项目案例_罗茨真空泵_水环真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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半导体行业中真空系统的应用

2020 - 06 - 02

真空系统应用于半导体工业还是比较多的。接下来，介绍我们就来介绍真空系统的内容。　　真空系统简介　　通过真空系统的设计，在单个生产机器上，更多的单个泵被几个更大的真空泵代替。自动变频控制系统通过储气罐的主支管配置并连接到生产机器上。真空供应根据生产要求全自动，节能、低成本、维护方便、性能稳定。员工工作区域的噪音水平大大降低，以满足半导体行业的技术要求。　　真空泵应用部分　　1.生产用真空主要是通过高真空减少工作空间的空气，保持工作空间的清洁。所用真空泵的主要类型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其装置。生产用真空设备数量多，功率小。　　2.清洁真空主要利用负压和大气压之间的差异来清洁或输送液体或颗粒。对于这些应用，主要使用水环泵和多级离心风扇。由于真空度低，通常采用多级离心风机，真空源是其系统的一部分。　　3.工艺真空主要采用工件搬运负压吸附或夹紧。螺杆泵、爪式泵、水环泵、旋转叶片泵和微油螺杆泵等干式泵都是过程真空中常见的真空设备。　　真空系统的组成　　真空泵+控制系统+储气罐+管道安装　　半导体真空泵应用安全事项：　　1、防止真空泵温度过高：　　真空泵温度过高会影响真空度和排气量，对生产有直接影响。在半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。　　2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓...

螺杆真空泵的结构特点分析

2020 - 06 - 09

螺杆真空泵是一种可抽真空的设备，是替代其他同类产品的工业生产常用设备，由于其优异的产品性能和优越性，在各种环境技术中都显示出极高的稳定性。螺杆真空泵在结构上有什么特点? 让我们一起调查一下。　　螺杆真空泵在泵室内的一对等速逆转螺杆的作用下，吸引并排出被吸引的气体，使其成为高真空。如泵的结构如图所示，螺杆曲线由阿基米德的螺旋曲线、摆线和圆弧等构成。螺杆旋转时，两螺杆之间，螺杆与泵体之间保持一定的间隙，不相互接触，因此运转时泵的摩擦损失小，摩擦消耗电力极小，可进行高旋转运转，顺畅地压送到排气口，排列在泵外。泵两侧的密封机构防止齿轮箱内的润滑油进入泵的进气室内进入。泵和马达都是横型结构，泵的联轴器和马达直接连接，单元整体安装在同一框架上。为了降低泵的排气声，泵的排气口装有消音器。　　构成螺杆真空泵的关键部件如下：　　1 .螺杆转子：泵螺杆转子采用高性能球墨铸铁，经过严格的热处理后，由高精度数控机床加工，确保螺杆型线的高精度要求，螺杆加工精度是保证整个机械性能的关键。　　2 .同步齿轮：同步齿轮是螺杆真空泵的重要部件，同步齿轮不仅对从动螺杆施加足够的扭矩，还保证反转的两个螺杆的啮合面始终保持一定的间隙，不会摩擦。齿轮表面经高频淬火，采用高精度砂轮磨削研磨，泵运行噪音小，温度上升低，保证运行顺畅。　　3 .轴承：泵的固定端采用双列角接触球轴承，可动端采用高负荷能力的滚柱轴承。 ...

真空泵油气回收自检妙招儿

2020 - 06 - 13

如果在真空泵后端的正压下发生泄漏，液体会渗出并容易被发现;但是，前端负压下会发生泄漏，外面没有明显标志，不易发现。从长远来看，真空泵将从空气中吸入大量空气，导致油箱压力迅速上升，导致油箱排气管的排放量增加。因此，在维护期间有必要检查真空泵是否泄漏。　　下面小编以真空泵为例介绍一种简单易行的方法来帮助我们判断真空泵是否有泄漏。　　主要检查方法是：真空泵运行时，完全堵住真空泵的入口，连接水面下的出气口，观察是否有气泡。具体步骤如下：　　1 .准备一根长约30厘米的软管，一端有一个接头，用于连接真空泵的出口;一个透明的空塑料瓶(矿泉水瓶就足够了)装满自来水以备后用。准备一个直径大于真空泵入口直径的橡胶垫，厚度超过2mm，橡胶垫应尽可能坚韧。　　2 .当真空泵停止运行时，断开其入口和出口处的管接头，并在出口处连接准备好的软管。　　3 .试着启动真空泵，使其处于旋转状态。用橡胶垫密封真空泵入口，确保无空气泄漏。　　4 .将软管插入塑料瓶的水面下，观察是否有气泡。如果软管插入水中时没有气泡出现，真空泵密封良好，没有泄漏。另一方面，如果有气泡，真空泵正在泄漏。　　注意：在检查开始时，在将出口处的软管插入水中之前，一定要密封真空泵的入口。检查真空泵参数后，先将软管从水中取出，然后取下入口处的橡胶垫，否则会溅出水花!

真空泵夏季高温问题怎么解决

2020 - 06 - 17

真空泵的高温是什么原因，又用什么方法解决? 接下来，小编介绍一下，希望能对真空泵的使用有所帮助。　　真空泵高温原因分析：　　1.电机功率过大，工作电流大，热功率也大。　　2.风扇叶片少，产生的风量少，所以不能散热。　　3.由于风扇转速低，风低，风量小。　　4.真空泵电机的母线电压为380V，符合电缆的电压降和分配的不均匀性，所以电机施加低于380V的电压，为了保证电力不变，电流增大，热电力变大。　　5.电机上附着灰尘、油污等污垢，散热功能下降。　　真空泵厂家的真空泵降温方法：　　马达的功率、转速与真空泵一致，不能变更。风扇安装在电动机主轴上，根据电动机的转速决定风扇的转速，所以不能变更。增加风扇叶片的数量可以起到一定的作用，但是叶片增加的话，原来的动平衡就会崩溃，需要寻找新的动平衡。找到新的动平衡并不容易。动平衡不同，会引起电动机的剧烈振动。因此，一般采取了以下方法：　　1.将原来的风扇盖加长40cm，设置了与风扇通径的轴流风扇，轴流风扇的电动机功率要求为850w、转速14889r/min、电压380v。原来的粉丝还在。轴流风扇设在别的电源控制中，真空泵启动后，轴流风扇运转，真空泵停止后，在30min停止轴流风扇，充分冷却主马达。　　2.保持马达的清洁和清洁，定期清除马达上的污垢，提高散热能力。　　3.把真空泵的母线电压提高到400v。

旋片真空泵如何降低噪声

2020 - 06 - 20

旋片真空泵的噪音，通常是指泵温度稳定时，在极限真空下测得的噪音水平。包括泵本身的噪音和马达噪音，对用户来说，与泵温度不稳定时启动阶段的噪音不同的入口压力下运转的噪音，还有开气町工作中的噪音也很关心。因此，必须考虑各种影响因素。　　根据发音部位的不同，旋片真空泵的噪音有以下可能性　　(1)旋片与气缸体的碰撞、泵剩馀容积和排气死亡间隙中的压力油的发音　　(2)排气阀座与支撑部件的碰撞　　(3)箱体内的回声和气泡破裂音　　(4)轴承噪音　　(5)大量气体、油撞击挡板等引起的噪音　　(6)其他。传动引起的噪音、空冷泵的风扇噪音等。　　(7)电机噪声，这是重要的因素。　　旋片真空泵设计过程的建议如下：　　1 .旋片与气缸壁的碰撞　　如果设计、制造或材料不正确，刀片的滑动会变差，或者有排气的死区，因此无法压缩的油无法使刀片的头部总是紧贴气缸壁进行运转，就会对刀片的气缸壁产生冲击音。因此，最好采用用圆弧面隔开进气口的结构。用排气槽消除死区。采用线路分隔结构时，请尽量缩短从排气终点到接点的距离。对于70l/s以下的回转泵，考虑到回转的实际厚度，建议采用7~lomm、大的泵。最近，由于转子的转子槽的存在和转子头部只有一根胶带接触，所以转子旋转到接点位置时，如果密封效果差，就会影响泵的吸引速度和极限压力。可以看出，该结构无法完全消除排气的死区，噪音水平受到限制。　　另外，如果旋片与槽...