗茨真空泵,也称为螺杆三罗茨真空机组,用于化工行业有机溶剂抽真空。罗茨螺杆真空机组设计原理:打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空;打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出;被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量,环保节能的真空机组解决方案。冷凝回收有机溶剂效益:冷凝回收的有机溶剂经过蒸馏后可返回生产使用,可相应减少工业丙酮的使用量,达到节约成本的效果。深圳恒才机电设备有限公司给客户提供稳定的真空系统解决方案,专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务,更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
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2020 - 10 - 23
1.真空泵必须水平安装。连接管路时不要施加过大的压力。真空泵排气管道的垂直高度尽量小,排气排水管道的垂直高度绝对不能超过0.5米!  2.安装真空泵后,注意调速联轴器的同心度,防止同心度不是高速导致的轴承和联轴器的损伤。  3.真空泵不要让满水频繁工作。  4.在真空泵安装阶段保护泵口,免受溅射和其他异物进入泵内的保护(安装真空泵之前,清除管路);请在泵最初工作的100小时以内,在吸气口安装运转过滤器。与进排气口连接的管路通径相当于泵端口通径。  5.真空泵工作液的供水压力不要太大。最好提高排气压力0.1~0.2Kg(压缩机除外)。压力过高会导致叶轮破损和电机过载。工作液必须尽量使用软水,工作液硬度过高时必须定期去除泵的水垢。否则可能会导致泵损坏。  6.真空泵启动前打开供水管路湿润轴封。指向马达,确认马达正确旋转后再启动真空泵。  7.真空泵请注意吸引的气体和使用的工作液是否与泵的材质一致。工作液是干净的软水,不能含有固体粒子。  8.在霜冻季节或寒冷地区使用时,停车后请清空泵内的工作液。  9.使用真空度达到-0.092MPa时,请打开真空泵的空化阀保护装置。  10.真空泵运转后,每15-30天检查轴承的加油,注意轴承不要因油不足而破损。  11.真空泵运行中发生异常时,立即停车,与供应商联系。
2020 - 11 - 04
真空泵在使用过程中可以满足某些要求,但是在生产过程中,必须严格按照操作规定进行操作,以取得良好的效果。让我们了解一下真空泵密封不足的原因。  在使用真空泵的过程中,由于环境或手动操作等原因,会对真空泵造成一定的损坏。微生物污泥污染少,充满黄色的空隙,损害了变黄对密封性能的补偿作用,增加了环动和静摩擦的破坏,并影响了密封性能。可能需要操作员每季度进行一次真空泵的拆卸和检查。有机化学物质的添加将导致真空泵密封环的腐蚀缓慢,并使密封失效。因此,在将其应用于操作之前,必须首先询问真空泵的制造商可以使用哪种介质。  真空泵的工作液中经常含有有毒颗粒,细菌,微生物污泥,钙离子和相关有机化学药物的共同作用侵蚀了机器密封件的金属部件,这将损害真空泵密封件的密封性能。在填充上游和下游催化剂载体的过程中,大部分烟灰通过刷洗和其他过程除去,但是随着运行时间的增加和旋风分离器腐蚀材料,将不可避免地产生新的烟雾和灰尘。真空泵中的灰尘很容易损坏机械密封的密封位置,需要定期维护和清洁。真空泵工作液中的二氧化碳和还原材料反映出转化上的碳酸氢钙损坏了机器的密封。这是不可避免的,但是可以进行定期维护以尽可能避免这些问题。  以上是真空泵密封不充分的原因。在操作过程中,必须严格遵守法规进行操作。如果不了解请联系我们,我们将为您提供合理的建议。
2020 - 11 - 16
很多买了真空泵的厂家或公司,在使用真空泵时,不注意保养,使得真空泵很容易老化、磨损。其实,在机械行业里,真空泵是需要好好保养的,冬季即将来临,该如何使用保养真空泵呢?  1、不要再过冷的环境下使用。  2、使用前可以先适当的预热。  3、向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充。  4、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。  5、点动电机,试看电机转向是否正确。  6、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。  7、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。  8、经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常以成滴漏出为宜。  9、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。  10、定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。  11、真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净,防止冻裂。  12、真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。  13、真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。  14、开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。
2020 - 11 - 26
使用螺杆真空泵,我们经常会遇到一些问题,可能发生故障。而且,如果不及时解决,将不可避免地影响其整体功能。其中螺杆真空泵分离器中的液位下降就是我们要解决的问题?  1.螺杆真空泵的液位降低的原因:  螺杆真空泵的液位降低的原因可能是所泵送的气体中含有蒸汽,该蒸汽可以凝结成水以增加水位并增加发动机功率。但是水位更可能下降,甚至没有水也会导致泵的性能急剧下降。这导致冷凝器压力的变化并影响发电机组的效率。  2.螺杆真空泵的液位降低的解决方法:  1.机械式浮球控制阀,一个控制进水口,另一个控制排水量,使螺杆真空泵的水位保持在一定范围内。  2.上限和下限警报开关也安装在与分离器相连的现场的电磁翅片水位指示器上,该分离器与控制室相连,以提供远程水位警报功能。  3.液位控制也采用电磁阀的形式,用于注水和排水。液位开关安装在分离器中,输出信号控制电磁阀的补充或排放。  螺杆真空泵的分离器液位低的主要原因与水位有关,有时添加的水量不足,这会影响泵的排水和其他功能,我们要做的就是及时补充水位。
2020 - 12 - 08
对于空调来说,抽真空是空调生产、安装和维修过程中,充注制冷剂前的一个必不可少的重要工序。具体做法是用真空泵与空调系统管路相连接,将空调系统管路中的不凝性气体和水分等排除的过程。  一、空调抽真空简介  1、真空泵启动后,空调系统中的不凝性气体和水蒸汽先被抽出,然后只剩下水分子(液态)。  2、随着真空度的增加,空调系统内zd绝对压力降低,当系统内的绝对压力降低到与环境温度相对应的饱和水蒸汽压力时,系统内剩余的水分子沸腾成水蒸气,被继续抽出——需要注意的是,抽真空过程中,在正常操作情况下,系统内的温度和外界环境温度是一致的。  二、空调抽真空作用  1、除去系统中的不凝性气体  不凝性气体的存在会使系统冷凝压力升高,排气温度升高,影响制冷效果;还可能导致润滑油高温下碳化,危害压缩机的正常运行,甚至烧坏压缩机电机。  2、除去系统中的水分  我们都知道,空气中含有大量的氮气、氧气、二氧化碳等气体,这些气体不能溶解到制冷剂里面,我们通常统称为不凝性气体。除此之外,空气中的水分与制冷剂也无法互溶。水分和不凝性气体的存在影响了空调运行效果,所以抽真空的目的就是要将空调中系统中的不凝性气体和水分排除。  水分是制冷系统中的最大杀手(特指蒸气压缩式制冷循环中的氟利昂系统),首先,润滑油与水分作用会生成酸,会腐蚀系统,同时会造成“铜镀”现象,损坏压缩机;同时,水分会造成膨胀阀阀口或毛细管内结冰,出...
2020 - 12 - 18
真空泵的选择  选用真空泵时,需要注意下列事项:  1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。  2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。  3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。  4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分...
2020 - 12 - 30
螺杆真空泵轴向力可能由吸入口和排出口上的不均匀压力引起,从而在叶轮两侧造成不均匀的压力,这不完全对称并产生轴向力。但是如何解决轴向力呢?让我们一起看看。  尽管我们需要清理螺杆真空泵的轴向力,但如果将其彻底清洁,也会使转子旋转不稳定。因此,在设计时需要通过轴承补偿30的量,以使往复运动真空泵非驱动端的轴承通常是角接触轴承,因为可以使用此方法承受更高的轴向力。  一般采用的解决方案是将螺杆真空泵的平衡盘和叶轮对称安装,单级泵一般在叶轮上有一个平衡孔。  其次,有一种在叶轮上安装平衡叶片以平衡轴向力的方法。  螺杆真空泵在运行过程中会受到许多因素的影响。发生的任何小问题都可能影响正常操作。因此,需要定期检查和维护以避免出现问题降低效率。
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旋片真空泵在食品加工制造行业中的运用

日期: 2020-04-20
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  食品工业生产就是指以农副食品为原材料根据物理学生产加工或运用酵母发酵的方式生产制造食品的工业化生产厂家,关键能够分成:食品加工制造业,包含谷物制造业,食用油制造业,点心、糖块加工制造业,制糖业,宰杀及肉类食品生产加工。在现如今的食品包装和生产加工制造行业中,真空技术的运用早已非常的普遍。除开真空包装和气力输送系统之外,真空技术一样对食品的生产加工起着不同凡响的功效。大家都知道,真空技术在食品加工制造行业更为普遍便是真空包装。真空泵类型多种多样,可以运用于食品加工制造行业也多,比如:爪式干试真空泵、干试挤出机螺杆真空泵、往复真空泵、水喷涌真空泵、旋片真空泵、罗次真空泵等。文中关键给大伙儿剖析下旋片真空泵在食品加工制造行业中的运用,期待对食品加工制造行业的客户有一定的协助。

油式旋片真空泵多少钱


  真空泵是斩拌、滚揉、干冻、真空蒸制等食品加工加工工艺不能缺乏的一部分。真空高新科技领跑的真空行业解决方法经销商,其能够出示包含全部真空行业的各种各样真空商品、系统软件、解决方法,及其订制型基础设施建设解决方法。

  食品加工业的关联性便是将塬料变化为高使用价值的商品,是一个保证食品安全性和增加货架期的转换全过程。一般米说,食品加工包含提升能源并上升温度、除去能源或减少温度、除去水份或减少水份成分、运用包装以保持因为生产加工实际操作产生的商品的特点等更改。

  真空包装针对食材储存拥有重特大的实际意义,它对食材空气氧化、病菌滋长、长霉、吹干等具有了非常好的安全防护功效。实际上,现阶段真空技术早已被普遍地运用于各种各样食品加工机械设备,如真空包装机、真空自动灌装机、真空滚揉机、真空斩拌机、真空冻干机、中央政府真空系统软件等,而单是就真空包装机来讲就会有诸多归类,如厢式包装机、拉申式包装机、金属托盘包装机、滑动式包装机、全自动连续式包装机、加氧包装机这些。

  旋内置式真空泵唿吸口安装有金属丝网制品的粗过滤装置,能避免固态的外地人细颗粒物吸进泵腔。油分离器内安装有高效率油气分离器实际效果的排气管衔接器。停泵时,内放置唿吸口的吸阀门使泵与被抽系统软件防护,避免油返入被抽系统软件,泵由蒸发冷却。

  真空包装的关键功效是除氧,以有益于避免食品霉变,其基本塬理也非常简单,因食品霉腐霉变关键由微生物菌种的主题活动导致,而大部分微生物菌种(如黄曲霉菌和酵母)的存活是必须co2的,而真空包装便是应用这一基本塬理,把包装袋子内和食品体细胞内的co2抽走,使微物物丧失“存活的自然环境”。

  旋片真空泵在食品加工制造行业中的运用是十分关键的,真空技术的进一步开发设计,终将促进在我国目前食品加工业的技术性发展,将在我国丰富多彩的农业产品资源,根据新科技转换为品牌优势,为在我国食品工业生产及增产、高效率、高品质农牧业开拓出一条新路,促进在我国社会经济发展。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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