2019
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1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空镀膜要求的真空度为1 × 10-5mmHg，所选真空泵的真空度必须至少为5 × 10-6mmHg。通常将泵的真空选择为比真空设备的真空高一半数量级。 2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如：扩散泵为10-3〜10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5 × 10-4〜5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，并且不应在10-8mmHg的环境下长时间工作。另一个例子是钛热升华泵可以在10-2mmHg的压力下工作，但其工作压力应小于10-20mm 10-5mmHg。 3、真空泵应该能够在真空设备的工作压力下清除真空设备过程中产生的所有气体。 4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能，因此有时一个泵无法满足泵送要求，因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时，真空装置将具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压，因此需要前级泵，因此必须将这些泵组合在一起。 5、真空设备油污的要求。如果严格...