在真空泵中，真空泵油不但作为得到真空泵的物质，并且还具有润化、制冷和密封性机械设备磨擦点的功效。它是真空泵油最重要的性能。因为真空泵规定高真空值，一般应用石腊基窄馏分润滑脂。针对外扩散真空泵，还可以应用甲基硅油或别的低蒸汽压的合成机油。
真空泵室的内部容量持续转变，产生排气管效用，这就规定真空泵油应具备适合的黏度和粘温特点，伴随着真空泵持续髙速发展趋势。因为滑片与泵壳中间的髙速磨擦，油温升高，成品油非常容易氧化分解。非常地，真空泵一般工作中在高的温度环境中工作，这提升了系统软件中的蒸汽压并减少了真空值。因而，规定真空泵油具备优良的苛化可靠性。
假如被真空泵吸进的汽体是腐蚀的，它将与油反映并浸蚀泵中的部件。吸进的空气中一般带有水蒸汽和凝结水，这会造成
真空泵油乳化和金属腐蚀。因而，规定真空泵具备优良的耐蚀性和抗乳化性。真空泵不可以带上质轻部件，以防危害真空泵油的饱和状态蒸汽压。以便避免气体进到真空泵的自动排气阀，真空泵油在相对速度的部件(电机转子和电机定子、电机转子板和转子槽等)中间具有空隙密封性的功效)。
真空泵中的真空泵油将在应用一段时间后拆换。比如，裂化、空气氧化转性、由机械设备地应力造成的化学变化转性、由水蒸气和可冷疑汽体造成的水解反应乳化、由有机化学融解造成的性能转变、由尘土堆积造成的黏度提升等。在这类状况下，真空泵油品已不可以考虑真空泵一切正常运作的规定，造成
真空泵脆化、起动艰难、泵温升高、噪声扩大等状况。这时，务必立即拆换新的真空泵油，以确保真空泵的一切正常运作，增加泵的使用期。
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