项目案例_罗茨真空泵_水环真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题？

2018 - 08 - 23

深圳恒才真空泵以清洁无污染，而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业，今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。　　半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备;　　2、有效稀释有害气体的浓度：　　半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物...

水环真空泵滤芯,出水量少等问题的解决

2019 - 10 - 23

关于维护水环真空泵滤芯，您可能不知道!　　水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障，滤芯使用一段时间后，可以及时更换，不仅达到良好的过滤效果，也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。　　通常，在打开水环真空泵之前，请检查零件是否完整和有故障，以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯，在检查完所有零件而没有任何问题之后，您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常，则可以，但是如果电流减小，则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞，这会影响电流的运行。　　水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多，建议更换滤芯，以确保水环真空泵设备的正常运行。　　教您4招，解决水环真空泵出水少　　1，水环型真空泵-使用过高的扬程　　所使用的水环真空泵使用不当，扬程太高或使用中的阀未正确调节，导致扬程的使用太高。　　根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。　　2，水环真空泵-过滤器堵塞　　水环真空泵的过滤器堵塞，导致水环泵水畅通无阻，出水量减少。　　处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部，以及潜水泵周围的水和碎屑。　　3、水环真空泵-旋转方向相反　　水环真空泵向相反方向旋转，出水量很小。　　处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。　　4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损　　处置方法:卸下水环真空泵，修理或更换叶轮和泵盖。　　您知道水环真空泵对环境有何要求吗...

水环式真空泵开停机操作步骤

2019 - 10 - 29

水环式真空泵是催化剂生产中广泛使用的一种气体输送设备，一般与带滤机(胶带机)配套使用，利用自身形成的负压条件，抽取不凝结、不溶于水、不含有颗粒的气体，达到真空过滤的目的。　　1.设备基础知识　　1.1工作原理　　水环式真空泵属于变容式真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内，当叶轮旋转时，注入泵体内液体形成旋转的液环，液环内表面与叶轮轮毂形成一个月牙形空间，相邻叶片间泵腔容积周期性的增大和减小，实现吸气、压缩和排气的目的。　　1.2设备结构　　磁力泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、分配板、轴封、供水管路、自动排水阀等组成。　　1.3主要性能指标　　主要参数包括：工作液流量、排气量、最大真空度、转速、功率。　　1.4设备用途　　带滤机抽真空。　　2.水环式真空泵开停机步骤　　2.1开机前的检查与准备　　(1)准备必要的开车工具：阀门钩、扳手等。　　(2)检查泵的各连接部分的螺丝是否紧固，电机接地线是否良好，阀门是否灵活好用。　　(3)通过供水管路向真空泵内供水冲洗，用手盘动转子，然后通过放水管路把污水排尽。　　(4)点试电机的转向，确保转向正确。　　2.2开机步骤　　(1)打开进气阀。　　(2)当自动排水阀没有水流出时，起动电机，泵运转。同时打开工作水供给阀，使真空压力表指针接近0MPa(表压)。随着泵的吸入绝对压力的下降，指针向负值偏移(读数在0～-0.003MPa之间)。　　(3)如果是轴封...

如何调节螺杆真空泵的水流量?

2020 - 05 - 06

螺杆真空泵是一种真空泵设备，也是一种用来抽取水的泵。在整个抽取过程中，它产生了一定的流量。从总数流量来看，它可以反映泵的实际应用状态。在使用前，必须进行适当的调整，以确保泵的高效率。如何调节它的水量流量?　　一、螺杆真空泵供水调节方式：　　当螺杆真空泵正常运行时，适当打开电源阀门，检查通道负压表的工作压力。逐渐降低电源阀油管的压力。当负压表的表针开始上升和下降时，水流量不足。再次逐渐打开电源闸阀。当负压表的表针再次稳定时，此时水流量正常。　　二、螺杆真空泵供水调节常见问题：　　当没有足够的水专利复审3)时，螺杆真空泵的抽真空能力将降低。如果水太多流量，将导致浪费和浪费水源，并将继续扩大泵的励磁电流。因此，当使用机械泵时，首先检查负压表是否正常工作。　　因此，必须对螺杆真空泵的水流量进行有效调节。由于水流量与泵机械设备的抽真空能力和泵内的工作压力有关，如果水流量不够或太大，肯定会导致危险。因此，必须有效调节泵水流量。　　进口真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。联系电话18820944856

真空泵使用中为什么要不断加水

2020 - 07 - 09

真空泵的使用通常与水有关，但它仍然需要水来支持它的工作。很多时候我们是以加水的方式来做的。关于给真空泵加水的说法是什么?　　真空泵运行时，需要用液体作为工作液体，基本上是选择水作为工作液体。当叶轮顺时针旋转时，水被叶轮甩来甩去。由于离心力，水形成由泵腔形状决定的大致相等的厚度封闭圆环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切。水环的上内表面正好与刀片的尖端相接触(事实上，刀片具有一定的插入深度)。此时，在叶轮轮毂和水环，之间形成一个新月形空间，该空间被叶轮分成几个具有相同叶片数的小腔。如果以叶轮下部为0为起点，当叶轮旋转180前，小腔的体积由小到大，并与端面上的吸入口连通，则气体被吸入，当吸入结束时，小腔与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，气体被压缩;当小腔与排气口连通时，气体从泵中排出。　　当水量减少时，其工作效率将降低，这将增加能耗和运行成本。工作流体的作用不仅是抽取气体，而且是降低泵体的温度。工作流体比正常水平低得多，这将增加泵体的热值，降低泵的耐用性并增加维护成本。因此，水环真空泵运行时必须保持工作流体的正常液位，这有利于泵的正常运行、维护和降低成本。　　工作流体可视为其工作动力。如果停电了，真空泵能做些什么来努力战斗呢?因此，我们平时不应该吝啬，时不时地给他们一些水，这样他们就能以好工作的形式回报我们。　　恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN...