项目案例_罗茨真空泵_水环真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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破局“一机一泵”旧模式：某PCB厂真空系统重塑之路

2026 - 07 - 28

在印制电路板（PCB）制造行业中，层压工艺是决定多层板压合质量、绝缘性能及良品率的核心工序。然而，长期以来，许多PCB企业被一个看似不起眼的辅助设备——真空泵所困扰。传统的层压车间里，最常见的配置是“一台压机配一台旋片真空泵”。这种分散式的真空获取模式，不仅占据了大量车间空间，更在实际生产中暴露出诸多难以调和的矛盾，成为制约企业发展的瓶颈。过去，PCB层压机多采用老式油封旋片真空泵。旋片泵虽然结构简单，但其内部必须使用真空油作为密封和润滑介质。在层压过程中，压机加热温度通常超过200度，高温下内层线路板、半固化片等材料会释放出大量气体和低分子挥发物。这些气体被吸入旋片泵后，极易与真空油发生反应，导致油品乳化、变质，不仅丧失了密封和润滑功能，还会损坏泵体内部机械结构。更为严重的是，旋片泵在运行中会产生大量油雾，弥漫在车间内，气味刺鼻，不仅污染了车间环境，甚至可能反流污染PCB板材，造成不可逆的废品。此外，单机配置在面对多台压机同时启动时，往往出现抽气能力不足的问题，真空度波动大，导致板材压合时空气排出不彻底，产生气泡或分层。某知名PCB厂的张总对此深有体会。改造前，他的车间里几十台压机旁各摆着一台旋片泵，不仅噪音震耳欲聋，且油污满地，环境极其杂乱。旋片泵故障频发，维修师傅几乎每天都在修泵、换油，严重影响了生产进度。在了解到行业痛点后，张总找到了深圳恒才机电设备有限公司。作为全球五百强...

晶圆吸附选泵不用纠结：恒才水环真空泵机组比普通泵稳、比坚山泵省

2026 - 08 - 13

很多半导体工厂的设备采购部门，在选晶圆吸附真空泵的时候，始终陷入两难的纠结：选便宜的普通国产泵，真空度差、不稳定，用不了两年就坏，影响良率；选日本坚山的进口泵，性能确实好，但价格贵得离谱，后续维护成本高，现金流压力太大。很多工厂在两者之间反复摇摆，要么选了便宜泵用半年就后悔，要么咬咬牙买了进口泵，运行几年之后发现全生命周期成本高得吓人。深圳恒才引入德国核心技术的晶圆吸附专用水环式真空泵机组，刚好卡在两者之间的最优区间，性能远超普通国产泵，价格和长期成本远低于日本坚山的进口泵，给工厂提供了第三个更优的选择。和普通国产旋片泵相比，恒才的水环机组优势极其明显：普通国产泵的极限真空度只能到1000hPa，运行半年之后磨损加剧，真空度直接掉到600hPa以下，完全达不到晶圆吸附的高真空要求，真空度波动范围超过200hPa，很容易导致晶圆掉片碎片。而恒才的水环机组采用德国双级串联技术，极限真空度可达33hPa，长期运行真空度稳定维持在100hPa以内，波动范围控制在±5hPa，完全满足晶圆吸附的高精度要求，而且水环泵的结构天然耐磨损、耐水汽，哪怕吸入少量硅粉和清洗液，也不会出现泵体快速磨损的问题，使用寿命是普通国产旋片泵的3倍以上。普通泵一套12工位的方案采购成本虽然只要20万，但用2年就要全部更换，2年的总投入超过40万，而恒才的机组可以稳定运行8年以上，长期性价比远超普通泵。和日...

真空泵在半导体行业中使用一定不可忽视安全问题？

2018 - 08 - 23

深圳恒才真空泵以清洁无污染，而且拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势广泛应用于半导体行业，今天张工来给大家普及一下真空泵在半导体生业使用中不可忽视的安全问题。　　半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，第一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备;　　2、有效稀释有害气体的浓度：　　半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物...

水环真空泵滤芯,出水量少等问题的解决

2019 - 10 - 23

关于维护水环真空泵滤芯，您可能不知道!　　水环真空泵的滤芯应经常检查以避免整个设备的故障，滤芯使用一段时间后，可以及时更换，不仅达到良好的过滤效果，也将是水环。真空泵的冲击将受到影响。　　通常，在打开水环真空泵之前，请检查零件是否完整和有故障，以免使用中出现问题并影响工作效率。对于过滤器滤芯，在检查完所有零件而没有任何问题之后，您可以打开水环真空泵以查看驱动电流。如果电流正常，则可以，但是如果电流减小，则可能为水环。真空泵过滤器被阻塞，这会影响电流的运行。　　水环真空泵的滤芯应定期检查。如果灰尘过多，建议更换滤芯，以确保水环真空泵设备的正常运行。　　教您4招，解决水环真空泵出水少　　1，水环型真空泵-使用过高的扬程　　所使用的水环真空泵使用不当，扬程太高或使用中的阀未正确调节，导致扬程的使用太高。　　根据规定的范围使用处理方法:并适当减少其使用扬程或其他合适的规格。　　2，水环真空泵-过滤器堵塞　　水环真空泵的过滤器堵塞，导致水环泵水畅通无阻，出水量减少。　　处理方法:去除水环真空泵的过滤器的内部和外部，以及潜水泵周围的水和碎屑。　　3、水环真空泵-旋转方向相反　　水环真空泵向相反方向旋转，出水量很小。　　处理方法:交换水环真空泵抽出电流和电源的任何两相的位置。　　4、水环真空泵-叶轮或泵盖磨损　　处置方法:卸下水环真空泵，修理或更换叶轮和泵盖。　　您知道水环真空泵对环境有何要求吗...

水环式真空泵开停机操作步骤

2019 - 10 - 29

水环式真空泵是催化剂生产中广泛使用的一种气体输送设备，一般与带滤机(胶带机)配套使用，利用自身形成的负压条件，抽取不凝结、不溶于水、不含有颗粒的气体，达到真空过滤的目的。　　1.设备基础知识　　1.1工作原理　　水环式真空泵属于变容式真空泵。叶轮偏心安装在圆形泵体内，当叶轮旋转时，注入泵体内液体形成旋转的液环，液环内表面与叶轮轮毂形成一个月牙形空间，相邻叶片间泵腔容积周期性的增大和减小，实现吸气、压缩和排气的目的。　　1.2设备结构　　磁力泵主要由泵体、叶轮、轴、轴承、分配板、轴封、供水管路、自动排水阀等组成。　　1.3主要性能指标　　主要参数包括：工作液流量、排气量、最大真空度、转速、功率。　　1.4设备用途　　带滤机抽真空。　　2.水环式真空泵开停机步骤　　2.1开机前的检查与准备　　(1)准备必要的开车工具：阀门钩、扳手等。　　(2)检查泵的各连接部分的螺丝是否紧固，电机接地线是否良好，阀门是否灵活好用。　　(3)通过供水管路向真空泵内供水冲洗，用手盘动转子，然后通过放水管路把污水排尽。　　(4)点试电机的转向，确保转向正确。　　2.2开机步骤　　(1)打开进气阀。　　(2)当自动排水阀没有水流出时，起动电机，泵运转。同时打开工作水供给阀，使真空压力表指针接近0MPa(表压)。随着泵的吸入绝对压力的下降，指针向负值偏移(读数在0～-0.003MPa之间)。　　(3)如果是轴封...