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2025 - 05 - 23
电子封装用水环真空泵机组具有以下优势:结构简单,制造与维护便利:水环真空泵机组结构紧凑,制造精度要求不高,容易加工,一般可与电动机直联,无需减速装置,占地面积小,操作简单且维修方便。这种设计不仅降低了设备成本,还减少了维护时间和成本。工作平稳,运行可靠:水环真空泵机组的转子和外壳之间通过水环形成密封,减少了转子旋转时的噪音,运行平稳且稳定性强。这种平稳的运行状态延长了设备的使用寿命,降低了故障率,确保了电子封装过程的连续性和稳定性。适应恶劣工况:水环真空泵机组能够在高温、低温以及恶劣环境条件下稳定运行,对气体的压缩接近等温压缩,压缩时温度变化小,泵内没有相互摩擦的金属接触面,不易发生燃烧爆炸事故。这种特性使得水环真空泵机组特别适用于处理含有微小颗粒或水分的气体,以及易燃、易爆等危险气体。密封性能好:水环真空泵机组采用水作为密封介质,具有良好的密封性能,可有效防止气体泄漏。在电子封装过程中,这有助于保持封装腔室内的真空度,提高封装质量。安全性高:水环真空泵机组无需对泵内进行润滑,转动件和固定件之间的密封由水封完成,减少了因润滑油泄漏而引发的安全隐患。同时,其稳定的运行状态和较低的故障率也进一步提高了设备的安全性。
2019 - 10 - 29
随着社会高新科技的发展,越来越多的行业对清理真空、环保等的需求更为严格,避免返油渗油的污染,因此干式螺杆真空泵得到了快速地发展。  干式螺杆真空泵主要用于高纯粹的真空加工工艺过程,可处理含可凝性蒸汽的气体,含细微细颗粒物的气体。螺杆真空泵具有低消耗能、抽速大、使用期长、免 检修等特性,因此广泛应用于石油化工、冶金工业、制药业、生物技术、造纸工业、电子光学工程等行业领域。  螺杆真空泵由电机定子、电机转子、旋片、发动机缸体、电动机等主要零部件构成,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。  由于螺杆真空泵没有真空泵物质(真空泵油、水等),通过螺杆真空泵的气体未受真空泵物质的污染。这样螺杆真空泵下冷疑部分转化成过热蒸汽下冷疑,进一步提高有 机溶剂类原材料的利用率,对螺杆真空泵下难冷疑的原材料特别有益。  通过该流程配备,螺杆真空泵排污的废气中已基本可含工业废气。另外,螺杆真空泵排尽气体通过列管式冷疑器的壳程后,噪音也大大降低。  螺杆真空泵与启动马达对比真空度低,抽供气量小,但容积精巧,便于安装,维护简单,移动方便,不环境污染,尤其在要求较高的场所使用也不错。  因此在购买螺杆真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,选的螺杆真空泵就要高过需求的真空度,不然会达不到工作标准。
2019 - 11 - 05
首先,真空泵本身泄漏  1,密封件泄漏。检查密封件,所述更换损坏的密封件的所有的密封件。  2,气镇阀垫片损坏,或拧紧。更换并拧紧垫圈气镇阀。  3,排气阀膜受损,密封不好,阀板应更换。  4,真空泵膜片推干扰的量过多,导致在真空室中泄漏的变形。应更换或修理的真空泵室。  5,由于由密封不良的真空泵油泄漏的端部表面。它应该是开放的端盖,检查有无凹凸不平杂物,清洗或修理。  其次,真空泵油问题  1,把油面高度过低,足够的油应加入到油标准中心线。  2,受污染的油,油质变坏。应该用新油更换。  3,油的等级不匹配,应该通过规定品牌真空泵油的更换。  4,油道屏障,真空室不能维持正确的油。单向阀进油通道和油,油是明确的。  5,过滤器的进气口被堵塞。拆卸过滤器应该是干净,然后把东西。  6,转子被变形或破裂失败弹簧和旋转叶片移动。整修或更换应春具有良好的产品转子旋转叶片的偏转。  7,真空泵温度过高。  1,中的溶液被抽气体温度过高。应该被允许进入加油站前冷却下来。  2,真空泵吸入体是很难磨损。拆卸硬物应该打开真空泵,修复或更换零件划伤。  3,真空泵冷却水是不够的。应该增加冷却水流量。  4,装配不当,转子轴的位移,导致片面的磨损。它应拆开检查和重新组装。  8,由于处理不良或磨损由间隙引起的过大。它应与泵室,转子,旋转叶片,罩板之间的间隙,流延预定的精度修理或更换进行检查。  9...
2019 - 11 - 07
什么是水环真空泵       水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵工作原理  水环真空泵的叶轮在泵壳内偏心安装。启动前在泵气缸内灌入脱氧水(工作液)。当叶轮顺时针方向旋转时,由于离心力的作用,将液体甩至泵体壁,叶轮的转动迫使工作液沿泵壳内壁形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。此时,会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个被工作液密闭的“气腔”。由于叶轮在泵壳内是偏心配置的,所以水环的内表面与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间,它被叶片分成若干容积不等的小室,每个小室的容积随叶轮转动作周期扩大和缩小,当小室容积逐渐扩大,气体由外界吸入,当小室容积逐渐缩小,使原先吸入的气体被压缩而排出。这样,叶轮每转一周,叶片与叶片间的小室容积改变一次。每两叶片间的液体好像液体活塞一样往复运动,连续不断地抽吸气体,达到抽真空的目的。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~10...
2019 - 11 - 08
真空泵是非常重要的机械设备,广泛用于生产中,类型很多。您对不同类型的真空泵的工作原理了解多少?以下是为真空泵设计的几种类型的真空泵的小系列。工作原理和适应范围介绍如下。  01.螺杆真空泵  螺杆真空泵的特点:除了容积泵的共同特点外,螺杆真空泵还具有连续轴向流,脉动小,内部速度低以及混合更多空气和其他气体的可能性。应用了液体搅拌和旋转的许多应用。  适用范围:广泛应用于石油,化工,化纤,电力,海上平台工程,造船,精密机床,食品等工业领域。  02.齿轮真空泵  齿轮真空泵的特点:1.结构简单,价格低廉; 2工作要求低,适用范围广; 3个端盖和齿轮之间的各个间隙凹槽构成了许多固定的密封工作室,只能用作定量泵; 4,重量轻,工艺性能好,价格低廉,自吸性强,对油污不敏感,转速范围大,负载抗冲击,易于维护,运行可靠; 5径向力不平衡,动脉流量大,噪音大,效率低,零件互换性差,磨损后不易维修,不能用作可变泵。  适用范围:一般运输石油,润滑油等润滑液体;在机械工业中用作辅助油泵,用于中速,低压力液压系统和润滑油系统;在化学工业中可用于输送高粘度材料,例如尼龙,聚乙烯,聚丙烯和其他熔融树脂。  03.叶片真空泵  叶片式真空泵的特点:输出流量比齿轮式真空泵均匀,运行稳定,噪音小;工作压力高,容积效率也高,单作用叶片真空泵易于实现流量调节,而双作用叶片真空泵受转子径向流体压力平衡。叶片真空泵的寿...
2019 - 11 - 12
一般情况下,水环真空泵以一定转速旋转工作,如果其转速等于或接近泵转轴系统振动频率的倍数,水环真空泵就会发生猛烈的振动,即产生共振。如果转速一直停留在临界转速附近,轴的变形就将速度增大,导致损坏泵的零件,甚至整个机器的破坏。  为了避免共振现象的发生,应首先计算水环真空泵泵轴的固有频率。由于共振时泵的转速等同于临界转速,所以实质的问题是计算水环真空泵的临界转速。第一阶临界转速下,振动激烈,最为危险,所以通常主要计算第一阶临界转速。  目前,计算临界转速的方法有:瑞利法、等效重量法以及邓克尔莱方程法等。对 于 实 际 中的水环真空泵转轴,都是多阶变径轴,使用瑞利法在计算挠度时会变得非常繁琐,单一运用等效重量法和邓克尔莱方程也不能有效的解决。同时现行计算临界转速都是将叶轮载荷简化为集中载荷,当叶轮轴向长度较长时将会严重影响计算准确性。  因此,针对以上问题,本文提出并使用一种新的有效的计算方法,以解决计算转轴系统的临界转速问题。  计算原理该计算首先将阶梯轴通过当量直径来等效转换为等径轴,计算出其临界转速,同时将叶轮等效为均布载荷,利用叠加原理计算挠度,通过瑞利法可计算 出 叶 轮 载 荷 下(不 计 轴 重)的 临 界 转 速。最后运用邓克尔莱方程计算出转动机构的临界转速。  计算结果  选用某型号水环真空泵的转轴系统进行分析,利用MATLAB对数据进行计算,由 于 系 统 材料为30...
2019 - 11 - 14
我们将向您介绍螺杆真空泵在镀膜设备中的应用。在过去的十年中,由于国内经济的不断改善和人民生活水平的提高,极大地影响了涂料行业在国民经济中的地位和作用。国内市场对产品涂料的要求越来越高,市场需求也在不断增长。真空技术的应用领域包括电子技术,航空航天技术,加速器,表面物理学,微电子学,材料科学,医学,化学工业,工农业生产,日常生活等领域。真空泵镀膜的应用是真空应用的一大分支,在光学,电子,物理和化学设备,包装,机械和表面处理技术中有着广泛的应用。  真空镀膜的主要方法有:  真空溅射:当高能粒子(通过电场加速的正离子)撞击固体表面时,它们与表面上的原子和分子交换能量,导致这些原子和分子溅出。  真空蒸发:将形成薄膜的材料加热并在真空中蒸发,以将其沉积在合适的表面上。  干螺杆真空泵的优点  1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层,可适应恶劣条件。  2、气体未在泵中压缩,适合于抽取可凝性气体。  3、无油耗,无滴落。  4、结构简单,维护方便。  5、所泵送的气体直接从泵体排出,不污染水,没有环境压力,更便于气体回收。  螺杆真空泵是真空镀膜设备生产中必不可少的设备。其主要功能是控制镀膜机的温度,以确保镀件的质量和生产效率。它的应用可以避免环境温度对自来水和冷却塔的冷却造成的不利影响,并确保涂布机高精度,高效率地工作。真空泵的冷却效果也直接影响产品的质量。随着真空镀膜行业的飞速发展,...
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2025 - 12 - 13
在PCB线路板生产中,将分散的小泵集中起来抽真空可通过采用集中真空泵系统替代分散小泵实现,该方案在效率、能耗、稳定性、维护成本及环保性等方面均优于传统分散小泵串联方式,具体实施要点如下:一、集中真空泵系统的核心优势效率提升:多台真空泵组协同工作,通过优化管道设计,可在2-6分钟内将真空度稳定抽至10-30mbar的合格范围,远超单台旋片真空泵或串联泵组的工作效率。节能显著:集中控制与泵组优化运行使总功率降至原分散小泵的60%左右,例如某PCB厂改造后节省电费高达50%。稳定性增强:模块化设计确保单泵故障时其他泵仍可继续工作,保障生产连续性;集中监控系统实时监测真空度、泵组状态等关键参数,异常情况可及时处理。维护成本降低:先进泵组(如罗茨泵、水环泵)维护周期长、费用低,且维护工作可灵活安排。环保性优化:无油设计避免油分子挥发污染产品与车间环境,符合绿色制造趋势。二、集中真空泵系统的实施要点系统配置:泵组选择:根据生产需求选择罗茨泵、水环泵等高效泵型,确保真空度稳定在5Pa以下(高性能系统要求)。管道设计:优化管道布局,减少阻力,确保气体流通顺畅。智能控制:配备智能电控箱,实现自动或手动控制机组运行,实时监测真空度、泵组状态等参数。操作流程:启动阶段:系统启动后,罗茨真空泵和水环真空泵协同工作,快速抽取层压机工作区域内的空气。保压阶段:初抽达到理想真空度后,通常只需一组泵维持较高真空度...
2018 - 07 - 13
连日来,受台风玛利亚的影响,江浙福建等大部分地区进入了高温的天气,高温下会影响真空泵的正常运行吗?炎热的夏天,我们在操作真空泵时该注意哪些问题呢?  人员操作注意方面:  第一点一定要整齐,工具、工件、附件摆放整齐,安全防护装置齐全,线路管道完整;  第二点清洁工作要做好,设备从里到外清洁,没有黄袍,各滑动面、丝杆、齿条和齿轮无油垢、检查没有碰伤、每部位确认不漏水、不漏油。  第三润滑方面,要按时换油、加油,油质要符合要求,油枪、油壶和油杯要齐全,油毡和油线的清洁,油标明亮,油路检查通畅。  第三是安全,实行定人定机和交接班制度操作,遵要守操作规程,合理使用,监测异常,不出事故。    真空泵的要求方面:  (1)不要把真空泵放置在高温太阳底下,尽量让真空泵处于阴凉的地方,室外放置的真空泵要注意不能让真空泵暴晒在阳光下。真空泵在进行工作时间温度就高,如果热量很难散发出去的话,真空泵温度就会升高,一旦达到真空泵的零界温度,就会造成机械故障! 要尽可能的降低真空泵工作温度。真空泵油也需及时更换。  (2)为了让真空泵的散热性能更好,真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置。  (3)耗材定期更换,其中最主要的又是排气滤芯(油雾分离器)和油,这两种耗材一定要及时的更换,排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第一时间更换,油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留...
2019 - 10 - 22
水环真空泵轴承发热的原因  1、水环真空泵阀门开裂:  水环真空泵阀的裂纹导致叶轮两侧的压力不平衡。转子的轴向力将导致轴承负荷增加。长期运行会提高水环真空泵的轴承温度。  2. 水环真空泵轴端密封故障:  当轴端填料密封垫损坏或密封的水孔被堵塞时,会对水环真空泵造成损坏。如果只有一侧密封失效,则会在叶轮两侧形成压力不平衡,转子的轴向力会增加水环真空泵的轴承负荷,从而提高轴承温度。  3、水环真空泵轴承的预紧力过大:  它将促进水环真空泵轴承间隙的减小或无间隙,从而形成轴承温度。  4、水环型真空泵的感觉:  水环真空泵体或轴承的感觉过强也会导致轴承温度过高。  5、水环真空泵的光滑外观:  水环真空泵的润滑脂增加量太大或太小,或者润滑脂类型不匹配。如果使用时间过长,则光滑的润滑脂可能会被污染而形成轴承热量。这时,您应该检查水环真空泵的滑脂类型,询问制造商适当的量,调节滑脂以恢复轴承温度。  6、水环真空泵轴承损坏:  当水环真空泵轴承辊和轴承罩损坏时,会伴随轴承过热的现象。 水环真空泵轴承已损坏,需要及时更换新轴承。  水环真空泵机组振动的原因是什么?  (1)电机转子或内部磁不平衡。  (2)真空泵中的气穴现象。  (3)轴承,旋转零件和密封零件的磨损。  (4)真空泵支脚以及进出口管支撑不良。  (5)真空泵和管路的布局设计不合理。  (6)真空泵和电机中心未对准或联轴器磨损。...
2019 - 10 - 28
离心泵的使用通常分为预启动准备,启动过程和断电停车。只有正确执行这些步骤,才能确保离心泵的正常运行。  一.离心泵开始之前的准备工作  1.测试电动机是否正常旋转。观察从电动机顶部到泵的顺时针旋转。测试时间应短一些,以免机械密封件磨损。  2.打开排气阀充满整个泵体,并在排气阀充满时关闭排气阀。  3.检查所有零件是否正常。  4.用手移动泵,使润滑液进入机械密封端面。  5.高温型应先预热,加热速度为50. C /小时,以确保所有零件均被加热。  二.离心泵开始  1.完全打开进口阀门。  2.关闭吐水阀。  3.启动电动机,并观察泵是否正常运行。  4.将出口阀开度调节到所需的工作条件。如果用户在泵出口处安装了流量计或压力表,则应通过调整用户的出口阀开度来使泵在性能参数表中列出的额定点上运行。当泵出口处没有流量计或压力表时,应通过调节出口阀的开度来测量泵的电动机,以使电动机在额定电流范围内运行。否则,泵过载操作的出口阀将打开。较小,与管道状况有关。  5.检查轴封泄漏。  6.检查电动机。  三.离心泵停车  1.高温型首先冷却,冷却速度≤10。 C/min,将温度降低至≤80。低于C,则可停车。  2.关闭吐水阀。  3.停止电动机。  4.关闭入口和出口阀。  5.如果车辆长时间停放,则应排空泵中的液体。
2020 - 01 - 10
继二分法之后,置换检测法是螺杆真空泵制造商应该与大家一起知道的另一种真空系统故障检测方法。  先前已知的二分法检测方法用于诊断真空设备中的串联型故障。除串联故障类型外,真空系统中还有另一种基本类型,称为并联型。与串联型相比,并联型可以简单地理解为真空系统中特定独立部件的可能故障,例如真空泵本身、真空室和其他部件产生的问题,例如密封故障、冷却不良、泵油氧化等。  这种并联故障可以用替换法检测。顾名思义,替换方法是用绝对可靠的质量零件替换可能有故障的零件。一旦设备在更换后正常工作,故障自然会出现在更换的零件上。在更换过程中,应逐个进行测试,并注意更换顺序。一般来说,先易后难,先简单后复杂,先明后暗,最大的问题应该放在前面。此外,在更换零件的过程中,更换的零件应为密封绝对可靠的标准法兰板、测试合格的阀门、真空计等零件。因此,如果要采用替换测试方法,通常需要有相应尺寸的合格替换零件。  对于一些具有高真空度或超高真空系统的真空系统,还有另一种可能性,即系统部件本身没有问题,但是由于材料污染、空气释放等原因,系统的真空度或抽气速率不能满足要求,因此有必要注意清洁、烘烤、空气去除等,而不是部件故障的问题。这些需要通过优化过程程序来解决。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、...
2020 - 07 - 02
螺杆真空泵跳闸的原因是什么?怎么做?螺杆真空泵跳闸非常严重,特别是在使用时,对设备危害很大,内部部件会有一定程度的磨损。在运行时,有必要找出维修的原因,以避免再次发生和设备的二次损坏。  1.螺杆真空泵停了很长时间  如果螺杆真空泵长时间不工作,负载将导致临时电流过高,真空泵的入口将关闭,泵体将被加热。  2.电源  真空泵电机连接到两相电源。三相电源未启用。你可以打开真空泵的三相电源。如果它运行大约十个小时,它仍然需要调整电流的上限。  3.杂质  异物或杂质被吸入真空泵的排气口,电机被加载,因此可以打开真空泵检查是否有任何内部故障。  4.电机负载  当螺杆真空泵在使用时,其真空泵电机被加载。当电流过高时,如果电气柜设定的电流超过电流,真空泵会自动跳闸。这是真空泵的正常现象,可以通过调整大电流保护的上限来解决跳闸现象。  定期检查37KW螺杆真空泵的清洁度和设备的维护。通过测试上述条件,更好地维护设备将提高设备的使用。否则,如果发生这种情况,不仅会影响企业的生产效率,还会增加成本。
2018 - 08 - 25
2018年8月17日-19日,公司实行三天全员旅游,肇庆端州3天2晚活动,我们游历了苍翠欲滴的鼎湖山,潺潺涓流山湖相映的蝴蝶溪谷、并以虔诚的心叩拜佛门净地“庆云寺“,同事们一路互相倾谈,脸上洋溢着喜悦,心境犹如被洗刷般,没有了工作的压力,围绕在我们身边的只有体现同事之间紧密团队精神的欢声笑语。次日,同事们进行游览阅江楼,参观已逾千年的文房瑰宝端砚的独特风采,领略了精心至致,坚持不懈的匠工精神;铁军独立一雄团叶挺将军的大将风范和魄力,战士们充满激情和希望的声音,艰难阻险都不怕,只要坚定信念不放松,而这一切正是正步的魅力,让我们扔掉脆弱,不忘初心砥砺前行,变得坚强成长。接着我们来到高要学宫孔庙,聆听陈总给我们讲述儒家学说,这也是我们的公司的重要文化,教导我们百行孝为先,温故而知新等为人处事的道理,也正是这种文化坚定了公司发展智慧和同事们团结一致力量的决心。 最后,项目是绕七星岩绿道骑行,一路上大家热情高涨,相互关心,骑行中充满了欢歌笑语、温情和谐,在尽兴游玩之余,深切感受到来自公司大家庭的温暖。有的同事还坚持完成了不可能骑到的终点,面对困难却能坚忍不拔进行到底的决心,也克服了有时只凭感觉行事的思维定式,没有不可能,超越自己就能够创造奇迹。此次旅游活动圆满结束,同事们的内心还将延缓着美好的记忆和愉快的心情,此次游行不仅丰富了员工的业余生活,增强了部门之间的沟通协作,还加强企业凝...
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防止水环真空泵中形成水垢的措施

日期: 2021-03-25
来源:
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  循环水水质和工作温度均超过一定指标,这是造成真空泵结垢的主要原因。因此,有必要尽可能降低水的硬度,并控制循环水的工作温度,以解决真空泵水垢的问题。

防止水环真空泵中形成水垢的措施

  因此,在循环冷却水运行期间,应测试每个泵的回水温度和回水量,以确保每个泵的正常供水量和水温。回水是一个不超过40C。可通过阀门控制供水。如果回水温度超过规定,则需要补充低温冷水或使用其他冷却方法降低软化池中软化水的温度。此外,水环式真空泵的泵体排水阀不仅可以利用泵的正常内部排水,还可以在运行过程中利用泵体的水压定期冲洗污物和水。它可以防止灰尘积聚,另一方面,也可以防止水渣结垢。

  以上是水环式真空泵的内容。正确分析水质指标的运行参数是找到正确预防措施的关键。除了控制水温和定期冲洗泵体外,水处理也是防止泵体弄脏的重要组成部分。真空泵结垢的问题,所以我们必须了解结垢的原因并采取预防措施。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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