行业资讯

您现在的位置：首页 > 新闻资讯 > 行业资讯

新闻资讯

热销推荐 82.3%的用户都在选择这几款！

最新资讯了解公司的最新活动及打折促销

2021 - 03 - 12

螺杆真空泵里面有一些管道，主要用于泵送和运输天然气。当泵投入生产时，生产工人将按照绘制的设计图进行生产。您可以说出外观设计和生产外观。深入分析，尽管管道只是泵的一部分，但其设计也必须仔细进行，这与抽真空的问题有关。那么管道是如何设计的呢?　　1.硅镁热熔炼工艺是在残压为13Pa的条件下进行的。为了达到这样的条件，取决于真空管的设计，螺杆真空泵的配置以及安装在真空管中的真空过滤器，结构和真空阀的质量及其安装水平。　　2.选择螺杆真空泵后，连接减压罐，阀门，真空过滤器等。与真空管一起形成一个真空系统，一个完整的真空项目。每四个还原罐连接到同一管道和同一真空单元，便于检漏。为了使还原炉连续运行，每个还原炉必须配备一个备用真空装置。　　3.对于真空管设计，请尝试简单可靠，尽量减少弯头，阀门，波纹管和其他装置，并尽可能使管变厚和变短。螺杆真空泵应安装在还原炉上方的平台上，以缩短真空管并缩短预真空时间。还可以大大降低管道的泄漏点，使整个系统在生产中安全可靠，系统的真空度很容易达到113Pa。　　螺杆真空泵的管道布置是根据泵的型号，尺寸等设计的。另外，其设计应参考泵的配置。无论设计是什么样，主要目的都是从真空泵的角度考虑。

防止水环真空泵中形成水垢的措施

2021 - 03 - 25

循环水水质和工作温度均超过一定指标，这是造成真空泵结垢的主要原因。因此，有必要尽可能降低水的硬度，并控制循环水的工作温度，以解决真空泵水垢的问题。　　因此，在循环冷却水运行期间，应测试每个泵的回水温度和回水量，以确保每个泵的正常供水量和水温。回水是一个不超过40C。可通过阀门控制供水。如果回水温度超过规定，则需要补充低温冷水或使用其他冷却方法降低软化池中软化水的温度。此外，水环式真空泵的泵体排水阀不仅可以利用泵的正常内部排水，还可以在运行过程中利用泵体的水压定期冲洗污物和水。它可以防止灰尘积聚，另一方面，也可以防止水渣结垢。　　以上是水环式真空泵的内容。正确分析水质指标的运行参数是找到正确预防措施的关键。除了控制水温和定期冲洗泵体外，水处理也是防止泵体弄脏的重要组成部分。真空泵结垢的问题，所以我们必须了解结垢的原因并采取预防措施。

螺杆真空泵有什么优势?

2021 - 04 - 07

随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍，其质量也在不断提高。由于其特性和优势，它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用程序，让我们学习螺杆真空泵有什么优势?　　现在螺杆真空泵具有优异的耐腐蚀性。当使用螺杆真空泵时，我们会在启动后两个小时遇到减速器内壁温度很高的情况。对于机械设备来说，这种情况是非常不寻常的。因此，我们需要立即对其进行修复，如果温度没有下降，请注意，螺杆真空泵上的油窗不能与有机玻璃板一起使用。将低温冷却器升高到螺杆真空泵的真空泵位置，并施加负10度的冷却水以降低温度。螺杆真空泵制造商提醒，为了降低螺杆真空泵前泵的工作流体温度，应采取措施将温度降低到20度以下，以达到更好的使用效果。　　以上是螺杆真空泵良好使用效果的相关介绍。由于其特性和优点，它被广泛使用。在操作过程中，必须严格按照操作规程进行操作，以达到良好的效果，并避免因麻烦而造成不必要的麻烦。

螺杆真空泵的维护预防措施是什么

2021 - 04 - 20

随着螺杆真空泵的使用越来越普遍，其质量也在不断提高。由于其独特的优势，它被每个人广泛使用。为了使每个人都能更好地使用它，让我们了解螺杆真空泵的维护预防措施是什么。　　正确使用和定期维护螺杆真空泵可以延长设备的使用寿命。在提高日常操作效率的同时，有必要仔细观察维护过程，尤其是对于那些容易被忽视的小零件。首先检查螺杆真空泵是水平安装还是垂直安装，接地螺钉是否拧紧，电动机电缆连接是否正确以及电动机是否正常旋转。如果是反向操作，则应立即更正。进气管和排气管必须密封。安装消音器和进气阀，准备并检查泵是否与泵以相同的方向运转。如果不是，请立即更正。每次打开螺杆真空泵时，都需要使空气泵运转20至30分钟，然后将液体从泵和消音器排放到排气口。当没有液体排出时，准备正常的泵操作并打开冷却水阀。　　螺杆真空泵正在运行。打开进水阀，然后关闭进水口。数据的正常运行对于保护泵非常重要。由于螺杆真空泵的特殊结构，螺杆真空泵的操作不同于机械泵和罗茨泵。在极端压力的情况下，电流将相对较大。通常，电动机的功率是电动机的功率的两倍。在相同的大气条件下，它会非常小，并且达到正常发动机的水平是正常的。当螺杆真空泵停止运转时，关闭进气阀并打开进气阀，切断泵电机的电源，关闭冷却水源，并将冷却水排入泵中，以避免泵体冻结或低于4摄氏温度。冬季会导致螺杆真空泵无法运行。使用螺杆真空泵的正确方法是让每个操作员都掌握它。只有确保设备的...

真空泵的启动和停止步骤问题

2021 - 05 - 10

水环真空泵是发电厂真空系统中常用的真空设备。它在打开设备之前保持真空状态并在启动后保持真空状态方面起着重要作用。让我们谈谈真空泵的启动和停止步骤问题。　　水环真空泵的启动和停止步骤如下：　　1.在开始之前，请确认系统连接完好，作业单已结束，无关人员已从生产现场撤离，并且系统的相关阀状态正确。现场计量表已正常运行。　　其次，检查进气门的控制压力是否正常，压缩空气压力是否保持在0.4-0.5Mpa，进气门的电源是否已打开以及开关的测试是否正常。　　3.检查真空泵供水系统的阀门是否已打开，冷凝水泵是否正常运行或淡化水系统的压力是否正常。　　四，检查冷水机进水口和回水口是否打开，给水压力是否正常，检查汽水分离器，给水管阀处于正确状态，给水阀排水口底部有蒸汽。 -分水器关闭，泵体上的排水阀关闭。　　第五，打开水分离器水分离器旁通阀以补充水分离器水位至140-180mm，然后放电磁阀，打开电磁阀前后手动门并放置自动调节装置。　　6.测量仪的绝缘材料合格，然后将其发送到电源，检查电机接地线是否完好，并确认满足启动条件。　　7.确认排气装置的真空破坏门已关闭，并且轴封加热器水封已经运行。空隙破坏门充满水并密封。　　8.开始运行真空泵，电流不大于额定电流，检查真空泵是否正常运行，水气分离器的水位是否正常，泵的电机和轴承是否正常振动。温度变化正常，轴承温度正常。　　真空泵的轴承温度应不高于75，电动机...

螺杆泵的特点

2021 - 05 - 24

半导体制造业中有许多不同的真空泵。我们将其分为两类：主泵和高级真空泵。主泵在腔体中产生粗糙的中间真空有多种用途。在集成的多腔设备中清空容纳硅晶片的区域；为高级真空泵泵送空气。先进的真空泵用于获得10-3 Torr到10-9 Torr 的压力范围以及超高真空。新晶圆厂使用的现代真空泵是干燥的，这意味着内部没有油或润滑剂会回流到处理室并污染硅晶圆。螺杆泵特点：1.转子轮廓啮合均匀，密封性好，抽气效率高。2.最终真空度高，最大压力可达到0.2 Pa。3.进口螺杆转子专用加工中心一批，加工精度高，产品性能稳定。4.螺杆泵的所有转子都经过了G1动态平衡测试，并且在运行过程中泵的振动很小。5.泵标配了定制的电动机，并且在泵的油腔和电动机之间形成封闭结构，从而消除了电动机端部的动态轴伸密封，并消除了机油泄漏引擎末端出现问题。6.泵标配特殊的可拆洗消音器，具有良好的降噪效果和低噪音，同时易于拆卸，清洗和维护。7.螺杆泵结构合理，可以适应多种保养和维护措施，针对各种对泵有害的情况具有相应的处理方法，可以配备相应的结构或附件，具有很大的相关性。维护效果好，操作简单，处理时间短，可以更好地保证设备的正常运行。

干式真空泵和水环真空泵比较

2021 - 06 - 07

干式真空泵和水环真空泵是当今广泛使用的两类真空设备。虽然经常使用，但很多用户并不了解具体的区别。两种类型的设备比较进行介绍。　　1、真空稳定性性能对比：　　随着水环真空泵运行时间的增加，闭路冷却循环水中有机溶剂的含量逐渐增加，使得闭路冷却循环水的表面蒸气压增加(即更容易在相同条件下挥发)，从而导致真空装置的上限真空温度和抽气速度降低，从而延长干燥时间和产品质量。　　干爪式真空泵不存在上述问题，因为无水无油。　　2、真空度对比：　　爪形真空泵的上限真空压力高于5Pa，而水环泵的上限真空压力高于2000Pa。因此，在一些工业条件和矿山，爪形真空可以单独使用更换罗茨水环或常用的罗茨水射流。　　3、设备耐腐蚀性能对比：　　当系统中有酸性气体时，由于水环真空泵中存在水，酸性气体溶解在水中形成酸性液体。酸性液体由水环泵叶轮驱动，对泵有强烈的冲刷腐蚀。　　干爪式真空泵内无水，酸性气体不能形成酸性液体，设备无腐蚀。　　4、故障停机和停电对产品和系统的影响对比：　　水环真空泵在运行中出现故障停机后，水环泵内的水会在大气压下流回系统，造成产品污染和罗茨泵损坏。　　干爪泵内无水，不会发生上述事故。　　5、节能降耗效果对比：　　水环真空泵依靠叶轮在水离心机中做功，形成吸力，打气腔，从而达到抽气效果。因此，水环真空泵的主要能耗是叶轮在离心水时的能耗，在工作过程中能耗发生变化。　　当爪形真空泵接近真空上限时，...

联系我们专注机电设备多年

服务热线：

400-862-5533
公司传真：

0755-23062775
总机电话：

0755-23062776
移动电话：

13928410990
总部地址：中国 · 深圳

深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
关注我们官方的微信

Hot News / 热点新闻

改性塑料用干式无油真空泵集中抽真空

发布时间: 2026 - 10 - 23

来源: 2555

为什么选择干式无油真空泵机组？改性塑料行业的4个核心优势在改性塑料挤出、造粒、脱挥、脱气过程中，真空系统不是“可有可无”的辅助设备，而是直接影响产品表面质量、内部结构、颜色稳定性和生产稳定性的关键环节。相比传统水环泵、油封式真空泵，干式无油真空泵机组更契合改性塑料企业对“稳定真空、环保合规、节能降本、少人化运行”的需求。1. 无油无水运行，减少油污和废水风险改性塑料生产过程中，熔体会释放低分子挥发...

真空泵的启停和正常运行中的注意事项

发布时间: 2021 - 05 - 10

来源: 646

真空泵的工作效率直接影响机组的真空度和发电厂的经济性。让我们谈谈真空泵的启停和正常运行中的注意事项。　　1.开始之前，您必须完全验证是否满足所有条件。在开始之前，请确保蒸汽-水分离器中的水位正常。无法从高水位开始或没有水开始。　　2.在开始启动之前，必须打开手动入口门。启动后，它将在压差的作用下自动打开。在开始之前，请打开气动门，否则会降低设备的真空度。　　3.在正常运行期间，蒸汽和水分离器的水位应保持在一定范围内。如果水位太高，水将通过下部排水阀排出;如果水位太高，水将自动通过补水电磁阀排出。在运行期间，请检查供水的正常温度。如果温度过高，应及时换水和冷却，以防止温度过高，影响冷却效果，降低泵的抽水能力。　　4.停止时，首先关闭进气阀，等待进气阀正常关闭，然后停止真空泵运行。如果无法正常关闭入口气动阀，请保持真空泵运行，关闭手动入口门，然后停止真空泵。联系维修人员，找出原因，然后正常处理。　　5.当设备建立真空状态时，应启动三个真空泵以快速建立真空状态;当设备处于正常运行状态时，请保持一台真空泵运行，两台真空泵处于待机状态。

真空泵的启动和停止步骤问题

发布时间: 2021 - 05 - 10

来源: 524

夏天使用螺杆真空泵的时候要注意些什么?

发布时间: 2021 - 05 - 07

来源: 319

夏季室外温度本身很高。螺杆真空泵处于工作状态时，设备的温度会升高，容易造成损坏。那么夏天使用的时候要注意些什么呢?如何减少设备损坏的情况。　　如果热量难以散发出去，则螺杆真空泵的温度会升高，一旦达到极限温度，就会显示出机械故障。尽可能降低泵的工作温度，更换螺杆真空泵油，并保持通风位置或配备室内冷却设备。　　为了提高螺杆真空泵的散热功能，需要及时更换消耗品，主要是油雾分离器(排气滤芯)和机油。这两种消耗品需要及时更换。如果排气过滤器过时或存在其他质量问题，则应尽快更换。　　起初，当油出现变色，沉淀和乳化增加的现象时，它就不能停留在润滑的维持上。当机械故障频繁发生时，如果螺杆真空泵的温度过高，螺杆真空泵将显示异常噪音，注油甚至堵塞。因此，螺杆真空泵在变热之前必须彻底清洁。　　同样，在夏季，请尽可能将螺杆真空泵放在阴凉的地方，将其放置在室外时，请注意不要使其暴露在阳光下并适当降低其工作温度。

干式真空泵购买注意事项

发布时间: 2021 - 05 - 07

来源: 228

今天是时候讲解一下干式真空泵。现在，每个人都对真空泵的价格和一些关键的购买要点感到好奇。接下来，就让我们看一下。　　我们需要使用真空泵厂家来预先确定购买无油真空泵时所需的真空泵型号。干式真空泵的类型也多种多样，不同厂家的产品数量也有所不同。作为消费者，我们在产品购买过程中应注意什么?干式真空泵运行期间发生的振动会影响过程和环境吗?如果过程不允许，请选择无振荡的泵或选择抗振荡的方法。溢出的油蒸气对环境有什么影响?假设环境不允许污染，则可以选择无油或将油蒸气吹到室外。工作压力必须满足真空设备的有限真空和工作压力要求。干式真空泵的价格，运费和随后的保护费用。要购买更好的干式真空泵，我们需要在购买前做好所有准备工作，并有充分的了解，以便我们购买的产品良好。　　以上是干式真空泵的内容。阅读以上文章后，我认为它一定会对您有所帮助。如果您还有其他疑问，请随时与我们联系。

螺杆真空泵的传动方法是什么?

发布时间: 2021 - 05 - 06

来源: 241

螺杆真空泵的使用越来越多，好评率不断提高。在操作时，必须注意正确的操作方法，以便更好地使用它。让我们了解螺杆真空泵的传动方法是什么?　　螺杆真空泵如何实现传动，传动方法是非常重要的部分，因此所有朋友也都注意这些问题。注意螺杆真空泵的传动方式，可以注意到总的抽速与压力比例成正比，并且两者之间应更加协调。螺杆真空泵通常在车轮对称性方面表现良好，因此它们在运行过程中非常稳定，并且总体故障声音也非常低，并且噪音等级较低。在设备的实际应用过程中，详细的泵腔内部不需要任何润滑油来打扰，因此一般的真空保证功能也很好。泵室的结构也非常简单。没有拧紧阀和排气阀的计划，并且各个部分都可以更好地操作。在抽氢的实践中，您可以注意它。这部分的泵送效果通常不是那么明显。　　以上是关于螺杆真空泵的传动方法。您可以根据实际交易要求选择合适的方法，以免盲目交易造成不必要的损失。如果您还有其他疑问，我们定期更新网站文章希望对大家有用。

罗茨真空泵油质检验的方法

发布时间: 2021 - 05 - 06

来源: 205

随着罗茨真空泵的使用变得越来越普遍，其质量也在不断提高。由于其独特的优势，它被广泛使用。为了让大家更好地使用它，让我们了解罗茨油真空泵的质量检查方法是什么?　　真空泵油的质量与产品的效率和安全性有关。因此，在测试油质时，需要及时了解一些测试方法，并及时进行更换。观察油流的方法是取两个量杯，其中一个装有要检查的真空泵系统的油，另一个盛在桌子上。从系统中将充满油的量杯从桌子上抬起30-40厘米，然后将其倾斜。让系统润滑脂，慢慢流入空杯中并观察其流动。优质的系统油流应稀，均匀且连续。如果油流快慢，则有时会有大块油向下流。表示机油系统已老化。　　在拇指和食指之间旋转罗茨真空泵系统油，然后反复研磨。系统中最好的机油将具有润滑性，减少磨损且无摩擦。如果您感觉到手指之间的沙子，会感觉到很大的摩擦，这表明系统油中有很多杂质，因此无法再使用。必须更换系统油。在晴天时，使用工具将油从系统中提出，并与水平面成45度角。与阳光比较，观察油滴的状况。在阳光下，可以清楚地看到系统油中没有磨损残留物，并且可以继续工作。如果有太多的磨损残留物，则必须更换系统油。油滴跟踪方法是取一块干净的白色滤纸，然后在滤纸上滴几滴油。机油从罗茨真空泵系统泄漏后，如果表面上有黑色粉末，则表示用手触摸该系统会感到涩。机油中有很多杂质。好的系统油中没有粉末。用手触摸时干燥且光滑，带有黄色标记。　　以上是关于罗茨真空泵机油质量检查的方法。你能理解的。在使用过程中，必须遵循正确的操作方法才能取得良好的效果。如果您听不懂任何内容，可以致电咨询。我们将关注您的当前情况。应给出合理的建议，以避免因快门操作而造成不必要的麻烦。

螺杆真空泵的密封效果是什么?

发布时间: 2021 - 04 - 28

来源: 230

随着螺杆真空泵的利用率越来越普遍，其质量也在提高。由于其特性和优势，它被每个人广泛使用。为了让每个人都有更好的应用，让我们了解螺杆真空泵的密封效果是什么?　　在螺杆真空泵的生产和设计中，我们采用了先进的技术和完善的技术，螺杆真空泵的密封性能非常严格。否则，一旦螺杆泵的密封效果不合格，就将其启动并使用，这不仅会导致设备无法正常运行，还会给设备本身造成巨大损失。因此，在安装和使用螺杆泵时，应注意其密封效果。另外，应选择更合适的密封方法以提高密封效果。油封是一种结构简单，体积小，成本低，维修方便，阻力扭矩低的自调节唇形密封件，不仅可以防止介质泄漏，而且还可以防止外界灰尘等有害物质进入吸尘器的根部。　　设计合理，加工性能优良，装配性好，转速高时，螺杆真空泵的迷宫式密封效果良好。动力密封在螺杆真空泵运行期间，辅助叶轮产生的压头平衡主叶轮出口处的高压液体，以实现密封。填料密封是指在填料箱中放置可压缩弹性的填料，依靠填料箱的轴向压力转换径向密封力，以实现真空泵的密封。因此，在对螺杆真空泵进行密封时，需要根据实际情况和需要选择更合适的密封方法，以更好地发挥密封效果。另外，在每次启动前都要对螺杆泵进行检查，以确保在正式启动之前密封效果没有问题，以避免在运行过程中由于不合格的密封效果而损坏泵。　　以上是关于螺杆真空泵的密封效果。您可以理解，在使用过程中，根据正确的操作方法可以取得良好的效果。如果您不理解，可以致电咨询，我们会根据您的实际需求为您提供合理的建议，以避免百叶窗操作中出现不必要的问题。

螺杆真空泵干燥尼龙树脂

发布时间: 2021 - 04 - 28

来源: 241

作为尼龙树脂材料，需要干燥时不会直接脱水，而是使用螺杆真空泵。许多用户认为真空泵主要用于抽气和产生真空，这与干燥尼龙树脂无关。但实际上两者是密切相关的，为什么干燥尼龙树脂就需要它。　　1.在干燥过程中去除的介质包含大量的水蒸气。因此，由于所使用的真空泵的特性，润滑油将迅速乳化，导致不稳定的抽吸速度和副产物真空度。同时，诸如油气回流和燃料喷射之类的问题会影响生产环境的清洁度。　　2，在尼龙树脂干燥中，由于质量要求，采用螺杆真空泵的真空干燥工艺。在此过程中，必须同时确保稳定的真空度和清洁的真空环境。　　3.尼龙树脂使用干式螺杆真空泵的优点：　　1.避免了直接干抽，无油蒸汽和颗粒物气体，单级直接排放到大气等问题，可以直接提取水蒸气和颗粒物气体，单级直接排放到大气中。　　2.可以达到更高的真空度并保持稳定的抽速。在应用中，真空泵无油，水等介质，可配备自动清洗功能，减少了制造商在使用过程中的维护工作。　　由于尼龙树脂的某些特性，其干燥操作无法通过常规方法直接干燥。此时，应该是螺杆真空泵工作的时候了。在干燥过程中，真空泵不会产生脏气，并且可以确保防止尼龙树脂在干燥过程中被污染。

清扫真空系统中央除尘系统特点及使用方式

发布时间: 2021 - 04 - 28

来源: 382

深圳恒才机电设备公司简述清扫真空系统特点及使用方式，如有疑问或是订购清扫真空系统，中央除尘系统的朋友，欢迎致电咨询。清扫真空系统也叫中央除尘系统是一种全新的室内清洁方式，是一个由吸尘主机、吸尘管网、吸尘插座、吸尘软管及刷头等组成的一体化的吸尘系统；可应用于电子、食品、医药等行业。清扫真空系统的使用方式：用户只需将吸尘软管插入吸尘插座，通过手柄上的开关启动系统，车间内的灰尘杂质都将通过埋于墙内的集尘管道，送到远离洁净车间的吸尘主机中。由于中央吸尘系统配备了各种吸口，能够实现快捷的清理厂房内，各种传统清扫方式难于清扫的地方。清扫真空系统特点：清扫真空系统，中央吸尘以环保、节能特点等特点显著，优势如下。◎大小颗粒的灰尘全被从洁净厂房内吸出，杜绝了二次污染。中央吸尘管网是一个由吸尘插座、吸尘管道、吸尘主机组成一个密闭的系统，大小颗粒的灰尘一旦被吸尘口吸入后通过吸尘管道后直接进入到主机集尘仓里，而产生的气体通过处理后的过滤袋过滤后排到室外，再无手提式吸尘器的异味。◎主机与清扫区分离，杜绝了传统吸尘器的噪音污染。主机与吸尘操作件完全分离，在室内吸尘时无噪音，适用于在任何时候清洁而不影响和干扰其他人(避免了噪音污染)。◎方便、高效，节约清洁费用。使用的时候只需将吸尘软管插入吸尘插座，按一下手柄上的开关，吸尘主机便开始工作，无需将笨重的主机来回拖动，无需找电源插拔线(避免了触电危险，保证安全)；中央吸尘主机采用超强真空吸力能迅速吸除各种大小灰尘颗粒；过滤袋采用自清洁结构设计，可以反复清洗使用。◎保护洁净厂房内生产设备。使你的机房控制室更加清洁、安全。更多行业真空改善解决方案，欢迎咨询深圳恒才机电设备有限公司，专注于真空泵业，优质真空泵及专业真空应用方案，我们期待您的到来！清扫真空系统_中央除尘系统产品详细及特点

半导体真空泵应用的4大注意事项

发布时间: 2021 - 04 - 28

来源: 219

半导体工艺真空主要用在真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫，蒸发，溅射，PECVD等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁。根据半导体真空工艺的应用，深圳真空泵厂家恒才机电设备公司讲讲半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项，欢迎查阅。半导体真空泵应用的4大注意事项：第一、有效稀释有害气体的浓度：半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆炸；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氦气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道，过滤、避免超压：半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCI；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。因此需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。第三、防止温度过高：半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有毒气体就会容易发生危险。第四、注意氧气的浓度：空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险，因此一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；如果是油封机械泵可能还需要采用一些情性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和...

共2431条页次58/244首页上页... 53545556575859606162...下页末页

公司新闻

常见问题

关注我们官方的微信