半导体制造业中有许多不同的真空泵。我们将其分为两类:主泵和高级真空泵。主泵在腔体中产生粗糙的中间真空有多种用途。在集成的多腔设备中清空容纳硅晶片的区域;为高级真空泵泵送空气。先进的真空泵用于获得10-3 Torr到10-9 Torr 的压力范围以及超高真空。新晶圆厂使用的现代真空泵是干燥的,这意味着内部没有油或润滑剂会回流到处理室并污染硅晶圆。

螺杆泵特点:
1.转子轮廓啮合均匀,密封性好,抽气效率高。
2.最终真空度高,最大压力可达到0.2 Pa。
3.进口螺杆转子专用加工中心一批,加工精度高,产品性能稳定。
4.螺杆泵的所有转子都经过了G1动态平衡测试,并且在运行过程中泵的振动很小。
5.泵标配了定制的电动机,并且在泵的油腔和电动机之间形成封闭结构,从而消除了电动机端部的动态轴伸密封,并消除了机油泄漏引擎末端出现问题。
6.泵标配特殊的可拆洗消音器,具有良好的降噪效果和低噪音,同时易于拆卸,清洗和维护。
7.螺杆泵结构合理,可以适应多种保养和维护措施,针对各种对泵有害的情况具有相应的处理方法,可以配备相应的结构或附件,具有很大的相关性。维护效果好,操作简单,处理时间短,可以更好地保证设备的正常运行。