项目案例_罗茨真空泵_水环真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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半导体真空泵在使用中要注意什么

2020 - 01 - 15

半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体，对生产和人员安全构成威胁。因此，半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:　　1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道，以避免过压　　在半导体真空泵的应用中，当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时，介质的组成可能极其复杂。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵，这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成，可能会堵塞真空泵或管道系统，影响真空泵的性能，导致压力升高或过压，并带来更大的风险。因此，有必要及时清理，必要时设置过滤设备。　　2.有效稀释有害气体的浓度　　半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此，在半导体真空泵的应用中，当抽取这些介质时，有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如，当与空气或氧气接触时，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时，也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此，当半导体真空泵提取这些介质时，在压缩前的当前条件下，需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。　　3.注意氧气的浓度　　如果空气中的氧气浓...

木工行业选择哪种真空泵

2020 - 02 - 19

如果您从事木工行业，那么您可能已经熟悉工业真空泵。从固定和提升到层压和木材干燥，这些机器对于推动木工过程中涉及的各种应用至关重要。但是您是否知道最适合该行业的真空泵技术类型?　　木料用什么真空泵更好?　　一般而言，旋转螺杆真空泵和干爪真空泵是木工应用的理想选择，因为它们是非接触式真空技术，不会遭受性能元件的磨损。　　与叶片泵相比，GHS VSD +等旋转螺杆泵具有较高的性能水平，并减少了维护，噪音和热量散发-所有这些都归功于螺杆技术。它们通常配备VSD技术(使其非常经济)，并且还具有压力设定点控制功能，可确保泵提供尽可能低的真空流量，从而可以维持所需的真空度。结果?降低了生命周期的运营成本，并且没有浪费过多的能源。　　干式爪泵也是木工的理想技术。由于主泵腔中没有润滑，因此没有污染的威胁。其次，没有任何磨损-两个爪形转子彼此相反的方向运行;它们不会彼此接触，也不会与泵室接触!这意味着没有磨损，非常耐用，并且可以维修和清洁。干式爪泵也可以组合成多系统单元。　　恒才机电厂家主要真空泵产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验，一流的技术人...

复工后旋片真空泵选型使用五大注意事项

2020 - 02 - 22

旋片真空泵主要用于获得低、中真空度，它可分为油封泵和干式泵，根据所要求的真空度，还可以分为单级泵和双级泵(使用更普遍)。旋片真空泵主要是由泵体、转子、旋片、端盖和弹簧等部件构成。在旋片真空泵的腔内，有偏心地安装了一个转子，转子外边与腔内表面相切，转子槽内装有带弹簧的两个旋片。当转子在运转的过程中，旋片能沿其径向槽成往复式地滑动，并且与泵壳内表面始终相接触，此旋片随转子一起旋转，进而把真空泵腔体分为多个可变容积空间。　　在使用旋片真空泵时，需要注意以下事项　　1.在使用旋片式真空泵前，需要保持泵的清洁，以免杂物进入泵体里面。检查油量，加油至油标中心处，如果太低就会对排气阀起不到油封的作用，对真空泵的真空度产生影响;如果过高，会产生喷油反应。在真空泵运转的时候会有正常的油量上升反应。在加油时，要使用符合规定的真空泵品牌的清洁真空泵油，从注油孔加入完毕之后，为防止其他杂物进入真空泵油仓内，要进行过滤且堵塞油孔。　　2.在旋片真空泵工作环境温度过高时，旋片真空泵的油温度也会升高，这是热分子运动加快，油的粘度降低，导致饱和蒸气压变大，最终引起极限真空度变低，德耐尔真空泵厂家技术人员指出，想要使得真空泵真空度得到改善，可以加大风力，改善真空泵油的质量，从而降低温度加快散热。　　3.在使用旋片真空泵的作业过程中，抽取的物质不应该是含氧量过高、含水蒸气量过高、易燃易爆以及对金属有腐蚀性的气体物质，...

一分钟了解液环真空泵结构及用途

2020 - 02 - 27

液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，可获得2000-4000帕的极限真空，液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机，称为水环压缩机，属于低压压缩机，其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。　　水环泵最初用作自吸泵，然后逐渐用于许多工业部门，如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中，如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气，水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展，水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的，易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此，水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体，都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。　　最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时，水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用，根据泵室的形状，水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切，水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上，叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时，在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间，并且该...

真空机组系统中的真空泵选型策略

2020 - 03 - 03

真空泵的功能是从真空室中去除气体分子，并降低真空室中的气压以达到所需的真空度。一般来说，从大气到极高真空有一个很大的范围，到目前为止没有一个真空系统能覆盖这个范围。因此，为了达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备使用寿命要求，需要为不同的真空段选择不同的真空系统配置。为了获得最佳配置，在选择真空机组系统时应考虑以下几点:　　1.真空泵的极限压力应满足工艺的工作压力。通常，所选泵的极限压力比工艺要求低一个数量级。　　2.每个泵都有一定的工作压力范围。因此，泵的工作点应选择在此范围内，不允许在超过允许工作压力的情况下长时间工作。　　3.在其工作压力下，真空泵应该能够排出真空设备过程中产生的所有气体。　　4.选择真空机组装置:　　(1)当一台泵不能满足抽气和真空的要求时，需要将几台泵组合起来，相互补充，以满足工艺要求。　　(2)有些真空泵不能在大气压下工作，需要预抽真空;一些真空泵的出口压力低于大气压，需要一个前置泵，所以所有的泵都需要组合使用。通过真空泵的组合，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统获得更好的真空度和排量。我们应该正确选择组合式真空泵，因为不同的真空泵对被抽出的气体有不同的要求，例如:罗茨-转子机组不适合在正常情况下含有较多可冷凝气体的系统。　　5.当你选择一个油封泵时，你应该首先知道你的真空系统是否对油污染有要求。如果设备严格要求无油，应选用各种非油泵，如:水环泵、低温...