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2018 - 11 - 03
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:  1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:  半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。  2、半导体真空泵有效稀释有害气体的浓度:  半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围.  3、真空泵注意氧气的浓度...
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2019 - 03 - 08
真空系统用何种真空泵,首先应根据系统的要求,其次应对该泵性能特点有详细了解,比较了各种泵的优缺点后,再决定之, 这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵,现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,看来是必要的。 一、油封机械泵 现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。 滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。 抽速:H型为8 ~ 600升/秒;2H型为8~ 70升/秒。亦有成系列生产的产品。 余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。 这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空i。但极限真空比抽干燥空气(不用镇时)低-个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。 二、机械增压泵(罗茨泵) 工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~ 2000升/秒,我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1 ~ 2托)&...
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2019 - 04 - 26
1. 选真空泵要确认环境条件  包括环境温度、相对湿度、大气压力、空气腐蚀性、危险区域等级、防尘防水要求。2. 选真空泵要确认操作条件  指液体吸入侧液面压力(绝对)、排出侧液面压力、间歇或连续工作、位置固定或移动、安装维修方便性。3. 选真空泵要确认介质性质  包括介质名称、温度、密度、粘度、饱和蒸汽压力、固体颗粒直径和含量、气体的含量、腐蚀性、挥发性、燃爆性、毒性。4. 选定真空泵过流部件的材质  根据泵送介质的物理化学性质主要考虑以下几个方面:  (1) 介质的腐蚀性,  泵过流部件的耐腐蚀性能满足使用要求即可,不可追求过高的耐腐蚀性能,否则,将大幅度增加泵的购置成本。  (2) 介质是否含固体颗粒,  因为固体颗粒的硬度和含量直接关系到泵过流部件的耐用性。  (3) 介质的温度(压力),  介质的温度(压力)越高,泵过流部件的材质强度应越高。一般的,温度250℃时,应选用铸钢件或钢件。  (4) 有卫生级或禁止污染要求的介质,  选择相应的过流部件材质。另外,泵的结构应是便于清洗的。5. 选定真空泵性能参数  (1)计算法  A. 流量:它直接关系到整个装置的生产能力和输送能力。如工艺设计中能算出泵正常、最小、最大的三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,兼顾正常流量,在没有最大流量,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。  B. 扬程:一般要用放大5%-10%余量后的扬程...
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2019 - 07 - 02
必须由经过适当培训的技术人员维护真空泵,以确认技术人员熟悉泵油和系统的产品。必须在维护之前停止泵,降低到安全温度,断开泵和其他组件和电路。为了避免事故。维护完成后,在连接电源之前重新检查泵的旋转方向。如果损坏,O形圈和垫圈不可回收。 在操作过程中,真空泵和油被化学品污染。因此,应确认泵是否清洁并采取适当措施防止这些有害物质对人员造成伤害。维护完成后,应检查是否有泄漏,如果有,则应重新密封。请勿接触或吸入高温(260°C)泵的热降解产品,这些产品很危险,包括油,油脂和真空润滑脂。 检查前真空泵油位:如有必要,您可以在泵运行时检查油位,但如果您想加油,则需要断开前置真空泵和相关组件与电源的连接。  1.通过前置真空泵的可见窗口检查油位是否高于最小极限并低于最大极限。  2.如果油位等于或低于最低限制,打开油孔并加油至最大限度。如果加太满,则可以从出口释放该点。  3.如果油污严重,请排出受污染的油并清洁泵并加入清洁的油。 更换前置真空泵油: 1.打开泵10分钟,加热泵油,然后加热关泵(加热后油可以降低其粘度,更容易倒出)。  2.断开泵与回路和真空系统的连接。  3.从填充孔中拔掉塞子。  4.将泵放在合适的支架(如凳...
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2019 - 07 - 08
罗茨真空泵内部冷却,通过循环冷却空气将热量从热源带走。被抽气体。当它被压缩或排出时,它被冷却空气冷却。因此,泵可用于标准泵不能工作地点。 泵室可以自冷却,因为叶轮和工作室具有特殊的工作部件。当这个特殊部件工作时,工作室的一部分关闭,阻塞入口和出口,并穿过特殊通风口。冷却气体从压力侧流出或进入工作室,并从出口侧充满加压冷却气体,并且气体循环。 气体循环冷却罗茨真空泵,特殊叶轮头控制冷空气流量而无需额外的控制元件,因此这个内部循环冷却罗茨真空泵与普通的罗茨真空泵相同,结构简单干净。它将冷却器连接到排气口,冷却器安装在泵壳的外部,便于维护和更换。 如果冷却器设计正确并且输送冷却气体的管道尺寸足够大,则冷却效果良好,因此罗茨真空泵可以在各种压差条件下工作。 泵加热不仅取决于转速,循环冷却剂量,还取决于压差,压差是成比例的(与转速成比例)。此外,泵叶片和泵壳之间的间隙必须保持最小。这有利于提高容积效率,以实现更高的真空度。 气体循环冷却罗茨真空泵最适合排放和压缩气体或蒸汽的过程。这些排出或压缩的气体在进入泵之前不应与油或有害液体接触。低温恒温器就是这种情况。如果进气和排气之间的压力差很大并且所需的极限真空度很高,请考虑串联使用三个罗茨真空泵。除此之外,还有水冷或多级泵。
来源: 真空泵厂家
发布时间:2018-09-12
大家看到下面这两张图片,就是我们在干燥剂行业的一家公司安装的水环真空泵机组,这个水环式机组的功率和真空度能够满足企业的生产要求,深圳恒才机电提供真空机组方案设计、安装、售后维护等一系列服务,根据客户现...
来源: 真空泵厂家
发布时间:2018-01-26
今天给大家介绍一下在超声波清洗中真空泵的使用,相信大家中的很多人不懂超声波清洗机,下面就给大家简单讲解一下.  超声波清洗机的作用机理主要有以下几个方面:因空化泡破灭时产生强大的冲击波,污垢层的一部分...
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发布时间:2018-09-13
根据练泥机生产的特点和应用环境,经过多年的实践,我们开发出成套的水封增压机组,客户只需接水、接电,连接抽气管即可用。    其特点:  一.维护量低,易损易耗件少,噪音低:  二.真空泵度稳定、可靠;...
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