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2022 - 11 - 11
锂电池是一类由锂金属或锂合金为正/负极材料、使用非水电解质溶液的电池,由于动力电池的产能和装机量也飞速增长,也给许多真空系统带来更多的应用和机会。锂离子电池行业的真空应用,在锂电池的制造过程中,真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用,真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。锂电池抽真空为什么用GHS螺杆真空泵?GHS VSD+变频油螺杆真空泵在锂电池行业的应用已经不是新鲜事,而是有很丰富的真空系统应用经验。效率:变频螺杆技术,VSD技术和创新电机设计相结合,提升能效2.运行安静:低噪音级别运行3.可靠的效率提升带来可持续生产力4.良好的保油能力,设备在全压力段运行时排气含油量低,保护环境5.低生命周期成本深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 12 - 16
塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑成型、热压挤出等工艺,需要用什么真空泵系统更合适?深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案等服务,恒才机电的罗茨水环真空机组可应用于塑胶挤出行业。这是2022年出的第N批罗茨水环真空机组,应用于塑胶挤出行业,出货数量足以说明,恒才机电真空系统在橡塑挤出行业应用是有实力的,实打实的真空度数据,节能环保,稳定运行,是我们给客户的承诺。塑胶挤出成型工艺、挤塑机抽真空、挤出机集中抽真空、真空吸塑设备、热压挤出真空设备称之为罗茨水环真空机组,由两台罗茨真空泵及一台水环真空泵组成,真空度可稳定在-98kpa至-101kpa,通过恒才的真空改造方案,实现了节能环保、高工作效率、稳定真空度,从而改善了产品生产质量。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2023 - 03 - 31
当石材大理石生产同行还在使用旋片真空泵的时候,我们客户已经开始使用变频螺杆真空机组了,早在几年前,深圳恒才机电带着变频油螺杆真空机组,已经进军石材行业了。根据我们对大理石制造工艺的了解,发现大理石生产对不同抽真空阶段速度有变化,对真空度有特定要求。因此我们设计了真空解决方案,选择了变频油螺杆真空泵:1、可把控真空度和速度,Atlas螺杆真空泵稳定性比较高,是获得客户认可的一款真空泵设备;2、结合我们的真空解决方案,可以很好减少大理石遗留气体,防止空腔生产,从而提升大理石品质。3、告别了旋片真空泵带来的维修频繁、换油频繁、噪音大、能耗大、油污染大等问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 02 - 24
最近,很多客户问了罗茨螺杆真空机组的相关资料,现在就一起来了解一下。罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵和三台罗茨真空泵组合而成的。罗茨螺杆真空机组在化工行业的应用特点是什么?1.首先,罗茨螺杆真空机组的特点就是可以在较低的入口压力下仍然保持较大的抽气速率。这对于那些需要在特定压力条件下进行操作的行业来说,比较关键。且,罗茨真空泵的稳定性和可靠性都非常高,可以保证连续、高效的工作。2.康斯顿新一代高品质螺杆真空泵更是解决了对介质和环境造成污染的问题,这无疑是一个巨大的优势。不仅如此,罗茨螺杆真空泵在化工行业的应用,还能回收排出气体,创造附加经济效益,这也是许多企业和工厂所看重的,对于重视环保环境的公司而言,这点很重要。3.罗茨螺杆真空机组的应用范围也非常广泛。它可应用于有机溶剂行业,以及其他需要真空环境的行业。罗茨螺杆真空机组都可能成为你的得力助手。那么,这种设备的原理是什么呢?其实很简单。打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空。然后,打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出。被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量。总的来说,罗茨螺杆真空机组是一种高效、环保、可靠...
2024 - 06 - 01
PET片材挤出过程中,真空机组的选择和应用对产品质量和生产效率具有至关重要的影响。罗茨水环真空机组,作为一款先进的真空设备,其在PET片材挤出工艺中的应用优势逐渐显现。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,既保证了高真空度,又具有较高的抽气效率。在PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,降低气泡的产生,从而提高产品的透明度和质量。此外,罗茨水环真空机组还具备运行稳定、噪音低、维护简便等特点,能够满足长时间、连续性的生产需求。在PET片材挤出过程中,罗茨水环真空机组的应用还需要注意一些关键问题。首先,要确保机组与挤出机的连接紧密可靠,防止气体泄漏。其次,要根据生产需求合理调整机组的真空度和抽气速率,以达到最佳的生产效果。此外,定期对机组进行维护和保养,确保机组的长期稳定运行也是至关重要的。随着PET片材挤出技术的不断发展,罗茨水环真空机组的应用将越来越广泛。未来,我们可以期待更多先进的真空机组技术涌现,为PET片材挤出工艺提供更为高效、环保的解决方案。同时,我们也应该关注如何进一步优化罗茨水环真空机组在PET片材挤出过程中的应用,提高生产效率和产品质量,满足市场的需求。罗茨水环真空机组结合了罗茨泵和水环泵的优点,高真空度、高抽气率。PET片材挤出过程中,该机组能够有效地排除挤出机内部的气体,减少气泡、提高产品的透明度和质量,运行稳定、噪音低、维护简便、能够满...
2024 - 07 - 28
在电子制造领域,PCB(印制电路板)的生产过程至关重要,其中热压工艺更是决定产品质量和性能的关键步骤之一。罗茨水环真空机组以其独特的性能和优势,成为了PCB热压机中不可或缺的一部分。罗茨水环真空机组由多台司倍克水环真空泵与康斯顿罗茨真空泵组成,这种组合不仅充分发挥了各自的优势,还通过协同作用,大幅提升了整个机组的性能。司倍克水环真空泵以其高效、稳定、低噪音的特点,为整个机组提供了稳定可靠的抽气能力。而康斯顿罗茨真空泵则以其高抽速、低能耗、长寿命的优势,进一步增强了机组的抽气效率和稳定性。在PCB热压机中,罗茨水环真空机组的主要作用是在热压过程中提供稳定的真空环境。这种真空环境能够有效排除板材与压合材料之间的空气,从而确保板材与压合材料之间的紧密结合。同时,稳定的真空环境还能够减少热压过程中的气泡产生,提高产品的质量和性能。除了提供稳定的真空环境外,罗茨水环真空机组还具有以下优点:首先,罗茨水环真空机组具有较宽的工作压力范围。在PCB热压过程中,不同的工艺阶段对真空度的要求不尽相同。罗茨水环真空机组能够根据不同的工艺要求,自动调节真空度,确保整个热压过程的顺利进行。其次,罗茨水环真空机组具有较高的抽气效率。在热压过程中,板材与压合材料之间的空气需要迅速排出,以确保板材与压合材料之间的紧密结合。罗茨水环真空机组的高抽气效率能够迅速排出空气,缩短热压时间,提高生产效率。此外,罗茨水环真空...
2024 - 09 - 19
水环真空泵的补水量与压力之间存在着密切的关系。合理控制补水量不仅能够提高真空泵的抽气效率和稳定性,还能延长泵的使用寿命并降低运行成本。水环真空泵补水量的重要性在水环真空泵的运行过程中,补水量是一个至关重要的参数。适量的补水能够维持水环的稳定性和连续性,确保泵体内部形成良好的密封效果,从而有效提高真空泵的抽气效率和稳定性。然而,补水量的多少并非随意设定,而是需要根据泵的具体型号、工作条件以及被抽气体的性质等因素进行精细调节。水环真空泵补水量与压力的关系1. 补水过多当补水量过多时,泵体内的水环会增厚,导致吸气空间减小,进而影响真空泵的抽气速度。此外,过多的水还会增加泵体内部的摩擦阻力和能耗,降低泵的效率。更为严重的是,过量的水可能会随被抽气体一起排出,造成水资源的浪费和环境污染。在压力方面,虽然补水过多不会直接导致泵的最大真空度下降(因为水环真空泵的最大真空度主要由其结构设计和转速决定),但会显著影响泵的工作效率和稳定性,间接反映在压力波动上。2. 补水不足相反,补水不足则会导致水环变薄,甚至出现局部干摩擦现象。这不仅会加剧泵体内部零部件的磨损,缩短泵的使用寿命,还会因为密封效果不佳而降低真空泵的抽气效率。在压力方面,补水不足会直接导致泵内气体泄漏增加,使得泵难以达到预期的真空度,表现为压力升高或波动加剧。水环真空泵补水优化策略为了实现水环真空泵的最佳性能,必须精确控制补水量与压力之...
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2018 - 10 - 10
真空泵的运行前提是正确的安装,若安装不当会存在很多故障导致无法运行,那么水环真空泵每个部位应该如何安装呢?下面来向深圳恒才陈工学习一下泵的安装详细要点。一、安装水环真空泵泵体、机械密封部分将机械密封静环部分安装在泵体上安装机械密封静环部分时可用水将其湿润后用手均匀压入泵体内。注意用力不能过猛!装配后,检查机械密封静环部分与泵体是否装配得紧密。将泵体紧压在电机上,将螺栓拧紧。注意不要损坏机械密封静环部分。将垫圈安装到电机后盖中,然后将泵体、电机前盖、轴承、电机转子、内轴承盖部件安装到电机壳体中,锁紧螺栓。依次安装电机风扇、挡圈、电机护罩、螺钉。安装完成后将泵的电机风扇护罩端朝下垂直于地上,准备安装泵的其它零件。二、安装水环真空泵泵轴、轴承部分1、将泵轴及轴承整体从托架非驱动端装入托架,可以通过敲击轴承外圈使泵泵轴安装到托架中。注意:敲击轴承时应在其端面放置垫块或者套筒工具以防止损坏轴承。2、安装非驱动端轴承盖,锁紧螺栓。安装滚柱轴承的锁紧垫片及锁紧螺母旋紧在轴上,然后将锁紧垫片 的锁耳弯进敲弯进螺母的凹槽内,以防止螺母松开。3、安装垫圈、驱动端轴承盖,锁紧螺栓。用手转动泵轴,泵轴转动应顺畅,若泵轴转动教紧时应稍微松动螺栓,将泵轴调节至转动较为顺畅的状态。4、安装平键,联轴器泵轴部分,联轴器压板,锁紧螺栓。三、安装水环真空泵叶轮1、将叶轮压在轴承上,应保证叶轮和泵体的前端面保留0.05...
2018 - 12 - 13
真空负压站用于抽吸腐蚀气体或以腐蚀液体作工作液,真空负压站可广泛用于造纸、化工、石化、轻工、制药、食品、冶金、建材、电器、洗煤、选矿、化肥等行业。真空负压站的特点: 真空负压站该装置配备一台气水分离器,从而可以节约水源并减少环境污染。 该装置的真空罐可根据现场设计为卧式及立式结构,安装更为灵活。 该装置采用日本先进自动补水装置无需人工补水,大大延长设备的寿命。 该装置在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电时可自动封闭真空系统。
2019 - 04 - 01
现代消毒灭菌设备多种多样,从寻常百姓家的厨房消毒柜,到专业研究所的专门灭菌消毒设备。各种各样的灭菌设备采用了多样的灭菌方式和原理来配合不同的场合要求和对于消毒灭菌的要求。 而在各种各样的灭菌设备中,常见的利用真空应用来帮助消毒灭菌的设备就有刚才提到的“脉动真空消毒柜”以及“等离子灭菌器”。这两种灭菌设备各有特点又各有其局限性,脉动真空消毒利用高压蒸汽与真空对细菌微生物进行有效的杀灭,然而对一些热敏的,不耐潮湿和高温的器材则就常常会采用过氧化氢等离子灭菌法。  一、真空泵在灭菌中的真空应用: 整个脉动灭菌柜在运作过程中的真空应用主要分为两部分: 第一部分为脉动预真空过程,真空泵会在灭菌前多次抽取灭菌室内的空气再充入蒸汽再抽空多次重复该过程,一般需要在灭菌前抽气3-6次,使腔体内的真空度达到-0.08~-0.09Mpa第二部分为真空抽湿干燥过程,该过程是在高压蒸汽灭菌完成后将灭菌室内的高温蒸汽抽除保证灭菌后的物品干燥洁净。  二、真空泵在灭菌柜中的真空应用:根据各种脉动真空灭菌柜的实际腔体尺寸不同,可以使用阿特拉斯的双级油润滑旋片泵GVD系列以及干式爪泵DZS系列,由于整个灭菌过程中腔体中充斥着大量的高压水蒸气,所以在灭菌腔体内的气体被抽出到达真空泵前需要装配一套冷热分离装置用于分离水蒸气,分离的水可以再回到蒸汽发生器中。  三、真空泵在过氧化氢...
2019 - 06 - 25
第一、泵的接口不同  塑料泵进出口的接管的支承现阶段并未有有关的规范加以限定,通常由设计机关单位明确提出要求,并依据生产厂本身的生产制造具体情况而定。对于总体塑料泵壳,通常选用活套法兰方式与管路联接,活套法兰与两端盖板联接;还可选用把法兰与盖板制成整体的方法与管路连接。第二、泵的叶轮与轴的连接形式不一样  ① 叶轮内预埋金属件,利用金属件与轴用键连接,或叶轮与轴直接用键连接,叶轮端部用叶轮螺母防护。此构造来自金属材料泵,因为密封面多,系统可靠性较差。长期使用后,轴易被介质浸蚀。  ② 叶轮内预埋金属件,与泵轴用螺纹连接,取销叶轮螺母。此构造可让轴充分受到维护,防止轴被介质腐蚀的机会。缺陷是螺纹加工精密度要求较高,运行时禁止电机翻转。第三、 泵的轴向平衡力不同  塑料泵的叶轮内大多数埋有金属件,通常不适合用平衡孔的办法平衡轴向力。国内外广泛选用背叶片平衡轴向力。 第四、泵体衬里层厚度及其固定不同  按泵产品标准,衬里层厚度通常为5-8mm,要是衬里层过薄(如1.5~2mm),是压制步骤易出现局部衬里缺陷,造成泵的准许采用温度和使用期有所下降,衬里层从泵体和后盖基体金属脱落的概率也增大。衬里层固定方式可采用在基体金属上布局较密的环形燕尾槽的方法,使衬里层固定牢靠,同时机加工量较小。第五、泵的叶轮密封性处和背叶片与泵体的运行间隙不同  小型离心泵因塑料和不锈...
2019 - 07 - 05
真空泵使用过程中这几个点要注意  1.真空泵用于抽洁净气体,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。  2.进气温度必须低于50℃,否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱,降温至低于50℃。  3.抽含有水蒸汽的气体时,要打开气镇阀抽气,被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限,将会缩短气镇阀寿命。  4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作,否则会有爆炸、火灾等危险。    5.不要由一两个人移动此泵。此由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查,否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。  6.不要继续使用已经损坏的泵,否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。  7.检查确定此泵安全接地。  8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,最高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施防止受伤。  9.必须安装电机保护开关。  10.不要刮碰进气口与排气口法兰,以免损坏法兰口,导致真空度上不去。  11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空...
2019 - 07 - 10
一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。最简单的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。在多泵串联使用时,不但极限真空要有一定的要求,抽速之间也应有合理的配合,以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系,可根据稳定流动下,流量恒定关系来确定。 设S1为主泵的抽速,S2为前置泵的抽速,p1为工作时主泵的进口压强,P2为前置泵的进口压强。则主泵的抽除量为p1S1,前置泵的抽除量为P2S2。稳定流动时,两者相等,故有:p1S1=p2S2 则得: 即前置泵的抽速应等于主泵抽速乘以两泵的工作压强比值p1/p2。因为有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,设机组工作时扩散泵的压强为机械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此时理论上机械泵抽速仅为扩散泵抽速的千分之一即可。实际选用机械泵时抽速应比理论值大3~5倍,以留有充分的余地;同时可缩短系统达到扩散泵启动压强所需的时间。现在很多的公司,因为需要满足生产需要去选择购买真空机组.但是需要注意的是,在购买的过程中一定要听一下专业人员的建议,选择合适的自己的真空机组.
2019 - 07 - 15
实验室常用的真空泵为旋片式真空泵。它主要由泵体和偏心转手组成。经过精密加工的偏心转子下面安装有带弹簧的济片,由电机带动,偏心转子紧贴泵腔壁旋转。滑片靠弹簧的压力也贤贴泵腔壁。滑片在泵腔中连续运转,使泵腔被滑片分咸的两个不同的客积呈周期性的扩大和缩小。气体从进气嘴进入,被压缩后经过排气阀排出泵体外。如此循环往复,将系统内的压力减小。旋片式机械泵的整个机件浸在真空泵油中,这种油的蒸气压很低,既可起润滑作用,又可起封闭微小的漏气和冷却机件的作用。在使用机械泵时应注意以下几点:①机械泵不能交接抽合可凝性气体的蒸气、挥发性液体等。因为这些气体进入泵后舍破坏真空泵油的品质,降低油在泵内的密封和润滑作用,甚至令手致泵的机件生锈。因而必须在可投气体进泵前允通过纯化装置。例如,用无水氯化钙、五氯化二磷、分于筛等吸收水分;用石蜡吸收存机蒸气;用活性炭或硅肢吸收其他蒸气等。②机械泵不能用来抽合腐蚀性成分的气体。如含氯化氢、氖气、二氧化氨等的气体。因这类气体能迅速侵蚀泵中精密加工的机件表面,使泵漏气,不能达到所要求的真空度。遇到这种情况时,应当使气体在进泵前先通过装有氢氛化钠固体的吸收瓶,以除去有害气体。③机械泵由电机带动。使用时应注意马达的电压。若是三相电动机带动的泵,第一次使用时特别会注意三柏马达旋传方向是否正确。正常运转时不应有摩擦、金属碰击等分声。运转时电动机温度不能超过50一60℃。④机械泵的进...
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旋片真空泵故障的排除方法

日期: 2020-06-17
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  运转中的旋片真空泵,如果进行了不适当的操作,旋片真空泵的真空度会降低,经常会发生冒烟、喷油、油封漏油、噪音等现象,以及泵内真空泵油的乳化等现象。 万一发生这种情况时,首先不要恐慌,瘫痪后配合故障解决故障。 以下是旋片真空泵故障的排除方法,希望能对大家有所帮助!

旋片真空泵故障的排除方法


  一、旋片真空泵的烟和喷射:旋片真空泵在运转中从排气口冒烟或喷射烟

  1、冒烟:泵刚开始运转有冒烟现象就正常,长时间冒烟就不正常。 解决办法:发烟在泵吸气口外,说明管道、阀门、容器均已修好。 因为检测出泄漏后再处理,所以冒烟就结束了。

  2、喷油:说明进气口外有大量漏点,进气口暴露在大气中。 解决方法:堵塞泵的吸气口,运行泵,如果不喷射油,则检查说明有泄漏点的排气阀座是否破损,更换破损的排气阀座。

  二、旋片真空泵的噪音:这里指泵的噪音

  1、爆震缸:泵运转时发出不规则的声音,就像金属敲打金属的声音。 这是旋转体敲打泵体的声音。 这主要是因为对方的旋转片间的弹簧断开、收缩、飞出的原因。 解决方法:打开泵,检查螺旋弹簧是否损坏。 更换的弹簧。

  2、排气阀座噪音:主要是泵的排气阀座破损。 解决方法:更换的排气阀座。

  三、旋片真空泵的真空度下降

  是指现在测定的旋片真空泵的真空度比出厂时的指标和以前使用时的真空度低。 真空度低的原因有很多,这里介绍几个主要情况。

  1、由于真空泵的油号不同,油内的饱和蒸气压也不同,结果也不同。

  解决办法:根据产品的形式规格,更换正确的新真空泵油。

  2、另外,真空泵油的真空度低时,真空泵油会乳化变色或污染。

  解决办法:清洁泵内的所有真空泵油,更换同一类型的真空泵油,解决被排气中没有水蒸气和杂质进入泵内。

  3 .排出的气体的温度可能太高。

  解决方案:降低废气温度或添加相应的热交换器。

  4 .泵内的油路不通或堵塞,泵室内无法保持一定量的油量。

  解决方法:检查回路是否接通,加入同一类型的真空泵油。

  5、配合的间隙变大。 这是因为长期吸入的气体中含有粉尘等,阿特拉斯旋片真空泵和定子之间磨损后的间隙变大。

  解决方法:检查间隙是否太大,更换新零件。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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