半导体制造业中有许多不同的真空泵。我们将其分为两类：主泵和高级真空泵。主泵在腔体中产生粗糙的中间真空有多种用途。在集成的多腔设备中清空容纳硅晶片的区域；为高级真空泵泵送空气。先进的真空泵用于获得10-3 Torr到10-9 Torr 的压力范围以及超高真空。新晶圆厂使用的现代真空泵是干燥的，这意味着内部没有油或润滑剂会回流到处理室并污染硅晶圆。
螺杆泵特点：
1.转子轮廓啮合均匀，密封性好，抽气效率高。
2.最终真空度高，最大压力可达到0.2 Pa。
3.进口螺杆转子专用加工中心一批，加工精度高，产品性能稳定。
4.螺杆泵的所有转子都经过了G1动态平衡测试，并且在运行过程中泵的振动很小。
5.泵标配了定制的电动机，并且在泵的油腔和电动机之间形成封闭结构，从而消除了电动机端部的动态轴伸密封，并消除了机油泄漏引擎末端出现问题。
6.泵标配特殊的可拆洗消音器，具有良好的降噪效果和低噪音，同时易于拆卸，清洗和维护。
7.螺杆泵结构合理，可以适应多种保养和维护措施，针对各种对泵有害的情况具有相应的处理方法，可以配备相应的结构或附件，具有很大的相关性。维护效果好，操作简单，处理时间短，可以更好地保证设备的正常运行。