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2020 - 11 - 24
现在罗茨真空泵主要用于真空冶炼、真空焊接、真空浇铸、真空喷漆、真空干燥、真空动力实验以及化工制药、电真空器件制造等罗茨真空泵所能达到的真空范围内的各种真空处理。罗茨真空泵最大的优点就是在较低入口压强下具有较高的抽气速率,且能达到相对高的极限真空。真空泵配件为用于真空泵噪声治理的,真空泵消音器。罗茨泵得到这么广泛的应用,对于它的操作方法大家更应该熟记于心,下面我们再来看看它的正确操作方法,大家可一定要记住啦!  一、准备工作  1、操做人员一定要熟读产品使用说明书。  2、在产品使用前确保在产品没有因长时间放置由环境因素导致产品产生的因素。  3、在工作中如发现异常声响和振动时应停机排查。  4、电气设备外壳必须接地或接零。  二、启动前的准备工作  1.打开冷却水进水阀,检查冷却水是否顺畅。  2.外伸轴封空腔及油杯内满润滑油,齿轮箱及轴承箱内的润滑油加至油窗直径的2/3到3/4高度,润滑油用1号真空油。  3.在以下条件下使用时,必须采取相应的措施:  a.吸入气体中有粉尘或颗粒时,应在吸气口前安装除尘器或过滤器。  b.吸入气体如果具有腐蚀性,必须采取中和措施。  c.吸入气体中含有水蒸气,而选用的前级泵又是油封式机械泵时,此前级泵应该带有气镇装置,水蒸气过多时,必须安装冷凝器。  三、启动程序  1.启动前级泵  2.打开前级泵预抽旁通管道上的阀门和罗茨泵进气管道上的阀门。 ...
2020 - 12 - 04
真空泵大家可能都听说过,但并不是很了解,甚至有的人都不清楚真空泵是什么,真空泵的工作高效、稳定,真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。那么接下来真空泵厂家带大家了解一下真空泵的用途。  一、真空泵可广泛运用于石油化工设备、制药、食品加工、能源和冶金生产制造行业。真空泵可以抽酸性气体,如四氢呋喃;另外真空。该泵还能够提取易燃易爆气体,如氧气、氢气和甲烷。真空泵可用以蒸发、精馏、过滤、真空干燥等领域。就食品类加工业而言,真空泵还可用以升华、干燥、脱水等。同时,它还广泛运用于真空蒸发、真空干燥和真空保鲜。  二、与别的机械真空泵对比,循环水真空泵的结构更简易,生产制造上几乎没有什么要求。但循环水真空泵效率低,真空度低。对于真空泵在食品加工行业的应用,循环水真空泵可以给包装袋充气,添加食品类,通过抽真空打开包装,运输包装材料和产品。除此之外,循环水真空泵普遍用以干燥、蒸发、蒸馏、结晶和物料输送。  三、小型真空泵广泛运用于日常生活中,小型真空泵普遍用以气体或液体分析设备应用,如PM2.5空气指数检测、3D打印机、医疗设备和医疗保健。  四、真空泵还可以用以汽车工业,真空泵利用负压增加驱动力。真空泵的主要参数包括:真空罐的容积和不同速度下的真空度形式,以及不同时间的转速、油压、油温。普旭真空泵厂家浅谈真空泵的用途告诉你,当转速为零时,真空泵根据...
2020 - 12 - 16
真空泵对我们来说已经不陌生,在使用的时候,有时会出现磨损的情况,真空泵磨损原因是什么呢?  一、真空泵磨损的原因  真空泵的轴颈表面的磨损是不均匀的,主轴颈与连杆轴颈的径向磨损主要呈椭圆形,且真空泵的最大磨损部位相互对应,即各主轴颈的最大磨损处靠近连杆轴颈一侧;而连杆轴颈的最大磨损处也是靠近主轴颈一侧。曲轴轴颈沿轴向还有锥形磨损。轴颈的椭圆形磨损是由于作用于轴颈上的力沿圆周方向分布不均匀引起。  发动机工作时,连杆轴颈所受的综合作用力始终作用在连杆轴颈的内侧,方向沿曲轴半径向外,造成连杆轴颈内侧磨损最大,形成椭圆形。连杆轴颈产生锥形磨损的原因是由于通向连杆轴颈的油道是倾斜的,当真空泵回转时,在离心力的作用下,润滑油中的机械杂质偏积在连杆轴颈的一侧,加速了该侧轴颈的磨损,使连杆轴颈的磨损呈锥形。  此外,连杆弯曲,气缸中心线与真空泵中心线不垂直等原因,都会使轴颈沿轴向受力不均,而使磨损偏斜。主轴颈的磨损呈椭圆形,主要是由于受到连杆、连杆轴颈及曲柄臂离心力的影响,使靠近连杆轴颈的一侧与轴承产生的相对磨损较大。此外,轴颈表面还可能出现擦伤与烧伤。擦伤主要是由于机油不清洁,其中较大的坚硬机械杂质在轴颈表面刻划引起的。轴颈表面的烧伤是由于烧瓦引起的,烧瓦主要是由于润滑不足、机油过稀、油路阻塞等原因造成的。  二、解决磨损的办法  传统的方法主要以补焊和刷镀喷涂为主,但是这两种方法都不能从根本...
2020 - 12 - 28
离心泵的运行中应注意哪些问题?  1)检查仪器是否工作正常且稳定。电流表读数不允许超过电机额定电流。如果电流太大或太小,应及时停止检查。  2)检查流量,以查看仪表读数是否正常。您还可以查看水管中的水流量来估算流量。  3)检查轴封装置是否热以及带填料密封的单级离心泵是否正常泄漏。滴水应为滴水形式,滴水速度为30-605滴/分钟。滴落情况反映了填料的压缩程度,可以调节填料压盖螺栓以控制操作期间的滴落量。  4)检查离心管道泵电机轴承的温升。通常,轴承的温升不应超过周围环境的35C,轴承的高温不应超过75C。如果没有温度计,也可以用手触摸。如果感觉很热,则应停止机器进行检查。  5)经常检查离心泵是否有振动和噪音。如果太大,请将其关闭以进行检查。  6)油环必须与泵轴异步地自由旋转。  7)记录水位,主电流,电压,功率因数,功耗,温度等技术数据,并定期进行分析,为管理水电提供科学依据。  8)严格执行岗位责任制和安全操作规程。
2021 - 01 - 08
水环泵结冰是常有的事,尤其是北方的地区,一到冬天就容易结冰,针对这种情况我们总结了以下几点措施对水环泵就行维护。以下六条为冬季水环泵注意事项。要多多维护以防冻裂水环泵,缩短水环泵的使用寿命。  1、将水环泵内的水排空,使用时再加水。防止水环泵结冰冻裂水环泵。  2、如果水环泵结冰,使用热水或者开水倒入水环泵内化冰。或者加热水环泵外壳。  3、使用井下泵。将水环泵放入井下,一般井下水环泵离地面深,不会结冰。  4、采用保温型水……将保温层加入蒸汽或者热——以防水环泵结冰。  5、 采用非自吸离心泵。使用时,加入水即可。  6、将泵置于一个常温环境。零度即可。
2021 - 01 - 27
随着各种产品的质量要求和保证,涉及到真空的行业也越来越广泛,而真空机组的应用行业有哪些,你知道吗?深圳恒才机电设备专注于真空系统设备等,为广大用户提供专业真空机组、高品质服务。先来了解一下真空机组的特点,真空机组以水放射真空泵为真空产生元件,并组合了动力源(循环水箱真空丈量和真空控制等元件集为一体的新型真空装置,与传统的由用户采购泵头和配套设备及元件然后自行组装的水放射真空装置相比,在坚持原系统特性的基础上,在很多方面得到改善和进步。深圳恒才机电设备公司讲讲,真空机组的应用行业有哪些?真空机组普遍用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、化肥、冶金、石油、矿山、地基处置等范畴。真空机组普遍应用于需求大抽速和需求获得低、高真空的各种真空系统中,不同设备应用不同真空机组,不同品牌真空机组也影响着工作效率,深圳恒才是”阿特拉斯.科普柯“第一批授权的真空专家代理商(授权编码为NO.0009),同时也是高品质小型泵--SPECK授权的华南地区代理商,如需了解更多真空泵相关信息,欢迎直接来电或是在线咨询客服,将竭诚为您服务。
2021 - 03 - 06
为了能更好地选择和使用真空泵,我们总结了以下注意事项,以便您可以选择合适的产品。根据实际使用情况,应注意以下几点:  1.真空泵产生的振动是否会对过程和环境造成影响。如果该过程不支持,则应选择无振动的泵或采取一系列的防振措施。  2.了解要泵送的气体的成分,气体中是否有灰尘颗粒,是否具有腐蚀性等。选择真空泵时,您需要了解气体的组成,并且需要为要泵送的气体选择相应的泵。如果气体中包含蒸汽,颗粒和腐蚀性气体,则应考虑在泵的进气管中安装辅助设备。  3.在其工作压力下,真空泵可以从真空设备中抽出过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。有时选择的泵类型不能满足泵送要求。由于真空泵是有选择地泵送的,因此需要相互补充的各种泵组合才能满足泵送要求。如果钛升华泵的抽氢速度快,但不能抽氦气,则三极溅射离子泵(或两极非对称溅射离子泵)对氩气的抽出速度一定。两种组合将使真空设备获得相应的真空度。  5.真空设备对碳氢化合物污染的要求。如果设备明确要求无油,则应使用各种无油泵,例如水环泵,分子筛吸附泵,阴极离子泵,低温泵等。如果要求不严格,则可以安装油泵。除了一些预防碳氢化合物污染的措施外,还进行了选择。  6.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定范围的工作压力。因此,泵的工作点应在此范围内选择,而不是允许其在2530mmHg以下长时间运行。  7.真空泵排出的油蒸气如何影响环境?如果环境不允许污...
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2019 - 05 - 29
2019年5月22日由SPECK主办&深圳恒才机电协办的橡塑业节能环保技术交流会在广州琶洲白云会议室举行,参加此次橡塑业节能环保论坛的有来自全国各个地区的人民;多家企业负责人、投资人和橡塑界精英,本次论坛还盛情邀请了高分子协会党委副书记兼纪委书记王文广先生等嘉宾隆重出席。 论坛正式启动后,由SPECK车经理首先进行演讲“挤出成型应用与SPECK次世代真空节能单元、材挤压成型的真空领域和终端用户的新材发展(以前,现在及未来)。期间介绍新款变频液环真空泵,与工业4.0的核心理念正完全契合,它实时监控并计算来实现产线/产品/制程的升级优化,在制造领域形成资源、信息、物品和人的相互关联的“信息物理系统”,推进制造业向智能化转型。车经理说,根本性的改变已经开始,节能是要求,但我们要的不仅仅是节能,不是简单的设备工程解决方案,而是向灵活、受控分散和紧凑的分离单元能源密集型解决方案。随着车经理的演讲让现场的来宾对节能环保产品产生了高浓的兴趣。 接下来,由深圳恒才陈总为大家带来精彩的分享,陈总分别对橡塑行业的塑料、树脂、热固性塑料、热塑性塑料等进行专业解说,之前有些行业中使用的机械造成二次污染难以解决,机械泵效率低能耗高,故障率频繁等问题,陈总为大家将这些专业的问题做了完美的解答,并展示进行改造后的成功案例。陈总说,我们致力于可持续生产力,节能、环保、高效,我们坚持对客...
2018 - 03 - 23
一、2BV水环真空泵介绍康斯顿2BV水环空泵是利用西门子技术,自主生产的具有国际领先水平的真空泵,2BV水环真空泵是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,其材质有铸铁、不锈钢等。2BV水环真空泵应用在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等。由于水环真空泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视,因此,2BV水环真空泵应用日益增多。                                               二、2BV水环真空泵工作原理当2BV水环真空泵的叶轮逆市方针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮盒相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮壳与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被2BV水环真空泵的叶轮叶片分成和叶片数目相等的若干个小腔。...
2018 - 06 - 20
在很多的领域当中,罗茨真空泵都有得到充分的应用,比如化工、航空等等各大领域得机械运转当中都可以使用这一设备,通过长期的实践已经证明了罗茨真空泵真正的实力和优势所在。不过在操作的时候包括开机以及运行应该要按照规范严格的去进行,具体来说,需要注意如下几个方面的事项。一、注意罗茨真空泵在开机前的准备在开机之前必须要检查水箱里面的水位必须要达到3/4以上,罗茨真空泵厂家提醒如果不满的话一定要补足水位。并且水箱内所使用的水必须是干净的,绝对不可以有泥沙之类的东西以免在运转中被带入到管道中引起堵塞现象。同时罗茨真空泵厂家强调还要检查相关位置的润滑油油面的高度同样的要达到高于3/4的位置,同时还要查看润滑油的颜色,如果没有那么纯净,已经有发黑之类的现象,那么应该要彻底的换掉。二、注意按照正确的顺序启动罗茨真空泵真空机组在做好开机前的准备工作之后,罗茨真空泵厂家介绍可以先将中间泵和主泵的冷却水的阀门打开,然后再按照规范要求慢慢的相应的打开其他的阀门。高品质的罗茨真空泵厂家还介绍等到整个系统的压力到达中间的时候可以启动中间泵,并且按照手动或自动的操控方式进行相应的控制,最后启动主泵。三、注意罗茨真空泵运转细节在正常运行的情况下罗茨真空泵所有的组件之间都是非常和谐的,不会有异常的震动,或者是杂音出现。罗茨真空泵厂家介绍这时候要观察以及相应的位置温度是否有升高,温度不能够超过相应的范围,否则表示有问题,...
2018 - 08 - 16
SPECK品牌小型离心泵适用于化学药液、水油的抽送、循环、排放等,广泛应用于电镀、电子、化工、皮革、染整废水、废气、冷却、焊接等等行业。不锈钢、铜塑料等材质供选择。耐高温、耐腐蚀,是同轴离心泵中的佼佼者,那么离心泵又分为两种,一种是涡旋离心泵,一种是径向离心泵, 今天来了解一下什么是涡旋离心泵?一.涡旋泵是离心叶片泵的一种,其主要工作机构包括叶轮、泵体和泵盖,以及由它们所组成的环形流道。液体由吸入管进入流道,并经旋转的叶轮获得能量,被输送到排出管,完成丢人 工作过程,二.漩涡泵的工作原理、结构以及特性曲线的形状等均与离心泵不同,是一种小流量、高扬程的泵,其比转速一般小于40。三、旋涡离心泵的优点1、旋涡泵是一种结构简单的高扬程泵。与尺寸、转速相同的离心泵相比,其扬程要高3~9 倍。与相同扬程的容积式泵相比,其尺寸要小,结构也简单的多。旋涡泵体积小,重量轻的特 点在船舶装置中具有极大的优越性。2、大部分旋涡泵具有自吸能力,或借助简单的装置来实现自吸。3、旋涡泵具有陡峭的扬程特性曲线。其扬程的变化对流量的影响较离心泵为小,因此,对系 统的压力波动不敏感。4、很多旋涡泵能实现气液混输,这对于输送含有气体的易发挥的液体和汽化压力很高的高温 液体具有重要的意义。5、旋涡泵结构简单,铸造和加工都容易实现,某些旋涡泵零件可使用非金属材料模压。
2018 - 10 - 26
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国,是为适应在 10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵,必须与前级泵组合成罗茨真空泵机组才能使用,罗茨真空机组在、造纸、食品、电子工业、冶金、石油化工等都有应用到。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵 ( 以下简称罗茨泵 ) 。罗茨泵与其它油封式机械泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。 怎么选择罗茨真空机组:    1.罗茨真空机组的压缩比,罗茨泵真空机组的罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为罗菠泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速...
2019 - 03 - 05
新一代螺杆真空泵以其高效节能的优势替代旋片真空泵、水环真空泵等进入市场,很多客户看到其节能的可观利润都来寻问是否可以替代,但价格相对比过高又使其犹豫。螺杆真空泵的价格相对比较高,但长远来看还是节省电费惊人,基本一年就可以收回成本,更高效率的情况还是选择螺杆是明智的。今天我们就来看一下螺杆真空泵的优势。 1.       某陶瓷公司螺杆真空泵与水环真空泵对比,选择相近抽速的水环真空泵(以阿特拉斯水环真空泵为例,见下页参数),应选择5台AWS1600,功率消耗为45千瓦,AWS1600水环泵,使用15℃冷冻水,抽速1600M3/小时, 使用30℃普通水,抽速1600M3/小时*80%=1280M3/小时,对比:阿特拉斯GHS1300VSD+真空泵每台配机功率22千瓦,真空需求量减少时,自动变频降低转速,最低负荷可降至5千瓦, ①  电费按0.8元/kWh计算②  真空泵每年工作6000小时(每天20小时,每年300天)       5台GHS1300VSD+变频螺杆泵负压站: -    运行总功耗22*5=110千瓦,生产负荷降低时可变频调节流量,更加节能。        5台4...
2019 - 04 - 19
大家都知道在真空镀膜设备中必须要用到真空泵,那么真空镀膜设备在运作的时候它会产生一些热量,如果是天气也是很高温的情况下,气温就会上涨,那么对真空镀膜设备的负重也是会有所增加的,在这样的情况中,如下对我们的真空泵进行维护呢?下面跟着张工总结了五大点,一起来学习一下。第一点、防止真空泵或者避免真空泵放置在阳光底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方, 在室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下,本身真空泵在工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,而且达到真空泵的零界温度,就会出现机械故障!第二点、真空泵要处于通风位置,真空泵所放的位置要通风,或者室内装有降温装置也可以!愿意也是一样的, 只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。 第三点、 真空泵的耗材要及时更换,最主要的又是油雾分离器(排气滤芯)和油,这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换 ,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油。第四点、对真空泵进行清洗和保养,在天气炎热前对真空泵进行一次全面的清洗和保养。第五点、要对真空泵进行常规维修保养,以上五点就是张工对真空泵在真空镀膜设备中使用的维护注意事项,有更多的意见探讨联系深圳恒才机电设备有限公司。
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螺杆真空泵与爪式真空泵怎么区别

日期: 2019-09-11
来源:
浏览次数: 104

螺杆真空泵和爪式真空泵都是干式真空泵,但由于它们的工作原理不同,它们也会产生不同的结构差异。为了获得尽可能低的压力,两个泵分为4级,但爪式泵级由级之间的隔板分开,螺杆真空泵由螺杆交叉形成,形成级间分离,所以两个阶段之间存在很大差异。

螺杆真空泵


一,使用不同的流程

1,螺杆真空泵的气体通道短,各级之间的气体转移位置恒定,有利于气体从泵中快速排出,从固体颗粒物体中排出。

由于存在阶梯式隔板,气体通道长且弯曲,并且气体容易冷凝并且容易阻塞通道。

2,螺杆真空泵的泵体和转子为单体,易于进行防腐处理。

爪形泵的台阶板几乎不可能进行表面处理,转子表面上的防腐蚀涂层在组装过程中也容易损坏。

二,可靠性使用的差异

1.爪式真空泵有级隔板,转子和泵轴不能一体化,转子安装在轴上。为了便于安装和拆卸,配合不能太紧,因此在操作后容易发生滚动键和松动的转子。现象。

螺杆真空泵的轴和转子完全一体铸造成型,没有装配问题。

2.爪式真空泵有许多间隙,每个间隙是独立的。只要在任何一个间隙中存在问题,泵就不能正常工作。

螺杆真空泵仅通过排气端和转子之间的间隙来确定工作性能,并且转子和转子之间的间隙是相互关联的,并且操作可靠性非常高。

真空泵


三,可维护性的差异

1.拆卸

爪式泵拆卸困难:由于采用多级结构,所有拆卸都是多级分解,转子拆卸是一个真正的难点,每次拆卸时精度会有不同程度的降低。即使是简单的清洁也必须拆卸和重新组装。

螺杆真空泵易于拆卸:拆卸螺杆泵只需要拆下后盖轴承就可以从前端抽出转子,这非常简单。如果仅用于清洁和拆卸,则只需在清洁后将转子放回泵体内,无需任何调整。

2.安装

爪泵组件很难:当安装爪泵时,四级转子应控制转子端面的八个间隙,以及转子和八个转子的转子之间的间隙。如果差距调整不好,则必须重新调整。在轴上,转子也必须被撞击,这很容易损坏部件。

螺杆真空泵易于组装:组装螺杆泵时,只需要控制螺杆排气端面与排气壁之间的间隙,以及螺杆凹面的间隙,只需要调整简单的两个空白。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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