新闻资讯_水环式真空泵_进口真空泵-深圳恒才机电设备有限公司

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PCB热压机中央真空泵系统集中抽真空

发布时间: 2025 - 04 - 11

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塑胶造粒产线干式无油真空泵系统集中抽真空

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干式无油螺杆真空泵

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造纸中常见罗茨真空泵选型与应用

2020 - 07 - 07

通过真空泵的应用，有效降低造纸成本，提高纸张质量是节能技术的愿望。今天，我们正在讨论罗茨真空泵在造纸行业的应用和选定。在纸浆造纸技术工艺中，真空脱水方法可以应用于脱水工艺，罗茨真空泵抽真空是造纸脱水的常用方法。　　一般来说，造纸生产线规定的基准吸引量是一定的，但真空泵的选定很重要，以减少能源消耗，节约生产成本。对造纸产业来说，罗茨真空泵通常代替水环式真空泵工作。因此，比较罗茨真空泵和水环真空泵的经济效果是造纸厂的第一个问题，当然，这也关系到罗茨真空泵的选定问题。　　检查一个造纸真空脱水系统的罗茨真空泵的选定是否适用的标准主要如下　　1.呼吸力　　2.动作点轴功率　　3.电机功率　　在选定罗茨真空泵时，吸引力满足生产线的工艺要求的情况下，可以尽可能减少洛茨真空泵的工作点的轴力，在罗茨真空泵消耗的轴力小的情况下，制浆造纸的生产成本进一步变小，马达的设置力也小的情况下，电配置成本也得到抑制　　以下造纸工艺的工艺需要真空脱水的方法　　1.粗浆洗机　　洗涤器的滚筒型内腔能够产生真空，当滚筒在原料浆中运转时，真空能够使原料附着在滚筒表面，从原料上洗掉黑液。　　2.沉淀物过滤器　　纸浆造纸工厂的沉淀物过滤机是在滚筒内侧产生真空条件，可以接收来自绿色液的粒子的水平滚筒过滤机。　　3.真空脱水机　　真空脱水机是一种可以在原料准备阶段进行脱水作业的水平滚筒式过滤机，实现从纸浆中的比例脱水，提高...

真空泵大检修注意事项

2020 - 07 - 10

真空泵检修注意事项：　　1.切断电源，拔下电源插头。如果泵在系统上，应将其从设备上拆下。　　2.拧松打开的放油螺栓放油，用手转动皮带轮，使真空泵泵腔内的残余油全部排出。油应该收集好。一般情况下，在真空泵的底板下放置一个铁油盘或磁盘(俗称方盘)，以便日后蒸馏回收，避免环境污染。　　3.取下皮带、滑轮和钥匙，松开底板。取决于电机的好坏程度(如发热、脏污、干磨噪音、大振动等)。)，应进行修理或派电工进行油冲洗和修理。　　4.首先拆下低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆卸时根据不同的螺钉使用不同的工具。对于一般的六角螺丝，可以使用扳手;对于内部六角螺钉，应使用内部六角扳手;如有必要，应使用套筒扳手，以免损坏螺钉。拧下端盖螺钉后，轻轻打开端盖。如果端盖紧紧关闭，试着慢慢打开。例如，可以用锉刀在泵腔和端盖板之间的接合处锉出一个小槽，然后将螺丝刀(螺丝刀)插入小槽中，用手敲击螺丝刀手柄，或者用小锤子敲击螺丝刀，使其脱离端盖板，不得再次锤击。　　5.如果用橡胶垫圈密封，拆下橡胶垫圈并退出定位销。　　6.取出转子和转子。通常，在低转子的末端，有两个已经被攻丝的丝锥，然后通过用螺杆拧入丝锥可以容易地拔出低转子。然而，应该注意的是，当拉出转子时，必须用手紧紧地夹住转子。由于转子受到较大的弹簧力，很容易飞出落到地面或碰到坚硬的物体，这将损坏转子的棱角，造成无端的报告。　　7.拆下高真空端，取出高...

油封旋片真空泵维护要点汽蚀计算

2020 - 07 - 16

首先，旋片真空泵不改变维护点。这种情况下，不能先打开泵，以免故障恶化。　　真空泵可以不旋片地旋片。原因是真空泵联轴器异常。旋片真空泵的皮带可能打滑，马达接线不正确，马达损坏，或马达不通电。　　真空泵不工作或磁盘很重。也许真空泵的温度太低，真空泵油的粘度太高，设计和制造的原因太多。　　如果油位过高，则过剩的油从泵中返回，过剩的燃料和水蒸气通过泵凝结，或者通过排气管凝结的水被返回到泵中，异水环真空泵物被返回到泵中进入。泵体，旋片叶片咬住。　　其次，真空泵维护的泵温度过高　　主要是因为在排气阀附近测定的最高油温超过了规定值。随着真空泵温度的提高，真空泵油的粘度大大降低，真空泵油的饱和蒸气压增加，泵的极限压力增加，泵冒送效率降低，因此橡胶部件被加速、老化、热膨胀，操作变得可靠。由于以下理由，真空泵的温度太高了。一是真空泵工作环境温度过高，气温过高，泵冷却装置故障，泵长时间连续运转。中压太高，旋片真空泵水冷却泵冷却水。循环水不足和自冷却系统设计差，泵散热差。因此，维护的主要方面是使用更好的粘度润滑剂，修正泵冷却系统，实现良好的散热。　　当旋片真空泵的安装高度增加时，旋片真空泵内的压力就会降低，泵压力的最低点一般位于叶轮叶片入口的后点附近。这里的压力在输送液体的温度下下降到饱和蒸汽压力后沸腾，随着液体从入口向外周流动，压力急剧上升，产生的蒸汽泡急速凝结。这种液体以较大的速度从气泡周边流入气泡中...

旋片真空泵节能措施喷油如何检查

2020 - 07 - 21

使用中的各种旋片真空泵所需的流量扬程与其选型设计的参数相差太多。例如，使用低扬程和高扬程将导致功耗增加，或者在用水高峰时选择旋片真空泵流量，如果在用水高峰时不采取相应的变频措施，将会损失大量电能。　　叶轮的切割，泵站规划设计中旋片真空泵的额定扬程值，由于情况的一些变化，往往与扬程供水厂的实际情况不一致。旋片真空泵的叶轮切割是解决旋片真空泵的类型和品种与供水对象要求多样性之间矛盾的一种选择方法。它扩大了水环真空泵旋片真空泵的应用范围，通过切割叶轮来调整旋片真空泵的工作特性，使其工作在合理的范围内。　　旋片真空泵的调速，为了保证旋片真空泵在高效区的运行，保证旋片真空泵节能的措施之一。为了适应不同的工作条件，改变旋片真空泵的性能曲线，除了叶轮切割外，调速也是一种常用的方法。　　减少旋片真空泵本身的机械损失，如轴封与轴承的摩擦损失，应采用注射式软密封垫片，并应注意减少旋片真空泵的传动损失。此外，科学和经济的管理将提旋片真空泵高前池的水位。注意高峰期产水与供水的平衡，及时对泵房机组进行综合分析，优化组合，使旋片真空泵机组在最佳运行点运行。　　旋片真空泵大部分时间用作油封泵。在使用过程中，一些油和气体将与泵送的气体一起排出，导致喷油。因此，旋片真空泵通常在出口处装有油气分离装置。用户如何确定设备的喷油是否正常?　　首先，我们需要确保旋片真空泵的油位符合规格要求，并在极限压力下运行真空泵，保持泵...

干式真空泵的种类

2020 - 07 - 24

干式真空泵在一个特殊的行业中应用广泛，为了配合行业的使用，方便用户的选择，厂家分为多种，主要有以下形式。　　双圆裂片式真空泵　　双圆裂片式真空泵的修订与目前最流行、应用最广泛的罗茨泵很相似。实际上，一些最初的干泵设置修正思想是把罗茨泵重叠起来。这样的多级修订使瓦斯气体通路变得相当复杂，各级需要大的流量氮瓦斯气体发挥稀释和隔离的作用。此外，为了达到良好的真空度，对各级的间隙要求非常严格。当然，该设置修订会增加内部压缩比，因此电功耗相对较低。　　三叶圆裂片式真空泵　　三叶裂片式真空泵设置修订和双圆裂片式设置修订的原理完全相同，只是在一周的时间里把瓦斯气体分成三个，而不是像双圆裂片式那样分成两个。这两种设计有相同的优点和缺点。为了进一步降低电功耗，根据传动部的制造商选择了2个直流马达，但这也会导致扭矩的减少，重启的能力下降。与双圆裂片式设定订正同样，三叶圆裂片式设定订正的各段为了发挥稀释和隔离的作用，需要较大的流量氮瓦斯气体。　　组合式(罗茨+爪)真空泵　　组合式(罗茨+爪)的设定改正是罗茨提高低压下的抽气效率，爪提高高压下的抽气效率。其基本原理和瓦斯气体通道与先前介绍的圆裂片式设置修订完全相同。有些厂家将其最终段改为星形设置订正，一转即可将气体分为五个，如三圆裂片式设置订正可分为三个。类似地，在许多处理中，在组合设置修订的每级中，大流量氮瓦斯气体需要用作稀释和隔离。...

阿特拉斯螺杆真空泵应用在真空吸附搬运中

2020 - 07 - 29

真空搬运是以真空泵为真空动力源来吸附玻璃、金属板材搬运的物流输送方式。　　真空系统搬运采用合理化、人性化的生产方法、简单有效的工业行为工作搬运。节约投资和工效学的集合体。在吊起和搬运的过程中可以有效地避免对人造成损伤。真空搬运系统节省时间，提高生产效率，真空搬运系统真的安全方便快捷。　　现在制造企业的很多工件是大型设备，重量从数百斤达到吨，采用真空搬运设备可以减少人力，避免人造的伤害，同时为了保证产品品质，也可以降低损伤对象物的概率。也就是说，人工自动化是必然的趋势。真空搬运逐渐取代人力搬运。　　真空搬运系统及真空夹具系统，重点应用于包装、金属板材、汽车、化工和木材等领域。　　真空搬运的优点：　　不损伤表面，减少损失。　　搬运速度快效率好　　使用保密工作　　省力，降低人员搬运的强度　　真空搬运吊具(电动葫芦起重机)设备对真空泵系统的要求：　　作为动力源，要求真空具有稳定性　　真空泵经久耐用，可靠性高，尤其是电子、替代能源等贵重物品搬运应用行业　　维护成本低　　在阿特拉斯螺杆真空泵对真空吸附搬运的应用中，如何知道真空吸盘会产生何种程度的吸附力?　　真空吸附力的大小的估计主要依据XZM语料压力式，即F=PS。在真空吸附应用中，修正计算方法调整得很小，如下所示　　F≈(101-P绝对压力)×S吸盘面积×10-2　　式中，f理论上为真空吸盘吸附力的大小，单位...

阿特拉斯干式真空泵怎么进行选择

2020 - 08 - 05

干式真空泵是未来行业的发展趋势。虽然现在用得不多，但除了价格高之外，也有用户对干式真空泵不太了解，看不到未来给企业带来的经济效益。小编认为干式真空泵的维护重点在于如何优化干式真空泵的选择。　　对于这些不同类型的干式真空泵，我们渴望减小它们的物理尺寸。但这与真空泵的抽吸速率相矛盾，因为真空泵的抽吸速率与真空泵的体积成正比，并且小的物理尺寸意味着小的体积。当然，还有另一个影响真空泵抽速的重要因素，即转速。为了使小型真空泵的抽速与大型真空泵的抽速相匹配，有必要提高其转速。改变真空泵的转速有两种方法，一种是改变电源的频率，即使用变频器;二是改变变速箱的传动比。其中，采用变频器的优点是可以提供闭环控制，但在重载下容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单速。　　现在，我们可以看到有这么多不同设计的干式真空泵，每一个都有自己的特点，优点和缺点。长期以来，使用成本是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户意识到真空泵运行的稳定性也应该考虑在内。因为真空泵的意外错误会降低机器的效率，影响晶圆的生产和交付时间，甚至会造成加工后的晶圆报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆设计是单级设计，与多级泵如叶片泵、爪式泵和组合泵相比，使用的零件数量减少了60%。这使得它在未来的稳定性和维护成本方面具有很大的优势。　　总之，如果用户认为功耗对他来说很重要，但氮气...

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贴合机为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 09 - 06

来源: 896

贴合机采用德国Speck水环真空泵，主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析：无油设计保障清洁度：贴合工艺对真空环境清洁度要求极高，油污或杂质可能污染材料表面，影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除润滑油污染风险，确保真空环境纯净无...

如何何选真空泵油

发布时间: 2025 - 08 - 12

来源: 861

选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益，以下为具体选择步骤及关键要点：一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵：需选择低蒸汽压、高粘度指数的油（如100号真空泵油），以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵：通常与前级泵（如旋片泵）配套使用，需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵：无需油润滑，但若为油封式干泵，需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵：需超高真空油（如硅油或聚菲油），蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空（10³-10⁻¹ Torr）：普通矿物油（如32号或46号）即可满足。中真空（10⁻¹-10⁻³ Torr）：需选择低蒸汽压油（如100号或150号）。高真空（：必须使用超低蒸汽压油（如硅油或合成油）。二、分析工况条件温度范围高温环境（80℃）：选择合成油（如PAO、酯类油）或高粘度指数矿物油，避免油品氧化分解。低温环境（：选择低倾点油（如-30℃以下），确保低温启动性。宽温域工况：优先选择粘度指数高的油（如100号真空泵油），适应温度波动。气体成分腐蚀性气体（如酸性、碱性气体）：选择抗化学腐蚀油（如含抗腐蚀添加剂的合成油）。含水蒸气：选择抗乳化性强、分水性能好的油（如100号油），避免乳液形成。含颗粒物：需定期更换滤芯，并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行：选择抗氧化性强、寿命长的油（如合成油或深度精炼矿物油）。间歇运行：可适当降低油品等级，但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高：增加启动扭矩，降低抽气效率。粘度过低：无法形成稳定油膜，导致密封性下降。参考标准：根据泵制造商推荐粘度（如ISO VG 32、46、100）选择。蒸汽压蒸汽压越低，极限真空度越高。高真空需求：选择蒸汽压中低真空需求：蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油（如100...

SPECK磁力泵在液冷工艺中有哪些优势

发布时间: 2025 - 08 - 08

来源: 1295

在液冷工艺中，德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性，成为输送冷却介质的理想选择，具体优势如下：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况：适应高温高压液冷需求高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。例如，其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃，扬程200米，流量110m³/h，适用于高压高温场景。高压能力：部分型号（如CY-4282.0067）扬程可达120米，支持高压循环液冷系统（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计：高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统，进一步增强安全性。例如，碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力，适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计：SPECK磁力泵采用模块化结构，用户可根据需要轻松更换部件（如隔离套、轴承），降低维护成本和...

液冷工艺为什么要用德国speck品牌磁力泵

发布时间: 2025 - 08 - 06

来源: 1289

在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵，主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性，这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质（如导热油、水基冷却液等）的理想选择。以下是具体分析：1. 无泄漏设计：保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术：SPECK磁力泵通过磁场传递动力，传动轴无需穿透泵壳，彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要，可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患（如短路、腐蚀）。密封性能稳定：磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离，尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质（如特殊导热油），避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压：适应液冷工艺的严苛工况高温性能：SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液，满足高温液冷系统（如工业模具温控、激光设备冷却）的需求。高压能力：部分型号（如CY/TOE-6091-MK）扬程可达115-120米，适用于需要高压循环的液冷场景（如大型数据中心冷却、高压反应釜温控），确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命：降低停机风险与维护成本无接触传动：磁力泵无机械密封摩擦，减少磨损和发热，延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试，可在连续运行工况下保持稳定性能，减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质：泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金，适应不同冷却介质的化学特性（如酸性、碱性或含杂质液体），避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求：简化液冷系统运维维护工作量小：磁力泵无机械密封更换需求，维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程，降低运维成本。避免空运转风险：虽需避免无介质空运转（以防滑动轴承和隔离套损坏），但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题，确保安全运行。5. 广泛适配性：覆...

晶圆真空吸附为什么要用德国speck水环真空泵

发布时间: 2025 - 08 - 01

来源: 1293

晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵，主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势，这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求，并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析：一、无油设计，避免污染关键需求：晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高，任何油污或杂质都可能污染晶圆表面，影响产品质量。Speck优势：Speck水环真空泵采用无油设计，彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要，确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度，满足精细加工需求关键需求：晶圆加工过程中，如吸附、搬运、切割等环节，需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势：Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度，如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附，防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落，从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能，适应大规模生产关键需求：晶圆生产线通常需要连续运行，对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势：Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能，能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如，某些型号的总气量达到199m³/h，能够满足大规模生产线的需求，确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温，适应多种工况关键需求：晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境，对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势：Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造，能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时，其工作液温度范围广泛，最高可达80°C，进气温度（干）最高可达200°C，吸入气体（饱和）最高可达100°C，确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命，降低运营成...

真空泵如何改造成中央真空泵系统

发布时间: 2025 - 07 - 31

来源: 1293

将分散的真空泵改造成中央真空泵系统，可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现，能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析：一、设备选型与整合核心设备选择：根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如，罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景，如压机分散小泵的改造；变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低，常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合：将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统，减少设备数量，降低占地面积。例如，将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+，实现节能率80%的同时，减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局：合理设计真空管道布局，确保气体流动顺畅，减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置：配置适当容量的真空罐和储气罐，以稳定系统真空度，减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时，真空泵自动停止运行；当真空度下降至下限值时，备用真空泵组自动启动。排水系统改造：对于水环真空泵，需优化排水系统以减少水资源浪费。例如，在入口加装限流孔板，控制轴密封液用量；在后路管线上增设“U”型管，增加介质流动阻力并起到水封作用，减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成：采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面，可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略：引入变频驱动（VSD）技术，根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度，实现节能降耗。例如，Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理，提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...

真空引水机组是一款集高效引水装置可过滤泥水沙石

发布时间: 2025 - 07 - 25

来源: 1293

深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备，以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍：一、核心配置：德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定：采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵，利用水作为工作介质，通过叶轮旋转形成水环，实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳，适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体，满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强：泵体材质可选不锈钢或特殊合金，适应不同水质和化学环境，延长设备使用寿命。低噪音设计：通过优化水环形成与气体流动路径，降低运行噪音，改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作：配备西门子触摸屏，实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数，并一键调整运行模式（如手动/自动切换）。远程管理：支持与上位机或云端平台连接，实现远程监控与数据分析，提升运维效率。安全保护：内置过载、过热、缺相等多重保护功能，确保设备安全运行。二、性能优势：快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力：水环真空泵在短时间内建立高真空度（通常可达-0.098MPa以上），迅速排除系统内空气，形成负压环境，实现快速引水。大流量设计：泵体流道优化，减少阻力损失，确保在引水过程中维持高流量，缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物：过滤器内置搅拌装置，通过旋转叶片打散沉淀物，防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞，同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中，实现高效过滤。微粒状固体过滤：滤网精度可根据需求定制（如50-200目），有效拦截沙石、微粒等杂质，避免其进入泵体或管道，保护设备免受磨损。排水便捷：过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构，可定期清理滤网或排出沉积物，维护简单，降低停机时间。...

电子晶圆附附如何选型真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 24

来源: 1256

电子晶圆吸附过程中，真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素，以下是具体选型要点及分析：一、真空度与工作压强核心要求：真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如，若工艺要求真空度为100Pa（绝对压力），则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性：泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如，某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar，其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar，因此工作点应选在此区间内。应用场景：晶圆减薄：需-90kPa以上真空度（约90%真空度），以抑制振动和热变形。晶圆键合：需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar（约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa）超高真空度，避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活：需优于10 Pa真空度，防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义：抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力，单位通常为m³/h或L/s。计算方法：可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速，其中 S 为抽速（L/s），V 为真空室容积（L），t 为达到目标真空度所需时间（s），P1 为初始压强（Pa），P2 为目标压强（Pa）。应用场景：高精度加工：如光刻、键合等工艺，需高抽速（如＞1000L/s）以快速建立真空环境。一般加工：如切割、研磨等工艺，70-90 kPa真空度下，抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型：需了解被抽气体成分（如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等），针对性选择泵型。含蒸气或颗粒：需在进气口安装冷凝器或除尘器，防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体：需选用耐...

阿特拉斯螺杆真空泵有什么优势

发布时间: 2025 - 07 - 22

来源: 1258

阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势，具体分析如下：1. 高效节能，降低运行成本变频驱动（VSD）技术：阿特拉斯螺杆真空泵（如GHS VSD+系列）采用变速驱动技术，可根据实际需求自动调节转速和功率。例如，GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦，相比传统水环泵可节省50%以上能耗，年节省电费可达数万元。干式运行，无需冷却水：风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统，进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗：在相同抽速下，阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如，GHS1300VSD+功率为22千瓦，而同等抽速的水环泵需45千瓦，年节省电费超50万元。2. 高可靠性，延长使用寿命耐用的螺杆转子设计：转子采用高强度材料，表面经过特殊处理，耐腐蚀、耐磨损，理论寿命超40万小时（约80年），20年内无需更换机头。无油污染，清洁运行：干式压缩技术避免油污染，适用于对清洁度要求高的行业（如半导体、制药、食品包装），同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度：通过变频调节，真空泵能维持稳定的真空压力，减少生产波动，提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放：干式运行无需工作液体，彻底解决水环泵废水排放问题，符合环保要求。低噪音与低振动：优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低，改善工作环境。无油蒸汽排放：避免传统油封泵的油蒸汽污染，保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计：支持低负荷省电运行，同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断，提高管理效率。即插即用安装：集成化设计（如电气室、机壳）简化安装流程，占地面积小，适合空间有限的工厂。自动启停功能：根据生产需求自动启停，减少人工干预，降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用：覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域，满...

电子行业如何做到集中抽真空

发布时间: 2025 - 07 - 09

来源: 1271

在电子行业实现集中抽真空，需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划，以下为具体方案与分析：一、核心设备选型：匹配工艺需求，兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵：耐粉尘、高轴扭矩，适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵：粗低真空段抽气效率高，适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵：多级结构可提升真空度，常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景：半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势：抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低，适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择：案例：半导体制造中，L/L腔（进出样品腔）多采用多级罗茨泵，工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵：工业领域应用广泛，与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵：半导体领域规模较大，无摩擦、寿命长。适用场景：高真空度需求，如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势：通过高速旋转转子将气体分子排出，可获得极高真空度（达10⁻⁹ Pa），且对大多数气体抽取效果好。类型选择：案例：在半导体工艺处理腔中，分子泵常与干泵组合，实现低压下高抽速。低温泵适用场景：超高真空环境，如超导材料研究、低温物理实验。优势：利用低温冷凝原理，可获得极高真空度（达10⁻¹² Pa），且无油污染。限制：结构复杂、成本高，需定期释放和再生，市场规模较小（约占半导体真空泵的10%）。案例：在电子束设备中，低温泵与扩散泵、罗茨泵配合，实现高真空冷却。二、系统设计：模块化与集成化结合，提升灵活性模块化设计功能分区：将抽真空系统划分为预抽模块（机械泵+罗茨泵）、高真空模块（分子泵/扩散泵）、低温模块（低温泵）等，根据工艺需求灵活组合。快速切换：通过阀门控制气体流向，实现不同工艺腔体的快速切换，减少设备闲置时间。案例：半导体制造中，L/L腔与工艺处理腔独立设计，通过管道连接至中央真空泵组，实现...

塑胶造粒产线干式螺杆真空泵替代水环式真空泵

发布时间: 2025 - 07 - 03

来源: 557

在塑胶造粒产线中，干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵，其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面，具体分析如下：1. 环保性：无污染排放，降低合规风险水环泵痛点：水环泵以水为密封介质，运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染，尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时，废水处理成本高且环保压力大。例如，某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款，后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势：采用无油无水设计，彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放，避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题，提升产品纯度。同时，尾气中未冷凝的溶剂（如甲苯）可通过常压冷凝器高效回收（回收率超96%），减少VOCs排放，满足严格环保法规。2. 工艺适应性：满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性：水环泵极限真空度仅达2000Pa，需多级泵串联才能实现更高真空，且真空度受水温、水质影响大（如夏季水温升高导致真空度下降）。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa（绝压），且运行稳定，不受水温及抽出溶剂影响，满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理：水环泵不便进行防腐处理，难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件（如螺杆、泵腔）可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金，耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀；同时内置高效滤芯或旋风分离装置，拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质，避免磨损或堵塞，延长设备寿命。3. 稳定性：减少非计划停机，提升生产效率水环泵缺陷：水环与转子接触易磨损，需定期更换水环和滤芯，维护成本高。长时间运行后，水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降，需冷冻盐水冷却水箱，增加能耗和故障率。干式泵优势：螺杆转子间无接触，无磨损，寿命长达10年以上，维护仅需定期更换滤芯（寿命可达数千小时，支持在线反吹或脉冲清灰，无需停机）。无油设计避免油品变质导致的真空度波动，确保工艺参数稳定，减少次品率。例如，某企业采用干式泵...

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