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2021 - 02 - 25
罗茨真空泵安装  (1)、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。  (2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。  (3)、罗茨真空泵应水平安装,其周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养。装拆方便。  (4)、接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。  (5)、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证其有足够的通导能力,管道连接应密封不漏。  (6)被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。  (7)、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。  (8)、电气设备必须有互锁保护装置,当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。  (9)、小泵可以直接启动,大泵须设启动器。  罗茨真空泵使用说明:  新泵就位后先查看油位,齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜,电机侧以油窗中心略高为宜,轴伸上油杯不应缺油,各部位润滑油均采用1号真空泵油。  1、罗茨真空泵启动程序:  (1)、启动前级泵。  (2)、打开前级泵预抽的阀门和罗茨泵进气口上的阀门。  (3)、待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许压力后,关闭预抽阀门,起动罗茨真空泵,如无预抽管路及阀门,则待达到起动压力后起动罗茨真空泵,此过程亦可采用压力传感器自动控制,实现整个过程的自动化。  (4)根据真空系统的实际情况,如果不是大的真空系统,则起动前级泵后即可起动罗茨真空泵。如果是较大的真空...
2021 - 03 - 19
随着真空泵的利用率越来越普遍,其质量也在提高。由于其特性和优势,它被每个人广泛使用。为了让大家更好地使用它,让我们一起学习干法。真空泵的正确接线距离是多少?  真空泵的运行需要电动机来提供动力。电机和螺杆泵之间的连接必须连接。但是,由于电机和螺杆泵之间的安装距离不同,因此所需的接线长度也不同,接线方法也会随距离而变化。更改,如果电动机和干式真空泵之间的距离在20米以内,则可以将电动机直接连接到干式真空泵。对于泵与电动机之间的20-100m中距离连接,应调整干式真空泵的载频以减少相干干扰。对于泵与电动机之间的100米长距离连接,不仅应适当降低载波频率,而且还应增加输出AC电抗器。真空泵与电动机之间的距离尽可能近,因为它可以尽可能避免管路长度引起的干扰。您需要了解布线距离的条件以更好地完成连接和使用,并且不要随意连接。  以上是真空泵的正确接线距离。您可以理解,正确的操作方法可以在操作过程中取得良好的效果。如果您听不懂,可以致电咨询。我们将按照您的实际要求。给您合理的建议,以避免在百叶窗操作中出现不必要的问题。
2021 - 04 - 01
螺杆真空泵的选择非常重要,因为它不仅使您能够快速获得所需的产品,而且还提高了生产效率并节省了时间和精力,因此在选择时必须付出更多的努力。  螺杆真空泵的选择技巧:  1.了解真空系统是否有油污要求。如果要求严格无油,则建议使用多个无油泵。如果要求不严格,除了采取一些防止油污染的措施以达到清洁的真空要求外,还可以选择无油泵。  2.螺杆真空泵的极限压力必须符合过程的工作压力。所选泵的极限压力可以比过程要求小大约一个数量级。  3.螺杆真空泵将具有一定的工作压力范围,因此在选择型号时,有必要了解真空泵的工作压力范围,不要让其长期超出该范围压力。  4.了解所泵送气体的成分。有必要知道由螺杆真空泵吸入的气体是否包含可冷凝蒸汽,是否有灰尘颗粒,是否具有腐蚀性等。综上所述,有必要了解螺杆真空泵所泵送气体的组成,并具体选择泵的型号和规格。如果气体中包含蒸汽,颗粒或腐蚀性气体,建议在泵的入口管中安装辅助设备,例如冷凝器和集尘器。  5.选择螺杆真空泵型号时,请考虑从真空泵排出的油蒸气(油蒸气)是否会污染环境。如果有污染,请选择无油真空泵,或者找到一种方法将油蒸气尽快排到室外。正确掌握螺杆真空泵的选型技巧,在选型上也将准确,这更有利于选择性价比更高的产品。
2021 - 04 - 14
只有在清洁螺杆真空泵的内部和外部时,才能保证其使用效果。除了诸如铁锈之类的一些杂质外,诸如灰尘之类的一般杂质也很容易清洁,不需要大的工程来清洁它们。那么如何吹扫螺杆真空泵?  1、清洗吹扫  清洗吹扫用于抽除腐蚀、有毒或是粘稠物。停泵前,关闭真空泵的进气口阀门,在进气口充入氮气或水蒸气后运转20到30分钟,吹扫腔体内螺杆,清洗腔体内残留的废气或表面粘附的粘稠物质。  2、冷却吹扫  冷却吹扫用于螺杆转子及螺杆真空泵内部腔体的冷却。进气口吸入的工艺气体随着螺杆转子的转动被压缩并送到排气口,压缩过程中气体温度升高,目的是为了保护真空泵不会因为过热而被卡住。空气会被用来作为冷却吹扫介质,但在特殊情况下则用氮气或冷却后的工艺气体作为吹扫介质。在排气口附近安装有一个过滤器来吸入空气以实现冷却吹扫。  3、密封吹扫  密封吹扫是用氮气加压于螺杆真空泵的前端盖内,使得工艺气体或液体不能进入装有齿轮及轴承的油箱。两个氮气接入口,位于前端盖的顶端。氮气吹扫的压力≤0.5bar。  螺杆真空泵工作效率高,并且里面的干净程度会对泵的运行等产生影响,通过吹扫的方式清洁泵,不仅清洁效率高,而且减少灰尘堆积。
2021 - 04 - 28
深圳恒才机电设备公司简述清扫真空系统特点及使用方式,如有疑问或是订购清扫真空系统,中央除尘系统的朋友,欢迎致电咨询。清扫真空系统也叫中央除尘系统是 一种全新的室内清洁方式,是一个由吸尘主机、吸尘管网、吸尘插座、吸尘软管及刷头等组成的一体化的吸尘系统;可应用于电子、食品、医药等行业。清扫真空系统的使用方式:用户只需将吸尘软管插入吸尘插座,通过手柄上的开关启动系统,车间内的灰尘杂质都将通过埋于墙内的集尘管道,送到远离洁净车间的吸尘主机中。由于中央吸尘系统配备了各种吸口,能够实现快捷的清理厂房内,各种传统清扫方式难于清扫的地方。清扫真空系统特点:清扫真空系统,中央吸尘以环保、节能特点等特点显著,优势如下。◎大小颗粒的灰尘全被从洁净厂房内吸出,杜绝了二次污染。中央吸尘管网是一个由吸尘插座、吸尘管道、吸尘主机组成一个密闭的系统,大小颗粒的灰尘一旦被吸尘口吸入后通过吸尘管道后直接进入到主机集尘仓里,而产生的气体通过处理后的过滤袋过滤后排到室外,再无手提式吸尘器的异味。◎主机与清扫区分离,杜绝了传统吸尘器的噪音污染。主机与吸尘操作件完全分离,在室内吸尘时无噪音,适用于在任何时候清洁而不影响和干扰其他人(避免了噪音污染)。◎方便、高效,节约清洁费用。使用的时候只需将吸尘软管插入吸尘插座,按一下手柄上的开关,吸尘主机便开始工作,无需将笨重的主机来回拖动,无需找电源插拔线(避免了触电危险,保证安全);...
2021 - 05 - 17
液体注满泵壳,叶轮高速旋转,液体在离心力作用下产生高速度,高速液体经过逐渐扩大的泵壳通道,动压头转变为静压头。要注意防止汽蚀现象和气缚现象的发生。  离心泵性能特点:  离心泵的流最范围很大,流量和压力都平稳,没有波动。  离心泵的转数较高,可以与电动机和汽轮机直接相连,传动机构简单紧凑。  操作方便可靠,调节和维修容易,并易于实现自动化和远距离操作。  离心泵与同一指标的往复泵相比,结构简单紧凑,体积小,重量轻,零部件少,制造方便,造价低,而且占地面积小,因此它的设备和修理费用都较低廉。  离心泵有以下主要缺点:  在一般情况下,离心泵起动前需先灌泵或用真空泵将泵内空气抽出。自吸离心泵启动前虽不必灌泵,但目前使用上还有局限性。  液体粘度对泵的性能影响较大。当液体粘度增加时,泵的流量,扬程,吸程和效率都会显著地降低。  离心泵在小流量高扬程的情况下应用,受到一定的限制。因为小流量离心泵的泵体流道很窄,制造困难,同时效率很低。
2021 - 06 - 01
旋片式真空泵使用维护概述:旋片式真空泵是一种变容气体传输真空泵,工作压力范围为1.33x10-2-105Pa,可单独使用,也可作为其他高真空泵的后备泵使用将干燥气体泵入密封容器中,但不适合泵送含氧量高、**特性、对金属有腐蚀性并与泵油发生反应的气体和颗粒粉尘气体。有两种类型:单级和双级。  其结构包括滤网、进气管、压板、排气阀板、转盘、弹簧、转子、放油塞、油位指示器、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠、应用广泛的特点。  一、工作原理及结构特点。  1、工作原理:它是一种通过支承插入偏心转子内的各种旋转板,实现泵体内气体的滑入滑出、隔离、压缩和排出的变容真空泵。  2、结构特点: 结构可分为油封式和油浸式两大类。  泵体结构有整体式、中间壁压力式和组合式三种。转子结构有整体式、压套式和转子盘式三种。排气阀是旋片泵的主要易损件之一,影响泵的抽气性能并产生噪音。有两种方式:一种是用橡胶垫作为阀板;另一种是用布酚醛压板或弹簧钢板作为阀板,排气阀应浸入泵油中。
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 09 - 06
来源: 896
贴合机采用德国Speck水环真空泵,主要因其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了贴合工艺对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下是对其优势的具体分析:无油设计保障清洁度:贴合工艺对真空环境清洁度要求极高,油污或杂质可能污染材料表面,影响粘接质量。Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除润滑油污染风险,确保真空环境纯净无...
发布时间: 2025 - 08 - 12
来源: 861
选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益,以下为具体选择步骤及关键要点:一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵:需选择低蒸汽压、高粘度指数的油(如100号真空泵油),以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵:通常与前级泵(如旋片泵)配套使用,需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵:无需油润滑,但若为油封式干泵,需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵:需超高真空油(如硅油或聚菲油),蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空(10³-10⁻¹ Torr):普通矿物油(如32号或46号)即可满足。中真空(10⁻¹-10⁻³ Torr):需选择低蒸汽压油(如100号或150号)。高真空(:必须使用超低蒸汽压油(如硅油或合成油)。二、分析工况条件温度范围高温环境(80℃):选择合成油(如PAO、酯类油)或高粘度指数矿物油,避免油品氧化分解。低温环境(:选择低倾点油(如-30℃以下),确保低温启动性。宽温域工况:优先选择粘度指数高的油(如100号真空泵油),适应温度波动。气体成分腐蚀性气体(如酸性、碱性气体):选择抗化学腐蚀油(如含抗腐蚀添加剂的合成油)。含水蒸气:选择抗乳化性强、分水性能好的油(如100号油),避免乳液形成。含颗粒物:需定期更换滤芯,并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行:选择抗氧化性强、寿命长的油(如合成油或深度精炼矿物油)。间歇运行:可适当降低油品等级,但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高:增加启动扭矩,降低抽气效率。粘度过低:无法形成稳定油膜,导致密封性下降。参考标准:根据泵制造商推荐粘度(如ISO VG 32、46、100)选择。蒸汽压蒸汽压越低,极限真空度越高。高真空需求:选择蒸汽压中低真空需求:蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油(如100...
发布时间: 2025 - 08 - 08
来源: 1295
在液冷工艺中,德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性,成为输送冷却介质的理想选择,具体优势如下:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况:适应高温高压液冷需求高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。例如,其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃,扬程200米,流量110m³/h,适用于高压高温场景。高压能力:部分型号(如CY-4282.0067)扬程可达120米,支持高压循环液冷系统(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计:高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统,进一步增强安全性。例如,碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力,适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计:SPECK磁力泵采用模块化结构,用户可根据需要轻松更换部件(如隔离套、轴承),降低维护成本和...
发布时间: 2025 - 08 - 06
来源: 1289
在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵,主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性,这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质(如导热油、水基冷却液等)的理想选择。以下是具体分析:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压:适应液冷工艺的严苛工况高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。高压能力:部分型号(如CY/TOE-6091-MK)扬程可达115-120米,适用于需要高压循环的液冷场景(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求:简化液冷系统运维维护工作量小:磁力泵无机械密封更换需求,维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程,降低运维成本。避免空运转风险:虽需避免无介质空运转(以防滑动轴承和隔离套损坏),但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题,确保安全运行。5. 广泛适配性:覆...
发布时间: 2025 - 08 - 01
来源: 1293
晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析:一、无油设计,避免污染关键需求:晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高,任何油污或杂质都可能污染晶圆表面,影响产品质量。Speck优势:Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要,确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度,满足精细加工需求关键需求:晶圆加工过程中,如吸附、搬运、切割等环节,需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势:Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度,如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附,防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落,从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能,适应大规模生产关键需求:晶圆生产线通常需要连续运行,对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势:Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能,能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如,某些型号的总气量达到199m³/h,能够满足大规模生产线的需求,确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温,适应多种工况关键需求:晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境,对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势:Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造,能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时,其工作液温度范围广泛,最高可达80°C,进气温度(干)最高可达200°C,吸入气体(饱和)最高可达100°C,确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命,降低运营成...
发布时间: 2025 - 07 - 31
来源: 1293
将分散的真空泵改造成中央真空泵系统,可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现,能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析:一、设备选型与整合核心设备选择:根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如,罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景,如压机分散小泵的改造;变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低,常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合:将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统,减少设备数量,降低占地面积。例如,将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+,实现节能率80%的同时,减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局:合理设计真空管道布局,确保气体流动顺畅,减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置:配置适当容量的真空罐和储气罐,以稳定系统真空度,减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时,真空泵自动停止运行;当真空度下降至下限值时,备用真空泵组自动启动。排水系统改造:对于水环真空泵,需优化排水系统以减少水资源浪费。例如,在入口加装限流孔板,控制轴密封液用量;在后路管线上增设“U”型管,增加介质流动阻力并起到水封作用,减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成:采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面,可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略:引入变频驱动(VSD)技术,根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度,实现节能降耗。例如,Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理,提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...
发布时间: 2025 - 07 - 25
来源: 1293
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 24
来源: 1256
电子晶圆吸附过程中,真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素,以下是具体选型要点及分析:一、真空度与工作压强核心要求:真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如,若工艺要求真空度为100Pa(绝对压力),则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性:泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如,某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar,其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar,因此工作点应选在此区间内。应用场景:晶圆减薄:需-90kPa以上真空度(约90%真空度),以抑制振动和热变形。晶圆键合:需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar(约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa)超高真空度,避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活:需优于10 Pa真空度,防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义:抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力,单位通常为m³/h或L/s。计算方法:可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速,其中 S 为抽速(L/s),V 为真空室容积(L),t 为达到目标真空度所需时间(s),P1 为初始压强(Pa),P2 为目标压强(Pa)。应用场景:高精度加工:如光刻、键合等工艺,需高抽速(如>1000L/s)以快速建立真空环境。一般加工:如切割、研磨等工艺,70-90 kPa真空度下,抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型:需了解被抽气体成分(如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等),针对性选择泵型。含蒸气或颗粒:需在进气口安装冷凝器或除尘器,防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体:需选用耐...
发布时间: 2025 - 07 - 22
来源: 1258
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统油封泵的油蒸汽污染,保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计:支持低负荷省电运行,同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断,提高管理效率。即插即用安装:集成化设计(如电气室、机壳)简化安装流程,占地面积小,适合空间有限的工厂。自动启停功能:根据生产需求自动启停,减少人工干预,降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用:覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域,满...
发布时间: 2025 - 07 - 09
来源: 1271
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电子束设备中,低温泵与扩散泵、罗茨泵配合,实现高真空冷却。二、系统设计:模块化与集成化结合,提升灵活性模块化设计功能分区:将抽真空系统划分为预抽模块(机械泵+罗茨泵)、高真空模块(分子泵/扩散泵)、低温模块(低温泵)等,根据工艺需求灵活组合。快速切换:通过阀门控制气体流向,实现不同工艺腔体的快速切换,减少设备闲置时间。案例:半导体制造中,L/L腔与工艺处理腔独立设计,通过管道连接至中央真空泵组,实现...
发布时间: 2025 - 07 - 03
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在塑胶造粒产线中,干式螺杆真空泵可全面替代水环式真空泵,其优势体现在环保性、工艺适应性、稳定性、经济性及安全性五大方面,具体分析如下:1. 环保性:无污染排放,降低合规风险水环泵痛点:水环泵以水为密封介质,运行中水环与物料、气体接触易导致水质污染,尤其处理腐蚀性或有毒塑胶原料时,废水处理成本高且环保压力大。例如,某塑胶企业因水环泵油雾排放超标被罚款,后更换为干式泵后顺利通过环保认证。干式泵优势:采用无油无水设计,彻底杜绝油雾、油蒸汽及废水排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。同时,尾气中未冷凝的溶剂(如甲苯)可通过常压冷凝器高效回收(回收率超96%),减少VOCs排放,满足严格环保法规。2. 工艺适应性:满足高真空度与复杂工况需求真空度与稳定性:水环泵极限真空度仅达2000Pa,需多级泵串联才能实现更高真空,且真空度受水温、水质影响大(如夏季水温升高导致真空度下降)。干式螺杆泵单台即可直接抽至1Pa(绝压),且运行稳定,不受水温及抽出溶剂影响,满足塑胶造粒中除气、脱挥等高精度工艺需求。耐腐蚀与粉尘处理:水环泵不便进行防腐处理,难以适应酸性或含腐蚀性添加剂的工况。干式泵过流部件(如螺杆、泵腔)可采用镀镍、特氟龙涂层或哈氏合金,耐受大部分有机酸、无机酸腐蚀;同时内置高效滤芯或旋风分离装置,拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免磨损或堵塞,延长设备寿命。3. 稳定性:减少非计划停机,提升生产效率水环泵缺陷:水环与转子接触易磨损,需定期更换水环和滤芯,维护成本高。长时间运行后,水温升高或溶剂混入水体导致真空度下降,需冷冻盐水冷却水箱,增加能耗和故障率。干式泵优势:螺杆转子间无接触,无磨损,寿命长达10年以上,维护仅需定期更换滤芯(寿命可达数千小时,支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机)。无油设计避免油品变质导致的真空度波动,确保工艺参数稳定,减少次品率。例如,某企业采用干式泵...
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