2019
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一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系，可根据稳定流动下，流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速，S2为前置泵的抽速，p1为工作时主泵的进口压强，P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1，前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时，两者相等，故有：p1S1=p2S2 则得： 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2，故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如，设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍，即p1/p2=10-3，此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍，以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.