光电真空系统-阿特拉斯螺杆真空机组：真空领域和减排系统

Atlas螺杆真空机组应用领域：

分析仪器、化工、食品加工、发电解决方案、半导体、平板显示、可再生能源（太阳能、LED照明、储能等）、石材、印刷包装、家具木材等行业。

半导体真空泵应用：

晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。

真空泵于半导体设备意义重大：

若半导体器件不同材料层之间混入气体分子，会破坏器件的电学或光学性能，而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。

Atlas螺杆真空机拥有VSD和设定点控制功能，而常规的真空泵是不具备这样的功能的，可根据实际所需真空水平或速度，提供需求的真空气量，避免造成浪费，Atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统，节能可达50%，深受用户好评。